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特許拒絶査定不服審判

2024-020437

半導体装置の製造の間に窒化ケイ素を選択的に除去するためのエッチング溶液及び方法

審判番号
2024-020437
法域
特許
審判種別
拒絶査定不服審判(拒絶査定不服の審決)
出願番号
特願2021-554672
請求日
2024年12月20日
審決日
2025年07月16日
公報発行日
2025年08月29日
結論
原査定取消(特許/登録すべき)
当事者
  • 【請求人】バーサム マテリアルズ ユーエス,リミティド ライアビリティ カンパニー
  • 【請求人代理人】青木 篤
  • 【請求人代理人】三橋 真二
  • 【請求人代理人】鶴田 準一
  • 【請求人代理人】渡辺 陽一
  • 【請求人代理人】中村 和広
  • 【請求人代理人】南山 知広
  • 【請求人代理人】高橋 正俊
審判長/審判官
  • 審判長 小宮 慎司
  • 審判官 小川 将之
  • 審判官 棚田 一也
分類
P18 .121-WYF(H01L)
データ出所
審決公報(XML)

事件の表示

特願2021-554672「半導体装置の製造の間に窒化ケイ素を選択的に除去するためのエッチング溶液及び方法」拒絶査定不服審判事件〔令和 2年 9月17日国際公開、WO2020/185762、令和 4年 5月 6日国内公表、特表2022-524543、請求項の数(18)〕について、次のとおり審決する。

結論

結 論 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。

理由

理 由 本願は、2020年(令和2年)3月10日(パリ条約による優先権主張外国庁受理 2019年3月11日 米国)を国際出願日とする出願であって、その請求項1~18に係る発明は、令和6年5月13日提出の手続補正書により補正された、特許請求の範囲の請求項1~18に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。 そして、本願については、原査定の拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。 また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり審決する。

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2024-020437

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