2024-001041

特願２０２０－５６７６３９「液滴吐出器」拒絶査定不服審判事件〔令和 １年 ９月 ６日国際公開、ＷＯ２０１９／１６６４５２、令和 ３年 ６月１７日国内公表、特表２０２１－５１４８８０〕について、次のとおり審決する。

結 論 本件審判の請求は、成り立たない。

理 由 第１ 手続の経緯 本願は、２０１９年（令和１年）２月２６日（パリ条約に基づく優先権主張外国庁受理 ２０１８年２月２７日、英国（ＧＢ））を国際出願日とする出願であって、手続の概略は以下のとおりである。 令和５年 １月１３日付け：拒絶理由通知書 同年 ４月２１日 ：意見書、手続補正書の提出 同年 ５月２５日付け：拒絶理由（最後の拒絶理由）通知書 同年 ９月 ４日 ：意見書の提出 同月２０日付け：拒絶査定（以下「原査定」という。） 同月２６日 ：原査定の謄本の送達 令和６年 １月２２日 ：審判請求書、手続補正書の提出 第２ 令和６年１月２２日にされた手続補正についての補正の却下の決定 ［補正の却下の決定の結論］ 令和６年１月２２日にされた手続補正を却下する。 ［理由］ １ 補正の内容 令和６年１月２２日付け手続補正書による補正（以下「本件補正」という。）は、特許請求の範囲について、下記（１）に示す本件補正前の（すなわち、令和５年４月２１日に提出された手続補正書により補正された）特許請求の範囲を、下記（２）に示す本件補正後の特許請求の範囲へと補正することを含むものである。 （１）本件補正前の特許請求の範囲 「 【請求項１】 プリントヘッド用の液滴吐出器であって、取付面及び反対側のノズル面を有する基板と、前記基板の前記ノズル面の少なくとも一部の上に形成されたノズル形成層と、少なくとも一部は前記基板により且つ少なくとも一部は前記ノズル形成層により画定された流体チャンバであって、少なくとも一部は前記ノズル形成層のノズル部分によって画定された流体チャンバ出口を有し、前記ノズル部分が、前記流体チャンバ出口の方に近接して位置する内側部分と、前記ノズル部分の周縁部の方に近接して位置する外側部分とを備える、流体チャンバと、前記ノズル形成層の前記ノズル部分の前記内側部分に形成された内側アクチュエータ機構、及び前記ノズル形成層の前記ノズル部分の前記外側部分に形成された外側アクチュエータ機構のうちのいずれか又は両方とを備え、前記内側アクチュエータ機構及び／又は前記外側アクチュエータ機構並びに前記ノズル形成層のノズル部分の少なくとも１つは、起動時に前記ノズル部分の前記内側部分が第１向きに湾曲し、前記ノズル部分の前記外側部分が前記第１向きとは反対の第２向きに湾曲するように構成され、前記内側アクチュエータ機構は１つ又は複数の内側圧電アクチュエータを備え、前記１つ又は複数の内側圧電アクチュエータのうちの少なくとも１つが、内側の駆動電極の対の間に設けられた内側圧電体を備え、前記外側アクチュエータ機構は１つ又は複数の外側圧電アクチュエータを備え、前記１つ又は複数の外側圧電アクチュエータのうちの少なくとも１つが、外側の駆動電極の対の間に設けられた外側圧電体を備え、１つ若しくは複数の前記内側圧電体及び／又は１つ若しくは複数の前記外側圧電体が、４５０℃未満の温度で処理可能な１種又は複数種の圧電材料を含み、前記液滴吐出器が前記基板と一体化された少なくとも１つの電子部品を備える、液滴吐出器。 【請求項２】 １種又は複数種の前記圧電材料が、窒化スカンジウムアルミニウム（ＳｃＡｌＮ）を含む、請求項１に記載の液滴吐出器。 【請求項３】 前記少なくとも１つの電子部品が、少なくとも１つの相補型金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）電子部品を含む、請求項１又は２に記載の液滴吐出器。 【請求項４】 前記ノズル形成層の前記ノズル部分の前記外側部分は、前記ノズル形成層の前記ノズル部分の前記内側部分を少なくとも部分的に包囲している、請求項１～３のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項５】 前記内側アクチュエータ機構を備え、 前記内側アクチュエータ機構は、前記流体チャンバ出口を少なくとも部分的に包囲している、請求項１～４のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項６】 前記内側アクチュエータ機構が実質的に環状である及び／又は前記外側アクチュエータ機構が実質的に環状である、前記請求項１～５のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項７】 前記内側アクチュエータ機構を備え、 前記内側アクチュエータ機構が、実質的に環状である単一の内側圧電アクチュエータからなる、前記請求項１～６のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項８】 前記外側アクチュエータ機構を備え、 前記外側アクチュエータ機構が、実質的に環状である単一の外側圧電アクチュエータからなる、前記請求項１～７のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項９】 前記単一の外側圧電アクチュエータが、前記単一の内側圧電アクチュエータを包囲している、請求項７に従属する請求項８に記載の液滴吐出器。 【請求項１０】 前記内側アクチュエータ機構及び前記外側アクチュエータ機構を備え、 前記内側の駆動電極の対及び前記外側の駆動電極の対の両方が、駆動回路に電気的に接続され、前記駆動回路が、使用時に電源に接続されると、前記内側の電極の対の間に第１電位差を印加して第１方向における前記内側圧電体のたわみをもたらし、前記外側の電極の対の間に第２電位差を印加して前記第１方向とは反対の第２方向における前記外側圧電体のたわみをもたらすように構成されている、請求項１～９のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項１１】 １つ若しくは複数の前記内側圧電体及び／又は１つ若しくは複数の前記外側圧電体が、４５０℃未満の温度で堆積可能な１種又は複数種の圧電材料を含む、請求項１～１０のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項１２】 前記１種又は複数種の圧電材料が、ＰＶＤ堆積した圧電材料である、請求項１～１１のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項１３】 前記１種又は複数種の圧電材料が、窒化アルミニウム及び／又は酸化亜鉛を含む、請求項１～１２のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項１４】 窒化アルミニウムが、以下の元素：スカンジウム、イットリウム、チタン、マグネシウム、ハフニウム、ジルコニウム、スズ、クロム、ホウ素のうちの１種又は複数種をさらに含む、請求項１３に記載の液滴吐出器。 【請求項１５】 前記１種又は複数種の圧電材料が、アルミニウム及び窒素、並びに任意選択的に、スカンジウム、イットリウム、チタン、マグネシウム、ハフニウム、ジルコニウム、スズ、クロム、ホウ素から選択された１種又は複数種の元素を含むセラミック材料を含む、請求項１～１４のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項１６】 前記１種又は複数種の圧電材料が非強誘電性圧電材料である、請求項１～１５のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項１７】 １つ若しくは複数の前記内側圧電体及び／又は１つ若しくは複数の前記外側圧電体が、２０ｐＣ／Ｎ未満の大きさを有するｄ３１圧電定数を有する、請求項１～１６のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項１８】 前記基板の前記取付面が、前記流体チャンバと流体連通する流体入口アパーチャを備える、請求項１～１７のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項１９】 前記流体チャンバが実質的に円筒状であり、前記ノズル形成層の前記ノズル部分が実質的に環状である、請求項１～１８のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項２０】 前記内側アクチュエータ機構及び前記外側アクチュエータ機構並びに前記ノズル形成層を覆う保護層をさらに備える、請求項１～１９のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項２１】 請求項１～２０のいずれか一項に記載の複数の液滴吐出器を備えるプリントヘッド。 【請求項２２】 前記複数の液滴吐出器が共通の基板を共有する、請求項２１に記載のプリントヘッド。 【請求項２３】 請求項２１又は２２に記載の１つ又は複数のプリントヘッドを備えるプリンタ。 【請求項２４】 請求項１～１７のいずれか一項に記載の液滴吐出器を作動させる方法であって、前記内側アクチュエータ機構を作動させ且つ／又は前記外側アクチュエータ機構を作動させ、それにより、前記ノズル形成層の前記ノズル部分の少なくとも一部の変位、及び結果として前記流体チャンバから前記流体チャンバ出口を通る流体の吐出をもたらすステップを含む方法。 【請求項２５】 前記液滴吐出器が、内側アクチュエータ機構及び外側アクチュエータ機構の両方を備え、前記方法が、前記内側アクチュエータ機構及び前記外側アクチュエータ機構の両方を作動させ、それにより、前記ノズル形成層の前記ノズル部分の少なくとも一部の変位、及び結果として前記流体チャンバから前記流体チャンバ出口を通る流体の吐出をもたらすステップを含む、請求項２４に記載の方法。 【請求項２６】 前記内側アクチュエータ機構を作動させる前記ステップ及び前記外側アクチュエータ機構を作動させる前記ステップは、同時に行われる、請求項２５に記載の方法。 【請求項２７】 前記内側アクチュエータ機構を作動させるステップが、前記内側の駆動電極の対の間に第１電位差を印加して、前記内側圧電体のたわみをもたらすことを含み、前記外側アクチュエータ機構を作動させるステップが、前記外側の駆動電極の対の間に第２電位差を印加して、前記外側圧電体のたわみをもたらすことを含む、請求項１０に従属する請求項２５又は２６に記載の方法。 【請求項２８】 前記第１電位差及び前記第２電位差が、前記内側圧電体及び前記外側圧電体が反対方向にたわむように、反対の極性を有する、請求項２７に記載の方法。 【請求項２９】 前記第１電位差及び前記第２電位差が同時に印加される、請求項２７又は２８に記載の方法。」 （２）本件補正後の特許請求の範囲 下線は、補正箇所を示すために、合議体が付したものである。 「 【請求項１】 プリントヘッド用の液滴吐出器であって、 取付面及び反対側のノズル面を有する基板と、 前記基板の前記ノズル面の少なくとも一部の上に形成されたノズル形成層と、 前記基板と前記ノズル形成層との間に設けられた相互接続層と、 少なくとも一部は前記基板により且つ少なくとも一部は前記ノズル形成層により画定された流体チャンバであって、少なくとも一部は前記ノズル形成層のノズル部分によって画定された流体チャンバ出口を有し、前記ノズル部分が、前記流体チャンバ出口の方に近接して位置する内側部分と、前記ノズル部分の周縁部の方に近接して位置する外側部分とを備える、流体チャンバと、 前記ノズル形成層の前記ノズル部分の前記内側部分に形成された内側アクチュエータ機構、及び前記ノズル形成層の前記ノズル部分の前記外側部分に形成された外側アクチュエータ機構のうちのいずれか又は両方とを備え、 前記内側アクチュエータ機構及び／又は前記外側アクチュエータ機構並びに前記ノズル形成層のノズル部分の少なくとも１つは、起動時に前記ノズル部分の前記内側部分が第１向きに湾曲し、前記ノズル部分の前記外側部分が前記第１向きとは反対の第２向きに湾曲するように構成され、 前記内側アクチュエータ機構は１つ又は複数の内側圧電アクチュエータを備え、前記１つ又は複数の内側圧電アクチュエータのうちの少なくとも１つが、内側の駆動電極の対の間に設けられた内側圧電体を備え、 前記外側アクチュエータ機構は１つ又は複数の外側圧電アクチュエータを備え、前記１つ又は複数の外側圧電アクチュエータのうちの少なくとも１つが、外側の駆動電極の対の間に設けられた外側圧電体を備え、 １つ若しくは複数の前記内側圧電体及び／又は１つ若しくは複数の前記外側圧電体が、４５０℃未満の温度で処理可能な１種又は複数種の圧電材料を含み、 前記液滴吐出器が前記基板と一体化された少なくとも１つの電子部品を備え、 前記基板内に設けられた電子回路が、前記相互接続層を介して前記内側アクチュエータ機構又は前記外側アクチュエータ機構に接続される、液滴吐出器。 【請求項２】 １種又は複数種の前記圧電材料が、窒化スカンジウムアルミニウム（ＳｃＡｌＮ）を含む、請求項１に記載の液滴吐出器。 【請求項３】 前記少なくとも１つの電子部品が、少なくとも１つの相補型金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）電子部品を含む、請求項１又は２に記載の液滴吐出器。 【請求項４】 前記ノズル形成層の前記ノズル部分の前記外側部分は、前記ノズル形成層の前記ノズル部分の前記内側部分を少なくとも部分的に包囲している、請求項１～３のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項５】 前記内側アクチュエータ機構を備え、 前記内側アクチュエータ機構は、前記流体チャンバ出口を少なくとも部分的に包囲している、請求項１～４のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項６】 前記内側アクチュエータ機構が実質的に環状である及び／又は前記外側アクチュエータ機構が実質的に環状である、前記請求項１～５のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項７】 前記内側アクチュエータ機構を備え、 前記内側アクチュエータ機構が、実質的に環状である単一の内側圧電アクチュエータからなる、前記請求項１～６のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項８】 前記外側アクチュエータ機構を備え、 前記外側アクチュエータ機構が、実質的に環状である単一の外側圧電アクチュエータからなる、前記請求項１～７のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項９】 プリントヘッド用の液滴吐出器であって、 取付面及び反対側のノズル面を有する基板と、 前記基板の前記ノズル面の少なくとも一部の上に形成されたノズル形成層と、 少なくとも一部は前記基板により且つ少なくとも一部は前記ノズル形成層により画定された流体チャンバであって、少なくとも一部は前記ノズル形成層のノズル部分によって画定された流体チャンバ出口を有し、前記ノズル部分が、前記流体チャンバ出口の方に近接して位置する内側部分と、前記ノズル部分の周縁部の方に近接して位置する外側部分とを備える、流体チャンバと、 前記ノズル形成層の前記ノズル部分の前記内側部分に形成された内側アクチュエータ機構、及び前記ノズル形成層の前記ノズル部分の前記外側部分に形成された外側アクチュエータ機構のうちのいずれか又は両方とを備え、 前記内側アクチュエータ機構及び／又は前記外側アクチュエータ機構並びに前記ノズル形成層のノズル部分の少なくとも１つは、起動時に前記ノズル部分の前記内側部分が第１向きに湾曲し、前記ノズル部分の前記外側部分が前記第１向きとは反対の第２向きに湾曲するように構成され、 前記内側アクチュエータ機構は１つ又は複数の内側圧電アクチュエータを備え、前記１つ又は複数の内側圧電アクチュエータのうちの少なくとも１つが、内側の駆動電極の対の間に設けられた内側圧電体を備え、 前記外側アクチュエータ機構は１つ又は複数の外側圧電アクチュエータを備え、前記１つ又は複数の外側圧電アクチュエータのうちの少なくとも１つが、外側の駆動電極の対の間に設けられた外側圧電体を備え、 １つ若しくは複数の前記内側圧電体及び／又は１つ若しくは複数の前記外側圧電体が、４５０℃未満の温度で処理可能な１種又は複数種の圧電材料を含み、前記液滴吐出器が前記基板と一体化された少なくとも１つの電子部品を備え、 前記内側アクチュエータ機構を備え、 前記内側アクチュエータ機構が、実質的に環状である単一の内側圧電アクチュエータからなり、 前記外側アクチュエータ機構を備え、 前記外側アクチュエータ機構が、実質的に環状である単一の外側圧電アクチュエータからなり、 前記単一の外側圧電アクチュエータが、前記単一の内側圧電アクチュエータを包囲している、液滴吐出器。 【請求項１０】 プリントヘッド用の液滴吐出器であって、 取付面及び反対側のノズル面を有する基板と、 前記基板の前記ノズル面の少なくとも一部の上に形成されたノズル形成層と、 少なくとも一部は前記基板により且つ少なくとも一部は前記ノズル形成層により画定された流体チャンバであって、少なくとも一部は前記ノズル形成層のノズル部分によって画定された流体チャンバ出口を有し、前記ノズル部分が、前記流体チャンバ出口の方に近接して位置する内側部分と、前記ノズル部分の周縁部の方に近接して位置する外側部分とを備える、流体チャンバと、 前記ノズル形成層の前記ノズル部分の前記内側部分に形成された内側アクチュエータ機構、及び前記ノズル形成層の前記ノズル部分の前記外側部分に形成された外側アクチュエータ機構のうちのいずれか又は両方とを備え、 前記内側アクチュエータ機構及び／又は前記外側アクチュエータ機構並びに前記ノズル形成層のノズル部分の少なくとも１つは、起動時に前記ノズル部分の前記内側部分が第１向きに湾曲し、前記ノズル部分の前記外側部分が前記第１向きとは反対の第２向きに湾曲するように構成され、 前記内側アクチュエータ機構は１つ又は複数の内側圧電アクチュエータを備え、前記１つ又は複数の内側圧電アクチュエータのうちの少なくとも１つが、内側の駆動電極の対の間に設けられた内側圧電体を備え、 前記外側アクチュエータ機構は１つ又は複数の外側圧電アクチュエータを備え、前記１つ又は複数の外側圧電アクチュエータのうちの少なくとも１つが、外側の駆動電極の対の間に設けられた外側圧電体を備え、 １つ若しくは複数の前記内側圧電体及び／又は１つ若しくは複数の前記外側圧電体が、４５０℃未満の温度で処理可能な１種又は複数種の圧電材料を含み、 前記液滴吐出器が前記基板と一体化された少なくとも１つの電子部品を備え、 前記内側アクチュエータ機構及び前記外側アクチュエータ機構を備え、 前記内側の駆動電極の対及び前記外側の駆動電極の対の両方が、駆動回路に電気的に接続され、前記駆動回路が、使用時に電源に接続されると、前記内側の電極の対の間に第１電位差を印加して第１方向における前記内側圧電体のたわみをもたらし、前記外側の電極の対の間に第２電位差を印加して前記第１方向とは反対の第２方向における前記外側圧電体のたわみをもたらすように構成されている、液滴吐出器。 【請求項１１】 １つ若しくは複数の前記内側圧電体及び／又は１つ若しくは複数の前記外側圧電体が、４５０℃未満の温度で堆積可能な１種又は複数種の圧電材料を含む、請求項１～１０のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項１２】 前記１種又は複数種の圧電材料が、ＰＶＤ堆積した圧電材料である、請求項１～１１のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項１３】 前記１種又は複数種の圧電材料が、窒化アルミニウム及び／又は酸化亜鉛を含む、請求項１～１２のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項１４】 窒化アルミニウムが、以下の元素：スカンジウム、イットリウム、チタン、マグネシウム、ハフニウム、ジルコニウム、スズ、クロム、ホウ素のうちの１種又は複数種をさらに含む、請求項１３に記載の液滴吐出器。 【請求項１５】 前記１種又は複数種の圧電材料が、アルミニウム及び窒素、並びに任意選択的に、スカンジウム、イットリウム、チタン、マグネシウム、ハフニウム、ジルコニウム、スズ、クロム、ホウ素から選択された１種又は複数種の元素を含むセラミック材料を含む、請求項１～１４のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項１６】 前記１種又は複数種の圧電材料が非強誘電性圧電材料である、請求項１～１５のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項１７】 １つ若しくは複数の前記内側圧電体及び／又は１つ若しくは複数の前記外側圧電体が、２０ｐＣ／Ｎ未満の大きさを有するｄ３１圧電定数を有する、請求項１～１６のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項１８】 前記基板の前記取付面が、前記流体チャンバと流体連通する流体入口アパーチャを備える、請求項１～１７のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項１９】 前記流体チャンバが実質的に円筒状であり、前記ノズル形成層の前記ノズル部分が実質的に環状である、請求項１～１８のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項２０】 前記内側アクチュエータ機構及び前記外側アクチュエータ機構並びに前記ノズル形成層を覆う保護層をさらに備える、請求項１～１９のいずれか一項に記載の液滴吐出器。 【請求項２１】 請求項１～２０のいずれか一項に記載の複数の液滴吐出器を備えるプリントヘッド。 【請求項２２】 前記複数の液滴吐出器が共通の基板を共有する、請求項２１に記載のプリントヘッド。 【請求項２３】 請求項２１又は２２に記載の１つ又は複数のプリントヘッドを備えるプリンタ。 【請求項２４】 請求項１～１７のいずれか一項に記載の液滴吐出器を作動させる方法であって、前記内側アクチュエータ機構を作動させ且つ／又は前記外側アクチュエータ機構を作動させ、それにより、前記ノズル形成層の前記ノズル部分の少なくとも一部の変位、及び結果として前記流体チャンバから前記流体チャンバ出口を通る流体の吐出をもたらすステップを含む方法。 【請求項２５】 プリントヘッド用の液滴吐出器であって、取付面及び反対側のノズル面を有する基板と、前記基板の前記ノズル面の少なくとも一部の上に形成されたノズル形成層と、少なくとも一部は前記基板により且つ少なくとも一部は前記ノズル形成層により画定された流体チャンバであって、少なくとも一部は前記ノズル形成層のノズル部分によって画定された流体チャンバ出口を有し、前記ノズル部分が、前記流体チャンバ出口の方に近接して位置する内側部分と、前記ノズル部分の周縁部の方に近接して位置する外側部分とを備える、流体チャンバと、前記ノズル形成層の前記ノズル部分の前記内側部分に形成された内側アクチュエータ機構、及び前記ノズル形成層の前記ノズル部分の前記外側部分に形成された外側アクチュエータ機構のうちのいずれか又は両方とを備え、前記内側アクチュエータ機構及び／又は前記外側アクチュエータ機構並びに前記ノズル形成層のノズル部分の少なくとも１つは、起動時に前記ノズル部分の前記内側部分が第１向きに湾曲し、前記ノズル部分の前記外側部分が前記第１向きとは反対の第２向きに湾曲するように構成され、前記内側アクチュエータ機構は１つ又は複数の内側圧電アクチュエータを備え、前記１つ又は複数の内側圧電アクチュエータのうちの少なくとも１つが、内側の駆動電極の対の間に設けられた内側圧電体を備え、前記外側アクチュエータ機構は１つ又は複数の外側圧電アクチュエータを備え、前記１つ又は複数の外側圧電アクチュエータのうちの少なくとも１つが、外側の駆動電極の対の間に設けられた外側圧電体を備え、１つ若しくは複数の前記内側圧電体及び／又は１つ若しくは複数の前記外側圧電体が、４５０℃未満の温度で処理可能な１種又は複数種の圧電材料を含み、前記液滴吐出器が前記基板と一体化された少なくとも１つの電子部品を備える、液滴吐出器を作動させる方法であって、 前記内側アクチュエータ機構を作動させ且つ／又は前記外側アクチュエータ機構を作動させ、それにより、前記ノズル形成層の前記ノズル部分の少なくとも一部の変位、及び結果として前記流体チャンバから前記流体チャンバ出口を通る流体の吐出をもたらすステップを含み、 前記液滴吐出器が、内側アクチュエータ機構及び外側アクチュエータ機構の両方を備え、前記方法が、前記内側アクチュエータ機構及び前記外側アクチュエータ機構の両方を作動させ、それにより、前記ノズル形成層の前記ノズル部分の少なくとも一部の変位、及び結果として前記流体チャンバから前記流体チャンバ出口を通る流体の吐出をもたらすステップを含む、方法。 【請求項２６】 前記内側アクチュエータ機構を作動させる前記ステップ及び前記外側アクチュエータ機構を作動させる前記ステップは、同時に行われる、請求項２５に記載の方法。 【請求項２７】 前記内側アクチュエータ機構を作動させるステップが、前記内側の駆動電極の対の間に第１電位差を印加して、前記内側圧電体のたわみをもたらすことを含み、前記外側アクチュエータ機構を作動させるステップが、前記外側の駆動電極の対の間に第２電位差を印加して、前記外側圧電体のたわみをもたらすことを含む、請求項１０に従属する請求項２５又は２６に記載の方法。 【請求項２８】 前記第１電位差及び前記第２電位差が、前記内側圧電体及び前記外側圧電体が反対方向にたわむように、反対の極性を有する、請求項２７に記載の方法。 【請求項２９】 前記第１電位差及び前記第２電位差が同時に印加される、請求項２７又は２８に記載の方法。」 （３）補正の内容 上記（１）及び（２）によれば、本件補正は、次の補正事項を含むものである。 ア 本件補正前の請求項１に対し、「前記基板と前記ノズル形成層との間に設けられた相互接続層と」との記載とともに、「前記基板内に設けられた電子回路が、前記相互接続層を介して前記内側アクチュエータ機構又は前記外側アクチュエータ機構に接続される」との記載を追加する補正（以下「補正事項１」という。） イ 本件補正前の請求項９に対し、請求項１～６のいずれか一項を引用する請求項７に従属する請求項８を引用する形式を、本件補正前の請求項１、７、８の発明特定事項で特定した独立形式の請求項とする補正（以下「補正事項２」という。） ウ 本件補正前の請求項１０に対し、請求項１～９のいずれか一項を引用する形式を、本件補正前の請求項１の発明特定事項で特定した独立形式の請求項とする（以下「補正事項３」という。） ウ 本件補正前の請求項２５に対し、請求項１～１７のいずれか一項を引用する請求項２４を引用する形式を、本件補正前の請求項１、２４の発明特定事項で特定した独立形式の請求項とする（以下「補正事項４」という。） ２ 補正の適否 （１）本件補正後の請求項１における「電子部品」及び「電子回路」の記載について 本件補正後の請求項１には、「前記基板と一体化された少なくとも１つの電子部品」及び「前記基板内に設けられた電子回路」の記載があり、まず、この記載について検討すると、本願明細書には、次の記載がある（下線は当審が付した。以下同様。）。 「【００３３】 液滴吐出器は、基板と一体化された少なくとも１つの電子部品を備える場合がある。少なくとも１つの電子部品は、少なくとも１つの能動電子部品（たとえば、トランジスタ）を含むことができる。さらに又は別法として、少なくとも１つの電子部品は、少なくとも１つの受動電子部品（たとえば、抵抗器）を含むことができる。少なくとも１つの電子部品は、基板と一体化された少なくとも１つのＣＭＯＳ（すなわち、相補型金属酸化膜半導体）電子部品を含むことができる。」 「【０１２８】 駆動回路は、基板と一体化されたＣＭＯＳ回路（たとえば、ＣＭＯＳ電子回路）を備えることができる。ＣＭＯＳ電子部品（たとえば、ＣＭＯＳ回路の一部を形成するＣＭＯＳ電子部品、すなわちＣＭＯＳ電子回路）は、典型的には、標準的なＣＭＯＳ製造方法によって基板上に形成される（たとえば、基板上で成長する）。たとえば、集積されたＣＭＯＳ電子部品は、以下の方法：物理気相成長、化学気相成長、電気化学堆積、分子線エピタキシー、原子層堆積、イオン注入、フォトパターニング、反応性イオンエッチング、プラズマ照射のうちの１つ又は複数を用いて堆積させることができる。」 上記のとおり、電子部品の例としてＣＭＯＳ電子部品が挙げられ、また、ＣＭＯＳ回路の一部を形成するＣＭＯＳ電子部品がすなわちＣＭＯＳ電子回路と表現されていることからすれば、本願明細書における「電子部品」及び「電子回路」は、回路の一部に他ならない電子部品について、デバイスの側面から電子部品というか、働きの側面から電子回路というか、という程度の表現上の差異にすぎず、「電子部品」及び「電子回路」を別の要素として区別して用いていると解することはできない。そうすると、本件補正後の請求項１における「前記基板内に設けられた電子回路」は、その前段に記載される「前記基板と一体化された少なくとも１つの電子部品」を指すものと解される。 （２）補正の目的について ア 補正事項１について 前記（１）をふまえれば、補正事項１は、本件補正前の請求項１における発明を特定するために必要な事項である「電子部品（電子回路）」と「内側アクチュエータ機構」又は「前記外側アクチュエータ機構」について、「前記基板と前記ノズル形成層との間に設けられた」「相互接続層を介して」接続されるとの接続態様を限定するものである。 そして、本件補正前の請求項１に記載された発明と本件補正後の請求項１に記載される発明とは、産業上の利用分野及び解決しようとする課題が同一である。 そうすると、補正事項１は、特許法第１７条の２第５項第２号に規定する「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当する。 イ 補正事項２～４について 補正事項２により、本件補正後の請求項９で特定された発明特定事項を備える請求項以外の請求項を引用する請求項、例えば、請求項２を引用する請求項６を引用する請求項８を引用する請求項９が削除されるものであるから、実質的に請求項の削除を目的としたものといえる。 補正事項３、４についても同様に請求項の削除を目的としたものといえる。 そうすると、補正事項２～４は、特許法第１７条の２第５項第１号に規定する「第３６条第５項に規定する請求項の削除」を目的とするものに該当する。 （３）新規事項の追加の有無について 本願の願書に最初に添付した明細書には、次の記載がある。 「【０１７６】 相互接続層３００は、電子回路２００及び基板１００の上に直接形成され、電気絶縁体及び配線を備える。相互接続層３００における配線は、チップ電子回路２０３をボンドパッド７００とアクチュエータ電極駆動回路２０１及び２０２との両方に接続する。相互接続層３００は、ノズルの間、チップの周辺部の辺り及び／又は駆動電子装置の上にルーティングされる電力及びデータのルーティング配線を含む。相互接続層３００は、典型的には、異なる配線路を有する複数の層を備える。 【０１７７】 ノズルプレート５００は、相互接続層３００の上に形成されている。ノズルプレート５００は、単一の材料又は複数の材料の積層体のいずれかから形成されている。ノズルプレート５００は、チップの前面にわたって連続的であり、下方の相互接続層３００と上方のアクチュエータ電極４０１との間の配線のための電気的開口部を有する。」 そうすると、補正事項１は、本願の願書に最初に添付した明細書における【０１７６】～【０１７７】の記載に基づくものであり、新たな技術的事項を導入するものではないから、特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たす。 ３ 独立特許要件について 前記２．（２）のとおり、本件補正の補正事項１は、「特許請求の範囲の減縮」を目的とするから、本件補正後の請求項１～８、１１～２４に係る発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に適合するか）について、以下、検討する。 ３－１ 理由１（特許法第２９条第２項） （１）本件補正後の請求項１に係る発明 本件補正後の請求項１に係る発明（以下「本件補正発明」という。）は、本件補正後の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、本件補正後の請求項１の記載を再掲すると、次のとおりである。 「 【請求項１】 プリントヘッド用の液滴吐出器であって、 取付面及び反対側のノズル面を有する基板と、 前記基板の前記ノズル面の少なくとも一部の上に形成されたノズル形成層と、 前記基板と前記ノズル形成層との間に設けられた相互接続層と、 少なくとも一部は前記基板により且つ少なくとも一部は前記ノズル形成層により画定された流体チャンバであって、少なくとも一部は前記ノズル形成層のノズル部分によって画定された流体チャンバ出口を有し、前記ノズル部分が、前記流体チャンバ出口の方に近接して位置する内側部分と、前記ノズル部分の周縁部の方に近接して位置する外側部分とを備える、流体チャンバと、 前記ノズル形成層の前記ノズル部分の前記内側部分に形成された内側アクチュエータ機構、及び前記ノズル形成層の前記ノズル部分の前記外側部分に形成された外側アクチュエータ機構のうちのいずれか又は両方とを備え、 前記内側アクチュエータ機構及び／又は前記外側アクチュエータ機構並びに前記ノズル形成層のノズル部分の少なくとも１つは、起動時に前記ノズル部分の前記内側部分が第１向きに湾曲し、前記ノズル部分の前記外側部分が前記第１向きとは反対の第２向きに湾曲するように構成され、 前記内側アクチュエータ機構は１つ又は複数の内側圧電アクチュエータを備え、前記１つ又は複数の内側圧電アクチュエータのうちの少なくとも１つが、内側の駆動電極の対の間に設けられた内側圧電体を備え、 前記外側アクチュエータ機構は１つ又は複数の外側圧電アクチュエータを備え、前記１つ又は複数の外側圧電アクチュエータのうちの少なくとも１つが、外側の駆動電極の対の間に設けられた外側圧電体を備え、 １つ若しくは複数の前記内側圧電体及び／又は１つ若しくは複数の前記外側圧電体が、４５０℃未満の温度で処理可能な１種又は複数種の圧電材料を含み、 前記液滴吐出器が前記基板と一体化された少なくとも１つの電子部品を備え、 前記基板内に設けられた電子回路が、前記相互接続層を介して前記内側アクチュエータ機構又は前記外側アクチュエータ機構に接続される、液滴吐出器。」 （２）引用文献１ ア 引用文献１の記載事項 原査定で引用文献１として引用され、本願の優先権主張の日（以下「優先日」という。）前に発行された特開２０１５－５８６６６号公報（平成２７年３月３０日公開、以下「引用文献１」という。）には、次の事項が記載されている。 （ア）「【技術分野】 【０００１】 実施形態は、ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドの製造方法に関する。 【背景技術】 【０００２】 シリコン基板の表面に平面状の圧電素子を備えるノズルプレートを設ける一方、シリコン基板を裏面からウェットエッチングして加圧室（圧力発生室）を形成するインクジェットヘッドがある。 【０００３】 シリコン基板を裏面からエッチングして圧力発生室を形成するインクジェットヘッドは、エッチングの精度によって、圧力発生室の形状あるいは寸法等に大きなばらつきを生じる恐れがある。インクジェットヘッドの圧力発生室の形状あるいは寸法等のばらつきにより、ノズルプレートの可動域がばらつくと、ノズルからのインク吐出能力がばらついて、高精度の画質を得られない恐れがある。 ・・・ 【発明の概要】 【発明が解決しようとする課題】 【０００５】 この発明が解決しようとする課題は、ノズルプレートの可動域のばらつきを抑えて、安定したインク吐出能力を得ることにより、高画質を得る、信頼性の高いインクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドの製造方法を提供することである。 【課題を解決するための手段】 【０００６】 上記課題を達成するために、実施形態のインクジェットヘッドは、エッチング規制部を備えインクを充填する圧力室と、前記圧力室に連通するノズルを備え、可動域端部が前記エッチング規制部に固定されるノズルプレートと、圧電体を備え、前記ノズルプレートに配置される面状の駆動部と、を備える。」 （イ）「【００１２】 画像形成部２０は、例えばインクジェットヘッド１００Ｃ、１００Ｍ、１００Ｙ、１００Ｋを備える。インクジェットヘッド１００Ｃ、１００Ｍ、１００Ｙ、１００Ｋは、それぞれシアン、マゼンダ、イエロ、ブラックのインクを吐出して、保持ローラ１３表面に保持される記録紙Ｐに、所望の画像をプリントする。 【００１３】 剥離部２１は、除電チャージャ２１ａと剥離爪２１ｂを備える。除電チャージャ２１ａは、記録紙Ｐに電荷を供給して記録紙Ｐを除電する。剥離爪２１ｂは、記録紙Ｐを保持ローラ１３の表面から剥離する。プリントを終了していれば、剥離部２１は、保持ローラ１３から剥離した記録紙Ｐを、排紙搬送部１７により排紙トレイ１２に排紙する。両面プリントする場合は、剥離部２１は、保持ローラ１３から剥離した記録紙Ｐを、反転部１６で反転し、再び保持ローラ１３に供給する。反転部１６は、例えば記録紙Ｐの前後方向を逆にスイッチバックさせる反転経路１６ａを備え、保持ローラ１３から剥離した記録紙Ｐを反転する。クリーニング部２２は、保持ローラ１３表面をクリーニングする。 【００１４】 画像形成部２０のインクジェットヘッド１００Ｃ、１００Ｍ、１００Ｙ、１００Ｋについて述べる。インクジェットヘッド１００Ｃ、１００Ｍ、１００Ｙ、１００Ｋはそれぞれ使用するインクが異なるものの同じ構成である。したがって共通の符号を用いて説明する。 【００１５】 図２に圧電ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍ）型のインクジェットヘッド１００の一例を示す。インクジェットヘッド１００は、圧力室構造体５０、バックプレート５２、ノズルプレート３０及びインク流路構造体５４を備える。インクジェットヘッド１００は、インクタンク１０１、制御部１０２に接続する。 【００１６】 ノズルプレート３０は、圧力室構造体５０の第１の面に形成され、バックプレート５２は、圧力室構造体５０のノズルプレート３０と対向する第２の面に配置される。 【００１７】 インクジェットヘッド１００は、インクタンク１０１から供給されるインクを、インク流路構造体５４を介して、圧力室構造体５０に形成される圧力室である円形の圧力発生室５１に充填する。インクジェットヘッド１００は、圧力発生室５１に充填されるインクを、ノズルプレート３０に形成される複数のノズル３１から、インク滴としてそれぞれ吐出する。複数のノズル３１は、ノズルプレート３０に例えば二列に配列される。 【００１８】 インク流路構造体５４は、インク流入口５６、インク流路５７及びインク排出口５８を備える。インク流路構造体５４は、インク流入口５６からインク流路５７に供給されるインクを、バックプレート５２のインク孔５３から圧力発生室５１に流入する。インク流路５７内のインクはインク排出口５８からインクタンク１０１に排出する。インクジェットヘッド１００は、インクタンク１０１とインク流路５７との間でインクを循環する。 【００１９】 図３及び図４に示すように、ノズルプレート３０は、ノズル３１周囲に駆動部である面状の圧電素子４０を備える。ノズルプレート３０は、面状の圧電素子４０の動作により厚み方向に変動する。インクジェットヘッド１００は、ノズルプレート３０の変動により圧力発生室５１内に発生するエネルギ変化によって、ノズル３１からインクを吐出する。 【００２０】 圧力発生室５１は、例えばシリコン基板（Ｓｉ基板）からなる圧力室構造体５０に平面形状が円形となるように形成される。シリコン基板の厚さは、例えば１００～６００μｍ程度であれば良い。隣接する圧力発生室５１間の隔壁５５の剛性を保ち、且つ円形状の圧力発生室５１の配列密度を高めるには、シリコン基板の厚さを、１５０～２５０μｍ程度とするのがより望ましい。圧力発生室５１は、ノズルプレート３０、隔壁５５及びバックプレート５２に囲まれて構成される。 【００２１】 隔壁５５は、エッチング規制部であり、内径（直径）α１として、厚さｗとする円環状のシリコン酸化膜側壁５５ａを備える。隔壁５５は、内径（直径）α２の圧力室構造体５０のエッチング面が形成されるシリコン膜側壁５５ｂを備える。圧力発生室５１は内径α１の領域と内径α２の領域を備える。 【００２２】 ノズルプレート３０は、例えば圧力室構造体５０と一体に形成される二酸化シリコン（ＳｉＯ２）膜からなり、圧力室構造体５０の隔壁５５と一体に形成される。シリコン酸化膜側壁５５ａの上端及びシリコン膜側壁５５ｂの上端は、ノズルプレート３０の固定端となっている。ノズルプレート３０は、シリコン酸化膜側壁５５ａに規制されて、直径α１の可動域を備える。ノズルプレート３０の厚さは、例えば１～５μｍとされる。 【００２３】 二酸化シリコン（ＳｉＯ２）膜は非晶質であることにより均等な変形を実現出来るという観点から、ノズルプレート３０として望ましい。また安定した組成及び特性を備える膜の製造が容易という観点からも、ノズルプレート３０として非晶質である二酸化シリコン（ＳｉＯ２）膜を使用するのが望ましい。更に従来の半導体製造プロセスとの整合性が良いという観点からも、ノズルプレート３０として非晶質である二酸化シリコン（ＳｉＯ２）膜を使用するのが望ましい。ノズルプレート３０の材料は二酸化シリコン（ＳｉＯ２）膜に限定されない。均等な変形を実現するために、ノズルプレートとして非晶質のシリコン窒化（ＳｉＮ）膜を用いることも望ましい。 【００２４】 ノズル３１は、例えばエッチングによりノズルプレート３０に形成される。圧力発生室５１の大きさとノズル３１の大きさは、ノズル３１から吐出するインク滴の量、インク吐出スピード、インク吐出周波数に応じて最適化する。例えば、１インチ当たり３６０個のインク滴を記録する場合には、ノズル３１を、数十μｍの溝幅で精度良く形成するのが望ましい。 【００２５】 圧電素子４０は、各ノズル３１の周囲に配置され、圧電体である圧電膜４２を挟んで下部電極４１及び上部電極４３を積層する。下部電極４１の一部４１ａは延長されて外部配線１４１の一部とされる。外部配線１４１は、２つの端子部１４１ａに接続する。また、上部電極４３の一部４３ａは、下層にある圧電膜４２及び下部電極４１とともに延長されて外部配線１４３の一部とされる。外部配線１４３は、下部電極４１の２つの端子部１４１ａの間に並んで配置される複数の端子部１４３ａにそれぞれ接続する。 【００２６】 制御部１０２は、端子部１４３ａへの電圧のオン／オフを制御して、圧電素子４０に電気信号を供給する。圧電素子４０は、圧力発生室５１の周囲領域３２の上方においてノズルプレート３０に形成される。 【００２７】 ノズルプレート３０のノズル３１周囲のホール領域である直径βの円形の中央部３３には、圧電素子４０は形成されない。圧電素子４０は、ノズルプレート３０の隔壁５５の上方から、ノズル３１に向かって圧力発生室５１領域上方まで延在する円環形状である。円環形状の圧電素子４０が形成されないノズルプレート３０の中央部３３は、厚み方向に自由に変動可能となる。ノズルプレート３０の中央部３３の幅は、圧電素子４０の動作によりノズルプレート３０が変動可能な範囲であれば限定されない。 【００２８】 圧電素子４０の圧電膜４２として、チタン酸ジルコン酸鉛（（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３、ＰＺＴ）等の電歪定数の大きな圧電材料が適している。圧電膜４２にＰＺＴを使用した場合、下部電極４１或いは上部電極４３の材料として、Ｐｔ（白金）、Ａｕ（金）、Ｉｒ（イリジウム）等の貴金属、或いはＳｒＲｕＯ３（ルテニウム酸ストロンチウム）等の導電性の酸化物が適している。 【００２９】 圧電膜４２は、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）或いは二酸化亜鉛（ＺｎＯ２）等のシリコンプロセスに適した圧電材料を使用することも可能である。圧電膜４２として窒化アルミニウム或いは二酸化亜鉛等を使用する場合には、下部電極４１或いは上部電極４３として、Ａｌ（アルミニウム）或いはＣｕ（銅）等の、一般の電極材料や配線材料を使用できる。」 （ウ）「【００４１】 次に、ノズルプレート３０と対向する側の隔壁５５に、バックプレート５２を接着して圧力発生室５１を形成する（図５ｇ）。バックプレート５２は、例えば、真空雰囲気中で双方の接着部分を清浄処理後に密着して、圧力室構造体５０に加圧接着する、シリコンダイレクトボンディング法を用いても良い。あるいは有機接着剤を用いて圧力室構造体５０に接着しても良い。」 （エ）「【００４７】 図７に、下部電極４１と上部電極４３の間に３０Ｖの電圧を印加した場合の、シミュレータで計算されたノズルプレート３０の変形を模式的に示す。電圧印加により圧電膜４２は、矢印ｑで示す面方向に収縮する。圧電膜４２の収縮により、ノズルプレート３０の周囲領域３２はバイモルフ効果により凹状に変形する。ノズルプレート３０の圧電膜４２が形成されていない中央部３３は、周囲領域３２の変形に伴い面方向に対して垂直に凸状に変形する。」 （オ）「【００５４】 （第２の実施形態） 第２の実施形態のインクジェットヘッド２００を、図８乃至図１０を参照して説明する。第２の実施形態は、第１の実施形態において、圧電素子をノズルプレートの中央部に配置するものである。第２の実施形態にあって、前述の第１の実施形態で説明した構成と同一構成については同一符号を付して詳細な説明を省略する。 【００５５】 ノズルプレートの面上に配置される圧電素子によりノズルプレートを変形駆動するためには、圧電素子をノズルプレートの中央寄り或いは周囲寄りに配置することが望ましい。例えば上述の第１の実施形態は、圧電素子４０をノズルプレート３０の周囲寄りに配置して、中央部３３を圧電素子４０が形成されないホール領域とする。第２の実施形態では、圧電素子をノズルプレートの中央寄りに配置して、周囲に圧電素子が形成されない領域を設ける。 【００５６】 図８及び図９に示すように、インクジェットヘッド２００のノズルプレート３０は、ノズル３１寄りに直径γ１の面状の圧電素子６０を備える。圧電素子６０は、ノズル３１毎に、圧電体である圧電膜６２をはさんで下部電極６１及び上部電極６３が積層される。下部電極６１の端部６１ａは延長されて外部配線１４１の一部とされる。上部電極６３の端部６３ａは、下層にある圧電膜４２及び下部電極４１とともに延長されて外部配線１４３の一部とされる。 【００５７】 ノズルプレート３０の圧電素子６０の外周から隔壁５５の内径までの幅δ２の円環状の周囲部６６には、外部配線１４１、１４３との接続領域をのぞいて、圧電素子６０は形成されない。 【００５８】 圧電素子６０の直径γ１（周囲部６６の幅δ２）のサイズは、圧電素子６０による駆動時にノズルプレート３０の変形を妨げない範囲で任意である。」 （カ）「【図２】 ［図：0001420035000001.jpg］ 【図３】 ［図：0001420035000002.jpg］ 【図４】 ［図：0001420035000003.jpg］ 」 （キ）「【図７】 ［図：0001420035000004.jpg］ 【図８】 ［図：0001420035000005.jpg］ 【図９】 ［図：0001420035000006.jpg］ 」 イ また、引用文献１について、以下の事項が把握できる。 （ア）上記ア（イ）の【００１４】の「画像形成部２０のインクジェットヘッド１００Ｃ、１００Ｍ、１００Ｙ、１００Ｋについて述べる。インクジェットヘッド１００Ｃ、１００Ｍ、１００Ｙ、１００Ｋはそれぞれ使用するインクが異なるものの同じ構成である。したがって共通の符号を用いて説明する。」との記載からすれば、上記ア（イ）【００１５】以降に記載のインクジェットヘッド１００は、上記ア（イ）【００１２】の「インクジェットヘッド１００Ｃ、１００Ｍ、１００Ｙ、１００Ｋは、それぞれシアン、マゼンダ、イエロ、ブラックのインクを吐出して、保持ローラ１３表面に保持される記録紙Ｐに、所望の画像をプリントする。」との記載におけるインクジェットヘッド１００Ｃ、１００Ｍ、１００Ｙ、１００Ｋと同視できるから、「インクジェットヘッド１００」は「インクを吐出して、保持ローラ１３表面に保持される記録紙Ｐに、所望の画像をプリントする」ものと認められる。 （イ）上記ア（カ）の図３及びア（キ）の図７からは、ノズルプレートの周囲領域３２には、圧電素子４０が設けられていることが見て取れる。 （ウ）上記ア（カ）の図３及び図４からは、ノズルプレートのノズル３１の周囲に中央部３３があり、その周囲に周囲領域３２があり、圧力発生室５１が、周囲領域３２及び中央部３３を含むノズル３１の周囲で区画されることが見て取れる。 （エ）上記ア（キ）の図７からは、ノズルプレート３０の周囲領域３２及び中央部３３のいずれも湾曲して変形することが見て取れる。 （オ）上記ア（キ）の図８及び図９からは、ノズルプレートのノズル３１の周囲にγ１の領域があり、その外側にγ２で表される領域６６があり、圧力発生室５１が、γ１及びγ２で表されるノズル３１の周囲で区画されることが見て取れる。 上記ア（オ）の【００５６】～【００５８】の図８及び図９の説明にある「幅δ２の円環状の周囲部６６」との記載をみれば、図８及び図９における領域６６のγ２は、上記記載のδ２の誤記と解するのが相当である。さらに、上記ア（オ）の「直径γ１の面状の圧電素子６０」との記載から、図８及び図９の看取事項は、圧力発生室５１が、ノズルプレートの「直径γ１の面状の圧電素子６０」に対応する領域と、その外側の「幅δ２の円環状の周囲部６６」で区画されると認められる。 （カ）上記ア（オ）の【００５４】の「第２の実施形態のインクジェットヘッド２００を、図８乃至図１０を参照して説明する。第２の実施形態は、第１の実施形態において、圧電素子をノズルプレートの中央部に配置するものである。第２の実施形態にあって、前述の第１の実施形態で説明した構成と同一構成については同一符号を付して詳細な説明を省略する。」との記載からみて、【００５５】～【００５７】で説明される第２の実施形態の圧電素子６０、圧電膜６２、下部電極６１及び上部電極６３は、上記ア（イ）に記載される第１の実施形態のインクジェットヘッドにおける、圧電素子４０、圧電膜４２、下部電極４１及び上部電極４３に換えて設けられるものと理解できる。 ウ 引用発明１ 前記ア及びイより、引用文献１には、第１の実施形態及び第２の実施形態に係るインクジェットヘッドについて、次の発明（以下「引用発明１」という。）が記載されているものと認められる。 「インクを吐出して、保持ローラ１３表面に保持される記録紙Ｐに、所望の画像をプリントする（【００１２】）インクジェットヘッド１００であって、 インクジェットヘッド１００は、圧力室構造体５０、バックプレート５２、ノズルプレート３０及びインク流路構造体５４を備え（【００１５】）、 ノズルプレート３０は、圧力室構造体５０の第１の面に形成され、バックプレート５２は、圧力室構造体５０のノズルプレート３０と対向する第２の面に配置され（【００１６】）、 バックプレート５２は、圧力室構造体５０に加圧接着し（【００４１】）、 インクを、圧力室構造体５０に形成される圧力室である円形の圧力発生室５１に充填し、圧力発生室５１に充填されるインクを、ノズルプレート３０に形成される複数のノズル３１から、インク滴としてそれぞれ吐出し（【００１７】）、 ノズルプレート３０は、ノズル３１周囲に駆動部である面状の圧電素子４０を備え、ノズルプレート３０は、面状の圧電素子４０の動作により厚み方向に変動するものであって（【００１９】）、 圧力室構造体５０は、シリコン基板（Ｓｉ基板）からなり、圧力発生室５１は、ノズルプレート３０、隔壁５５及びバックプレート５２に囲まれて構成され（【００２０】）、 ノズルプレートのノズル３１の周囲に中央部３３があり、その周囲に周囲領域３２があり、圧力発生室５１が、周囲領域３２及び中央部３３を含むノズル３１の周囲で区画され（上記イ（ウ））、 隔壁５５は、内径（直径）α２の圧力室構造体５０のエッチング面が形成されるシリコン膜側壁５５ｂを備え（【００２１】）、 圧電素子４０は、各ノズル３１の周囲に配置され、圧電体である圧電膜４２を挟んで下部電極４１及び上部電極４３を積層するものであって、下部電極４１の一部４１ａは延長されて外部配線１４１の一部とされ、外部配線１４１は、２つの端子部１４１ａに接続する。また、上部電極４３の一部４３ａは延長されて外部配線１４３の一部とされ（【００２５】）、圧力発生室５１の周囲領域３２の上方においてノズルプレート３０に形成され（【００２６】）、 制御部１０２は、端子部１４３ａへの電圧のオン／オフを制御して、圧電素子４０に電気信号を供給し（【００２６】）、 ノズルプレート３０のノズル３１周囲のホール領域である直径βの円形の中央部３３には、圧電素子４０は形成されない。圧電素子４０は、ノズルプレート３０の隔壁５５の上方から、ノズル３１に向かって圧力発生室５１領域上方まで延在する円環形状であり（【００２７】）、 圧電膜４２は、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）等のシリコンプロセスに適した圧電材料を使用し（【００２９】）、 電圧印加により圧電膜４２は収縮し、圧電膜４２の収縮により、ノズルプレート３０の周囲領域３２はバイモルフ効果により凹状に変形し、ノズルプレート３０の圧電膜４２が形成されていない中央部３３は、周囲領域３２の変形に伴い面方向に対して垂直に凸状に変形し（【００４７】）、ノズルプレート３０の周囲領域３２及び中央部３３は湾曲して変形しており（上記イ（エ）、 ノズルプレートの周囲領域３２には、圧電素子４０が設けられている（上記イ（イ））、 インクジェットヘッド１００、 又は、 圧電素子４０、圧電膜４２、下部電極４１及び上部電極４３に換えて、ノズルプレート３０は、ノズル３１寄りに直径γ１の面状の圧電素子６０を備え、圧電素子６０は、ノズル３１毎に、圧電体である圧電膜６２をはさんで下部電極６１及び上部電極６３が積層され（上記イ（カ）、【００５６】）、 ノズルプレート３０の圧電素子６０の外周から隔壁５５の内径までの幅δ２の円環状の周囲部６６には、外部配線１４１、１４３との接続領域をのぞいて、圧電素子６０は形成されず（【００５７】）、 圧力発生室５１が、ノズルプレートの直径γ１の面状の圧電素子６０に対応する領域と、その外側の幅δ２の円環状の周囲部６６で区画され（上記イ（オ））、 インクジェットヘッド２００。」 （３）引用文献２ ア 引用文献２の記載事項 原査定で引用文献２として引用され、本願の優先日前に発行された特開２０１４－４６５８０号公報（平成２６年３月１７日公開、以下「引用文献２」という。）には、次の事項が記載されている。 （ア）「【技術分野】 【０００１】 本発明の実施形態は、インクジェットヘッドに関する。 【背景技術】 【０００２】 画像信号に従ってノズルからインク滴を吐出させて、記録紙上にインク滴による画像を形成するオンデマンド型インクジェット記録方式が知られている。オンデマンド型インクジェット記録方式として発熱素子型と圧電素子型とが知られる。 【０００３】 発熱素子型においては、インク流路に設けられた発熱体によってインク中に気泡が発生し、その気泡によって押されたインクがノズルから吐出される。圧電素子型においては、圧電素子が変形することでインク室に貯蔵されたインクに圧力変化が生じ、インクがノズルから吐出する。 【０００４】 圧電素子（ピエゾ素子）は、電気－機械変換素子であり、電界を加えられると、伸張または剪断変形を起こす。代表的な圧電素子として、チタン酸ジルコン酸鉛が使われている。 【０００５】 圧電素子を利用したインクジェットヘッドとして、圧電性材料で形成されたノズルプレートを用いた構成が知られている。当該インクジェットヘッドのノズルプレートは、例えば、インクを吐出させるノズルを備える圧電体膜と、前記ノズルを囲むように前記圧電性膜の両面に形成された金属電極膜と、を有するアクチュエータを備える。 【０００６】 上記インクジェットヘッドは、前記ノズルに接続された圧力室を有する。インクが圧力室とノズルプレートのノズルに入り込み、ノズル内でメニスカスを形成してノズル内に維持される。ノズル周囲に設けた二つの電極に駆動波形（電圧）を印加すると、当該電極を介して分極の方向と同方向の電界が圧電体膜に印加される。これにより、アクチュエータは電界方向と直交する方向に伸縮する。この伸縮を利用してノズルプレートが変形する。ノズルプレートが変形することで圧力室内のインクに圧力変化が発生し、ノズル内のインクが吐出される。 【０００７】 駆動波形を前記電極に印加する駆動回路は、ＩＣのような電子部品に形成される。当該電子部品は、例えばフレキシブルプリント配線板またはその他の配線を介して、前記電極に接続される。フレキシブルプリント配線板を利用する場合、例えばアクチュエータを有するノズルプレートに形成されたパッドに、当該フレキシブルプリント配線板が接続される。 ・・・ 【発明の概要】 【発明が解決しようとする課題】 【０００９】 インク吐出時の消費電力の低い圧電素子型インクジェットを、精度良く且つ安価に形成することに関して、インクジェットヘッドには未だ改良の余地がある。 【００１０】 本発明の目的は、吐出時の消費電力を低減できるインクジェットヘッドを提供することにある。」 （イ）「【００１５】 図１に示すように、インクジェットヘッド１は、ノズルプレート１００と圧力室構造体２００と、セパレートプレート３００と、インク供給路構造体４００とを備えている。圧力室構造体２００は、基材の一例である。圧力室構造体２００と、セパレートプレート３００と、インク供給路構造体４００とは、例えばエポキシ系接着剤で固定されている。 【００１６】 ノズルプレート１００は、矩形の板状に形成されている。ノズルプレート１００は、圧力室構造体２００の上に、後述する成膜プロセスによって形成される。このため、ノズルプレート１００は、圧力室構造体２００に固着している。 【００１７】 ノズルプレート１００に、インク吐出用の複数のノズル（インク吐出孔）１０１がある。ノズル１０１は、円形の孔であり、ノズルプレート１００をその厚さ方向に貫通している。ノズル１０１の直径は、例えば２０μｍである。 【００１８】 圧力室構造体２００は、シリコンウエハによって矩形の板状に形成されている。」 （ウ）「【００３１】 次に、ノズルプレート１００および駆動回路１０３について説明する。図２および図３に示すように、ノズルプレート１００は、上記の複数のノズル１０１と、複数のアクチュエータ１０２と、複数のパッド部１０４と、二つの共有電極端子部１０５と、共有電極１０６と、配線電極端子部１０７と、複数の配線電極１０８と、振動板（ＣＭＯＳパッシベーション層）１０９と、保護膜１１３と、撥インク膜１１６とを有している。共有電極１０６は、第１の電極の一例である。配線電極１０８は、第２の電極の一例である。」 （エ）「【００３７】 図３に示すように、アクチュエータ１０２は、圧電体膜１１１と、共有電極１０６の電極部分１０６ａと、配線電極１０８の電極部分１０８ａと、絶縁膜１１２とを有している。圧電体膜１１１は、圧電体の一例である。 【００３８】 圧電体膜１１１は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）によって膜状に形成されている。なお、圧電体膜１１１はこれに限らず、例えば、ＰＴＯ（ＰｂＴｉＯ３：チタン酸鉛）、ＰＭＮＴ（Ｐｂ（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３－ＰｂＴｉＯ３）、ＰＺＮＴ（Ｐｂ（Ｚｎ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３－ＰｂＴｉＯ３）、ＺｎＯ、およびＡｌＮのような種々の材料によって形成されても良い。」 （オ）「【００４７】 図３に示すように、圧力室構造体２００の取付面２００ａに、駆動回路１０３が設けられている。駆動回路１０３は、例えば、インクジェットヘッド１を駆動するための、論理回路、設定回路、およびアナログ回路を有する半導体集積回路である。また、振動板１０９に、相互接続層１１０が設けられている。相互接続層１１０は、駆動回路１０３に接続されて形成されている。駆動回路１０３および相互接続層１１０については、後で詳述する。 【００４８】 パッド部１０４は、相互接続層１１０に接続されている。パッド部１０４は、駆動回路１０３に、電源接続、グランド接続、および入出力信号の送受信を行うための電極である。パッド部１０４に、例えば、インクジェットプリンタの制御部に接続された配線が接続される。 【００４９】 配線電極端子部１０７は、配線電極１０８の端部に設けられ、相互接続層１１０に接続されている。配線電極端子部１０７は、駆動回路１０３のアナログ回路出力に接続され、アクチュエータ１０２を駆動させるための信号を伝送する。 【００５０】 図２に示すように、複数の配線電極端子部１０７のそれぞれの間隔は、ノズル１０１のＸ軸方向の間隔と同じである。配線電極１０８の幅に比べて、配線電極端子部１０７のＸ軸方向の幅は広い。このため、配線電極端子部１０７は、相互接続層１１０に容易に接続される。 【００５１】 共有電極端子部１０５は、例えば、振動板１０９の第２の面５０２に設けられている。共有電極端子部１０５は、共有電極１０６の端部であって、ＧＮＤ（グランド接地＝０Ｖ）に接続される。 【００５２】 配線電極１０８は、対応するアクチュエータ１０２の圧電体膜１１１に個別に繋がり、アクチュエータ１０２を駆動するための信号を伝送する。配線電極１０８は、圧電体膜１１１を独立に動作させるための個別電極として用いられる。複数の配線電極１０８は、上記の電極部分１０８ａと、配線部と、上記の配線電極端子部１０７とをそれぞれ有している。」 （カ）「【００６６】 図５は、駆動回路１０３の周辺を拡大して示すインクジェットヘッド１の断面図である。なお、図５において、圧力室構造体２００は、説明のためにハッチングを省略されている。 【００６７】 図５に示すように、駆動回路１０３は、ＣＭＯＳトランジスタ７００を有している。図５に示すＣＭＯＳトランジスタ７００は、出力回路６０６に含まれる。駆動回路１０３は、他の複数のＣＭＯＳトランジスタおよび配線パターンを有している。また、駆動回路１０３は、例えばＭＥＳＦＥＴトランジスタのような他の半導体素子を有しても良い。 【００６８】 ＣＭＯＳトランジスタ７００は、シリコンウエハによって形成された圧力室構造体２００の取付面２００ａに直接形成されている。言い換えると、ｐ型シリコンウエハによって形成された圧力室構造体２００に、例えばイオン注入を含む種々の加工を施すことで、ＣＭＯＳトランジスタ７００が作り込まれる。ＣＭＯＳトランジスタ７００はゲート７０１を通じてレベルシフト回路６０５に接続されている。 【００６９】 ＣＭＯＳトランジスタ７００は、プラグ７０２を介してドレイン７０３に接続されている。ドレイン７０３に、配線電極端子部１０７が接続される。これにより、ＣＭＯＳトランジスタ７００が配線電極１０８を介してアクチュエータ１０２に接続される。 【００７０】 図５に示すように、振動板１０９は、第１層７０６と、第２層７０７と、第３層７０８とを有している。第１ないし第３層７０６～７０８は、ＳｉＯ２によって形成されている。なお、第１ないし第３層７０６～７０８はこれに限らず、ＳｉＮ（窒化ケイ素）、Ａｌ２Ｏ３（酸化アルミニウム）、ＨｆＯ２（酸化ハフニウム）、ＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ Ｌｉｋｅ Ｃａｒｂｏｎ）によって形成されても良い。振動板１０９の材料選択は、例えば、耐熱性、絶縁性（導電率の高いインクを使用した場合における、アクチュエータ１０２の駆動によるインク変質の影響を考慮）、熱膨張係数、平滑性、インクに対する濡れ性が考慮される。また、第１ないし第３層７０６～７０８の材料がそれぞれ異なっても良い。 【００７１】 第１層７０６は、圧力室構造体２００の取付面２００ａに接している。第１層７０６は、ＣＭＯＳトランジスタ７００を形成する複数の突出部の間の隙間、およびＣＭＯＳトランジスタ７００と他のＣＭＯＳトランジスタとの間の隙間に入り込む。言い換えると、第１層７０６は、複数の半導体素子の間を隔てる。第１層７０６は、いわゆる素子分離として利用される。 【００７２】 第２層７０７は、第１層７０６に積層され、ゲート７０１を覆う。第２層７０７は、ＣＭＯＳトランジスタ７００とドレイン７０３との間に介在する。第２層７０７は、いわゆる層間絶縁膜として利用される。プラグ７０２は、第１および第２層７０６，７０７を貫通する。 【００７３】 第３層７０８は、第２層７０７に積層され、ＣＭＯＳトランジスタ７００に接続されるｐチャンネルドレインやｎチャンネルドレインを覆う。言い換えると、第３層７０８は、駆動回路１０３を覆っている。第３層７０８は、いわゆるパッシベーション層として利用される。なお、第１ないし第３層７０６～７０８がＣＭＯＳトランジスタ７００を覆って保護する絶縁膜であるので、振動板１０９はパッシベーション層と呼称され得る。ドレイン７０３は、第３層７０８から露出されている。 【００７４】 図５において、駆動回路１０３および相互接続層１１０は、二点鎖線で示される。すなわち、ＣＭＯＳトランジスタ７００および複数の他のＣＭＯＳトランジスタを含む部分が駆動回路１０３として示され、ＣＭＯＳトランジスタ７００と配線電極１０８とを接続するドレイン７０３を含む部分が相互接続層１１０として示される。しかし、図５における駆動回路１０３および相互接続層１１０は、説明の便宜上示されたものであり、それぞれを厳密に規定したものではない。駆動回路１０３は、ＣＭＯＳトランジスタ７００を含み、アクチュエータ１０２を駆動させるための信号を出力する回路である。相互接続層１１０は、駆動回路１０３と配線電極端子部１０７との間に介在する部分である。 【００７５】 上述のインクジェットヘッド１は、次のように印字（画像形成）を行う。インクジェットプリンタのインクタンクから、インクがインク供給路構造体４００のインク供給口４０１に供給される。インクは、インク絞り３０１を通って、圧力室２０１に供給される。圧力室２０１に供給されたインクは、対応するノズル１０１内に供給され、ノズル１０１にメニスカスを形成する。インク供給口４０１から供給されるインクは適切な負圧となるように保たれ、ノズル１０１内のインクはノズル１０１から漏れることなく保たれる。」 （キ）「【０１０７】 第１の実施形態のインクジェットヘッド１によれば、駆動回路１０３が、振動板１０９が固定される圧力室構造体２００の取付面２００ａに設けられる。これにより、駆動回路１０３とアクチュエータ１０２との間の距離を近くし、配線抵抗を小さくすることができる。したがって、駆動回路１０３から発信した信号の減衰を低減し、インク吐出時の消費電力を低減することができる。また、圧力室構造体２００に駆動回路１０３を設けたとしても、記録紙のような媒体に面する保護膜１１３および撥インク膜１１６を平坦に形成できる。このため、媒体とノズル１０１との間の距離を近くすることができ、インク吐出精度を保つことができる。 【０１０８】 駆動回路１０３のＣＭＯＳトランジスタ７００は、シリコンウエハによって形成された圧力室構造体２００に直接形成されている。これにより、圧力室構造体２００の他に半導体基板を用意する必要がなく、インクジェットヘッド１の製造費を低減できる。」 イ 引用発明２ 前記アより、引用文献２には、次の発明（以下「引用発明２」という。）が記載されているものと認められる。 「画像信号に従ってノズルからインク滴を吐出させて、記録紙上にインク滴による画像を形成するオンデマンド型インクジェット記録方式において、 ノズルプレート１００と圧力室構造体２００を備えているインクジェットヘッド１であって、 圧力室構造体２００は、シリコンウエハによって矩形の板状に形成されており ノズルプレート１００は、配線電極端子部１０７を有しており、 圧力室構造体２００の取付面２００ａに、駆動回路１０３が設けられており、 相互接続層１１０は、駆動回路１０３に接続されて形成されており、 配線電極端子部１０７は、配線電極１０８の端部に設けられ、相互接続層１１０に接続され、配線電極端子部１０７は、駆動回路１０３のアナログ回路出力に接続され、アクチュエータ１０２を駆動させるための信号を伝送し、 アクチュエータ１０２は、圧電体膜１１１と、共有電極１０６の電極部分１０６ａと、配線電極１０８の電極部分１０８ａと、絶縁膜１１２とを有しており、 配線電極１０８は、圧電体膜１１１を独立に動作させるための個別電極として用いられ、複数の配線電極１０８は、配線電極端子部１０７とをそれぞれ有し、 圧電体膜１１１は、ＺｎＯ、ＡｌＮのような種々の材料によって形成されても良く、 駆動回路１０３は、ＣＭＯＳトランジスタ７００を有し、 ＣＭＯＳトランジスタ７００は、シリコンウエハによって形成された圧力室構造体２００の取付面２００ａに直接形成され、 相互接続層１１０は、駆動回路１０３と配線電極端子部１０７との間に介在する部分であり、 駆動回路１０３が、振動板１０９が固定される圧力室構造体２００の取付面２００ａに設けられることにより、駆動回路１０３とアクチュエータ１０２との間の距離を近くし、配線抵抗を小さくすることができ、駆動回路１０３から発信した信号の減衰を低減し、インク吐出時の消費電力を低減することができ、 駆動回路１０３のＣＭＯＳトランジスタ７００は、シリコンウエハによって形成された圧力室構造体２００に直接形成されていることにより、圧力室構造体２００の他に半導体基板を用意する必要がなく、インクジェットヘッド１の製造費を低減できる、 インクジェットヘッド」 （４）対比 本件補正発明と引用発明１とを対比する。 ア 引用発明１の「インクジェットヘッド１００」は、「インクを吐出して」「記録紙Ｐに、所望の画像をプリントする」ものであり、プリントに用いられており、かつ、インクを「インク滴として」吐出する以上、液滴を吐出していることは明らかであるから、本件補正発明の「プリントヘッド用の液滴吐出器」に相当する。また、引用発明１の「インクジェットヘッド２００」も同様に、本件補正発明の「プリントヘッド用の液滴吐出器」に相当する。 イ 引用発明１の「圧力室構造体５０」は、「シリコン基板（Ｓｉ基板）から」なるものであり、本件補正発明の「基板」に相当する。そして、引用発明１の「圧力室構造体５０の第１の面」には、「ノズルプレート３０」が形成されるから、当該「第１の面」は本件補正発明の「ノズル面」に相当する。一方、引用発明１の「圧力室構造体５０のノズルプレート３０と対向する第２の面」には「バックプレート５２が配置」され、バックプレート５２は「圧力室構造体５０に加圧接着」されるところ、当該「第２の面」は、バックプレートが取り付けられる面といえるから、本件補正発明の「取付面」に相当する。そうすると、引用発明１の「圧力室構造体５０」と本件補正発明の「圧力室構造体５０」とは、「取付面及び反対側のノズル面を有する」点で一致する。 ウ 引用発明１の「ノズルプレート３０」は、複数のノズル３１が形成され、プレートである以上層状をなすから、本件補正発明の「ノズル形成層」に相当する。そして、引用発明１の「ノズルプレート３０」は「圧力室構造体５０の第１の面」に形成されており、当該面の少なくとも一部の上に形成されることは明らかであるから、引用発明１の「ノズルプレート３０」と本件補正発明の「ノズル形成層」とは、「基板のノズル面の少なくとも一部の上に形成された」点で一致する。 エ 引用発明１の「圧力発生室５１」は、インクが充填されるものであり、インクなる流体が充填される室構造といえるから、本件補正発明の「流体チャンバ」に相当する。そして、引用発明１の「圧力発生室５１」は、ノズルプレート３０、隔壁５５に囲まれて構成され、隔壁５５は、圧力室構造体５０のエッチング面が形成されるシリコン膜側壁５５ｂを備えるから、一部分はノズルプレート３０により、他の一部分は圧力室構造体５０により画定されるといえる。したがって、引用発明１の「圧力発生室５１」と本件補正発明の「流体チャンバ」とは、「少なくとも一部は基板により且つ少なくとも一部はノズル形成層により画定された」点で一致する。 オ 引用発明１の「ノズル３１」は、「圧力発生室５１に充填されるインクを」「吐出」するものであるから、圧力発生室５１のノズル３１側は、本件補正発明の「流体チャンバ出口」に相当する。また、引用発明１の「中央部３３」は、ノズルプレートのノズル３１の周囲にあり、引用発明１の「周囲領域３２」は、中央部３３の周囲にあって、かつ、圧力発生室５１を区画するから、「中央部３３」及び「周囲領域３２」の双方が「ノズル部分」に相当し、「中央部３３」及び「周囲領域３２」はそれぞれ、「流体チャンバ出口の方に近接して位置する内側部分」及び「ノズル部分の周縁部の方に近接して位置する外側部分」に相当する。 同様に、引用発明１のノズルプレート３０の「直径γ１の面状の圧電素子６０に対応する領域」、「幅δ２の円環状の周囲部６６」の双方も「ノズル部分」に相当し、「直径γ１の面状の圧電素子６０に対応する領域」及び「幅δ２の円環状の周囲部６６」はそれぞれ、「流体チャンバ出口の方に近接して位置する内側部分」及び「ノズル部分の周縁部の方に近接して位置する外側部分」に相当する。 また、引用発明１の「圧力発生室５１」と本件補正発明の「流体チャンバ」とは、「少なくとも一部はノズル形成層のノズル部分によって画定された流体チャンバ出口を有」する点で一致する。 カ 引用発明１の「圧電素子４０」は、ノズルプレートの周囲領域３２に設けられ、「電気信号を供給」し、その動作によりノズルプレートを厚み方向に変動させるものであるから、引用発明１の「「圧電素子４０」は、「圧電アクチュエータ機構」といえ、また、中央部３３に比べて外側の周囲領域３２にあるといえるから、引用発明１の「「圧電素子４０」は、本件特許発明の「ノズル形成層のノズル部分の外側部分に形成された１つの外側アクチュエータ機構」に相当する。 他方、引用発明１の「圧電素子６０」も同様の構成を有すると解されるところ、引用発明１の「圧電素子６０」は、「幅δ２の円環状の周囲部６６」に比べて内側の「直径γ１の面状の圧電素子６０に対応する領域」にあるアクチュエータ機構といえるから、「ノズル形成層のノズル部分の内側部分に形成された１つの内側アクチュエータ機構」に相当する。 本件補正発明は、「前記ノズル形成層の前記ノズル部分の前記内側部分に形成された内側アクチュエータ機構、及び前記ノズル形成層の前記ノズル部分の前記外側部分に形成された外側アクチュエータ機構のうちのいずれか又は両方とを備え」とあり、「いずれか又は両方」なる選択肢で記載されるところ、「いずれか」とした発明特定事項と仮定すれば、本件補正発明と引用発明１は、「前記ノズル形成層の前記ノズル部分の前記内側部分に形成された内側アクチュエータ機構、及び前記ノズル形成層の前記ノズル部分の前記外側部分に形成された外側アクチュエータ機構のうちのいずれかを備え」る点で一致する。よって、引用発明１は、本件特許発明の「前記ノズル形成層の前記ノズル部分の前記内側部分に形成された内側アクチュエータ機構、及び前記ノズル形成層の前記ノズル部分の前記外側部分に形成された外側アクチュエータ機構のうちのいずれか又は両方とを備え」るといえる。 キ 引用発明１の「圧電素子４０」は、「圧電体である圧電膜４２を挟んで下部電極４１及び上部電極４３を積層するもの」であり、下部電極４１及び上部電極４３は、圧電素子として駆動するための電極であることは明らかであるから、引用発明１の「圧電膜４２」、「下部電極４１及び上部電極４３」は、それぞれ本件補正発明の「圧電体」、「駆動電極の対」に相当する。また、引用発明１の「圧電素子４０」が外側の周囲領域３２にあるアクチュエータ機構であるから、引用発明１の「圧電膜４２」、「下部電極４１及び上部電極４３」も「外側圧電体」、「外側の駆動電極の対」といえる。さらに、「圧電素子４０」は１つのアクチュエータとなっているから、引用発明１の「圧電素子４０」と本件補正発明の「外側圧電アクチュエータ機構」は、「１つの外側圧電アクチュエータを備え、前記１つの外側圧電アクチュエータのうちの１つが、外側の駆動電極の対の間に設けられた外側圧電体を備え」る点で一致する。 また、同様に、引用発明１の「圧電膜６２」、「下部電極６１及び上部電極６３」も、それぞれ本件補正発明の「内側圧電体」、「内側の駆動電極の対」に相当する。そうすると、引用発明１の「圧電素子６０」と本件補正発明の「内側圧電アクチュエータ」は、「１つの内側圧電アクチュエータを備え、前記１つの内側圧電アクチュエータのうちの１つが、内側の駆動電極の対の間に設けられた内側圧電体を備え」る点で一致する。 よって、引用発明１は、「前記内側アクチュエータ機構は１つ又は複数の内側圧電アクチュエータを備え、前記１つ又は複数の内側圧電アクチュエータのうちの少なくとも１つが、内側の駆動電極の対の間に設けられた内側圧電体を備え、 前記外側アクチュエータ機構は１つ又は複数の外側圧電アクチュエータを備え、前記１つ又は複数の外側圧電アクチュエータのうちの少なくとも１つが、外側の駆動電極の対の間に設けられた外側圧電体を備え」るといえる。 ク 引用発明１の「ノズルプレート」は、圧電膜４２の収縮により、周囲領域３２はバイモルフ効果により凹状に変形し、圧電膜４２が形成されていない中央部３３は、周囲領域３２の変形に伴い面方向に対して垂直に凸状に変形するものであり、周囲領域３２及び中央部３３は湾曲しているから、中央部３３は凸状に湾曲し、周囲領域３２はその反対の向きに凹状に湾曲するといえ、「ノズル部分の内側部分が第１向きに湾曲し、前記ノズル部分の外側部分が前記第１向きとは反対の第２向きに湾曲する」といえる。さらに、圧電膜４２は圧電素子４０を構成し、圧電膜４２を収縮させる電圧印加は、制御部１０２が行う電圧のオン、すなわち起動によることは明らかである。そうすると、引用発明１の「圧電素子４０」と「ノズルプレート３０」の「周囲領域３２及び中央部３３」は、起動時に上記の変形を生じるように構成されるといえる。したがって、引用発明１の「圧電素子４０」と「ノズルプレート３０」の「周囲領域３２及び中央部３３」と本件補正発明の「外側アクチュエータ機構並びにノズル形成層のノズル部分の少なくとも１つ」とは、「起動時にノズル部分の内側部分が第１向きに湾曲し、前記ノズル部分の外側部分が前記第１向きとは反対の第２向きに湾曲するように構成され」る点で一致する。 また、引用発明１の「圧電膜６２」により、いかなる変形となるかは明示がないが、技術常識をふまえれば、圧電膜４２と同様の原理で変形がなされると解されるから、引用発明１の「圧電素子６０」と「ノズルプレート３０」の「直径γ１の面状の圧電素子６０に対応する領域及び幅δ２の円環状の周囲部６６」と本件補正発明の「外側アクチュエータ機構並びにノズル形成層のノズル部分の少なくとも１つ」とは、少なくとも「起動時にノズル部分の内側部分が第１向きに湾曲し、前記ノズル部分の外側部分が前記第１向きとは反対の第２向きに湾曲するように構成され」る点で一致する。 よって、引用発明１は、「前記内側アクチュエータ機構及び／又は前記外側アクチュエータ機構並びに前記ノズル形成層のノズル部分の少なくとも１つは、起動時に前記ノズル部分の前記内側部分が第１向きに湾曲し、前記ノズル部分の前記外側部分が前記第１向きとは反対の第２向きに湾曲するように構成され」るといえる。 ケ 本願明細書【０１１０】には、「窒化アルミニウム化合物（及び、特に、窒化スカンジウムアルミニウム）を含む窒化アルミニウム並びに酸化亜鉛は、４５０℃未満、又はより好ましくは３００℃未満の温度で堆積させることができる圧電材料である。」との記載がなされるところ、引用発明１の「圧電膜４２」又は「圧電膜６２」は、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）等のシリコンプロセスに適した圧電材料を使用しており、上記本願明細書の記載を踏まえれば、引用発明１の「窒化アルミニウム（ＡｌＮ）」の圧電材料を使用した「圧電膜４２」又は「圧電膜６２」と本件補正発明の「圧電体」とは、「４５０℃未満の温度で処理可能な１種の圧電材料を含」む点で一致する。 よって、引用発明１は、「１つ若しくは複数の前記内側圧電体及び／又は１つ若しくは複数の前記外側圧電体が、４５０℃未満の温度で処理可能な１種又は複数種の圧電材料を含」むといえる。 そうすると、本件補正発明と引用発明１とは、 ［一致点］ 「 プリントヘッド用の液滴吐出器であって、 取付面及び反対側のノズル面を有する基板と、 前記基板の前記ノズル面の少なくとも一部の上に形成されたノズル形成層と、 少なくとも一部は前記基板により且つ少なくとも一部は前記ノズル形成層により画定された流体チャンバであって、少なくとも一部は前記ノズル形成層のノズル部分によって画定された流体チャンバ出口を有し、前記ノズル部分が、前記流体チャンバ出口の方に近接して位置する内側部分と、前記ノズル部分の周縁部の方に近接して位置する外側部分とを備える、流体チャンバと、 前記ノズル形成層の前記ノズル部分の前記内側部分に形成された内側アクチュエータ機構、及び前記ノズル形成層の前記ノズル部分の前記外側部分に形成された外側アクチュエータ機構のうちのいずれか又は両方とを備え、 前記内側アクチュエータ機構及び／又は前記外側アクチュエータ機構並びに前記ノズル形成層のノズル部分の少なくとも１つは、起動時に前記ノズル部分の前記内側部分が第１向きに湾曲し、前記ノズル部分の前記外側部分が前記第１向きとは反対の第２向きに湾曲するように構成され、 前記内側アクチュエータ機構は１つ又は複数の内側圧電アクチュエータを備え、前記１つ又は複数の内側圧電アクチュエータのうちの少なくとも１つが、内側の駆動電極の対の間に設けられた内側圧電体を備え、 前記外側アクチュエータ機構は１つ又は複数の外側圧電アクチュエータを備え、前記１つ又は複数の外側圧電アクチュエータのうちの少なくとも１つが、外側の駆動電極の対の間に設けられた外側圧電体を備え、 １つ若しくは複数の前記内側圧電体及び／又は１つ若しくは複数の前記外側圧電体が、４５０℃未満の温度で処理可能な１種又は複数種の圧電材料を含む、液滴吐出器」 である点で一致し、以下の点で相違する。 ［相違点］ 本件補正発明が、「前記基板と前記ノズル形成層との間に設けられた相互接続層」を有し、「前記液滴吐出器が前記基板と一体化された少なくとも１つの電子部品を備え」、「前記基板内に設けられた電子回路が、前記相互接続層を介して前記内側アクチュエータ機構又は前記外側アクチュエータ機構に接続される」ものであるのに対し、引用発明１は、基板と一体化された少なくとも１つの電子部品（電子回路）を備えていない点。 （５）判断 上記相違点について検討する。 ア 引用発明２の「インクジェットヘッド１」は、「記録紙上にインク滴による画像を形成するオンデマンド型インクジェット記録方式」におけるものであるから、「プリントヘッド用の液滴吐出器」に相当する。 イ 引用発明２の「圧力室構造体２００」は、「シリコンウエハによって矩形の板状に形成」されているから、本件補正発明の「基板」に相当する。また、引用発明２の「ノズルプレート１００」、「相互接続層１１０」は、用語の意味からみて「ノズル形成層」、「相互接続層」に相当する。さらに、引用発明２の「アクチュエータ１０２」は、その機能からみて、本件補正発明の「内側アクチュエータ機構又は外側アクチュエータ機構」と「アクチュエータ機構」との概念で共通する。また、引用発明２の「駆動回路１０３」は、ＣＭＯＳトランジスタ７００を有するから、本件補正発明の「電子回路」及び「電子部品」に相当する。 ウ 引用発明２の「相互接続層１１０」は、駆動回路１０３と配線電極端子部１０７との間に介在する部分であり、駆動回路１０３が圧力室構造体２００の取付面２００ａに設けられ、配線電極端子部１０７は、ノズルプレート１００が有しているから、引用発明２の「相互接続層１１０」と本件補正発明の「相互接続層」とは、「基板とノズル形成層との間に設けられた」点で一致する。 エ 引用発明２の「駆動回路１０３」は、ＣＭＯＳトランジスタ７００を有し、ＣＭＯＳトランジスタ７００は、シリコンウエハによって形成された圧力室構造体２００の取付面２００ａに直接形成されるから、引用発明２の「駆動回路１０３」と本件補正発明の「電子部品」とは、「液滴吐出器が」「備え」、「基板と一体化された」点で一致する。また、引用発明２の「駆動回路１０３」と本件補正発明の「電子回路」とは、「基板内に設けられた」点で一致する。 オ 引用発明２の「駆動回路１０３」は、相互接続層１１０が接続されて形成されており、相互接続層１１０が配線電極端子部１０７に接続され、アクチュエータ１０２は、配線電極１０８の電極部分１０８ａを有し、配線電極１０８は、配線電極端子部１０７を有するのであるから、駆動回路１０３は、相互接続層１１０を介してアクチュエータに接続されていることは明らかである。 よって、引用発明２の「駆動回路１０３」と本件補正発明の「電子回路」とは、「相互接続層を介してアクチュエータ機構に接続される」との概念で一致する。 したがって、「基板とノズル形成層との間に設けられた相互接続層」を有し、「液滴吐出器が基板と一体化された少なくとも１つの電子部品を備え」、「基板内に設けられた電子回路が、相互接続層を介してアクチュエータ機構に接続される」との発明特定事項は、引用発明２が備えるものである。 カ そして、引用発明１と引用発明２は、いずれもアクチュエータを備える液滴吐出器で共通の技術分野に属するものである。 また、引用発明２は、インク吐出時の消費電力の低減や製造費の低減を課題とするものであるところ、インクジェットヘッドの分野においては、インク吐出時の消費電力の低減や製造費の低減は、一般的な課題であって、引用発明１においても同様の課題を有するものと認識できるものである。したがって、引用発明１と引用発明２とは、解決しようとする課題が共通するといえる。 してみると、引用発明１の「圧電素子４０」、「圧電素子６０」、及び「圧力室構造体５０」に対し、駆動回路を圧力構造体内に設け、相互接続層を介してアクチュエータに接続する引用発明２を採用し、上記相違点１に係る発明特定事項となすことは、当業者が容易に想到し得るものである。 キ そして、本件補正発明の奏する作用効果は、引用発明１及び引用発明２の作用効果に照らして当業者が予測し得る程度のものにすぎない。 ク 審判請求人は、令和６年１月２２日提出の審判請求書において、「前回提出した意見書でも述べましたが、引用文献２の［００８９］には「圧電体膜１１１は、成膜後、圧電体膜１１１に圧電性を付与するために、５００℃で３時間熱処理される。」と記載されております。 このように、特許文献２は、圧電膜１１１が動作するためには、５００℃の温度で処理されなければならないことが示されております。 引用文献１が低温処理可能な圧電材料（例えば４５０℃未満）を有するアクチュエータを使用し、引用文献２が特に処理可能な圧電材料（例えば４５０℃以上）に関連する場合、当業者は、引用文献１の基板上に電子部品を実装するために引用文献２の教示に反しようとは思いません。したがって、当業者であれば、引用文献２は高温処理可能な圧電材料（例えば４５０℃以上）を含む圧電アクチュエータに関するものであるため、引用文献２の教示は引用文献１と両立しないことを認識し、引用文献１に引用文献２を組み合わせることはないものと思料致します」と主張する。 しかしながら、上記（３）ア（ウ）に示すとおり、引用文献２の【００３８】には、「圧電体膜１１１は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）によって膜状に形成されている。」とした上で、圧電体膜として酸化亜鉛や窒化アルミニウムのような低温処理可能な材料によって形成されてもよいことが示されているのであって、引用文献２の【００８９】の記載における「５００℃で３時間熱処理される」との事項は、技術常識を踏まえれば、単にＰＺＴを用いた場合の処理条件を記載したにすぎず、引用発明２は高温処理可能な圧電材料（例えば４５０℃以上）を含む圧電アクチュエータに関するものに限られるとは解することはできない。したがって、引用文献２の教示は引用文献１と両立しないものではない。 また、審判請求人は上記審判請求書において、「引用文献２にも （ｂ）基板１００とノズル形成層との間に相互接続層３００が設けられ、 （ｃ）基板１００内に設けられた電子回路２００が、相互接続層３００を介して内側アクチュエータ機構又は外側アクチュエータ機構に接続される、 という構成は開示されておりません。」と主張するが、上記（３）ア（ウ）に示すとおり、引用文献２に記載されているといえる。 したがって、審判請求人の主張はいずれも採用することができない。 エ よって、本件補正発明は、引用発明１及び２に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、本件補正発明は、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。 ３－２ 理由２（特許法第３６条第６項第２号） （１）本件補正後の請求項の記載 本件補正後の請求項２５～２７の記載を再掲すると、次のとおりである。 「 【請求項２５】 プリントヘッド用の液滴吐出器であって、取付面及び反対側のノズル面を有する基板と、前記基板の前記ノズル面の少なくとも一部の上に形成されたノズル形成層と、少なくとも一部は前記基板により且つ少なくとも一部は前記ノズル形成層により画定された流体チャンバであって、少なくとも一部は前記ノズル形成層のノズル部分によって画定された流体チャンバ出口を有し、前記ノズル部分が、前記流体チャンバ出口の方に近接して位置する内側部分と、前記ノズル部分の周縁部の方に近接して位置する外側部分とを備える、流体チャンバと、前記ノズル形成層の前記ノズル部分の前記内側部分に形成された内側アクチュエータ機構、及び前記ノズル形成層の前記ノズル部分の前記外側部分に形成された外側アクチュエータ機構のうちのいずれか又は両方とを備え、前記内側アクチュエータ機構及び／又は前記外側アクチュエータ機構並びに前記ノズル形成層のノズル部分の少なくとも１つは、起動時に前記ノズル部分の前記内側部分が第１向きに湾曲し、前記ノズル部分の前記外側部分が前記第１向きとは反対の第２向きに湾曲するように構成され、前記内側アクチュエータ機構は１つ又は複数の内側圧電アクチュエータを備え、前記１つ又は複数の内側圧電アクチュエータのうちの少なくとも１つが、内側の駆動電極の対の間に設けられた内側圧電体を備え、前記外側アクチュエータ機構は１つ又は複数の外側圧電アクチュエータを備え、前記１つ又は複数の外側圧電アクチュエータのうちの少なくとも１つが、外側の駆動電極の対の間に設けられた外側圧電体を備え、１つ若しくは複数の前記内側圧電体及び／又は１つ若しくは複数の前記外側圧電体が、４５０℃未満の温度で処理可能な１種又は複数種の圧電材料を含み、前記液滴吐出器が前記基板と一体化された少なくとも１つの電子部品を備える、液滴吐出器を作動させる方法であって、 前記内側アクチュエータ機構を作動させ且つ／又は前記外側アクチュエータ機構を作動させ、それにより、前記ノズル形成層の前記ノズル部分の少なくとも一部の変位、及び結果として前記流体チャンバから前記流体チャンバ出口を通る流体の吐出をもたらすステップを含み、 前記液滴吐出器が、内側アクチュエータ機構及び外側アクチュエータ機構の両方を備え、前記方法が、前記内側アクチュエータ機構及び前記外側アクチュエータ機構の両方を作動させ、それにより、前記ノズル形成層の前記ノズル部分の少なくとも一部の変位、及び結果として前記流体チャンバから前記流体チャンバ出口を通る流体の吐出をもたらすステップを含む、方法。 【請求項２６】 前記内側アクチュエータ機構を作動させる前記ステップ及び前記外側アクチュエータ機構を作動させる前記ステップは、同時に行われる、請求項２５に記載の方法。 【請求項２７】 前記内側アクチュエータ機構を作動させるステップが、前記内側の駆動電極の対の間に第１電位差を印加して、前記内側圧電体のたわみをもたらすことを含み、前記外側アクチュエータ機構を作動させるステップが、前記外側の駆動電極の対の間に第２電位差を印加して、前記外側圧電体のたわみをもたらすことを含む、請求項１０に従属する請求項２５又は２６に記載の方法。」 （２）請求項２７には、「請求項１０に従属する請求項２５又は２６に記載の方法」との記載があるが、請求項２５は、上記（１）のとおり独立形式の請求項であるから、「請求項１０に従属する請求項２５」とは、いかなる事項を特定しようとするのか、明確ではない。請求項２５を引用する請求項２６についても同様に請求項１０に従属していないから、同様である。 （３）よって、この出願は、特許請求の範囲の記載が、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていないから、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。 ４ 補正の却下の決定のむすび 前記３－１及び３－２により、本件補正は、特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 よって、上記補正の却下の決定の結論のとおり決定する。 第３ 本願発明について １ 本願発明 本件補正は上記したとおり却下されたので、本願請求項１～２９に係る発明は、本件補正前の令和５年４月２１日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１～２９に記載された事項により特定されるものであり、その請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、前記第２の１（２）で特定されるとおりである。 ２ 原査定における拒絶の理由 原査定の拒絶の理由は、令和５年５月２５付け拒絶理由通知書に記載した次の理由を含むものである。 この出願の請求項１に係る発明は、その優先日前に日本国内又は外国において、頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった次の引用文献１、２記載の発明に基いて、その優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 引用文献１：特開２０１５－５８６６６号公報 引用文献２：特開２０１４－４６５８０号公報 ３ 引用文献 令和５年５月２５日付けの拒絶理由通知書で引用された引用文献、及び、その記載内容は前記第２の３－１（２）及び（３）に記載したとおりである。 ４ 対比・判断 本願発明は、前記第２の３－１（１）で検討した本件補正発明から、「前記基板と前記ノズル形成層との間に設けられた相互接続層」、「前記基板内に設けられた電子回路が、前記相互接続層を介して前記内側アクチュエータ機構又は前記外側アクチュエータ機構に接続される」との事項を削除したものである。 そうすると、本願発明の発明特定事項を全て含み、さらに他の事項を付加したものに相当する本件補正発明が、前記第２の３－１に記載したとおり、引用発明１及び引用発明２に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、引用発明１及び引用発明２に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 第４ むすび 以上のとおりであるから、本願発明は、引用発明１及び引用発明２に基づいて当業者が容易に発明することができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。 したがって、他の請求項について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。 よって、結論のとおり審決する。