2017-701147

特許第６１５２５７６号発明「トータルピッチ安定性が改善されているガラス」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

【結　論】 特許第６１５２５７６号の請求項１～１３に係る特許を維持する。

【理　由】 第１　手続の経緯 特許第６１５２５７６号（以下、「本件特許」という。）の請求項１～１３に係る特許についての出願は、２０１３年１２月１９日（パリ条約による優先権主張外国庁受理２０１２年１２月２１日（ＵＳ）米国、２０１３年１１月２７日（ＵＳ）米国）を国際出願日とする特願２０１５－５４９７２０号の一部を平成２７年１０月６日に新たな特許出願としたものであって、平成２９年６月９日にその特許権の設定登録がされ、その後、その特許について、平成２９年１２月５日付けで特許異議申立人籾井孝文により、甲第１号証～甲第６号証を証拠方法とする特許異議の申立てがされ、平成３０年２月５日付けで取消理由が通知され、平成３０年５月１日に特許権者より、乙第１号証～乙第５号証を証拠方法とする意見書の提出がされたものである。 （証拠方法） 甲第１号証：国際公開第２０１２／１０３１９４号 甲第２号証：特表２０１４－５０３４６５号公報 甲第３号証：特開２００９－１９６８７９号公報 甲第４号証：平成２９年１月２０日付け提出の意見書 甲第５号証：特表２００９－５２５９４２号公報 甲第６号証：特開２００４－１８９５３５号公報 乙第１号証：Kiczenski博士の宣誓書 乙第２号証：米国特許第２７７４１９０号明細書 乙第３号証：米国特許第７２０７１９３号明細書 乙第４号証：特表２００９－５０２７０６号公報 乙第５号証：国際公開第２０１１／０４９１００号 第２　本件特許発明 本件特許の請求項１～１３に係る発明（以下、「本件特許発明１」～「本件特許発明１３」という。）は、その特許請求の範囲の請求項１～１３に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。 【請求項１】 ガラスにおいて、以下の性能規準、 Ａ：ＬＴＴＣにおける圧密が５．５ｐｐｍ以下、 Ｂ：ＨＴＴＣにおける圧密が４０ｐｐｍ以下、 Ｃ：ＳＲＴＣにおける誘起応力の緩和が５０％より小さい、 を示し、酸化物基準のモル％で、ＳｉＯ２ ６８～７４，Ａｌ２Ｏ３ １０～１３，Ｂ２Ｏ３ ０～５，ＭｇＯ ０～６，ＣａＯ ４～９，ＳｒＯ １～８，ＢａＯ ０～５を含み、１.０５≦(ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ)/Ａｌ２Ｏ３≦１.４であり（ここでＡｌ２Ｏ３，ＭｇＯ，ＣａＯ，ＳｒＯ及びＢａＯは酸化物成分のモル％を表す）、７７５℃以上のアニール点を有することを特徴とするガラス。 【請求項２】 Ａｓ２Ｏ３及びＳｂ２Ｏ３の含有量が０.００５モル％より少ないことを特徴とする請求項１記載のガラス。 【請求項３】 前記ガラスの内、Ｌｉ２Ｏ，Ｎａ２Ｏ，Ｋ２Ｏまたはこれらの組合せの含有量が０.１モル％より少ないことを特徴とする請求項１または２記載のガラス。 【請求項４】 １.０５≦(ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ)/Ａｌ２Ｏ３≦１.２である（ここでＡｌ２Ｏ３，ＭｇＯ，ＣａＯ，ＳｒＯ及びＢａＯは酸化物成分のモル％を表す）ことを特徴とする請求項１記載のガラス。 【請求項５】 Ｔ３５ｋ－Ｔｌｉｑ＞０.２５Ｔ３５ｋ－２２５℃であることを特徴とする請求項１から４いずれか１項記載のガラス。 【請求項６】 Ｔ３５ｋ＜１３１０℃であることを特徴とする請求項１から５いずれか１項記載のガラス。 【請求項７】 ２８～４２×１０－７/℃の範囲のＣＴＥを有することを特徴とする請求項１から６いずれか１項記載のガラス。 【請求項８】 ０.５ｍｍ厚で、５０％より高い３００ｎｍでの透過率を有することを特徴とする請求項１から７いずれか１項記載のガラス。 【請求項９】 ２.３ｇ/ｃｍ３～２.６ｇ/ｃｍ３の間の密度を有することを特徴とする請求項１から８いずれか１項記載のガラス。 【請求項１０】 ７５ＧＰａ～８５ＧＰａの間のヤング率を有することを特徴とする請求項１から９いずれか１項記載のガラス。 【請求項１１】 ＬＴＴＣにおける圧密が４．６ｐｐｍ以下であるか、またはＨＴＴＣにおける圧密が３６ｐｐｍ以下であることを特徴とする請求項１から１０いずれか１項記載のガラス。 【請求項１２】 ＳＲＴＣにおける誘起応力の緩和が４０％より小さいことを特徴とする請求項１から１１いずれか１項記載のガラス。 【請求項１３】 ７０ＧＰａ～８６．６ＧＰａの間のヤング率を有することを特徴とする請求項１から９いずれか１項記載のガラス。 第３　特許異議の申立てについて １　取消理由の概要 本件特許発明１～１３に係る特許に対して、平成３０年２月５日付けで特許権者に通知した取消理由の要旨は次のとおりである。 （１）取消理由１ 本件特許の願書に添付された明細書（以下、「本件特許明細書」という。）の詳細な説明の段落００９５に記載されているように、本件特許発明１の性能規準のうち、ＬＴＴＣ圧密は、「組成ベースの新しく得られた知見を最適化された冷却曲線制御と結びつけた結果として」得られたものであるところ、発明の詳細な説明の段落００９９の表２には、その性能規準及びアニール点を満たすガラスは記載されているが、そのガラス組成やその製造プロセスが記載されていないため、発明の詳細な説明は、当業者が本件特許発明１～１３を実施できる程度に明確かつ十分に記載されているといえず、その特許は、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものであり、特許法第１１３条第１項第４号の規定により取り消すべきものである。 （２）取消理由２ 本件特許明細書の発明の詳細な説明の表１には、本件特許発明１のガラス組成及びアニール点を満たすガラスが記載され、表２には、本件特許発明１の性能規準（ＬＴＴＣにおける圧密、ＨＴＴＣにおける圧密、ＳＲＴＣにおける誘起応力緩和）及びアニール点を満たすガラスが記載されているが、ガラス組成、性能規準及びアニール点の全てを満たすガラスは具体的に記載されていないし、当該性能規準を得るための制御方法も記載されていないから、本件特許発明１～１３は、発明の詳細な説明に記載された発明といえず、また、発明の詳細な説明に記載された「最高解像度薄膜トランジスタの製造に利用できるガラス基板を提供する」との課題を解決できると認識できるものでないため、その特許は、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものであり、特許法第１１３条第１項第４号の規定により取り消すべきものである。 ２　取消理由に対する当審の判断 （１）取消理由１について 上記取消理由１について検討するにあたり、まず、本件特許の優先日における技術常識を確認すると、乙第３号証の第３欄第２２行～第５欄第５７行及び図２には、板ガラスの製造方法における冷却シーケンスについて、コンピュータに基づく数理的モデル化によって、ガラスの応力を制御するために冷却シーケンスを最適化することが記載されている。また、甲第３号証の段落００５９、乙第４号証の要約、及び、乙第５号証の段落００４２には、ガラスの圧密の問題に対処するために、冷却速度を制御することが記載されている。 これら記載からすると、ガラスの製造方法において、目的とする圧密が得られるように冷却曲線を最適化することは、当業者が通常行っていたことであり、当該技術分野の技術常識であるといえる。 以下、上記取消理由１について検討する。 本件特許明細書の発明の詳細な説明の表２をみたとき、本件特許発明１の性能規準（ＬＴＴＣにおける圧密、ＨＴＴＣにおける圧密、ＳＲＴＣにおける誘起応力緩和）及びアニール点を全て満たすガラス（ガラス１、６及び７）が記載されているものの、これらガラスの具体的な組成も、当該性能基準を得るための具体的な制御方法も示されていない。 しかしながら、発明の詳細な説明の表１には、本件請求項１で特定するガラス組成及びアニール点を満たす２０の具体的なガラス組成が記載されているともに、段落００２３には、「表１はＴＰＶの３つの様相－低温圧密、高温圧密及び応力緩和－の全てを同時に制御することができるガラス組成を開示している。」と記載されているから、請求項１で特定する性能規準及びアニール点を満たすガラスは、表１の上記ガラス組成のいずれかのものであると当業者は認識できる。 ここで、段落００９５には、「より低い(ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ)/Ａｌ２Ｏ３比がより低いＬＴＴＣ圧密に相関されている。この高速緩和機構の制御に対する組成ベースの新しく得られた知見を最適化された冷却曲線制御と結び付けた結果として、いくつかの組成において、・・・Ｔ(ａｎｎ)に無関係な、より低いＬＴＴＣ圧密が得られた。」と記載されており、さらに、上記技術常識を踏まえると、本件請求項１で特定するガラス組成及びアニール点を満たす表１のガラスを用いて、請求項１で特定する性能基準を満たすように、冷却曲線を最適化して、本件特許発明１～１３のガラスを製造することは、当業者にとって過度の試行錯誤を要するものといえない。 （なお、乙第１号証によって、表１のバッチ材料２０に相当するガラス組成を用いて、ＬＴＴＣにおける圧密が５．３ｐｐｍ、ＨＴＴＣにおける圧密が３６ｐｐｍ、ＳＲＴＣにおける誘起応力緩和が３８％未満であるガラスが得られたことが、具体的に裏付けられている。） したがって、本件特許明細書の発明の詳細な説明には、当業者が本件特許発明１～１３を実施できる程度に明確かつ十分に記載されているといえ、その記載は、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしているといえる。 （２）取消理由２について 上記（１）で検討したとおり、発明の詳細な説明の段落００９５の記載や上記技術常識を踏まえれば、本件請求項１で特定するガラス組成及びアニール点を満たす表１のガラスを用いて、冷却曲線制御を最適化すれば、本件特許発明１～１３のガラスを得られることは、当業者であれば当然に認識できることといえる。 また、発明の詳細な説明の段落００９５～００９８には、最高解像度薄膜トランジスタの製造に利用できるガラス基板を製造するにあたって、ＨＴＴＣにおける圧密に加えて、ＬＴＴＣにおける圧密、及び、ＳＲＴＣにおける誘起応力緩和の管理が有益であることが記載されていることから、ガラスが、ＬＴＴＣにおける圧密が５．５ｐｐｍ以下、ＨＴＴＣにおける圧密が４０ｐｐｍ以下、ＳＲＴＣにおける誘起応力緩和が５０％より小さいとの性能規準を満たすことによって、上記課題を解決できると認識できるといえる。 したがって、本件特許発明１～１３は、発明の詳細な説明に記載された発明であって、発明の詳細な説明の記載により当業者が課題を解決できると認識できる範囲のものであるといえるから、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしているといえる。 ３　取消理由通知において採用しなかった特許異議申立理由について （１）特許法第２９条第２項に関する申立理由について 特許異議申立人は、本件特許発明１～１３は、甲第１号証、甲第３号証、及び、甲第６号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないことを主張している。 この点について検討すると、甲第１号証（表２の実施例１０）には、「ＳｉＯ２が７１．７９モル％、Ａｌ２Ｏ３が１２．６１モル％、Ｂ２Ｏ３が１．７２モル％、ＭｇＯが３．９４モル％、ＣａＯが５．０３モル％、ＳｒＯが１．２１モル％、ＢａＯが３．５４モル％、ＳｎＯ２が０．１２モル％、Ｆｅ２Ｏ３が０．０１モル％、ＺｒＯ２が０．０２モル％を含有し、（ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ）／Ａｌ２Ｏ３が１．０９であるガラス組成を有し、アニール点が８０６℃であるガラス。」の発明（以下、「甲１発明」という。）が記載されている。 また、甲第３号証には、その段落００１０～００１４、及び、段落００８９の記載によれば、ガラス基板の製造プロセス中の徐冷工程の温度管理を最適化することによって、保持温度４５０℃で１０時間保持したときの熱収縮率が２５ｐｐｍ以下であるガラス基板を得ることを可能にするという技術的事項が記載されている。 さらに、甲第６号証には、その請求項２及び段落００１５及び００４５の記載によれば、厚み０．７ｍｍのガラス基板の透過率が、波長３００ｎｍにおいて５０％以上であるとの技術的事項が記載されている。 そして、特許異議申立人は、甲１発明の圧密が、図１に示されているように、典型的な基礎組成のガラス１の圧密の２０％以下であることを根拠に、甲１発明は、ＨＴＴＣにおける圧密が４０ｐｐｍ以下であることが自明である旨を主張するが、甲第１号証には、当該圧密が高温領域の圧密であることも、圧密の絶対値も記載されていないから、かかる主張は採用できない。 また、特許異議申立人は、４５０℃で保持したときの低温圧縮を抑制する技術思想が甲第３号証に記載されているから、甲１発明において、ＬＴＴＣにおける圧密を５．５ｐｐｍ以下にすることは当業者が容易になし得ることを主張しているが、甲第３号証には、４５０℃で保持したときの低温圧密を２５ｐｐｍ以下とすることを記載するにとどまり、５．５ｐｐｍ以下にすることは示されていないから、かかる主張も採用できない。 そうすると、甲１発明は、ＬＴＴＣにおける圧密が５．５ｐｐｍ以下、ＨＴＴＣにおける圧密が４０ｐｐｍ以下、ＳＲＴＣにおける誘起応力緩和が５０％より小さいとの性能規準を全て満たすものではなく、この点は、甲第３号証及び甲第６号証に記載のガラス基板も同じである。 したがって、本件特許発明１は、甲第１号証に記載された発明並びに甲第３号証及び甲第６号証に記載された技術的事項から当業者が容易に発明をすることができたものでない。 次に、本件特許発明２～１３について検討すると、これら発明は、本件特許発明１を更に減縮したものであるから、本件特許発明１に対する判断と同様の理由により、甲第１号証に記載された発明並びに甲第３号証及び甲第６号証に記載された技術的事項から当業者が容易に発明をすることができたものでない。 以上のとおり、本件特許発明１～１３は、甲第１号証に記載された発明並びに甲第３号証及び甲第６号証に記載された技術的事項から当業者が容易に発明をすることができたものではない。 （２）特許法第３６条第６項第１号に関する申立理由について 特許異議申立人は、本件特許発明１の「ＬＴＴＣにおける圧密が５.５ｐｐｍ以下」との性能規準は、ガラス組成及びアニール点のみで実現できるものでなく、ガラスの製造プロセスにおける冷却曲線制御の最適化を伴って実現できるものであるから、「冷却曲線制御の最適化」という特定事項を欠いている本件特許発明１は、特許法第３６条第６項第１号の規定を満たしていないと主張している。 しかしながら、本件特許発明１は、「ガラス」に関する物の発明であって、製造方法の発明でないから、「冷却曲線制御の最適化」という製造工程に係る特定事項は、本件特許発明１の課題解決手段にあたらない。 よって、特許異議申立人の上記主張は採用できない。 第４　むすび 以上のとおりであるから、取消理由通知に記載した取消理由及び特許異議申立書に記載した特許異議申立理由によっては、本件請求項１～１３に係る特許を取り消すことはできない。 また、他に本件請求項１～１３に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。