2023-007568

特願２０１９－１７５００２「シャロートレンチアイソレーション（ＳＴＩ）の化学機械平坦化研磨（ＣＭＰ）において酸化物／窒化物選択性を高め、酸化物トレンチのディッシングを低く均一化する方法」拒絶査定不服審判事件〔令和 ２年 ４月２３日出願公開、特開２０２０－ ６５０５１、請求項の数（１９）〕について、次のとおり審決する。

結 論 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。

理 由 本願は、令和 １年 ９月２６日（パリ条約による優先権主張 ２０１８年９月２６日 米国（ＵＳ）、２０１９年９月２０日 米国（ＵＳ））の出願であって、その請求項１～１９に係る発明は、令和 ６年 ６月 ７日提出の手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１～１９に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。 そして、本願については、原査定の拒絶理由及び当審において通知した拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。 また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり審決する。