2016-011661

特願２０１３－５３３８５７「ＥＵＶ光源のためのシード保護を備える発振器－増幅器駆動レーザー」拒絶査定不服審判事件〔平成２４年　４月２６日国際公開，ＷＯ２０１２／０５４１４５，平成２５年１２月２６日国内公表，特表２０１３－５４６１７２〕について，次のとおり審決する。

【結　論】 本件審判の請求は，成り立たない。

【理　由】 第１　手続の経緯 本願は，２０１１年９月６日（パリ条約による優先権主張外国庁受理２０１０年１０月１８日，２０１１年３月３１日，いずれも米国）を国際出願日とする出願であって，平成２５年４月２２日に特許請求の範囲が補正され，平成２７年８月１１日付けで拒絶理由が通知され，同年１１月１９日に特許請求の範囲が補正され，平成２８年４月１２日付けで拒絶査定がされ，これに対して，同年８月３日に拒絶査定不服審判が請求されると同時に特許請求の範囲が補正されたものである。 第２　平成２８年８月３日付け手続補正についての補正却下の決定 ［補正却下の決定の結論］ 平成２８年８月３日付け手続補正（以下「本件補正」という。）を却下する。 ［理由］ １．本件補正の内容 本件補正は，補正前の請求項１～８を削除するとともに，請求項９～１５を新たな請求項１～７とするものであって，補正後の請求項１は，次のとおりである。 「ビーム経路上に光出力を生成し，出力カプラを有する発振器と， 前記ビーム経路上に位置決めされた増幅器と， 前記ビーム経路上の照射箇所においてビームくびれ部直径Ｄを有する集束光との相互作用のために速度ｖで移動し，前記くびれ部においてＴ＝Ｄ／２ｖである予備シード相互作用時間Ｔを有するターゲット材料小滴と， ビーム折り返し光学構成を有する，前記ビーム経路上のビーム遅延器と，を備えるデバイスであって， 前記ビーム経路は，前記出力カプラから前記照射箇所までの前記経路に沿って長さｌを有し，ｃが前記経路上の光の速度である場合，２ｌ／ｃ＞Ｔであり，前記出力カプラと前記小滴との間の振動を低減するようになっているデバイス。」 ２．特許をすることができないものか否かの判断が示された発明 上記平成２７年８月１１日付けの拒絶理由通知において，特許をすることができないものか否かの判断が示された発明は，平成２５年４月２２日に補正された特許請求の範囲の請求項１ないし８に係る発明であるところ，請求項１は，次のとおりであり，請求項２ないし８は，請求項１の従属項である。 「【請求項１】 ビーム経路上に光出力を生成する発振器と， 照射箇所における前記ビーム経路上の光と相互作用するためのターゲット材料と， ビーム折り返し光学構成を有する，前記ビーム経路上のビーム遅延器と， 前記ビーム経路に沿って位置決めされ，前記発振器と前記ビーム遅延器との間に挿入されるスイッチと， を備えるデバイスであって， 前記スイッチは，前記ビーム経路上の光のうちの少なくとも一部を前記ビーム経路から経路変更するように閉鎖可能であり，該スイッチは，閉鎖時間ｔ1を有し，該ビーム経路は，該スイッチから前記照射箇所までの経路に沿って長さＬ1を有し，ｃが前記経路上の光の速度である場合，ｔ1＜ｃＬ1であり，前記発振器を保護するようになっているデバイス。」 ３．引用例に記載された発明 （１）原査定の拒絶理由に引用され，本願の優先権主張日前に頒布された特開２０１０－１６１３６４号公報（以下「引用例」という。）には，図とともに次の記載がある（下線は，当審による。）。 ア　「【０００１】 [0001]　本発明は，レーザデバイス，及び，レーザパルスを同期させる方法に関する。」 イ　「【００３２】 [0034]　図３は，プラズマ４６を生成するために燃料物質の小滴を照射するよう用いてよい，例えばＣＯ２レーザであるレーザデバイス６５の一実施形態を示す。レーザデバイス６５は，レーザ放射の複数のパルスを発生するように構成されたシードレーザ６７を含む。通常，シードレーザは，約１０Ｗ，約１００Ｗ，又は約Ｗ１０００の出力を有してよい。シードレーザは，例えばＣＯ２レーザ又はＹＡＧレーザであってよい。レーザデバイス６５は更に，レーザ放射のパルスをビーム経路６９に沿って，プラズマ４６が生成されるプラズマ発生部位９０に導くように構成された複数のミラー７１，７３，７５，７７を含む。これらのミラー７１，７３，７５，７７は，集合的に，ビームデリバリシステムとみなされてもよい。ビームデリバリシステムはより多くのミラー又はより少ないミラーを含んでもよい。ビーム経路６９は，このビームデリバリシステムのミラーを用いて修正することができる。 【００３３】 [0035]　レーザデバイスは更に，レーザ放射の出力を必要とされる出力レベルに増幅するように構成されたゲイン媒体を有する複数のアンプ７９，８１，８３，８５を含む。」 ウ　「【００４５】 [0047]　レーザデバイス６５のミラー７１，７３，７５，７７は，アンプ７９，８１，８３，８５からの増幅された自然放出放射が，プラズマ発生部位９０における又はそれに隣接する位置に集束されるようにいくらかの屈折力を有してよい。増幅された自然放出放射が集束されることによって，レーザデバイスが時期尚早にトリガされる（これは，燃料物質の小滴がプラズマ発生部位９０から離れている場合に，増幅された自然放出放射が，その小滴から反射された場合に起きる可能性がある）可能性を少なくする。空間フィルタがレーザデバイス内に含まれてもよい。空間フィルタも，レーザデバイスが時期尚早にトリガされる可能性を少なくする。 【００４６】 [0048]　遅延回路９４が，ディテクタ８７とシードレーザ６７との間に位置付けられて，例えば，反射された増幅自然放出放射がディテクタ８７によって検出されるとシードレーザ６７のトリガを遅延してよい。遅延回路９４は調節可能であってよく，また，増幅された自然放出放射のディテクタ８７への入射と，シードレーザ６７によるレーザ放射のパルスの発生との間の時間遅延を調節すべく用いられてよい。遅延回路９４は，レーザデバイス６５のレーザ放射の発生と，プラズマ発生部位９０における燃料物質の小滴９３の到着とを同期させるように用いられてよい。 【００４７】 [0049]　レーザ放射は，燃料物質の小滴に入射すると，ある割合のレーザ放射が，燃料物質の小滴からアンプ７９，８１，８３，８５及びシードレーザ６７へと反射して戻ることがある。この放射は非常に強烈なのでシードレーザ６７を損傷してしまうことがある。 【００４８】 [0050]　アンプ７９，８１，８３，８５とプラズマ発生部位９０との間の光路は，遅延線路９５を含んでもよい。この遅延線路９５は，シードレーザ６７によるレーザ放射の発生と，燃料物質の小滴から反射されたレーザ放射のアンプ７９，８１，８３，８５及びシードレーザ６７への入射との間の経過時間を増加する。用語「遅延線路」は，ここの文脈では，必要とされるよりも長く，また，それにより，レーザ放射のプラズマ発生部位９０への到達を遅延するビーム路６９の一部を意味するものと解釈されてよい。 【００４９】 [0051]　この経過時間は，反射されたレーザ放射がアンプ７９，８１，８３，８５に入射する前に，アンプ７９，８１，８３，８５内のゲイン媒体のエネルギーが実質的に使い切られているように十分に長い。これにより，アンプ７９，８１，８３，８５が反射されたレーザ放射を増幅する可能性が少なくなる。反射されたレーザ放射が増幅されてしまうと，シードレーザ６７を損傷しかねないほどに高い強度の放射が発生されてしまうことがある。したがって，遅延線路によって遅延時間が増加されることで，反射レーザ放射によってシードレーザ６７が損傷される可能性が少なくなる。 【００５０】 [0052]　一実施例では，アンプ７９，８１，８３，８５がエネルギーを実質的に使い切るためには１００ｎｓ必要であり，遅延線路６５は，反射されたパルス放射がアンプ７９，８１，８３，８５に入射する前に１００ｎｓ経過させるために１５ｍの長さであってよい。例えば，遅延線路は１０ｍ，２０ｍ，３０ｍ，４０ｍ，又は５０ｍ以上の長さを有してよい。 【００５１】 [0053]　経過時間は，音響光学素子９６が反射されたレーザ放射をシードレーザ６７から離すように回折することを可能にすべく十分に長い。この音響光学素子９６は，レーザパルスがシードレーザ６７から放出される場合は透明であり，燃料小滴から反射されたレーザ放射がシードレーザ６７に入射する前に不透明となるように，ディテクタ８７（又は遅延回路９４からの出力）によってトリガされてよい。このようにして，音響光学素子９６は，反射されたレーザ放射がシードレーザ６７を損傷することを阻止できる。 【００５２】 [0054]　図３では，音響光学素子９６は，第１アンプ７９と第２アンプ８１との間に位置付けられる。この位置は，この位置ではレーザ放射は（例えば，第３アンプ８３と第４アンプ８５との間の位置に比べて）比較的低い強度を有し，したがって，音響光学素子９６を損傷する可能性が少ないので選択される。」 （２）引用発明 上記（１）によれば，引用例には， 「プラズマ４６を生成するために燃料物質の小滴９３を照射するよう用いられるレーザデバイス６５であって， レーザ放射の複数のパルスを発生するように構成されたシードレーザ６７と， レーザ放射のパルスをビーム経路６９に沿って，プラズマ４６が生成されるプラズマ発生部位９０に導くように構成された複数のミラー７１，７３，７５，７７と， レーザ放射の出力を必要とされる出力レベルに増幅するように構成されたゲイン媒体を有する複数のアンプ７９，８１，８３，８５と アンプ７９，８１，８３，８５とプラズマ発生部位９０との間の光路に設けられる遅延線路９５と， 第１アンプ７９と第２アンプ８１との間に位置付けられる音響光学素子９６と， を含み， 遅延線路９５は，シードレーザ６７によるレーザ放射の発生と，燃料物質の小滴から反射されたレーザ放射のアンプ７９，８１，８３，８５及びシードレーザ６７への入射との間の経過時間を増加し， 経過時間は，音響光学素子９６が反射されたレーザ放射をシードレーザ６７から離すように回折することを可能にすべく十分に長く， 音響光学素子９６は，レーザパルスがシードレーザ６７から放出される場合は透明であり，燃料小滴から反射されたレーザ放射がシードレーザ６７に入射する前に不透明となるようにトリガされ，反射されたレーザ放射がシードレーザ６７を損傷することを阻止できるレーザデバイス６５。」（以下「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。 ４．本件補正についての特許法第１７条の２第４項の判断 上記１の補正後の請求項１に係る発明(以下「補正後発明」という。)と上記２の特許をすることができないものか否かの判断が示された発明（以下「特許判断発明」という。）とを対比すると，両者間の同一の又は対応する技術的特徴は， 「ビーム経路上に光出力を生成する発振器と， 照射箇所における前記ビーム経路上の光と相互作用するためのターゲット材料と， ビーム折り返し光学構成を有する，前記ビーム経路上のビーム遅延器と，を備えるデバイス。」（以下「共通特徴」という。）であると認められる。 次に，上記共通特徴と引用発明とを対比すると，引用発明の「ビーム経路６９」，「シードレーザ６７」，「燃料物質の小滴９３」，「遅延線路９５」及び「レーザデバイス６５」がそれぞれ，上記共通特徴の「ビーム経路」，「光出力を生成する発振器」，「ターゲット材料」，「ビーム遅延器」及び「デバイス」に相当する。 ここで，引用例においては，「遅延線路９５」が「ビーム折り返し光学構成を有する」との明記はない。しかしながら，引用例の「遅延線路９５」は，引用例の【００５０】に「遅延線路は１０ｍ，２０ｍ，３０ｍ，４０ｍ，又は５０ｍ以上の長さを有してよい。」と記載されるような長さを有するものであるところ，装置サイズが長大なものとならないように，当然に「ビーム折り返し光学構成を有する」ものと認められる。 または，長い遅延線路を形成する際に，ビーム折り返し光学構成を有する遅延線路を用いることは，周知慣用の技術事項である。 してみると，上記共通特徴は，引用発明が当然に備えている構成か，または，引用発明に周知慣用の技術事項を付加したものであり，特許法施行規則第２５条第２項に規定する「発明の先行技術に対する貢献を明示する技術的特徴」に該当しないから，「特別な技術的特徴」であるとはいえない。また，特許判断発明と，補正後発明との間に，他に同一の又は対応する特別な技術的特徴は存在しない。 ５．小括 したがって，本件補正前に受けた拒絶理由通知において特許をすることができないものか否かについての判断が示された全ての発明（特許判断発明）と，審判請求時に補正された請求項１～７に係る発明（補正後発明及び補正後発明の全ての構成を含む請求項２～７に係る発明）とは，発明の単一性の要件を満たす一群の発明に該当するものではない。 よって，本件補正は，特許法第１７条の２第４項の規定に違反するものであるから，同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 第３　本願発明について １．本願発明 本件補正は，上記のとおり却下されたので，本願の請求項に係る発明は，平成２７年１１月１９日に補正された特許請求の範囲の請求項１ないし１５に記載される事項によって特定されるものであるところ，その請求項１及び請求項９に係る発明（以下，それぞれ，「本願発明１」及び「本願発明９」という。）は，それぞれ，次のとおりである。 「【請求項１】 ビーム経路上に光出力を生成する発振器と， 照射箇所における前記ビーム経路上の光と相互作用するためのターゲット材料と， ビーム折り返し光学構成を有する，前記ビーム経路上のビーム遅延器と， 前記ビーム経路に沿って位置決めされ，前記発振器と前記ビーム遅延器との間に挿入されるスイッチと，を備えるデバイスであって， 前記スイッチは，前記ビーム経路上の光のうちの少なくとも一部を前記ビーム経路から経路変更するように閉鎖可能であり，前記スイッチは，前記スイッチが，光が前記スイッチを通って前記ビーム経路に沿って流れることを可能にする開放状態から，前記開放状態のときに前記スイッチを通って流れたであろう光の少なくとも一部を前記ビーム経路から偏向又は拡散させる閉鎖状態に変わるのに要する閉鎖時間ｔ１を有し，前記ビーム経路は，前記スイッチから前記照射箇所までの経路に沿って長さＬ１を有し，ｃが前記経路上の光の速度である場合，ｔ１＜Ｌ１／ｃであり，前記発振器を保護するようになっているデバイス。」 「【請求項９】 ビーム経路上に光出力を生成し，出力カプラを有する発振器と， 前記ビーム経路上に位置決めされた増幅器と， 前記ビーム経路上の照射箇所においてビームくびれ部直径Ｄを有する集束光との相互作用のために速度ｖで移動し，前記くびれ部においてＴ＝Ｄ／２ｖである予備シード相互作用時間Ｔを有するターゲット材料小滴と， ビーム折り返し光学構成を有する，前記ビーム経路上のビーム遅延器と，を備えるデバイスであって， 前記ビーム経路は，前記出力カプラから前記照射箇所までの前記経路に沿って長さｌを有し，ｃが前記経路上の光の速度である場合，２ｌ／ｃ＞Ｔであり，前記出力カプラと前記小滴との間の振動を低減するようになっているデバイス。」 ２．特許法３７条についての判断 本願発明１と本願発明９との同一の又は対応する技術的特徴は， 「ビーム経路上に光出力を生成する発振器と， 照射箇所における前記ビーム経路上の光と相互作用するためのターゲット材料と， ビーム折り返し光学構成を有する，前記ビーム経路上のビーム遅延器と，を備えるデバイス。」と認められるところ，当該技術的特徴は，前記第２　［理由］「４．本件補正についての特許法第１７条の２第４項の判断」に記載した共通特徴と同じものであるから，同項目に記載した理由と同様の理由により，特許法施行規則第２５条の８第２項に規定する「発明の先行技術に対する貢献を明示する技術的特徴」に該当しない。よって，本願発明１と本願発明９とが，同一の又は対応する「特別な技術的特徴」を有しているとはいえない。 したがって，本願は，特許法第３７条に規定する要件を満たしていない。 ３．本願発明１の特許性についての判断 （１）引用発明 引用発明は，前記第２　［理由］３．（２）に記載されたとおりのものである。 （２）対比・判断 本願発明１と引用発明を対比する。 ア　引用発明の「ビーム経路６９」，「シードレーザ６７」，「プラズマ発生部位９０」，「燃料物質の小滴９３」，「遅延線路９５」，「音響光学素子９６」及び「レーザデバイス６５」は，それぞれ，本願発明１の「ビーム経路」，「発振器」，「照射箇所」，「ターゲット材料」，「ビーム遅延器」，「スイッチ」及び「デバイス」に相当する。 したがって，両者は， 「ビーム経路上に光出力を生成する発振器と， 照射箇所における前記ビーム経路上の光と相互作用するためのターゲット材料と， 前記ビーム経路上のビーム遅延器と， 前記ビーム経路に沿って位置決めされ，前記発振器と前記ビーム遅延器との間に挿入されるスイッチと，を備えるデバイス」の点で一致する。 イ　一方，両者は，以下の各点で相違する。 《相違点１》 本願発明１においては，「ビーム遅延器」が「ビーム折り返し光学構成を有する」のに対して，引用発明においては，「遅延線路９５」が「ビーム折り返し光学構成」に対応する構成を備えることが明らかでない点。 《相違点２》 本願発明１は「前記スイッチは，前記ビーム経路上の光のうちの少なくとも一部を前記ビーム経路から経路変更するように閉鎖可能であり，前記スイッチは，前記スイッチが，光が前記スイッチを通って前記ビーム経路に沿って流れることを可能にする開放状態から，前記開放状態のときに前記スイッチを通って流れたであろう光の少なくとも一部を前記ビーム経路から偏向又は拡散させる閉鎖状態に変わるのに要する閉鎖時間ｔ１を有し，前記ビーム経路は，前記スイッチから前記照射箇所までの経路に沿って長さＬ１を有し，ｃが前記経路上の光の速度である場合，ｔ１＜Ｌ１／ｃであり，前記発振器を保護するようになっている」との構成を備えるのに対して，引用発明はそのような構成を備えることが明らかでない点。 ウ　上記相違点１について検討する。 引用例の「遅延線路９５」は，引用例の【００５０】に「遅延線路は１０ｍ，２０ｍ，３０ｍ，４０ｍ，又は５０ｍ以上の長さを有してよい。」と記載されるような長さを有するものであるところ，装置サイズが長大なものとならないように，当然に「ビーム折り返し光学構成を有する」ものと認められる。または，長い遅延線路を形成する際に，ビーム折り返し光学構成を有する遅延線路を用いることは，周知慣用の技術事項である。 よって，相違点１は，引用発明が当然に備えている構成であり，仮にそうでないとしても，引用発明において相違点１に係る構成を備えることは，当業者が適宜になし得たことである。 エ　上記相違点２について検討する。 引用発明の「音響光学素子９６」は，「レーザパルスがシードレーザ６７から放出される場合は透明であり，燃料小滴から反射されたレーザ放射がシードレーザ６７に入射する前に不透明となるようにトリガされ，反射されたレーザ放射がシードレーザ６７を損傷することを阻止できる」というものであり，引用発明において，「遅延線路９５は，シードレーザ６７によるレーザ放射の発生と，燃料物質の小滴から反射されたレーザ放射のアンプ７９，８１，８３，８５及びシードレーザ６７への入射との間の経過時間を増加し」，「経過時間は，音響光学素子９６が反射されたレーザ放射をシードレーザ６７から離すように回折することを可能にすべく十分に長く」されていることからみれば，引用発明の「音響光学素子９６」は，本願発明１の「スイッチ」と同様に，「前記ビーム経路上の光のうちの少なくとも一部を前記ビーム経路から経路変更するように閉鎖可能であり，前記スイッチは，前記スイッチが，光が前記スイッチを通って前記ビーム経路に沿って流れることを可能にする開放状態から，前記開放状態のときに前記スイッチを通って流れたであろう光の少なくとも一部を前記ビーム経路から偏向又は拡散させる閉鎖状態に変わるのに要する閉鎖時間ｔ１を有し，前記ビーム経路は，前記スイッチから前記照射箇所までの経路に沿って長さＬ１を有し，ｃが前記経路上の光の速度である場合，ｔ１＜Ｌ１／ｃであり，前記発振器を保護するようになっている」ものと認められるから，相違点２は実質的なものではない。 エ　以上のとおりであって，本願発明１と引用発明に格別の相違は認められないから，本願発明１は，引用例に記載された発明である。または，本願発明１は，周知慣用の技術事項を勘案して，引用発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。 ４．むすび 上記２のとおり，本願は，特許法第３７条に規定する要件を満たしていない。 上記３のとおり，本願発明１は，特許法第２９条第１項第３号の発明に該当するから，特許を受けることができない。または，本願発明１は，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 よって，結論のとおり審決する。