2024-012560

本願は、２０２２年（令和４年）１月３１日（優先権主張 令和３年２月１日）を国際出願日とする出願であって、令和６年２月２６日付けの拒絶理由の通知に対し、同年４月２３日に意見書が提出されるとともに手続補正がなされたが、同月２６日付けで拒絶査定がなされ、これに対して同年８月１日に審判の請求がなされると同時に手続補正がなされたものである。

その後、令和７年９月１日付けの拒絶理由の通知に対し、同年１０月２１日に意見書が提出されるとともに手続補正がなされ、さらに、同年１２月１日付けの最後の拒絶理由の通知に対し、令和８年１月１６日に意見書が提出されるとともに手続補正がなされた。

令和７年１２月１日付けの拒絶の理由で引用され、本願の優先権主張の日前の２０１７年２月８日に頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった引用文献である、中国特許出願公開第１０６３８３１２７号明細書（以下「引用文献１」という。）には、以下の記載事項がある。なお、括弧内に合議体による翻訳文を付した。また、引用発明の認定等に用いた箇所に下線を付した。

（ア）特許請求の範囲

「

［図：0001435654000001.jpg］

」

（１． ＩＴＯ透明フィルムの欠陥画像取得システムであって、前記ＩＴＯ透明フィルムは透明基板に貼り付けられ、非可視光源と、前記非可視光源から照射される非可視光を調整して照明する照明装置とを備え、前記ＩＴＯ透明フィルムは前記照明装置の照明光路中に配置され、前記ＩＴＯ透明フィルムと前記透明基板とは、前記非可視光に対する反射率および吸収率が異なり、前記欠陥画像取得システムは、前記ＩＴＯ透明フィルムの反射光路または透過光路中に配置された撮像素子をさらに備えることを特徴とする、ＩＴＯ透明フィルムの欠陥画像取得システム。

２． 前記非可視光源は赤外光源であり、前記撮像素子は前記ＩＴＯ透明膜の反射光路上に配置されていることを特徴とする、ＩＴＯ透明フィルムの欠陥画像取得システム。）

（イ）背景技術

「

［図：0001435654000002.jpg］

」

（［０００２］ ＩＴＯフィルムは、すべての透明導電膜の中で導電性と透過率が最も優れた酸化膜であり、タッチパネルの導電層において極めて重要な構成要素となっている。タッチパネルの反応速度、操作の簡便性・滑らかさ、フィードバックの正確性、堅牢性・耐久性といった利点を確保するためには、導電層のいくつかの技術指標を試験する必要がある。測定対象の技術指標の中で、透過率と抵抗値は薄膜製品の品質を評価する主要基準であり、それぞれ膜層の光学特性と電気特性を表す重要なパラメータである。抵抗値の一般的な測定方法には、通常の４点プローブ法とデュアルエレクトロメトリック４点プローブ法の２種類があり、機能テスト結果から直接薄膜の品質を評価する。抵抗率が規定値に達した場合、合格と判断される。）

（ウ）詳細な実施形態

「

［図：0001435654000003.jpg］

」

（［００２５］ 本発明の実施例は、上記の材料スペクトル特性に基づき、加工型欠陥と引渡し型欠陥の同時検出を可能な限り簡素な構造で実現する欠陥画像収集システムを設計する。研究の結果、ＩＴＯ薄膜は、可視光透過率が８５％以上、紫外線吸収率が８５％以上、赤外光反射率が７０％以上、マイクロ波減衰率が８５％以上であった。したがって、ＩＴＯ欠陥検出において、従来の可視光波長域は機能しないものの、薄膜材料の紫外線および赤外線特性が照明により実現可能な選択肢を提供する。紫外線および赤外線波長域がＩＴＯ薄膜と相互作用する際、生じるコントラストはもはや色の差異ではなく、材料特性（反射率または透過率）の差異となる。）

「

［図：0001435654000004.jpg］

」

（［００３２］ 本実施例では近赤外光照明を採用し、ＩＴＯ透明薄膜３の赤外光に対する反射率は基板の反射率よりも高いため、撮像装置４の撮像面において一定のコントラストを形成できる。すなわち、暗い背景に対して明るいパターンが浮かび上がり、これによりＩＴＯ回路パターンが識別可能となり、開路や短絡などの加工上の欠陥を検出できる。一方、赤外光は優れた透過性を有し、ガラスやプラスチックなどの透明材料を透過できる。ＩＴＯ薄膜表面にキズなどの欠陥がある場合、光透過率はキズのないＩＴＯ領域よりも高くなり、撮像装置４に反射されるキズ領域のエネルギーはキズのない領域よりも低くなる。これにより画素コントラストが形成され、明るいパターン上に暗いキズが現れるため、転移型欠陥を検出できる。本実施例では、赤外線帯域の明視野遠心照明または指向性照明レイアウトを採用することで、透明回路パターンと移行型欠陥の特徴を同時に観察できる。照明の均一性や空間的コンパクト性などの要素を総合的に考慮し、ＩＴＯ薄膜欠陥検出照明には図３に示す同軸式明視野テレセントリックレイアウトが最適である。）

令和７年１２月１日付けの拒絶の理由で引用され、本願の優先権主張の日前の平成元年５月２日に頒布された引用文献である、特開平１－１１３６４１号公報（以下「引用文献２」という。）には、図面とともに、以下の記載事項がある。なお、引用発明の認定等に用いた箇所に下線を付した。

（ア）特許請求の範囲（第１頁左下欄第４～１５行）

「 少なくとも１部に透明導電層を有する透明基材の異物、キズ等の欠点を検出する欠点検出装置において、前記透明基材の搬送手段と、この搬送手段で搬送される透明基材の透明導電層に可視光を照射する可視光源と、この可視光源で照射された透明導電層の透過光を検出する可視光検出手段と、前記搬送される透明基材の透明導電層に赤外光を照射する赤外光源と、この赤外光源で照射された透明導電層の透過光を検出する赤外光検出手段と、前記可視光検出手段及び赤外光検出手段の検出信号に基づき前記欠点を検出する欠点検出手段とを具備したことを特徴とする欠点検出装置。」

（イ）発明の技術分野（第１頁右下欄第２～５行）

「 この発明は液晶、ＥＬ板、透明タッチスイッチ等に使用される透明導電材料又はこれを加工した製品の異物、キズ等の欠点を検出する欠点検出装置に関する。」

（ウ）発明の目的（第２頁左上欄第７～１１行）

「 この発明は上述のような事情からなされたものであり、この発明の目的は透明導電層に可視光と赤外光とを照射してその透過状態を検査することで、異物、キズ等の欠点を確実に検出する欠点検出装置を提供することにある。」

（エ）問題点を解決するための手段（第２頁左上欄第１３行～右上欄第５行）

「 この発明は、少なくとも１部に透明導電層を有する透明基材の異物、キズ等の欠点を検出する欠点検出装置に関するもので、この発明の上記目的は、前記透明基材の搬送手段と、この搬送手段で搬送される透明基材の透明導電層に可視光を照射する可視光源と、この可視光源で照射された透明導電層の透過光を検出する可視光検出手段と、前記搬送される透明基材の透明導電層に赤外光な照射する赤外光源と、この赤外光源で照射された透明導電層の透過光を検出する赤外光検出手段と、－前記可視光検出手段及び赤外光検出手段の検出信号に基づき前記欠点を検出する欠点検出手段とを設けることにより達成される。」

（オ）発明の作用（第２頁右上欄第７～１４行）

「 この発明の欠点検出検出装置は搬送手段で搬送される透明導電フィルムの透明導電層の異物、キズの検出を可視光源及び赤外光源により透明導電フィルム面に可視光及び赤外光を照射し、その透過光を可視光受光器及び赤外光受光器で受光して欠点検出手段である本体で判定し、表示したりマーキングを施したりすることによって自動的に確実な欠点検出ができる。」

（カ）発明の実施例（第２頁右上欄第１６行～右下欄第１８行）

「 第１図はこの発明の欠点検出装置の原理を示している。同図において２０は光学グレードのポリエステルフィルムの表面に透明導電層（ＩＴＯ，ＳｎＯ２）が層設された透明導電フィルムを示している。上記透明導電層（ＩＴＯ，ＳｎＯ２）は第２図に示すような透過率（Ｔ）及び反射率（Ｒ）を有しており、可視波長（可視明域）で透過率が高く（８０％以上）反射率が低い。又、赤外波長（赤外領域）で透過率が低く、反射率が高く（はとんど反射する）なっている。又、透明導電フィルムのポリエステルフィルムは一般に上記波長領域で９０％以上の透過率を示している。」

［図：0001435654000005.jpg］

「 第１図において、透明導電フィルム２０の左上方には５５０ｎｍの波長の可視光ＡＫを発生する可視光源２が設けられており、Ａ方向に搬送される透明導電フィルム２０上に可視光ＡＫが照射され、その透過光ＴＡＫが透明導電フィルム２０下方に設けられたライセンサ等の可視光受光器３で受光され検出信号ＡＳ１が出力される。透明導電フィルム２０の右上方には、５０００ｎｍの波長の赤外光ＳＫを発生する赤外光源５が設けられておりＡ方向に搬送される透明導電フィルム２０上に赤外光ＳＫが照射され、その透過光ＴＳＫが透明導電フィルム２０の下方に設けられたライセンサ等の赤外光受光器６で受光され、検出信号ＴＳ１が出力される。

このような構成において、正常な透明導電フィルム２０の搬送では可視光ＡＫはほぼ透明導電フィルム２０を透過するので、検出信号ＡＳ１は第３図（Ａ）に示すような波形となっている。ここで透明導電フィルム２０の透明導電膜に異物２１があった場合、可視光ＡＫの一部が遮光されて、検出信号ＡＳ１は第３図（Ｂ）に示すようなパルスＰｌ，Ｐ２を有した波形となる。従って、このパルスＰ１、Ｐ２により異物２１を検出することができる。又、正常な透明導電フィルム２０の搬送では赤外光ＳＫは透明導電フィルム２０上でほぼ反射されてしまい透過光ＴＳＫはごくわずかであり、検出信号ＴＳ１は第４図（Ａ）に示すような波形となっている。ここで、透明導電フィルム２０の透明導電層にキズ２２があった場合、赤外光ＳＨの一部が透過光ＴＳＫとして赤外光受光器６で受光され、第４図（Ｂ）に示すようなパルスＰ１０，Ｐ１１を有した波形となる。従って、このパルスＰ１０，Ｐ１１によりキズ２２を検出することができる。」

［図：0001435654000006.jpg］

（キ）発明の実施例（第３頁左上欄第６～２０行）

「 欠点検出装置には、フィルム状の透明導電フィルム２０が巻取られたドラム１Ａが設けられており、ドラム１Ａより送出された透明導電フィルム２０がＡ方向に搬送されドラム１Ｂで巻取られるようになっている。透明導電フィルム２０上方には、可視光ＡＫ、赤外光ＳＫを発する可視光源２及び赤外光源５が設けられ、透明導電フィルム２０下方には上記光源２，５からの透過光ＴＡＫ，ＴＳＫを受光する可視光受光器３，赤外光受光器６が設けられている。ドラム１Ａの近傍にはロータリエンコーダ８が設けられ、搬送される透明導電フィルム２０の位置を検出するようになっている。ドラム１Ｂの近傍にはマーク装置９が設けられ、搬送される透明導電フィルム２０の欠点部分にマーキングを施すようになっている。・・・」

令和７年１２月１日付けの拒絶の理由で引用され、本願の優先権主張の日前の２０１７年２月８日に頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった引用文献である引用文献１の明細書には、図面とともに、以下の記載事項がある。なお、括弧内に合議体による翻訳文を付すとともに、周知技術の認定に用いた箇所に下線を付した。

（ア）技術分野

「

［図：0001435654000007.jpg］

」

（［０００１］ 本発明は光学的検出技術分野に属し、特にＩＴＯの透明フィルムの欠陥画像捕捉システムに関する。）

（イ）発明の内容

「

［図：0001435654000008.jpg］

」

（［００１２］ 本発明の目的は、透明な背景上の透明なＩＴＯ回路パターンを取得し、同時に転写型の欠陥画像を得ることができ、検出効率および精度を向上させることができるＩＴＯ透明フィルムの欠陥画像取得システムを提供することである。

［００１３］ 本発明は、透明基板に貼り付けられたＩＴＯ透明フィルムの欠陥画像取得システムであって、非可視光源と、非可視光源から照射される非可視光を照明用に調整する照明装置とを備える。ＩＴＯ透明フィルムは、照明装置の照明光路上に配置される。ＩＴＯ透明フィルムと透明基板は、非可視光に対する反射率および吸収率が互いに異なる。また、欠陥画像取得システムは、ＩＴＯ透明フィルムの反射光路または透過光路上に配置される撮像素子を備える。

［００１４］ 本発明は、非可視光を照明として用いるものであり、ＩＴＯ透明フィルムと透明基板は異なる材料から成り、非可視光に対する反射率と吸収率がそれぞれ異なり、これらの材料の光学特性の差を利用することで、共に透明なＩＴＯフィルムと基板を区別することができ、非可視光に対する反射率の差を利用して反射型撮像システムを設計することができ、また、非可視光に対する吸収率の差を利用して透過型撮像システムを設計することができる。どちらのシステムも、撮像素子が受光する光エネルギーの差に基づいて、ＩＴＯ透明フィルムの高コントラストの回路パターンを生成し、対応する加工欠陥や転写欠陥を単一画像で表示することができるため、検出精度と効率を向上させることができる。）

（ウ）詳細な実施形態

「

［図：0001435654000009.jpg］

」

（［００２６］ 上記の原理に基づき、図３に示すように、本発明のこの実施形態で提供される欠陥画像取得システムは、赤外線や紫外線などの非可視光を発することができる非可視光源１と、非可視光源１から発せられる非可視光を照明用に調整する照明装置２とを備える。照明装置２の照明光路にはＩＴＯ透明フィルム３が配置され、ＩＴＯ透明フィルム３は透明基板に貼り付けられている。ＩＴＯ透明フィルム３と透明基板は、非可視光に対する反射率および吸収率がそれぞれ異なる。つまり、ＩＴＯ透明フィルム３と基板にエッチングされた回路パターンに非可視光が照射されると、回路パターン領域で反射される光エネルギーと基板領域で反射される光エネルギーが異なる。同様に、回路パターンを透過する光エネルギーと基板を透過する光エネルギーも異なる。また、ＩＴＯ透明フィルム３の反射光または透過光路上には、ＩＴＯ透明フィルム３の画像を取得するための撮像装置４が設けられている。）

なお、図３は、次のとおりのものである。

［図：0001435654000010.jpg］

令和７年１２月１日付けの拒絶の理由で周知技術を示す文献として引用され、本願の優先権主張の日前の平成６年８月１９日に頒布された引用文献である特開平６－２２９９３３号公報（以下「引用文献３」という。）には、図面とともに、以下の記載事項がある。なお、周知技術の認定に用いた箇所に下線を付した。

（ア）産業上の利用分野

「【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば顕微鏡、欠陥検査装置又は露光装置のアライメント系で液晶基板等を観察する際に適用して好適な観察方法に関する。」

（イ）実施例

「【００１２】

【実施例】以下、本発明による観察方法の第１実施例につき図１及び図２を参照して説明する。この第１実施例では落射照明する場合を扱う。図１は本例の観察方法が適用される観察装置の光学系を示し、この図１において、点線の光線は被検物に入射する光の共役関係、実線の光線は被検物からの光の共役関係を表す。照明用の光源１としては、赤外線を含む光を発生する白熱ランプ又はハロゲンランプ等が使用されている。

【００１３】光源１から射出される光は、波長が１μｍ程度を超える赤外領域の光のみを透過させるフィルター２に入射し、フィルター２から射出された赤外線よりなる照明光は、照明用のリレーレンズ３を介してハーフミラー４に向かう。ハーフミラー４で反射された照明光は、対物レンズ５を経てガラス基板７上の所定範囲の照明領域をほぼ均一な照度で照明する。ガラス基板７上には、ＩＴＯ膜等の透明導電膜のパターン６が形成され、ガラス基板７及び透明導電膜のパターン６より液晶基板が構成されている。

【００１４】ガラス基板７及び透明導電膜のパターン６からの反射光が、対物レンズ５及びハーフミラー４を経て、２次元ＣＣＤ等の撮像素子８の撮像面上にガラス基板７及び透明導電膜のパターン６の像を結像する。本例の撮像素子８は主に赤外線に対して感度を有するものでよい。図２は、透明導電膜の一般的な反射率及び透過率の特性を示し、この図２の透過率を示す曲線Ｃ１から分かるように、透明導電膜の透過率は可視光の領域では高く、波長が１μｍ程度を超える赤外領域では小さい。一方、図２の反射率を示す曲線Ｃ２から分かるように、透明導電膜の反射率は可視光の領域では低く、波長が１μｍ程度を超える赤外領域では高い。」

［図：0001435654000011.jpg］

令和７年１２月１日付けの拒絶の理由で周知技術を示す文献として引用され、本願の優先権主張の日前の平成５年１月１４日に頒布された引用文献である特開平５－６９２８号公報（以下「引用文献４」という。）には、以下の記載事項がある。なお、周知技術の認定に用いた箇所に下線を付した。

（ア）特許請求の範囲

「【請求項１８】 同一パターンとなるように形成された２つの画像を検出し、位置合わせをして比較し、これら画像の不一致となる個所を欠陥と判定するパターン検査において、該画像の読取手段と該画像との間の距離を調整して該画像への焦点合わせを行ない、該画像に焦点が合う合焦距離からの該距離が設定距離よりも大きいとき、欠陥検出感度を変化させることを特徴とするパターン検査方法。

・・・

【請求項２０】 同一パターンとなるように形成された２つの画像を検出し、位置合わせをして比較し、これら画像の不一致となる個所を欠陥と判定するパターン検査において、該画像の読取手段と該画像との間の距離を調整して該画像への焦点合わせを行なう手段と、該画像に焦点が合う合焦距離からの該距離を検出する手段と、検出された該距離が設定距離を超えたとき、欠陥検出感度を変化させる手段とを有することを特徴とするパターン検査装置。」

（イ）産業上の利用分野

「【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、被検査パターンの欠陥の検出に係り、特に、半導体ウエハや液晶ディスプレイなどのパターンの外観検査に好適なパターン検査方法及びその装置に関する。」

（ウ）発明が解決しようとする課題

「【０００５】本発明の目的は、かかる問題を解消し、位置合せなど比較検査に必要な要素を改良して、検査の信頼性を向上させることを可能としたパターン検査方法及びその装置を提供することにある。」

（エ）課題を解決するための手段

「【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために、本発明は、同一パターンとなるように形成された２つの画像を検出し、位置合せして比較し、これらの不一致点を欠陥と判定するに際し、定められた時間毎のこれら画像の位置ずれ量を検出して位置合せを行なうが、今回の位置ずれ量と前回の位置ずれ量との差、位置ずれ量検出の際の今回のこれら画像の不一致画素数と前回の不一致画素数との差もしくは画像検出時の画像へ合焦状態のずれ量が大きいとき、あるいはパターン密度が小さい個では、今回の位置ずれ量ばかりでなく、前回の位置ずれ量、基準となる位置ずれ量などでもって多数の位置合せ点で上記位置合せを行なうか、欠陥検出感度を変化させる。」

（オ）実施例

「【００５７】既に述べたように、不一致検出回路１０により、リニアイメージセンサ５の画素数Ｍと走査数Ｎとの相乗積のエリアＭ×Ｎ内での不一致画素がわかり、Ｘ，Ｙ方向に±３画素入力パターンをシフトしたときの、各シフト量における不一致画素数がカウントされて不一致画素数が最小となるシフト量がわかる。この場合、高精度な画像検出のためには対物レンズ４の、図１において、自動焦点合せが不可欠であり、Ｚステージ（図示せず）Ｚ方向（Ｘ，Ｙ平面に垂直な方向）移動させる必要がある。Ｚステージの移動にはＸＹ面内の変位など不要な動作も含まれる可能性があるので、これを許容する必要がある。従って、Ｍ×Ｎエリア内での不一致画素数の算出時にＺステージの変位量が予め決められた設定値を越えた場合、これを画像位置合せに反映させることが望ましい。そこで、Ｍ×Ｎエリアの画像検出時にＺ方向変位量が設定値を越えた場合、位置合せをより多数の位置合せ点で行なうことにする。或いは、Ｍ×Ｎエリアの画像検出時にＺ方向変位量がこの設定値を越えた場合、定められた欠陥検出感度を変化させることにする。これにより、欠陥検出感度が低下し、正常部を欠陥とする誤検出の発生が抑圧される。

【００５８】以上のように、画像位置合せ、あるいは欠陥検出感度の設定を画像のパターンマッチング結果やパターン密度、Ｚ変位により変更させる。

【００５９】なお、上記実施例は、２値化回路９ａ，９ｂで２値化された画像のエッジパターンの欠陥検出を検出するものであったが、図１に破線で示すように、濃淡画像そのものを用いて欠陥を検出するようにしてもよい。この場合、濃淡の違いが大きい領域を欠陥とすることになる。従って、この判定しきい値を変えることによって上記に述べたように欠陥検出感度を変えてもよい。なお、２値化回路９ａの出力は不一致検出回路１０、状態記憶回路１４にのみ供給される。」

令和７年１２月１日付けの拒絶の理由で周知技術を示す文献として引用され、本願の優先権主張の日前の平成５年８月２０日に頒布された引用文献である特開平５－２０９７８４号公報（以下「引用文献５」という。）には、以下の記載事項がある。なお、周知技術の認定に用いた箇所に下線を付した。

（ア）特許請求の範囲

「【請求項１】測定対象物に対して光を照射する光照射手段と、該光照射手段によって該測定対象物に照射された光の反射光を検出する反射光検出手段とを備え、

前記反射光検出手段により検出した光の明度に基づいて前記測定対象物を測定する反射光測定装置であって、

前記反射光検出手段は、所定の軸線を中心として該軸線に対して所定の角度をもって回動自在に設ける線状の光センサにより前記反射光の空間分布を検出する光検出部と、

該光検出部により検出する反射光の明度を該線状の光センサにおける光検出位置に基づいて補正する明度補正部と、

を有することを特徴とする反射光測定装置。

【請求項２】前記光検出部は、回転軸の端部から略弧状に設けたラインセンサであり、前記明度補正部により前記測定対象物における計測点と該ラインセンサのセンサ表面との距離に基づいて該ラインセンサの各部位におけるセンサ感度を調整することを特徴とする請求項１記載の反射光測定装置。」

（イ）産業上の利用分野

「【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、反射光測定装置に係り、詳しくは、例えば、プリント配線板のパターン検査等の分野に用いて好適な、反射光を効率良く検出する反射光測定装置に関する。近年、測定対象物としてのプリント配線板等に光を照射し、照射した光の反射光を検出・測定することで、プリント配線板の表面状態を測定する反射光測定装置が数多く開発されている。」

（ウ）発明が解決しようとする課題

「【０００８】すなわち、全ての方向の反射光を検出するためには、光センサとして無数のフォトセンサを配置するか、あるいは、フォトセンサの向きをその都度変えてやる必要があり、これは、計測にかかる手間と労力とを考えると実用的ではない。したがって、従来、高精度な計測を行うことが難しかった。

［目的］そこで本発明は、高精度な計測が容易な反射光測定装置を提供することを目的としている。」

（エ）課題を解決するための手段

「【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明による反射光測定装置は上記目的達成のため、測定対象物に対して光を照射する光照射手段と、該光照射手段によって該測定対象物に照射された光の反射光を検出する反射光検出手段とを備え、前記反射光検出手段により検出した光の明度に基づいて前記測定対象物を測定する反射光測定装置であって、前記反射光検出手段は、所定の軸線を中心として該軸線に対して所定の角度をもって回動自在に設ける線状の光センサにより前記反射光の空間分布を検出する光検出部と、該光検出部により検出する反射光の明度を該線状の光センサにおける光検出位置に基づいて補正する明度補正部とを有するように構成している。

【００１０】なお、前記光検出部としては、回転軸の端部から略弧状に設けたラインセンサが考えられ、この場合、前記明度補正部により前記測定対象物における計測点と該ラインセンサのセンサ表面との距離に基づいて該ラインセンサの各部位におけるセンサ感度を調整することが有効である。また、前記光検出部として回転軸の端部に設けたラインセンサを考え、前記明度補正部として該ラインセンサのセンサ表面から延伸して設けた光ファイバ束の端部を前記測定対象物における計測点からの距離を一定とする位置に揃えて略円弧状に形成したものも有効である。」

本願の優先権主張の日前の平成２７年２月１２日に頒布された引用文献である特開２０１５－２８４５７号公報（以下「引用文献１８」という。）には、以下の記載事項がある。なお、周知技術の認定に用いた箇所に下線を付した。

（ア）技術分野

「【０００１】

本発明は欠陥検査装置および欠陥検査方法に関する。」

（イ）発明が解決しようとする課題

「【０００４】

半導体等の製造工程で用いられる欠陥検査には，微小な欠陥を検出すること，検出した欠陥の寸法を高精度に計測すること，試料を非破壊で（あるいは試料を変質させること無く）検査すること，同一の試料を検査した場合に常に一定の検査結果（検出欠陥の個数，位置，寸法，欠陥種）が得られること，一定時間内に多数の試料を検査することなどが求められる。

・・・

【０００６】

本発明の目的は、試料全面を短時間で走査し，試料に熱ダメージを与えることなく微小な欠陥を検出することができる欠陥検査方法及びその装置を提供することにある。」

（ウ）課題を解決するための手段

「【０００７】

レーザ光源からレーザ光を射出し試料上にパルス状のレーザ照明を行う照明光学系と、前記照明光学系によりレーザ照明された該試料からの反射光また散乱光を検出する検出光学系と、前記検出光学系により検出された該反射光または散乱光に基づく出力信号を処理して該試料上の欠陥を検出する信号処理系と、を備える欠陥検査装置であって、前記照明光学系は、パルス毎に照明位置を切り替える照明位置切替系を備え、前記信号処理系は、前記照明光学系によるレーザ照明により発生する該試料の表面の異なる位置に照明された複数の照明光により発生する反射光または散乱光に基づき欠陥候補を検出する欠陥候補検出部と、該欠陥候補検出部により検出された該欠陥候補のうち異なるタイミングで検出した欠陥候補を用いて、近接した欠陥候補の情報をマージして再度欠陥判定を行う欠陥判定部と、を備えることを特徴とする欠陥検査装置である。」

（エ）発明を実施するための形態

「【００８２】

また、欠陥判定部はそのピーク強度より、欠陥として判定された欠陥候補に対して、そのサイズを推定して制御部５３に転送する。欠陥の光量と欠陥サイズとの対応関係は、予め、サイズが既知の欠陥サンプル、典型的にはサイズが既知の標準粒子の散乱光量をもとに求めておき、このテーブルを欠陥判定部１０６９に持たせることで出力させる。」

本願の優先権主張の日前の平成２９年２月２３日に電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった引用文献である特開２０１７－４０４８０号公報（以下「引用文献１９」という。）には、以下の記載事項がある。なお、周知技術の認定に用いた箇所に下線を付した。

（ア）技術分野

「【０００１】

本発明は、欠陥検査装置に関する。」

（イ）発明を実施するための形態

「【００２８】

欠陥検出部１００では、所定値以上の散乱光の強度が受光部４にて取得された際に、欠陥の存在が検出される（ステップＳ１４）。詳細には、回転機構５２による基板９の回転角度、および、移動機構５３による回転機構５２の移動位置を示す信号が、欠陥検出部１００に常時入力されており、当該散乱光が発生した基板９上の位置、および、当該散乱光の強度から推定される欠陥の大きさが記憶される。欠陥検出部１００では、例えば、散乱光の強度と、欠陥の大きさとの関係を示すテーブルが予め準備されている。実際には、所定値以上の散乱光の強度が受光部４にて取得される毎に、欠陥の位置および大きさが記憶される（すなわち、欠陥が検出される。）。」

令和７年１２月１日付けの拒絶の理由で周知技術を示す文献として引用され、本願の優先権主張の日前の平成１２年９月２２日に頒布された引用文献である特開２０００－２６０８００号公報（以下「引用文献１５」という。）には、図面とともに、以下の記載事項がある。なお、周知技術の認定に用いた箇所に下線を付した。

（ア）発明の属する技術分野

「【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体装置、特にＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）、ＦＣ（Ｆｌｉｐ Ｃｈｉｐ）等の半田ボールの半田付け部分における半田付け状態の評価に好適するろう付け評価装置に関する。」

（イ）発明の実施の形態

「【０００７】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。

・・・

【０００９】図１乃至図５において、１は熱画像測定部で、熱画像測定カメラ２がカメラ固定台３に取り付けられており、また熱画像測定カメラ２に対向する位置には、上面に載置された測定対象品である半導体装置４を加熱、冷却可能とした支持台５が設けられている。さらに、支持台５の上方には、例えば載置され加熱されている半導体装置４の熱画像を熱画像測定カメラ２で撮影する際に周囲の影響が加わらないように遮光用囲い６が設けられている。」

［図：0001435654000012.jpg］

令和７年１２月１日付けの拒絶の理由で周知技術を示す文献として引用され、本願の優先権主張の日前の平成１０年７月１４日に頒布された引用文献である特開平１０－１８５８３０号公報（以下「引用文献１６」という。）には、以下の記載事項がある。なお、周知技術の認定に用いた箇所に下線を付した。

（ア）特許請求の範囲

「【請求項１】 透明シート材の被検査物を検査する装置であって、規則的パターンを配したチャート面を有する照明手段と、前記チャート面を被検査物を介して撮像する撮像手段を有し、この撮像手段により撮像された像の光電変換信号を基に被検査物の欠陥を判定する手段とを備え、前記撮像手段を前記チャート面に対向して配置し、前記被検査物の検査面を前記チャート面に対し斜めに配置したことを特徴とする透明シート検査装置。

・・・

【請求項１０】 被検査物の検査部分から撮像手段に至る光路を遮光する遮光手段を備えたことを特徴とする請求項１記載の透明シート検査装置。」

（イ）発明の属する技術分野

「【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、透明シート材の検査に関し、特に透明フィルム，透明ガラス板等の透明シート材を検査するのに好適な透明シート検査装置に関するものである。なお、半透明のものも同様に検査できるので、本発明に関し、透明は半透明を含むものとする。」

（ウ）実施例

「【００２３】なお、本実施例では不図示であるが、被検査物２の検査部分からセンサ列４ｂに至る光路を遮光カバーで包んでいる。即ち、撮像レンズ３及びラインセンサ４と被検査物２上の検査部分及びその周辺を内面が反射防止された遮光板によって被検査物２の通り口を除いて囲い、外光を遮光している。これにより被検査物２の検査部分への外光照射によるノイズ及び撮像レンズ３への外光入射によるフレア等、外光による撮像への影響を無くしている。

・・・

【００４０】また、本実施例においては、外光の遮光カバーを設けているので、多線チャートの撮像に際して外光による影響を排除しており、ノイズのない多線チャート像を撮像して測定の精度を上げている。なお、多線チャート１ａを構成する２つのスリット状の開口の幅は異なっていてもよい、多線チャートは２つの開口の繰り返しで構成されておればよいからである。さらに、本実施例では２値化したパルス信号のＨｉｇｈレベルの時間及び周期によって異常を検出したが、Ｌｏｗレベルの時間及び周期によって異常を検出することも可能である。」

令和７年１２月１日付けの拒絶の理由で周知技術を示す文献として引用され、本願の優先権主張の日前の平成１６年１月２２日に頒布された引用文献である特開２００４－２０３３６号公報（以下「引用文献１７」という。）には、以下の記載事項がある。なお、周知技術の認定に用いた箇所に下線を付した。

（ア）特許請求の範囲

「【請求項１】

被検査体を加熱する加熱部と、前記被検査体からの赤外線を検知する赤外線検知部とを備え、赤外線サーモグラフィーにより前記被検査体に存在する欠陥を検査可能なサーモグラフィー検査装置であって、

前記加熱部および前記赤外線検知部を備える装置本体を設け、

その装置本体を前記被検査体上で走行可能とする走行装置を設け、前記装置本体を走行駆動する駆動装置を設けると共に、前記装置本体を前記被検査体上で検査可能な検査姿勢に保持する姿勢保持機構を設け、

前記装置本体と前記被検査体との間を遮光する遮光部を設けてあるサーモグラフィー検査装置。」

（イ）発明の属する技術分野

「【０００１】

【発明の属する技術分野】

本発明は、サーモグラフィー検査装置に関し、さらに詳しくは、被検査体を加熱する加熱部と、前記被検査体からの赤外線を検知する赤外線検知部とを備え、赤外線サーモグラフィーにより前記被検査体に存在する欠陥を検査可能なサーモグラフィー検査装置に関する。」

（ウ）発明が解決しようとする課題

「【０００５】

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであって、その目的は、安定して精度よく、効率的に欠陥の検査を行うことができるサーモグラフィー検査装置を提供するところにある。」

（エ）課題を解決するための手段

「【０００６】

【課題を解決するための手段】

請求項１記載の発明の特徴構成は、被検査体を加熱する加熱部と、前記被検査体からの赤外線を検知する赤外線検知部とを備え、赤外線サーモグラフィーにより前記被検査体に存在する欠陥を検査可能なサーモグラフィー検査装置であって、

前記加熱部および前記赤外線検知部を備える装置本体を設け、

その装置本体を前記被検査体上で走行可能とする走行装置を設け、前記装置本体を走行駆動する駆動装置を設けると共に、前記装置本体を前記被検査体上で検査可能な検査姿勢に保持する姿勢保持機構を設け、

前記装置本体と前記被検査体との間を遮光する遮光部を設けてあるところにある。」