2024-700752

特許第７４３０２５３号発明「検査ソケット及びその製造方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第７４３０２５３号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１－５〕について訂正することを認める。 特許第７４３０２５３号の請求項１－５に係る特許を維持する。

理 由 第１ 手続の経緯 １ 本件特許についての手続の経緯 特許第７４３０２５３（請求項の数５。以下「本件特許」という。）の出願日、優先権主張、特許権の設定登録日及び特許掲載公報の発行日は、次のとおりである。 出願日 令和３年５月１８日 優先権主張 令和２年５月２２日、韓国 令和３年１月２９日、韓国 特許権の設定登録日 令和６年２月 １日 特許掲載公報の発行日 同月 ９日 ２ 本件特許異議の申立てについての手続の経緯 令和６年 ８月 ８日 ：特許異議の申立て （特許異議申立人：福井 義治 全請求項１～５に対して） 同年１１月１３日付け：取消理由通知書 令和７年 ２月１７日 ：訂正請求書及び意見書の提出（特許権者） 同年 ３月 ７日付け：通知書（訂正請求があった旨の通知） 令和７年３月７日付けの通知書において、特許異議申立人に対して期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、特許異議申立人は応答しなかった。 なお、訂正請求書による訂正請求を以下「本件訂正請求」といい、本件訂正請求による訂正を以下「本件訂正」という。 第２ 本件訂正について １ 請求の趣旨 本件訂正に係る請求の趣旨は、本件特許の特許請求の範囲を、本件訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項１～５について訂正することを求めるものである。 ２ 本件訂正前の特許請求の範囲の記載 本件訂正前の特許請求の範囲の請求項１～５の記載（登録時における特許請求の範囲の記載）は、次のとおりである。 「【請求項１】 長さ方向に伸縮可能なプローブを支持する検査ソケットを製造する方法であって、 導電性材質のベース部材に、前記プローブを収容するプローブ孔を形成する段階； 前記ベース部材の上面から前記プローブ孔に所定深さで絶縁材を詰めてプローブ支持部材を形成する段階：及び 前記プローブ孔内のプローブ支持部材に、前記プローブの一端部を支持する第１支持孔を形成する段階を含み、 前記ベース部材は、前記プローブが前記上面に突出する周囲に所定深さに設けられた陥没部を含み、 前記ベース部材は、前記第１支持孔が形成される位置に、前記プローブの長手方向に直交する方向に向かって突出する突起を含み、該突起は、前記プローブ孔と前記陥没部との間に設けられ、前記陥没部は、前記突起の内径よりも広い面積に形成されており、 前記プローブのバレルの一端が、前記突起の位置で前記プローブ支持部材に嵌合される、 検査ソケットの製造方法。 【請求項２】 前記絶縁材を詰める段階は、 前記ベース部材の一面から所定間隔を開けて離隔するように金型カバーを配置する段階；及び 前記離隔した間隔及び前記プローブ孔に絶縁材を詰める段階を含む、請求項１に記載の検査ソケットの製造方法。 【請求項３】 前記陥没部は、前記ベース部材の一面から深さ方向に断面積が広くなる、請求項１に記載の検査ソケットの製造方法。 【請求項４】 絶縁材質のカバー部材に、前記プローブの他端部を支持する第２支持孔を形成する段階； 前記プローブ孔に前記プローブを非接触状態で挿入し、前記プローブの両端部を前記第１支持孔及び前記第２支持孔にそれぞれ支持する段階；及び 前記カバー部材を前記ベース部材の下面に結合させる段階をさらに含む、請求項１に記載の検査ソケットの製造方法。 【請求項５】 前記ベース部材と前記カバー部材との間にギャッププレートを介在させる段階をさらに含む、請求項４に記載の検査ソケットの製造方法。」 ３ 本件訂正後の特許請求の範囲の記載 本件訂正後の特許請求の範囲の請求項１～５の記載は、次のとおりである。下線は訂正箇所である。 「【請求項１】 長さ方向に伸縮可能なプローブを支持する検査ソケットを製造する方法であって、 導電性材質のベース部材に、前記プローブを収容するプローブ孔を形成する段階； 前記ベース部材の上面から前記プローブ孔に所定深さで絶縁材を詰めてプローブ支持部材を形成する段階：及び 前記プローブ孔内のプローブ支持部材に、前記プローブの一端部を支持する第１支持孔を形成する段階を含み、 前記ベース部材は、前記プローブが前記上面に突出する周囲に所定深さに設けられた陥没部を含み、 前記ベース部材は、前記第１支持孔が形成される位置に、前記プローブの長手方向に直交する方向に向かって突出する突起を含み、該突起は、前記陥没部の下に設けられ、上面視において、前記長手方向に直交する方向における前記陥没部の面積は、前記長手方向に直交する方向における前記突起によって取り囲まれる面積よりも広く形成されており、 前記プローブのバレルの一端が、前記突起の位置で前記プローブ支持部材に嵌合され、 前記陥没部は、２つ以上の前記プローブの一端を収容する、 検査ソケットの製造方法。 【請求項２】 前記絶縁材を詰める段階は、 前記ベース部材の一面から所定間隔を開けて離隔するように金型カバーを配置する段階；及び 前記離隔した間隔及び前記プローブ孔に絶縁材を詰める段階を含む、請求項１に記載の検査ソケットの製造方法。 【請求項３】 前記陥没部は、前記ベース部材の一面から深さ方向に断面積が広くなる、請求項１に記載の検査ソケットの製造方法。 【請求項４】 絶縁材質のカバー部材に、前記プローブの他端部を支持する第２支持孔を形成する段階； 前記プローブ孔に前記プローブを非接触状態で挿入し、前記プローブの両端部を前記第１支持孔及び前記第２支持孔にそれぞれ支持する段階；及び 前記カバー部材を前記ベース部材の下面に結合させる段階をさらに含む、請求項１に記載の検査ソケットの製造方法。 【請求項５】 前記ベース部材と前記カバー部材との間にギャッププレートを介在させる段階をさらに含む、請求項４に記載の検査ソケットの製造方法。」 ４ 本件訂正の内容 本件訂正は、一群の請求項〔１～５〕について特許請求の範囲の記載を訂正するものであって、以下に示す訂正事項１から訂正事項３までからなる。 (１) 訂正事項１（請求項１の記載に係る訂正） 特許請求の範囲の請求項１における「前記プローブのバレルの一端が、前記突起の位置で前記プローブ支持部材に嵌合される、」との記載を、「前記プローブのバレルの一端が、前記突起の位置で前記プローブ支持部材に嵌合され、前記陥没部は、２つ以上の前記プローブの一端を収容する、」に訂正する。 （請求項１の記載を引用する請求項２～５も同様に訂正する。） (２) 訂正事項２（請求項１の記載に係る訂正） 特許請求の範囲の請求項１における「該突起は、前記プローブ孔と前記陥没部との間に設けられ」との記載を、「該突起は、前記陥没部の下に設けられ」に訂正する。 （請求項１の記載を引用する請求項２～５及も同様に訂正する。） (３) 訂正事項３（請求項１の記載に係る訂正） 特許請求の範囲の請求項１における「記陥没部は、前記突起の内径よりも広い面積に形成されており」との記載を、「上面視において、前記長手方向に直交する方向における前記陥没部の面積は、前記長手方向に直交する方向における前記突起によって取り囲まれる面積よりも広く形成されており」に訂正する。 （請求項１の記載を引用する請求項２～５及も同様に訂正する） ５ 本件訂正の適否についての当合議体の判断 (１) 訂正の目的 ア 訂正事項１ 訂正事項１に係る訂正は、訂正前の請求項１の「陥没部」と「プローブ」の配置の態様に関して、「陥没部は、２つ以上の前記プローブの一端を収容する」ものに限定するものであるから、特許法１２０条の５第２項ただし書１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当する。 イ 訂正事項２ (ア) 訂正事項２に係る訂正は、訂正前の請求項１における、「プローブ孔」が「陥没部」を含むことが前提の下記ａの記載に対して、「プローブ孔」があたかも「陥没部」を含まないかのごとき下記ｂの記載の不備を正し、「突起」と「陥没部」の位置関係について、「該突起は、前記陥没部の下に設けられ［ている］」という、ｂの記載の本来の意を明らかにするものである。 ａ 「導電性材質のベース部材に、前記プローブを収容するプローブ孔を形成する段階； （中略） 前記ベース部材は、前記プローブが前記上面に突出する周囲に所定深さに設けられた陥没部を含み、」 ｂ 「該突起は、前記プローブ孔と前記陥没部との間に設けられ」 (イ) したがって、当該訂正は、特許法１２０条の５第２項ただし書３号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」を目的とするものに該当する。 ウ 訂正事項３ (ア) 訂正事項３に係る訂正は、訂正前の請求項１の「前記陥没部は、前記突起の内径よりも広い面積に形成されており」との記載において、「突起の内径」及び「陥没部の」「面積」に関して、下記a及びｂの点で不明確であったのを、「突起の内径」を「突起によって取り囲まれる面積」とすることで下記ａの点の不備を正して、訂正前の記載の本来の意を明らかにするとともに、下記ｂの点を、それぞれ、「上面視において、前記長手方向に直交する方向における」もの、「前記長手方向に直交する方向における」ものであるとして不備を正して、訂正前の記載の本来の意を明らかにするものである。 ａ 物理量として次元が異なるから、直接比較することができない点 ｂ それぞれ、どの部分に関するものであるかが明確でない点 (イ) したがって、当該訂正は、特許法１２０条の５第２項ただし書３号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」を目的とするものに該当する。 (２) 新規事項の追加、特許請求の範囲の実質的拡張・変更 訂正事項１～３の訂正は、特許法１２０条の５第２項ただし書１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」及び３号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」を目的とするものに該当するから、これらの訂正における新規事項の追加の有無を判断する際の基準となる明細書等は、特許権の設定の登録がされた時点での願書に添付した明細書、特許請求の範囲及び図面（以下「本件特許明細書等」という。）である。 ア 訂正事項１ 「陥没部」が「２つ以上の前記プローブの一端を収容する」ことは、本件特許の願書に添付された図面（以下「本件図面」という。）の図３２、３５及び３６に図示されている。 したがって、訂正事項１の訂正は、本件特許明細書等の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものでないから、本件特許明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものであり、特許法１２０条の５第９項において準用する同法１２６条５項の規定に適合する。 また、訂正事項１の訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法１２０条の５第９項において準用する同法１２６条６項の規定に適合する。 イ 訂正事項２ 「突起」が「陥没部の下に設けられ［ている］」ことは、本件図面の図１等に図示されている。 したがって、訂正事項２の訂正は、本件特許明細書等の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものでないから、本件特許明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものであり、特許法１２０条の５第９項において準用する同法１２６条５項の規定に適合する。 また、訂正事項２の訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法１２０条の５第９項において準用する同法１２６条６項の規定に適合する。 ウ 訂正事項３ 「上面視において、前記長手方向に直交する方向における前記陥没部の面積は、前記長手方向に直交する方向における前記突起によって取り囲まれる面積よりも広く形成されて［いる］」ことは、本件図面の図３２～３６の図示内容を総合的に勘案することで把握できる構成である。 したがって、訂正事項３の訂正は、本件特許明細書等の全ての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入するものでないから、本件特許明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものであり、特許法１２０条の５第９項において準用する同法１２６条５項の規定に適合する。 また、訂正事項３の訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではなく、特許法１２０条の５第９項において準用する同法１２６条６項の規定に適合する。 (３) 独立特許要件 この特許異議の申立てにおいては、全請求項である請求項１～５について特許異議の申立てがされているから、本件訂正後における請求項１～５に記載されている事項により特定される発明について、特許法１２０条の５第９項において読み替えて準用する同法１２６条７項に規定する独立特許要件は課されない。 (４) 本件訂正の適否についての当合議体の判断のまとめ 前記(１)～(３)において検討したとおり、訂正事項１～３の訂正は、いずれも、特許法１２０条の５第２項ただし書１号又は３号に掲げる事項を目的とするものであって同項の規定に適合し、かつ、同条９項において準用する同法１２６条５項及び６項の規定に適合するから、本件訂正は適法なものである。 よって、前記結論のとおり、訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１～５〕について訂正することを認める。 第３ 本件訂正後の本件発明について 前記第２に示したとおり、本件訂正は認められたから、本件特許の請求項１～５に係る発明（以下、請求項の番号に従って「本件発明１」などという。）は、それぞれ、本件訂正請求書に添付された特許請求の範囲の請求項１～５に記載された事項により特定されるとおりのものであるところ、請求項１～５の記載は、前記第２の３に摘記したとおりである。 第４ 取消理由通知に記載した取消理由について １ 取消理由の概要 本件訂正前の請求項１～５に係る特許に対して、当審において令和６年１１月１３日付けで特許権者に通知した取消理由１～３の概要は、次のとおりである。 (１) 理由１（新規性の欠如） 請求項１、４に係る発明は、本件特許の優先日前に日本国内又は外国において発行された下記の文献に記載された発明であり、特許法２９条１項３号に該当するから、請求項１、４に係る特許は、同法２９条１項の規定に違反してされたものである。 記 甲第１号証：中国特許出願公開第１１０７２６９１８号明細書 (２) 理由２（進歩性の欠如） ア 請求項１、３～４に係る発明は、本件特許の優先日前に日本国内又は外国において発行された下記の文献に記載された発明に基づいて、本件特許出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１、３～４に係る特許は、特許法２９条２項の規定に違反してされたものである。 記 甲第１号証：中国特許出願公開第１１０７２６９１８号明細書 イ 請求項５に係る発明は、本件特許の優先日前に日本国内又は外国において発行された下記の文献に記載された発明に基づいて、本件特許出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項５に係る特許は、特許法２９条２項の規定に違反してされたものである。 記 甲第１号証：中国特許出願公開第１１０７２６９１８号明細書（主たる引用文献） 甲第２号証：米国特許出願公開第２０１５／０２３３９７３号明細書 (３) 理由３（明確性要件違反） 本件特許は、次のア～ウに示すとおり、特許請求の範囲の記載に不備があるため、請求項１に係る特許及び請求項１の記載を直接又は間接的に引用する請求項２～５に係る特許は、特許法３６条６項２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。 記 ア 明確性要件違反１ 請求項１に記載された「ベース部材に」「形成［された］」「プローブ孔」は、「ベース部材の上面から前記プローブ孔に所定深さで絶縁材を詰めてプローブ支持部材を形成する」との記載からは、絶縁材が詰められる領域も含む、ベース部材に形成された孔の全領域のことを指すと解釈するのが相当である。 しかしながら、請求項１の「突起は、前記プローブ孔と前記陥没部との間に設けられ」との記載は、突起や陥没部が設けられた領域はプローブ孔ではないとするものであって、上記解釈と矛盾している。 イ 明確性要件違反２ 請求項１の「前記陥没部は、前記突起の内径よりも広い面積に形成されており」との記載において、「突起の内径」、「突起の」「面積」が、突起のどの部分の内径、面積のことを指すかが明確でない。 ウ 明確性要件違反３ 請求項１の「前記陥没部は、前記突起の内径よりも広い面積に形成されており」との記載において、「内径」と「面積」は、物理量として次元が異なるものであって直接比較することができないから、「前記突起の内径よりも広い面積」がどのような構成を指すかが明確でない。 ２ 甲号証の記載事項及び甲１発明等の認定 (１) 甲第１号証の記載事項と甲１発明の認定 ア 甲第１号証に記載された事項 甲第１号証（中国特許出願公開第１１０７２６９１８号明細書）には、次の事項が記載されている。括弧内に日本語訳を示した。当該日本語訳は、特許異議申立人が提出したものに基づいて当合議体が作成した（以下同様である。）。なお、下線は当合議体が付したものである（以下同様である。）。 (ア) ［0001］ 「 ［図：0001425746000001.jpg］ 」 （技術分野 [0001]本発明は、チップ検査ソケットの分野に関し、具体的にはインピーダンス整合構造を有する半導体チップ検査用同軸ソケット及びその製造方法に関する。） (イ) ［0018］～［0019］ 「 ［図：0001425746000002.jpg］ 」 （[0018] 上記本発明の技術的解決手段を採用する有益な効果は以下のとおりである: [0019] 本発明は導電性金属を利用して検査ソケット本体、検査ソケットカバープレートとし、且つプローブとの間に50Ωシングルエンド又は100Ω差動のインピーダンス整合を行い、優れた信号伝送及び熱量の伝導を達成し、導電性金属検査ソケットは接地された遮蔽構造であり、チャネルとチャネルとの間のクロストークを効果的に遮蔽し、同時にテストにより発生した熱量を迅速に伝導することができる;該テストソケットは-1dB/40GHzの挿入損失及び-10dB/40GHzの反射損失に達することができ、チャネルとチャネルとの間の分離度は-40dB/20GHzより高い。） (ウ) ［0026］～［0028］、図1～図3 「 ［図：0001425746000003.jpg］ 」 （[0026］ 図1～3に示すように、本実施形態の半導体チップ検査用同軸ソケットは、インピーダンス整合構造を有し、検査ソケット位置決め用基板1と、検査ソケット本体2、検査ソケットカバー3及び検査プローブ4を含む。検査ソケット位置決め用基板1内には、チップを位置決めして配置するためのスロットが設けられている。検査ソケット位置決め用基板1、検査ソケット本体2及び検査ソケットカバー3が上から下へ順に配置されている。検査ソケット本体2及び検査ソケットカバー3内には、第1ポリマー溝と第2ポリマー溝がそれぞれ設けられている。第1ポリマー溝及び第2ポリマー溝内には、それぞれ、第1ポリマー5と第2ポリマー6が固定的に取り付けられている。第1ポリマー5及び第2ポリマー6内には、第1プローブ溝及び第2プローブ溝がそれぞれ設けられている。検査プローブ4は、第1プローブ溝及び第2プローブ溝に挿入される。検査ソケット本体2及び検査ソケットカバー3の材質は金属である。検査ソケット本体2及び検査ソケットカバー3は、固定ネジによって検査ソケット位置決め用基板1に固定される。 [0027] 第1ポリマー溝の内壁の中央部に中心に向かって突出した第1抜け止め段部 7が設けられている。第2ポリマー溝の外端部の内壁には、内側に突出する第2抜け止め段部8が設けられている。第１抜け止め段部7及び第2抜け止め段部8は、それぞれ、第1ポリマー5及び第2ポリマー6を固定し、脱落を防止する。 [0028］ 第１プローブ溝の内壁の外端には、中心に向かって突出した第3抜け止め段部9が設けられている。第2プローブ溝の内壁の外端には、中心に向かって突出した第4抜け止め段部10が設けられている。第3抜け止め段部9及び第4抜け止め段部10は、検査プローブ4の固定に使用され、プローブの脱落を防止する。） 「図1 ［図：0001425746000004.jpg］ 」 「図2 ［図：0001425746000005.jpg］ 」 「図3 ［図：0001425746000006.jpg］ 」 (エ) ［0029］～［0036］ 「 ［図：0001425746000007.jpg］ ［図：0001425746000008.jpg］ 」 （[0029］ 上述したインピーダンス整合構造の半導体チップ検査用同軸ソケットの製造方法は、以下のステップを含む： [0030] (1)検査ソケット本体2、検査ソケットカバー3に対して信号用孔及び電源用孔を加工する； [0031] (2)真空環境下で、ポリマーをローラープレスによって検査ソケット本体2、検査ソケットカバー3の信号用孔に充填する； [0032] (3)ポリマーが充填された検査ソケット本体2、検査ソケットカバー3をオーブンに入れ、120℃で30分、155℃で30分、190℃で60分焼成し、ポリマーを検査ソケット本体2及び検査ソケットカバー3上で硬化させる； [0033] (4)ポリマー硬化後の検査ソケット本体2、検査ソケットカバー3に対して表面処理を行う； [0034] (5)検査ソケット本体2、検査ソケットカバー3に信号用孔、電源用孔及び接地用孔を加工する； [0035] (6)プローブを検査ソケット本体2に挿入し、検査ソケットカバー3でカバーする； [0036] (7)検査ソケット本体2、検査ソケットカバー3を検査ソケット位置決め用基板1にネジで取り付ける。） イ 甲第１号証から読み取れる事項 甲第１号証の段落［0026］、［0030］及び図３から、次の(ア)及び(イ)の事項が読み取れる（以下「甲１認定事項１」、「甲１認定事項２」という。なお、図３に領域Ａ～Ｄを付記した図を参考図として示している。） (ア) ［甲１認定事項１］ 「検査ソケット本体2に対して加工された信号用及び電源用の穴について、検査ソケット本体2の厚さ方向において、一つの検査プローブ4が突出する端部から順に、次のＡ～Ｄの領域を備えること。 ・穴の内径が最も大きい領域Ａ ・穴の中心に向かって突出した第1抜け止め段部7の領域であって、穴の内径が領域Ａの内径から徐々に減少して、最も小さい内径となる領域を経て、領域Ｃ及びＤの内径まで増加する領域Ｂ ・穴の内径が領域Ａの内径よりも小さく、領域Ｂの最も小さい内径よりも大きい領域であって、第1ポリマー5が取り付けられた領域Ｃ ・穴の内径が領域Ｃと同じ領域であって、第1ポリマー5が取り付けられていない領域Ｄ」 (イ) ［甲１認定事項２］ 「検査ソケット本体2の長手方向の位置に関して、検査プローブの大径部の端部が第3抜け止め段部9の位置で第3抜け止め段部9に取り囲まれるようにして支持されており、第3抜け止め段部9が設けられている領域の位置が、甲１認定事項１の前記領域Ｂの位置の範囲に含まれていること。」 ＜参考図＞ ［図：0001425746000009.jpg］ ウ 甲１発明の認定 前記アにおいて摘記した事項及び前記イにおいて認定した事項から、甲第１号証には次の発明が記載されていると認められる（以下「甲１発明」という。また、甲第１号証における認定の根拠となった箇所等を括弧内に示す。）。 ＜甲１発明＞ 「 半導体チップ検査用同軸ソケットの製造方法であって、（［0026］、［0029］） 半導体チップ検査用同軸ソケットは、検査ソケット位置決め用基板1と、検査ソケット本体2、検査ソケットカバー3及び検査プローブ4を含み、（［0026］） 検査ソケット本体2及び検査ソケットカバー3内には、第1ポリマー溝と第2ポリマー溝がそれぞれ設けられており、第1ポリマー溝及び第2ポリマー溝内には、それぞれ、第1ポリマー5と第2ポリマー6が固定的に取り付けられており、第1ポリマー5及び第2ポリマー6内には、第1プローブ溝及び第2プローブ溝がそれぞれ設けられており、（［0026］） 検査プローブ4は、第1プローブ溝及び第2プローブ溝に挿入され、（［0026］） 検査ソケット本体2及び検査ソケットカバー3の材質は金属であり、（［0026］） 検査ソケット本体2及び検査ソケットカバー3は、固定ネジによって検査ソケット位置決め用基板1に固定され、（［0026］） 第1ポリマー溝の内壁の中央部に中心に向かって突出した第1抜け止め段部 7が設けられており、第2ポリマー溝の外端部の内壁には、内側に突出する第2抜け止め段部8が設けられており、第１抜け止め段部7及び第2抜け止め段部8は、それぞれ、第1ポリマー5及び第2ポリマー6を固定し、脱落を防止し、（［0027］） 第１プローブ溝の内壁の外端には、中心に向かって突出した第3抜け止め段部9が設けられており、第2プローブ溝の内壁の外端には、中心に向かって突出した第4抜け止め段部10が設けられており、第3抜け止め段部9及び第4抜け止め段部10は、検査プローブ4の固定に使用され、プローブの脱落を防止するものであって、（［0028］） (1)検査ソケット本体2、検査ソケットカバー3に対して信号用孔及び電源用孔を加工するステップ、（[0030]） (2)真空環境下で、ポリマーをローラープレスによって検査ソケット本体2、検査ソケットカバー3の信号用孔に充填するステップ、（[0031]） (3)ポリマーが充填された検査ソケット本体2、検査ソケットカバー3をオーブンに入れ、120℃で30分、155℃で30分、190℃で60分焼成し、ポリマーを検査ソケット本体2及び検査ソケットカバー3上で硬化させるステップ、（[0032]） (4)ポリマー硬化後の検査ソケット本体2、検査ソケットカバー3に対して表面処理を行うステップ、（[0033]） (5)検査ソケット本体2、検査ソケットカバー3に信号用孔、電源用孔及び接地用孔を加工するステップ、（[0034]） (6)プローブを検査ソケット本体2に挿入し、検査ソケットカバー3でカバーするステップ、（[0035]） (7)検査ソケット本体2、検査ソケットカバー3を検査ソケット位置決め用基板1にネジで取り付けるステップ、（[0036]） を含み、 検査ソケット本体2に対して加工された信号用及び電源用の穴について、検査ソケット本体2の長手方向において、一つの検査プローブ4が突出する端部から順に、次のＡ～Ｄの領域を備え、 ・穴の内径が最も大きい領域Ａ ・穴の中心に向かって突出した第1抜け止め段部7の領域であって、穴の内径が領域Ａの内径から徐々に減少して、最も小さい内径となる領域を経て、領域Ｃ及びＤの内径まで増加する領域Ｂ ・穴の内径が領域Ａの内径よりも小さく、領域Ｂの最も小さい内径よりも大きい領域であって、第1ポリマー5が取り付けられた領域Ｃ ・穴の内径が領域Ｃと同じ領域であって、第1ポリマー5が取り付けられていない領域Ｄ、（甲１認定事項１） 検査ソケット本体2の長手方向の位置に関して、検査プローブの大径部の端部が第3抜け止め段部9の位置で第3抜け止め段部9に取り囲まれるようにして支持されており、第3抜け止め段部9が設けられている領域の位置が、前記領域Ｂの位置の範囲に含まれている、（甲１認定事項２） 製造方法。」 (２) 甲第２号証の記載事項と甲２技術の認定 ア 甲第２号証に記載された事項 甲第２号証（米国特許出願公開第２０１５／０２３３９７３号明細書）には、以下の事項が記載されている。 (ア) ［0001］ 「FIELD OF THE INVENTION [0001] The present invention relates to the field of testing electrical contacts in electrical and electronic devices, in particular to a method of manufacturing of the test socket body of an impedance-matched test socket used, e.g., in operations of final high speed testing (FHST). More specifically, the invention provides a method for manufacturing the test socket body of an FHST socket that eliminates crosstalk, creates impedance- controlled signals of different values on the same socket, and at the same time makes it possible to manufacture the mentioned sockets less expensively than by traditional CNC ( computer numerical control) machining by using printed circuit board technology.」 （技術分野 [0001] 本発明は、電気及び電子機器の電気接点検査の分野に関し、特に、例えば最終高速検査（FHST）の操作において使用されるインピーダンス整合検査ソケットの検査ソケット本体の製造方法に関する。より具体的には、本発明は、クロストークを排除し、上記ソケット上に異なる値のインピーダンス制御信号を作成し、同時に、プリント回路基板技術を使用することにより、従来のCNC（コンピュータ数値制御）機械加工によるよりも安価に前記ソケットを製造することを可能にする、FHSTソケットの検査ソケット本体の製造方法を提供する。） (イ) ［0029］～［0032］、図1～図2 「[0029] Since the method of the invention relates to manufacturing of a test socket body of an impedance-matched test socket having a specific structure shown in FIGS.1 and 2, it will be advantageous first to consider the structure of the test socket body itself. [0030] A test socket for the manufacture of which the method of the invention is intended is shown in FIG.1, which is an exploded perspective view of the test socket. It can be seen that the test socket, which in general is designated by reference numeral 20, comprises a test socket body 22, which, is described below with reference to FIG.2, and comprises a metallic probe holder 30 sandwiched between two laminated probe retainers, i.e., the upper probe retainer 26 and a lower probe retainer 28. FIG.2 is part of a sectional view through the test socket of the present invention in an assembled state. [0031] The test socket body 22 has a recess 22a inserted into the upper probe retainer 26 and the lower probe retainer 28. The upper probe retainer 26 comprises a double-sided laminated plate made from a dielectric material 26a coated on both sides with thin metal layers 27a and 27b and provided with through holes, only three of which are shown, i.e., holes 32a, 32b, and 32n. Similarly, the lower probe retainer 28 comprises a double- sided laminated plate made from a dielectric material core 28a coated on both sides with thin metal layers 29a and 29b and provided with through holes, only three of which are shown, i.e., 34a, 34b, and 34n. [0032] The probe holder 30 is made from a conductive material, e.g., copper, aluminum, brass, etc. The probe holder 30 also has arrays of holes, only three of which, i.e., holes 30a, 30b, and 30n, are shown. The holes 30a, 30b, and 30n are aligned with the holes 32a, 32b, . . . 32n and 34a, 34b, . . . 34n of the upper and lower probe retainers 26a and 28a, respectively, and have the same diameters, except for the holes 30b, which are intended for insertion of the grounding pogo pins that must have electrical contact with the metal probe holder 30 of the grounding system.」（当審注：[0032]における、「holes 30a, 302b, and 30n」との記載は「holes 30a, 30b, and 30n」の誤りであることが明らかであるから、当合議体にて修正した。） （[0029] 本発明の方法は、図1及び図2に示す特定の構造を有するインピーダンス整合検査ソケットの検査ソケット本体の製造に関するものであるため、まず検査ソケット本体の構造自体を検討することが有利であろう。 [0030] 本発明の検査ソケットの製造方法が図1の分解透視図に示されている。検査ソケットは番号20で示されている。検査ソケット20は、図2を参照して後述する検査ソケット本体22を備え、検査ソケット本体22は、2つの積層プローブリテーナ、すなわち上部プローブリテーナ26と下部プローブリテーナ28の間に挟まれた金属プローブホルダ30を備えている。図2は、組み立てられた状態の本発明の検査ソケットの部分縦断面図である。 [0031]検査ソケット本体22は、上部プローブリテーナ26及び下部プローブリテーナ28に挿入される凹部22aを有する。上部プローブリテーナ26は、誘電体材料26aの両面を薄い金属層27a、27bで被覆した両面積層板からなり、貫通孔、すなわち、孔32a、孔32b、孔32nの3つのみが示されている。同様に、下部プローブリテーナ28は、誘電体材料のコア28aの両面を薄い金属層29a、29bで被覆し、貫通孔を設けた両面積層板からなり、そのうちの3つの孔34a、34b、34nのみが示されている。 [0032]プローブホルダ30は、導電性材料、例えば、銅、アルミニウム、真鍮等から作られる。プローブホルダ30はまた、孔の配列を有し、そのうちの3つ、すなわち孔30a、30b及び30nのみが示されている。孔30a、30b及び30nは、それぞれ上部および下部プローブリテーナ26a及び28aの孔32a、32b、…32n及び34a、34b、…34nと位置合わせされ、接地システムの金属プローブホルダ30と電気的に接触しなければならない接地ポゴピンを挿入するための孔30bを除いて、同じ直径を有する。） 「図１ ［図：0001425746000010.jpg］ 」 「図2 ［図：0001425746000011.jpg］ 」 イ 甲第２技術の認定 前記(１)において摘記した事項から、甲第２号証には次の事項が記載されていると認められる（以下「甲２技術」という。）。 ［甲２技術］ 「電気及び電子機器の電気接点検査、例えば最終高速検査（FHST）の操作において使用されるインピーダンス整合検査ソケットの検査ソケット本体が、上部プローブリテーナ26と下部プローブリテーナ28の間に挟まれた金属プローブホルダ30を備えること。」 ３ 当審の判断 (１) 理由１（新規性の欠如）及び理由２（進歩性の欠如）について ア 本件発明１について (ア) 本件発明１と甲１発明の対比 本件発明１と甲１発明を対比する。 ａ 「半導体チップ検査」に用いられるプローブは通常伸縮可能なものであるから、甲１発明の「検査プローブ4」が、本件発明１の「長さ方向に伸縮可能なプローブ」に相当することは明らかである。 ｂ 甲１発明の「検査ソケット位置決め用基板1と、検査ソケット本体2、検査ソケットカバー3及び検査プローブ4を含［む］」「半導体チップ検査用同軸ソケット」は、「検査プローブ4」を支持する構成であることが明らかであるから、本件発明１の「長さ方向に伸縮可能なプローブを支持する検査ソケット」に相当する。 ｃ 甲１発明の「金属であ［る］」「検査ソケット本体2」は、本件発明１の「導電性材質のベース部材」に相当するから、甲１発明の「検査ソケット本体2」「に対して信号用孔及び電源用孔を加工するステップ」は、本件発明１の「導電性材質のベース部材に、前記プローブを収容するプローブ孔を形成する段階」に相当する。 ｄ(ａ) 甲１発明において、「第1ポリマー5」は、検査プローブ4同士の短絡を避けるために、絶縁性材質であることは明らかである。 (ｂ) 甲１発明の「ポリマーをローラープレスによって検査ソケット本体2」「の信号用孔に充填するステップ」は、「ポリマー」が「第1ポリマー5」であることは明らかであるから、前記ａも踏まえると、本件発明１の「前記ベース部材の上面から前記プローブ孔に所定深さで絶縁材を詰め［る］」ことに相当し、甲１発明の「ポリマーを検査ソケット本体2」「上で硬化させるステップ」は、本件発明１の「プローブ支持部材を形成する段階」に相当する。 ｅ 甲１発明において、「検査ソケット本体2」「に取り付けられて［いる］」「第1ポリマー5」「内に」「設けられて［いる］」「第1プローブ溝」「の内壁の外端に」「中心に向かって突出した第3抜け止め段部9が設けられて」おり、「検査プローブの大径部の端部が第3抜け止め段部9の位置で第3抜け止め段部9に取り囲まれるようにして支持され［る］」から、甲１発明が本件発明１の「プローブ孔内のプローブ支持部材に、前記プローブの一端部を支持する第１支持孔を形成する」に相当する構成を備えることは明らかである。 ｆ 甲１発明の「検査ソケット本体2に対して加工された信号用及び電源用の穴について」「検査プローブ4が突出する端部」に「備え［る］」「穴の内径が最も大きい領域Ａ」は、本件発明１の「ベース部材」が「含［む］」「前記プローブが前記上面に突出する周囲に所定深さに設けられた陥没部」に相当する。 ｇ 甲１発明の「領域Ｂ」は、「穴の中心に向かって突出した第1抜け止め段部7の領域であ［る］」から、本件発明１の「プローブの長手方向に直交する方向に向かって突出する突起」に相当し、甲１発明は、「検査ソケット本体2の長手方向の位置に関して、検査プローブの大径部の端部が第3抜け止め段部9の位置で支持されており、第3抜け止め段部9が設けられている領域の位置が、前記領域Ｂの位置の範囲に含まれて」いるから、甲１発明は、本件発明１の「前記ベース部材は、前記第１支持孔が形成される位置に、前記プローブの長手方向に直交する方向に向かって突出する突起を含み」に相当する構成を備える。 ｈ(ａ) 甲１発明の「検査ソケット本体2」における「領域Ａ」及び「領域Ｂ」に対応する部分は、それぞれ、本件発明１の「陥没部」及び「突起」に相当する。 (ｂ) したがって、甲１発明において「検査ソケット本体2に対して加工された信号用及び電源用の穴について、検査ソケット本体2の長手方向において、一つの検査プローブ4が突出する端部から順に、」「Ａ～Ｄの領域を備え［る］」ことは、「検査プローブ4が突出する端部」が上部といえるから、本件発明１の「該突起は、前記陥没部の下に設けられ［ている］」ことに相当する。 ｉ 甲１発明において、「Ａ～Ｄの領域」で「領域Ａ」の「穴の内径が最も大きい」ことから、前記ｈ(ａ)も踏まえると、甲１発明は、本件発明１の「上面視において、前記長手方向に直交する方向における前記陥没部の面積は、前記長手方向に直交する方向における前記突起によって取り囲まれる面積よりも広く形成されており」に相当する構成を備えるといえる。 ｊ 甲１発明の「検査プローブの大径部」が本件発明１の「プローブのバレル」に相当することは明らかであるから、甲１発明において「検査プローブの大径部の端部が第3抜け止め段部9の位置で第3抜け止め段部9に取り囲まれるようにして支持され［る］」ことは、本件発明１の「前記プローブのバレルの一端が、前記突起の位置で前記プローブ支持部材に嵌合され［る］」ことに相当する。 ｋ 甲１発明において、「検査ソケット本体2に対して加工された信号用及び電源用の穴」の「端部」で「一つの検査プローブ4が突出する」ところ、当該「端部」は「領域Ａ」を含むから、甲１発明が備える当該構成は、本件発明１における「前記陥没部は、２つ以上の前記プローブの一端を収容する」と、「前記陥没部は、前記プローブの一端を収容する」点において共通する。 (イ) 一致点及び相違点 前記(ア)の対比分析の結果をまとめると、本件補正発明と引用発明は、次のａに示す一致点において一致し、後記ｂに示す相違点において相違すると認められる。 ａ 一致点 「長さ方向に伸縮可能なプローブを支持する検査ソケットを製造する方法であって、導電性材質のベース部材に、前記プローブを収容するプローブ孔を形成する段階；前記ベース部材の上面から前記プローブ孔に所定深さで絶縁材を詰めてプローブ支持部材を形成する段階：及び前記プローブ孔内のプローブ支持部材に、前記プローブの一端部を支持する第１支持孔を形成する段階を含み、前記ベース部材は、前記プローブが前記上面に突出する周囲に所定深さに設けられた陥没部を含み、前記ベース部材は、前記第１支持孔が形成される位置に、前記プローブの長手方向に直交する方向に向かって突出する突起を含み、該突起は、前記陥没部の下に設けられ、上面視において、前記長手方向に直交する方向における前記陥没部の面積は、前記長手方向に直交する方向における前記突起によって取り囲まれる面積よりも広く形成されており、前記プローブのバレルの一端が、前記突起の位置で前記プローブ支持部材に嵌合され、前記陥没部は、前記プローブの一端を収容する検査ソケットの製造方法」の発明である点。 ｂ 相違点 「陥没部」が「収容する」「前記プローブの一端」の数について 本件発明１においては、「２つ以上」であるのに対して、 甲１発明においては、「一つ」である点。 (ウ) 相違点についての判断 甲第１号証において、「検査ソケット本体2」における「領域Ａ」に対応する部分が収容する検査プローブ4の数を増やすことは、記載も示唆もされておらず、また、前記相違点に係る構成が周知技術であると認めるに足りる証拠は発見できていないから、甲１発明において、前記相違点に係る本件発明１の構成とすることは、当業者であっても容易に想到し得たものであるとはいえない。 また、相違点に相当する技術事項は、本件特許異議の申立てに際して提出された甲第１号証以外の全ての証拠である甲第２号証～甲第４号証を参照したとしても、そのいずれにも記載されていない。 したがって、本件発明１は、甲第２号証～甲第４号証に記載された技術事項を勘案したとしても、当業者が甲１発明及びこれらの技術事項に基づいて容易に発明をすることができたものとはいえない。 (エ) まとめ 前記(イ)において検討したとおり、本件発明１は、甲１発明と相違しており、甲１発明でないから、本件発明１に係る特許は、特許法２９条１項の規定に違反してされたものでない。 また、前記(ウ)において検討したとおり、本件特許異議の申立てに際して提出された甲第１号証以外の全ての証拠である甲第２号証～甲第４号証を参照したとしても、本件発明１は当業者が甲１発明に基づいて容易に発明をすることができたものであるとはいえないから、本件発明１に係る特許は、特許法２９条２項の規定に違反してされたものであるとはいえない。 イ 本件発明３～本件発明５について 本件発明３から本件発明５は、少なくとも前記相違点に係る本件発明１と同一の構成を備えるから、前記ア(ウ)において検討したのと同様の理由により、甲１発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでない。 (２) ３６条６項２号について ア 明確性要件違反１について 本件訂正により、請求項１において、本件訂正前の「突起は、前記プローブ孔と前記陥没部との間に設けられ」との記載が、「陥没部」との記載を用いない記載に改められたことにより、「プローブ孔」が「陥没部」を含まないことを意味する記載が存在しなくなったため、本件訂正前に存在していた矛盾が解消された。したがって、明確性要件違反１は解消している。 イ 明確性要件違反２及び３について 本件訂正により、請求項１において、本件訂正前の「突起の内径」との記載が、「突起によって取り囲まれる面積」との記載に改められたことにより、「陥没部の面積」との比較対象が、物理量として次元が同じである「面積」となった。したがって、明確性要件違反３は解消している。 また、本件訂正により、請求項１において、「陥没部の面積」と「突起によって取り囲まれる面積」との比較に関し、それぞれの面積が、「上面視において、前記長手方向に直交する方向における」もの、「前記長手方向に直交する方向における」ものであるとして、比較の対象となる面積に関する位置が明確化された。したがって、明確性要件違反２は解消している。 ウ まとめ 前記ア及びイにおいて検討したとおり、本件訂正によって明確性要件違反１～３は解消したから、本件発明１～５は明確である。 第５ むすび 以上のとおりであるから、取消理由通知で通知した取消理由及び特許異議申立書で申し立てられた特許異議申立理由によっては、本件特許の請求項１～５に係る特許を取り消すことはできない。また、他に本件特許の請求項１～５に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。