2024-000818

特願２０２０－１６６６９５号「圧力検出素子」拒絶査定不服審判事件〔令和４年４月１３日出願公開、特開２０２２－５９１４５〕について、次のとおり審決する。

結 論 本件審判の請求は、成り立たない。

理 由 第１ 手続の経緯 本願は、令和２年１０月１日の特許出願であって、その手続の経緯の概略は、次のとおりである。 令和５年 ５月１８日付け：拒絶理由通知書 同年 ７月 ７日 ：意見書、手続補正書の提出 同年１０月１６日付け：拒絶査定（以下「原査定」という。） （同月２４日 ：原査定の謄本の送達） 令和６年 １月１７日 ：審判請求書、手続補正書の提出 第２ 令和６年１月１７日にされた手続補正についての補正の却下の決定 ［補正の却下の決定の結論］ 令和６年１月１７日にされた手続補正を却下する。 ［補正の却下の決定の理由］ １ 本件補正の内容 令和６年１月１７日にされた手続補正（以下「本件補正」という。）は、次の(１)に示す本件補正前の特許請求の範囲の請求項１の記載を、後記の(２)に示す本件補正後の特許請求の範囲の請求項１の記載に補正することを含むものである。下線は補正箇所を示す。 (１) 本件補正前の特許請求の範囲の請求項１ 「【請求項１】 板状に形成されたダイアフラム部と、前記ダイアフラム部の一方の面に配置される第１ダイアフラム電極部と、前記ダイアフラム部の他方の面に配置される第２ダイアフラム電極部と、前記ダイアフラム部の周縁部に設けられる接合部と、を有する感応部と、 板状に形成され前記感応部の前記接合部の一方の面に接合される第１基板本体部と、前記第１基板本体部の前記第１ダイアフラム電極部と対向する面に配置される第１基板電極と、を有する第１基板と、 板状に形成され前記感応部の前記接合部の他方の面に接合される第２基板本体部と、前記第２基板本体部の前記第２ダイアフラム電極部と対向する面に配置される第２基板電極と、を有する第２基板と、を備え、 前記第１基板本体部には、前記第１基板本体部を貫通する第１圧力導入孔と、前記第１ダイアフラム電極部と対向する面に設けられ前記第１圧力導入孔と連通する第１溝部と、が形成され、 前記第２基板本体部には、前記第２基板本体部を貫通する第２圧力導入孔と、前記第２ダイアフラム電極部と対向する面に設けられ前記第２圧力導入孔と連通する第２溝部と、が形成され、 前記第１溝部は、前記第１基板電極に覆われており、 前記第２溝部は、前記第２基板電極に覆われている ことを特徴とする圧力検出素子。」 (２) 本件補正後の特許請求の範囲の請求項１ 「【請求項１】 板状に形成されたダイアフラム部と、前記ダイアフラム部の一方の面に配置される第１ダイアフラム電極部と、前記ダイアフラム部の他方の面に配置される第２ダイアフラム電極部と、前記ダイアフラム部の周縁部に設けられる接合部と、を有する感応部と、 板状に形成され前記感応部の前記接合部の一方の面に接合される第１基板本体部と、前記第１基板本体部の前記第１ダイアフラム電極部と対向する面に配置される第１基板電極と、を有する第１基板と、 板状に形成され前記感応部の前記接合部の他方の面に接合される第２基板本体部と、前記第２基板本体部の前記第２ダイアフラム電極部と対向する面に配置される第２基板電極と、を有する第２基板と、を備え、 前記第１基板本体部には、前記第１基板本体部を貫通する第１圧力導入孔と、前記第１ダイアフラム電極部と対向する面に設けられ前記第１圧力導入孔と連通する第１溝部と、が形成され、 前記第２基板本体部には、前記第２基板本体部を貫通する第２圧力導入孔と、前記第２ダイアフラム電極部と対向する面に設けられ前記第２圧力導入孔と連通する第２溝部と、が形成され、 前記第１溝部は、前記第１基板電極に覆われており、 前記第２溝部は、前記第２基板電極に覆われており、 前記第１基板電極における前記第１溝部を覆う箇所は、有効な電極面積として機能し、 前記第２基板電極における前記第２溝部を覆う箇所は、有効な電極面積として機能する ことを特徴とする圧力検出素子。」 ２ 本件補正の目的 本件補正のうち請求項１についての補正は、「第１基板電極」及び「第２基板電極」について、それぞれ「前記第１基板電極における前記第１溝部を覆う箇所は、有効な電極面積として機能［すること］」及び「前記第２基板電極における前記第２溝部を覆う箇所は、有効な電極面積として機能する［こと］」を限定するものである。 そして、本件補正前の請求項１に記載された発明と、本件補正後の請求項１に記載される発明は、産業上の利用分野及び解決しようとする課題が同一である。 したがって、本件補正のうち請求項１についての補正は、特許法１７条の２第５項２号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。 ３ 独立特許要件についての当審の判断 本件補正のうち請求項１についての補正は、特許法１７条の２第５項２号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当するから、本件補正後における請求項１に記載されている事項により特定される発明（以下「本件補正発明」という。）が、特許法１７条の２第６項において準用する同法１２６条７項の規定に適合するか、すなわち、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否かについて、以下検討を行う。 (１) 本件補正発明 ア 本件補正発明の認定と分説 本件補正発明は、前記１(２)に摘記した本件補正後の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものである。 ここで、検討の便宜上、本件補正発明の構成を次のように構成Ｘと構成Ａから構成Ｅ２までに分説する。また、参考図１、２として、本願の【図１】及び【図３】を符号の説明とともに示す。 ＜本件補正発明の分説＞ （構成Ａ） 板状に形成されたダイアフラム部と、前記ダイアフラム部の一方の面に配置される第１ダイアフラム電極部と、前記ダイアフラム部の他方の面に配置される第２ダイアフラム電極部と、前記ダイアフラム部の周縁部に設けられる接合部と、を有する感応部と、 （構成Ｂ１） 板状に形成され前記感応部の前記接合部の一方の面に接合される第１基板本体部と、前記第１基板本体部の前記第１ダイアフラム電極部と対向する面に配置される第１基板電極と、を有する第１基板と、 （構成Ｂ２） 板状に形成され前記感応部の前記接合部の他方の面に接合される第２基板本体部と、前記第２基板本体部の前記第２ダイアフラム電極部と対向する面に配置される第２基板電極と、を有する第２基板と、を備え、 （構成Ｃ１） 前記第１基板本体部には、前記第１基板本体部を貫通する第１圧力導入孔と、前記第１ダイアフラム電極部と対向する面に設けられ前記第１圧力導入孔と連通する第１溝部と、が形成され、 （構成Ｃ２） 前記第２基板本体部には、前記第２基板本体部を貫通する第２圧力導入孔と、前記第２ダイアフラム電極部と対向する面に設けられ前記第２圧力導入孔と連通する第２溝部と、が形成され、 （構成Ｄ１） 前記第１溝部は、前記第１基板電極に覆われており、 （構成Ｄ２） 前記第２溝部は、前記第２基板電極に覆われており、 （構成Ｅ１） 前記第１基板電極における前記第１溝部を覆う箇所は、有効な電極面積として機能し、 （構成Ｅ２） 前記第２基板電極における前記第２溝部を覆う箇所は、有効な電極面積として機能する （構成Ｘ） ことを特徴とする圧力検出素子。 ＜参考図１（【図１】）＞ ［図：0001422092000001.jpg］ ＜参考図２（【図３】）＞ ［図：0001422092000002.jpg］ １ 圧力検出素子 ２ 第１基板 ３ 第２基板 ２１ 第１基板本体部 ３１ 第２基板本体部 ２２ 第１基板電極 ３２ 第２基板電極 ２３ 第１圧力導入孔 ３３ 第２圧力導入孔 ２４ 第１溝部 ３４ 第２溝部 ４ 感応部 ４１ ダイアフラム部 ４２ 第１ダイアフラム電極部 ４３ 第２ダイアフラム電極部 ４４ 接合部 イ 本件補正発明の課題、作用効果に関する発明の詳細な説明の記載 本件補正発明の課題、作用効果に関する本願明細書の発明の詳細な説明の記載等を抜粋すると、次の記載がある。 (ア) 技術分野、背景技術、発明が解決しようとする課題について 「【技術分野】 【０００１】 本発明は、圧力検出素子に関する。 【背景技術】 …（中略）… 【０００５】 …（中略）… 特許文献１の圧力検出素子では、２つの基板のそれぞれに複数の圧力導入孔を設けているので、ダイアフラムと電極とが接触しても、密閉空間が形成されず、圧力差が生じないため、これらが密着してしまうことを抑制でき、応答性が悪化することを抑制できる。 【先行技術文献】 【特許文献】 【０００６】 【特許文献１】特開２０００－３５６５６３号公報」 【発明の概要】 【発明が解決しようとする課題】 【０００７】 しかしながら、特許文献１の圧力検出素子では、基板に複数の圧力導入孔を設ける必要があることから、電極の有効面積が減少してしまい、検出感度を最大限に得られていないといった問題があった。 【０００８】 本発明の目的は、応答性が悪化することを抑制でき、かつ、検出感度の低下を抑制できる圧力検出素子を提供することにある。」 (イ) 発明の効果について 「【００２６】 ［実施形態の効果］ 以上のような本実施形態では、次の効果を奏することができる。 （１）本実施形態では、第１基板本体部２１において、第１ダイアフラム電極部４２と対向する面に、第１圧力導入孔２３と連通する第１溝部２４が形成される。これにより、第１圧力導入孔２３または第２圧力導入孔３３を介して、過大な圧力や負圧がダイアフラム部４１に作用して、ダイアフラム部４１の第１ダイアフラム電極部４２と、第１基板２の第１基板電極２２とが接触したとしても、第１ダイアフラム電極部４２と第１基板電極２２が配置された第１基板本体部２１との間に密閉空間が形成されてしまうことを防止できる。そのため、第１ダイアフラム電極部４２と第１基板電極２２とがすぐに剥離せずに応答性が悪くなってしまうことを抑制できる。 同様に、本実施形態では、第２基板本体部３１において、第２ダイアフラム電極部４３と対向する面に、第２圧力導入孔３３と連通する第２溝部３４が形成されるので、第２ダイアフラム電極部４３と第２基板電極３２が配置された第２基板本体部３１との間に密閉空間が形成されてしまうことを防止できる。そのため、第２ダイアフラム電極部４３と第２基板電極３２とがすぐに剥離せずに応答性が悪くなってしまうことを抑制できる。」 「【００２８】 （２）本実施形態では、第１基板２および第２基板３において、第１溝部２４および第２溝部３４も電極に覆われているので、第１溝部２４および第２溝部３４に相当する箇所も有効に活用することができる。そのため、第１溝部２４および第２溝部３４によって有効な電極面積が減少してしまうことを抑制できる。」 (２) 引用文献に記載された事項及び引用発明等の認定 ア 引用文献１に記載された事項及び引用発明の認定 (ア) 引用文献１に記載された事項 原査定の拒絶の理由において引用された文献であって、本願の出願前に発行された文献である特開平３－２０５５２７号公報（以下「引用文献１」という。）には、次の事項が記載されている。下線は審判合議体が付したもので、後記(イ)において引用発明の認定に直接用いる記載を示す。 ａ １頁左下欄下から９行～同頁右下欄５行 「【産業上の利用分野】 この発明は、差圧に応じて変位するダイヤフラムとその各側に近接対向して設けられる受面とを備え、ダイヤフラムの変位に関連して生じる物理量変化、たとえばダイヤフラムとその各側の固定電極との間の静電容量変化、またはダイヤフラム表面に形成された半導体抵抗層の抵抗変化に基づいて差圧が求められる検出器であって、とくに過大な差圧が急速に除去されたとき、これにダイヤフラム変位が迅速に追従するような差圧検出器に関する。 なお、この差圧検出器は、導入圧力の一方が大気圧または真空であることによって、ゲージ圧用または絶対圧用検出器になる。」 ｂ １頁右下欄６行～２頁左上欄７行、第８図 「【従来の技術】 一従来例について、その断面図である第８図を参照しながら説明する。この一従来例は静電容量式、つまりダイヤフラム変位を静電容量に変換する方式の検出器である。 第８図において、可動電極としてのダイヤフラム５ｌの各側に各固定電極５２，５３がその周縁部で各接合部５４，５５によって固着される。各固定電極５２，５３には、ダイヤフラム５１に対向する側に浅い凹部が設けられ、またその中心部を貫通して各導圧孔５８，５９が設けられる。前記の各凹部は、ダイヤフラム５１と各固定電極５２，５３との間の各空隙５６，５７を構威する。 いま、各導圧孔５８，５９からそれぞれ各圧力Ｐ１，Ｐ２（Ｐ１＞Ｐ２）が導入されると、その差圧に応じてダイヤフラム５１は、図の一点鎖線表示のように上方に凸に湾曲し、各固定電極５２，５３との間の静電容量を変化させる。この静電容量の変化は差動的であるから、周知の電子回路によって差圧に比例する電流に変換することができ、言いかえれば、この電流に基づいて差圧を検出することができるわけである。」 「第８図 ［図：0001422092000003.jpg］ 」 ｃ ３頁右下欄５行～同欄最終行、第１図 「【実施例】 本発明に係る差圧検出器の第１の実施例について以下に図面を参照しながら説明する。第１図は第１実施例の断面図、第２図は同じくその内部の正面図である。 第１実施例が第８図に示した一従来例と異なる点は、固定電極のダイヤフラムに対向する表面に導圧孔と交差して溝を設けたことである。すなわち、第１図において、可動電極としてのダイヤフラム１の各側に各固定電極２，３が各円環状接合部４，５によって固着される。各固定電極２，３には、ダイヤフラム１に対向する側に浅い凹部が設けられるとともに、その中心部を貫通して各導圧孔８，９が設けられる。前記の各凹部は、ダイヤフラム１と各固定電極２，３との間の各空隙６，７を構成する。」 「第１図 ［図：0001422092000004.jpg］ 」 ｄ ４頁左上欄１行～同頁右上欄７行、第２図、第７図 「第２図は各固定電極２，３のダイヤフラム１に対向する側の共通な正面図である。第１図における各固定電極２，３の凹部の底面（発明における受面に相当する）に、それぞれ溝各２Ａ，３Ａが、第２図に示されるように、各導圧孔８，９と一文字に交差する形で設けられる。 この実施例の作用は次のとおりである。ダイヤフラム１の一方の表面の中心部が、過大な差圧によって対向する各固定電極２，３の受面のいずれかに強く押圧されても、同時にこの受面側の導入圧が、各導圧孔８，９とそれぞれ交差して設けられた各溝２Ａ，３Ａを通して対向するダイヤフラム１表面の一部に常に作用している。 このダイヤフラム１表面の一部に常に作用している導入圧が、過大差圧が急速に除去されたときのダイヤフラム変位の復帰追従性、つまり応答性を良くするために機能する。この第１実施例のダイヤフラム変位の応答性は、前記の第７図において実線表示されるように、破線表示の一従来例に比べて著しく良くなる。 ところで、ダイヤフラム変位の応答性を良くするには、各溝２Ａ，３Ａの幅はなるべく広い方が有利である。しかし、他方では幅が広いと各固定電極２，３の表面積をその分だけ減少させ、ダイヤフラム１との間の静電容量を減少させるため、ダイヤフラム変位の応答性と静電容量との折衷が設計上で図られることになる。」 「第２図 ［図：0001422092000005.jpg］ 」 「第７図 ［図：0001422092000006.jpg］ 」 (イ) 引用発明の認定 前記(ア)において摘記した事項を総合すると、引用文献１には次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。 ＜引用発明＞ 「差圧に応じて変位するダイヤフラムとその各側に近接対向して設けられる受面とを備え、ダイヤフラムの変位に関連して生じる、ダイヤフラムとその各側の固定電極との間の静電容量変化に基づいて差圧が求められる検出器であって、 この差圧検出器は、導入圧力の一方が大気圧または真空であることによって、ゲージ圧用または絶対圧用検出器になるものであり、（摘記事項ａ） 可動電極としてのダイヤフラム１の各側に各固定電極２，３が各円環状接合部４，５によって固着され、 各固定電極２，３には、ダイヤフラム１に対向する側に浅い凹部が設けられるとともに、その中心部を貫通して各導圧孔８，９が設けられており、 前記の各凹部は、ダイヤフラム１と各固定電極２，３との間の各空隙６，７を構成し、（摘記事項ｃ） 各固定電極２，３の凹部の底面に、それぞれ溝各２Ａ，３Ａが、各導圧孔８，９と一文字に交差する形で設けられており、 ダイヤフラム１の一方の表面の中心部が、過大な差圧によって対向する各固定電極２，３の受面のいずれかに強く押圧されても、同時にこの受面側の導入圧が、各導圧孔８，９とそれぞれ交差して設けられた各溝２Ａ，３Ａを通して対向するダイヤフラム１表面の一部に常に作用しており、 このダイヤプラム１表面の一部に常に作用している導入圧が、過大差圧が急速に除去されたときのダイヤフラム変位の復帰追従性、つまり応答性を良くするために機能する、（摘記事項ｄ） 検出器。」 イ 特許文献１に記載された事項と周知技術の認定 (ア) 特許文献１に記載された事項 請求人が本願の明細書の発明の詳細な説明において特許文献１として引用する本願の出願前に発行された文献であって当審において新たに引用する特開２０００－３５６５６３号公報（以下「特許文献１」という。）には、次の事項が記載されている。 ａ 段落【０００４】～【０００５】、【図５】 「【０００４】流路に置かれた渦発生体の近傍に発生する交番差圧を検出する具体的な差圧検出素子としては、従来からある静電容量型圧力検出素子が知られている。これは、図５に示すように、シリコン製のダイアフラム１と、このダイアフラム１を挟んで接合されかつダイアフラム１との間に空隙２，３を有するガラス製の２枚の絶縁部材４，５とを備える。各絶縁部材４，５には、前記ダイアフラム１と対向する面に電極６，７がそれぞれ形成されているとともに、ダイアフラム１の中央部分と対向する位置に前記空隙２，３に連通する圧力導入口８，９が貫通形成されている。 【０００５】差圧検出素子の両面に差圧が生じると、圧力は圧力導入口８，９を経てダイアフラム１と絶縁部材４，５とで形成される空隙２，３に伝播していき、ダイアフラム両面の差圧とダイアフラム剛性がつり合う位置にダイアフラム１が変位される。このとき、ダイアフラム１とその両側の電極６，７との間の静電容量が変化する。この静電容量変化が、差圧検出素子とは別に設けられた電気回路によって電気信号に変換され、交番差圧として検出される。」 「【図５】 ［図：0001422092000007.jpg］ ［図：0001422092000008.jpg］ 」 ｂ 段落【００１３】 「【００１３】ここで、ダイアフラムにおいて、感応部に電極部を有するとは、ダイアフラムが絶縁体で構成される場合には、たとえば、半導体プロセスなどの技術により電極部を形成すればよく、また、ダイアフラム自体が半導体または導体で構成される場合には、このダイアフラム自体が電極部を構成する。また、複数の圧力導入口の配置については、ダイアフラムの感応部に対して偏って配置するよりは、均等に分散して配置されているのが好ましい。」 (イ) 周知技術の認定 前記(ア)に摘記した事項に例示されるように、次の技術事項は、当業者にとって周知技術であると認められる（以下「周知技術Ａ」という）。 ＜周知技術Ａ＞ 「上面及び下面に電極部を形成したダイアフラムと、 前記ダイアフラムと対向する面に電極をそれぞれ形成した上下二枚の平板状の絶縁基板と、からなる 静電容量型圧力検出素子」 (３) 対比・判断 ア 対比分析 本件補正発明と引用発明を対比する。 (ア) 構成Ｘの観点 引用発明の「ダイヤフラムとその各側の固定電極との間の静電容量変化に基づいて差圧が求められる検出器」は、本件補正発明の「圧力検出素子」に相当する。 したがって、本件補正発明と引用発明は、「圧力検出素子」の発明である点において一致する。 (イ) 構成Ａの観点 ａ 構成Ａは、「板状に形成されたダイアフラム部と、前記ダイアフラム部の一方の面に配置される第１ダイアフラム電極部と、前記ダイアフラム部の他方の面に配置される第２ダイアフラム電極部と、前記ダイアフラム部の周縁部に設けられる接合部と、を有する感応部と」を備えることである。 ｂ(ａ) 引用発明においては、「ダイヤフラムとその各側の固定電極との間の静電容量変化に基づいて差圧が求められる」ことを踏まえると、「可動電極としてのダイヤフラム」と「固定電極」は、いわゆる平行平板コンデンサーの電極として機能しているといえるから、引用発明の「ダイヤフラム」のうち、少なくとも「固定電極」とコンデンサーを形成する部分は、板状に形成されたものであるといえる。 そうすると、引用発明の「ダイヤフラム」は、本件補正発明の「板状に形成されたダイアフラム部」に相当する。 (ｂ) 引用発明の「ダイヤフラム１」において、「可動電極としてのダイヤフラム１の各側に各固定電極２，３」を「固着」する「各円環状接合部４，５」が設けられる部分は、本件補正発明の「前記ダイアフラム部の周縁部に設けられる接合部」に相当する。 (ｃ) 引用発明においては、「ダイヤフラム」が「差圧に応じて変位」し、「各円環状接合部４，５」により「固着」された「各固定電極２，３」との間の「静電容量変化に基づいて差圧が求められる」から、「可動電極としてのダイヤフラム１」は、本件補正発明にいうところの「感応部」を構成しているといえる。 ｃ 前記ｂを踏まえると、本件補正発明と引用発明は、構成Ａの観点について、次の(ａ)に示す点において一致し、(ｂ)に示す点において相違する。 (ａ) 構成Ａの観点における一致点 「板状に形成されたダイアフラム部と、前記ダイアフラム部の周縁部に設けられる接合部と、を有する感応部」を備える点。 (ｂ) 構成Ａの観点における相違点 感応部における電極として作用する部分が、 本件補正発明においては、「前記ダイアフラム部の一方の面に配置される第１ダイアフラム電極部と、前記ダイアフラム部の他方の面に配置される第２ダイアフラム電極部」であるのに対して、 引用発明においては、「可動電極としてのダイヤフラム１」（すなわち、本件補正発明における「ダイアフラム部」自体）である点。 (ウ) 構成Ｂ１及びＢ２の観点 ａ 構成Ｂ１及び構成Ｂ２は、それぞれ、次の(ａ)及び(ｂ)に示すとおりである。 (ａ) （構成Ｂ１） 「板状に形成され前記感応部の前記接合部の一方の面に接合される第１基板本体部と、前記第１基板本体部の前記第１ダイアフラム電極部と対向する面に配置される第１基板電極と、を有する第１基板と」を備えること。 (ｂ) （構成Ｂ２） 「板状に形成され前記感応部の前記接合部の他方の面に接合される第２基板本体部と、前記第２基板本体部の前記第２ダイアフラム電極部と対向する面に配置される第２基板電極と、を有する第２基板と」を備えること。 ｂ 構成Ｂ１について (ａ) 前記(イ)ｂ(ａ)の検討を踏まえると、平行平板コンデンサーの電極として機能している、引用発明の「固定電極２」は、本件補正発明における「前記第１基板本体部の前記第１ダイアフラム電極部と対向する面に配置される第１基板電極」と、ダイヤフラム部に対向する固定電極として機能する部分である点において共通する。 (ｂ) 前記(イ)ｂ(ｂ)、(ｃ)の検討を踏まえると、引用発明の「固定電極２」のうち、「固定電極２」は、本件補正発明における「板状に形成され前記感応部の前記接合部の一方の面に接合される第１基板本体部」を有する「第１基板」と、感応部の接合部の一方の面に接合される第１部材である点において共通する。 (ｃ) 前記(ａ)及び(ｂ)を踏まえると、本件補正発明と引用発明は、構成Ｂ１の観点について、次のｉに示す点において一致し、iiに示す点において相違する。 ｉ 構成Ｂ１の観点における一致点 「ダイヤフラム部に対向する固定電極として機能する部分を備え、前記感応部の前記接合部の一方の面に接合される第１部材」を備える点。 ii 構成Ｂ１の観点における相違点 「ダイヤフラム部に対向する固定電極として機能する部分を備え、前記感応部の前記接合部の一方の面に接合される第１部材」が、 本件補正発明においては、「板状に形成された第１基板本体部」と、「前記第１基板本体部」の前記ダイアフラム部と対向する面に配置される「第１基板電極」と、を有する「第１基板」であるのに対して、 引用発明においては、ダイヤフラム１に対向する側に浅い凹部が設けられた固定電極２である点。 ｃ 前記ｂの構成Ｂ１についての検討と同様にして、本件補正発明と引用発明は、構成Ｂ２の観点について、次のｉに示す点において一致し、iiに示す点において相違する。 ｉ 構成Ｂ２の観点における一致点 「ダイヤフラム部に対向する固定電極として機能する部分を備え、前記感応部の前記接合部の他方の面に接合される第２部材」を備える点。 ii 構成Ｂ２の観点における相違点 「ダイヤフラム部に対向する固定電極として機能する部分を備え、前記感応部の前記接合部の他方の面に接合される第２部材」が、 本件補正発明においては、「板状に形成された第２基板本体部」と、「前記第２基板本体部」の前記ダイアフラム部と対向する面に配置される「第２基板電極」と、を有する「第２基板」であるのに対して、 引用発明においては、ダイヤフラム１に対向する側に浅い凹部が設けられた固定電極３である点。 (エ) 構成Ｃ１及びＣ２の観点 ａ 構成Ｃ１及び構成Ｃ２は、それぞれ、次の(ａ)及び(ｂ)に示すとおりである。 (ａ) （構成Ｃ１） 「前記第１基板本体部には、前記第１基板本体部を貫通する第１圧力導入孔と、前記第１ダイアフラム電極部と対向する面に設けられ前記第１圧力導入孔と連通する第１溝部と、が形成され［ている］」こと。 (ｂ) （構成Ｃ２） 「前記第２基板本体部には、前記第２基板本体部を貫通する第２圧力導入孔と、前記第２ダイアフラム電極部と対向する面に設けられ前記第２圧力導入孔と連通する第２溝部と、が形成され［ている］」こと。 ｂ(ａ) 引用発明において、「各固定電極２，３には、ダイヤフラム１に対向する側に浅い凹部が設けられるとともに、その中心部を貫通して各導圧孔８，９が設けられて」いるところ、前記(ウ)の検討を踏まえると、引用発明の「導圧孔８，９」のうち、「導圧孔８」は第１部材を貫通する第１圧力導入孔であり、「導圧孔９」は第２部材を貫通する第２圧力導入孔であるといえる。 (ｂ) 引用発明においては、「各固定電極２，３の凹部の底面に、それぞれ溝各２Ａ，３Ａが、各導圧孔８，９と一文字に交差する形で設けられており」、「受面側の導入圧が、各導圧孔８，９とそれぞれ交差して設けられた各溝２Ａ，３Ａを通して対向するダイヤフラム１表面の一部に常に作用して」いるから、引用発明の「溝２Ａ」は「導圧孔８」と連通しており、「溝３Ａ」は「導圧孔９」と連通しているといえる。 (ｃ) そうすると、引用発明の「導圧孔８」と連通する「溝２Ａ」は、前記(ウ)の検討を踏まえると、ダイアフラム部の一方の面と対向する面に設けられ第１圧力導入孔と連通する第１溝部であり、引用発明の「導圧孔９」と連通する「溝３Ａ」は、同様に、ダイアフラム部の他方の面と対向する面に設けられ第２圧力導入孔と連通する第２溝部であるといえる。 ｃ 前記ｂの検討結果をまとめると、本件補正発明と引用発明は、構成Ｃ１及びＣ２の観点について、次の点において共通する。なお、構成Ｃ１及びＣ２の観点についての相違点は、構成Ｂ１及び構成Ｂ２の観点についての相違点に含まれるので記載を省略する。 ＜構成Ｃ１及びＣ２の観点についての共通点＞ 「前記第１部材には、前記第１部材を貫通する第１圧力導入孔と、前記ダイアフラム部の一方の面と対向する面に設けられ前記第１圧力導入孔と連通する第１溝部と、が形成され」、 「前記第２部材には、前記第２部材を貫通する第２圧力導入孔と、前記ダイアフラム部の他方の面と対向する面に設けられ前記第２圧力導入孔と連通する第２溝部と、が形成される」点。 (オ) 構成Ｄ１及びＤ２の観点 ａ 構成Ｄ１及び構成Ｄ２は、それぞれ、次の(ａ)及び(ｂ)に示すとおりである。 (ａ) （構成Ｄ１） 「前記第１溝部は、前記第１基板電極に覆われ［ている］」こと。 (ｂ) （構成Ｄ２） 「前記第２溝部は、前記第２基板電極に覆われ［ている］」こと。 ｂ(ａ) 引用発明においては、「各固定電極２，３の凹部の底面に、それぞれ溝各２Ａ，３Ａが、各導圧孔８，９と一文字に交差する形で設けられて［いる］」のであるから、各溝の表面は、固定電極２，３となる。 (ｂ) そうすると、構成Ｄ１及びＤ２の観点について、本件補正発明と引用発明は、次の点において共通する。なお、構成Ｄ１及び構成Ｄ２の観点における相違点は、構成Ｂ１及び構成Ｂ２の観点についての相違点に含まれるので記載を省略する。 ＜構成Ｄ１及びＤ２の観点についての共通点＞ 「第１部材及び第２部材のダイヤフラム部に対向する部分のうち、第１溝部及び第２溝部の箇所は、電極の機能を有している」点。 (カ) 構成Ｅ１及びＥ２の観点 ａ 構成Ｅ１及び構成Ｅ２は、それぞれ、次の(ａ)及び(ｂ)に示すとおりである。 (ａ) （構成Ｅ１） 「前記第１基板電極における前記第１溝部を覆う箇所は、有効な電極面積として機能［する］」こと。 (ｂ) （構成Ｅ２） 「前記第２基板電極における前記第２溝部を覆う箇所は、有効な電極面積として機能する」こと。 ｂ(ａ) 「有効な電極面積として機能すること」の意味について検討する。 (ｂ) 当該文言は、本件補正により加えられたものであるところ、請求人は、審判請求書において、その根拠を明細書の段落【００２８】の次の記載にある旨説明している。 「【００２８】 （２）本実施形態では、第１基板２および第２基板３において、第１溝部２４および第２溝部３４も電極に覆われているので、第１溝部２４および第２溝部３４に相当する箇所も有効に活用することができる。そのため、第１溝部２４および第２溝部３４によって有効な電極面積が減少してしまうことを抑制できる。」 (ｃ) 前記(ｂ)に摘記した発明の詳細な説明の記載も参酌しつつ、ｉ）溝部の面積は溝が形成されていない部分に対して桁違いに非常に小さいと考えるのが常識的であること、ii）溝部が電極に覆われていても静電容量が減少してしまうことは自明であることを併せ考慮すると、「有効な電極面積として機能すること」とは、「単位面積当たりの静電容量に有意な効果を奏するものとして機能する」と解釈するのが相当である。 (ｄ) ここで、引用発明について検討すると、浅い凹部の深さに比較して、溝部の深さが桁違いに大きいことは常識的には考えにくく、静電容量は電極間の距離に反比例することを考慮すると、引用発明においても、溝部は、「単位面積当たりの静電容量に有意な効果を奏するものとして機能する」と考えるのが常識的である。 (ｅ) そうすると、前記(ウ)の検討結果も踏まえると、構成Ｅ１及びＥ２の観点について、本件補正発明と引用発明は、次の点において共通する。なお、構成Ｅ１及び構成Ｅ２の観点における相違点は、構成Ｂ１及び構成Ｂ２の観点についての相違点に含まれるので記載を省略する。 ＜構成Ｅ１及びＥ２の観点についての共通点＞ 「第１部材及び第２部材のダイヤフラム部に対向する固定電極として機能する部分のうち、第１溝部及び第２溝部の箇所は、有効な電極面積として機能する」点。 イ 一致点及び相違点の認定 前記アの対比分析の検討結果をまとめると、本件補正発明と引用発明は、次の一致点において一致し、後記の相違点において相違する。 (ア) 一致点 「板状に形成されたダイアフラム部と、前記ダイアフラム部の周縁部に設けられる接合部と、を有する感応部と、 ダイヤフラム部に対向する固定電極として機能する部分を備え、前記感応部の前記接合部の一方の面に接合される第１部材と、 ダイヤフラム部に対向する固定電極として機能する部分を備え、前記感応部の前記接合部の他方の面に接合される第２部材と、を備え、 前記第１部材には、前記第１部材を貫通する第１圧力導入孔と、前記ダイアフラム部の一方の面と対向する面に設けられ前記第１圧力導入孔と連通する第１溝部と、が形成され、 前記第２部材には、前記第２部材を貫通する第２圧力導入孔と、前記ダイアフラム部の他方の面と対向する面に設けられ前記第２圧力導入孔と連通する第２溝部と、が形成され、 第１部材及び第２部材のダイヤフラム部に対向する部分のうち、第１溝部及び第２溝部の箇所は、電極の機能を有しており、 第１部材及び第２部材のダイヤフラム部に対向する固定電極として機能する部分のうち、第１溝部及び第２溝部の箇所は、有効な電極面積として機能する 圧力検出素子」である点。 (イ) 相違点 本件補正発明においては、 Ａ 感応部における電極として作用する部分が、 「前記ダイアフラム部の一方の面に配置される第１ダイアフラム電極部と、前記ダイアフラム部の他方の面に配置される第２ダイアフラム電極部」であり、 Ｂ１ 「ダイヤフラム部に対向する固定電極として機能する部分を備え、前記感応部の前記接合部の一方の面に接合される第１部材」が、 「板状に形成された第１基板本体部」と、「前記第１基板本体部」の前記ダイアフラム部と対向する面に配置される「第１基板電極」と、を有する「第１基板」であり、 Ｂ２ 「ダイヤフラム部に対向する固定電極として機能する部分を備え、前記感応部の前記接合部の他方の面に接合される第２部材」が、 「板状に形成された第２基板本体部」と、「前記第２基板本体部」の前記ダイアフラム部と対向する面に配置される「第２基板電極」と、を有する「第２基板」であるのに対して、 引用発明においては、 ａ 感応部における電極として作用する部分が、 「可動電極としてのダイヤフラム１」（すなわち、本件補正発明における「ダイアフラム部」自体）であり、 ｂ１ 「ダイヤフラム部に対向する固定電極として機能する部分を備え、前記感応部の前記接合部の一方の面に接合される第１部材」が、 ダイヤフラム１に対向する側に浅い凹部が設けられた固定電極２であり、 ｂ２ 「ダイヤフラム部に対向する固定電極として機能する部分を備え、前記感応部の前記接合部の他方の面に接合される第２部材」が、 ダイヤフラム１に対向する側に浅い凹部が設けられた固定電極３である点。 ウ 判断 「上面及び下面に電極部を形成したダイアフラムと、前記ダイアフラムと対向する面に電極をそれぞれ形成した上下二枚の平板状の絶縁基板と、からなる静電容量型圧力検出素子」は、当業者にとって周知のものである（前記周知技術Ａを参照）。 そうすると、「ダイヤフラムの変位に関連して生じる、ダイヤフラムとその各側の固定電極との間の静電容量変化に基づいて差圧が求められる検出器」において、「静電容量型圧力検出素子」として当業者に周知の構造である周知技術Ａを選択して、本件補正発明の前記相違点に係る構成を備えるようにすることは、当業者にとっては、設計変更にすぎず、容易に想到し得たことである。 (４) 請求人の主張について ア 審判請求書の主張の概要 引用文献１には、「ところで、ダイヤフラム変位の応答性を良くするには、各溝２Ａ，３Ａの幅はなるべく広い方が有利である。しかし、他方では幅が広いと各固定電極２，３の表面積をその分だけ減少させ、ダイヤフラム１との間の静電容量を減少させるため、ダイヤフラム変位の応答性と静電容量との折衷が設計上で図られることになる。」と記載されており（４頁右上欄参照）、仮に溝２Ａ，３Ａの内面が導電性材料で構成されていたとしても、各溝２Ａ，３Ａの箇所は電極２，３の表面積をその分だけ減少させるため、有効な電極面積として機能していないのは明らかであるから、本件補正発明は、引用文献１の構成とは異なる。 引用文献１では、各溝２Ａ，３Ａの箇所に応じて固定電極２，３の表面積が減少することから、ダイヤフラム１との間の静電容量が減少してしまうのに対し、本件補正発明では、第１溝部が第１基板電極に覆われており、第２溝部が第２基板電極に覆われており、第１基板電極における第１溝部を覆う箇所は、有効な電極面積として機能し、第２基板電極における第２溝部を覆う箇所は、有効な電極面積として機能するので、静電容量が減少してしまうことを抑制することができ、引用文献１の記載からは得られない優れた効果があり、引用文献１に記載の発明に対する格別な差異を有するため、本件補正発明は、引用文献１に基づいて容易に想到できたとはいえない。 イ 審判請求書の主張に対する当審の判断 (ア) 請求人の主張は、要するに、本件補正発明は構成Ｅ１及び構成Ｅ２の点において引用発明と相違するとの主張であるが、前記(３)ア(オ)において検討したとおり、引用発明においては、「各固定電極２，３の凹部の底面に、それぞれ溝各２Ａ，３Ａが、各導圧孔８，９と一文字に交差する形で設けられて［いる］」のであるから、各溝の表面は、固定電極２，３となり、前記(３)ア(カ)において説示したとおり、本件補正発明と引用発明は、「第１部材及び第２部材のダイヤフラム部に対向する固定電極として機能する部分のうち、第１溝部及び第２溝部の箇所は、有効な電極面積として機能する点」において共通するのであるから、請求人の主張は採用できない。 なお、前記周知技術Ａの採用に当たって、基板に電極を形成してから溝部を形成すると、電極に対するエッチングと基板に対するエッチングが必要となるのに対して、電極を形成する前に基板をエッチングするとエッチングが１回になるから、電極を形成する前に基板に溝を形成し、その後電極を形成することを当業者はまず考え、この場合、溝部に電極が形成されることとなる。 (イ) 引用文献１の「ところで、ダイヤフラム変位の応答性を良くするには、各溝２Ａ，３Ａの幅はなるべく広い方が有利である。しかし、他方では幅が広いと各固定電極２，３の表面積をその分だけ減少させ、ダイヤフラム１との間の静電容量を減少させるため、ダイヤフラム変位の応答性と静電容量との折衷が設計上で図られることになる。」との記載における「（各溝２Ａ，３Ａの）幅が広いと各固定電極２，３の表面積をその分だけ減少させ、ダイヤフラム１との間の静電容量を減少させる」との記載は、より正確には、「（各溝２Ａ，３Ａの）幅が広いと各固定電極２，３の溝が形成されていない部分の表面積をその分だけ減少させ、ダイヤフラム１との間の静電容量を減少させる」と読むべきことは当業者には自明であり、当該記載は、前記(３)ア(カ)において検討した、溝部が「単位面積当たりの静電容量に有意な効果を奏するものとして機能する」ことと矛盾することではない。 引用文献１の前記記載を根拠とする請求人の主張は、引用文献１の記載の意味を正解しない主張であり、採用することはできない。 (５) 小括 以上検討のとおり、本件補正発明は、特許法２９条２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができない。 したがって、本件補正は、同法１７条の２第６項において準用する同法１２６条７項の規定に違反するから、同法１５９条１項において読み替えて準用する同法５３条１項の規定により却下すべきものである。 よって、前記補正の却下の決定の結論のとおり決定する。 第３ 本願発明について １ 本願発明の認定 本件補正は、前記第２のとおり却下されたので、本願の請求項１～３に係る発明は、令和５年７月７日に提出された手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１～３に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、そのうち、請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は前記第２の１(１)に摘記した事項により特定されるとおりである。 ２ 拒絶の理由の概要 原査定の拒絶の理由のうち、本願発明についての理由２の要旨は、次のとおりである。 理由２ （進歩性の欠如） 本願発明は、下記の引用文献１に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。 記 引用文献１：特開平３－２０５５２７号公報 ３ 引用文献に記載された事項及び周知技術 前記引用文献１には、前記第２の３(２)ア(イ)において認定したとおりの引用発明が記載されていると認められる。 また、前記周知技術Ａは、前記第２の３(２)イ(イ)において認定したとおりである。 ４ 対比・判断 本願発明は、本件補正発明の「第１基板電極」及び「第２基板電極」について、それぞれ「前記第１基板電極における前記第１溝部を覆う箇所は、有効な電極面積として機能」すること、及び、「前記第２基板電極における前記第２溝部を覆う箇所は、有効な電極面積として機能する」ことの限定を省いたものである(前記第２の２参照)。 そうすると、本願発明の特定事項を全て含み、当該構成の一部を限定したものに相当する本件補正発明が、前記第２の３において検討したとおり、引用発明及び周知技術Ａに基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、当業者が容易に発明をすることができたものである。 第４ むすび 以上検討のとおりであるから、本願発明は、特許法２９条２項の規定により、特許を受けることができない。 したがって、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。 よって、結論のとおり審決する。