2022-390031

特許第４２４４１５６号に関する訂正審判事件について、次のとおり審決する。

結 論 特許第４２４４１５６号の特許請求の範囲を本件審判請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり訂正することを認める。

理 由 第１ 手続の経緯 本件特許第４２４４１５６号は、平成１５年５月７日の出願であって、平成２１年１月１６日に特許権の設定登録がされ、令和４年３月１７日に本件訂正審判の請求がされたものである。 第２ 請求の趣旨及び訂正の内容 １ 請求の趣旨 本件訂正審判の請求の趣旨は、「特許第４２４４１５６号の特許請求の範囲を本件審判請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり訂正することを認める、との審決を求める。」である。 ２ 訂正の内容 本件訂正審判の請求に係る訂正（以下「本件訂正」という。）は、以下のとおりのものである（下線は請求人が付したものである。）。 （１）訂正事項１ 特許請求の範囲の請求項４に「前記空間光変調手段がＤＭＤであることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項記載の投影露光装置。」とあるうち、請求項１を引用するものについて、独立形式に改め、 「 光源から発せられた光を空間光変調して２次元パターンを形成するＤＭＤと、該空間光変調された２次元パターンを感光材料上に結像させる像側テレセントリックな結像光学系とを備え、前記２次元パターンを前記感光材料上に投影し露光する投影露光装置であって、 前記感光材料と前記結像光学系との間に配置され、該感光材料と結像光学系との間の空気間隔を変更して前記２次元パターンを結像させる際のピントを調節する空気間隔調節手段を備え、 前記空気間隔調節手段が、くさび型プリズムペアを有し、前記感光材料上に結像される前記２次元パターンの結像領域の最小幅方向へ、前記くさび型プリズムペアを構成する各くさび型プリズムの互いの位置を相対的に移動させて前記ピントを調節するものであることを特徴とする、投影露光装置。」、 に訂正する。 （２）訂正事項２ 特許請求の範囲の請求項４に「前記空間光変調手段がＤＭＤであることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項記載の投影露光装置。」とあるうち、請求項２を引用するものについて、独立形式に改め、 「 入射された光を所定の制御信号に応じて変調する画素部を２次元状に多数配列してなり、前記多数の画素部により前記光を空間光変調するＤＭＤと、 前記ＤＭＤで空間光変調された光の２次元パターンを結像させる第１結像光学系と、 該第１結像光学系により結像される前記２次元パターンの結像面近傍に配設された、前記第１結像光学系を通過した前記各画素部に対応する各光をそれぞれ通す個別のマイクロレンズを２次元状に配置してなるマイクロレンズアレイと、 前記マイクロレンズアレイを通った前記各光それぞれを感光材料上に結像させる像側テレセントリックな第２結像光学系とを備え、前記２次元パターンを前記感光材料上に投影して該感光材料に前記２次元パターンを露光する投影露光装置であって、 前記感光材料と前記第２結像光学系との間に配置され、該感光材料と第２結像光学系との間の空気間隔を変更して前記２次元パターンを結像させる際のピントを調節する空気間隔調節手段を備え、 前記空気間隔調節手段が、くさび型プリズムペアを有し、前記感光材料上に結像される前記２次元パターンの結像領域の最小幅方向へ、前記くさび型プリズムペアを構成する各くさび型プリズムの互いの位置を相対的に移動させて前記ピントを調節するものであることを特徴とする、投影露光装置。」、 と記載し、新たに請求項６とする。 （３）訂正事項３ 特許請求の範囲の請求項４に「前記空間光変調手段がＤＭＤであることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項記載の投影露光装置。」とあるうち、請求項３を引用するものについて、独立形式に改め、 「 入射された光を所定の制御信号に応じて変調する画素部を２次元状に多数配列してなり、前記多数の画素部により前記光を空間光変調するＤＭＤと、 前記ＤＭＤで空間光変調された光の２次元パターンを結像させる第１結像光学系と、 該第１結像光学系により結像される前記２次元パターンの結像面近傍に配設された、前記第１結像光学系を通過した前記各画素部に対応する各光をそれぞれ通す個別のマイクロレンズを２次元状に配置してなるマイクロレンズアレイと、 前記マイクロレンズアレイを通った前記各光それぞれを感光材料上に結像させる像側テレセントリックな第２結像光学系とを備え前記２次元パターンを前記感光材料上に投影して該感光材料に前記２次元パターンを露光する投影露光装置であって、 前記第２結像光学系と前記マイクロレンズアレイとの間に配置され、該第２結像光学系とマイクロレンズアレイとの間の空気間隔を変更して前記２次元パターンを結像させる際のピントを調節する空気間隔調節手段を備え、 前記空気間隔調節手段が、くさび型プリズムペアを有し、前記感光材料上に結像される前記２次元パターンの結像領域の最小幅方向へ、前記くさび型プリズムペアを構成する各くさび型プリズムの互いの位置を相対的に移動させて前記ピントを調節するものであることを特徴とする、投影露光装置。」、 と記載し、新たに請求項７とする。 （４）訂正事項４ 特許請求の範囲の請求項５に「前記ＤＭＤが、該ＤＭＤを構成する２次元状に配列された多数の画素部のうちの１部分のみを使用して前記空間光変調を行なうものであることを特徴とする請求項４記載の投影露光装置。」とあるうち、引用する請求項４のうち請求項１を引用するものについて、独立形式に改め、 「 光源から発せられた光を空間光変調して２次元パターンを形成するＤＭＤと、該空間光変調された２次元パターンを感光材料上に結像させる像側テレセントリックな結像光学系とを備え、前記２次元パターンを前記感光材料上に投影し露光する投影露光裝置であって、 前記感光材料と前記結像光学系との間に配置され、該感光材料と結像光学系との間の空気間隔を変更して前記２次元パターンを結像させる際のピントを調節する空気間隔調節手段を備え、 前記空気間隔調節手段が、くさび型プリズムペアを有し、前記感光材料上に結像される前記２次元パターンの結像領域の最小幅方向へ、前記くさび型プリズムペアを構成する各くさび型プリズムの互いの位置を相対的に移動させて前記ピントを調節するものであり、 前記ＤＭＤが、該ＤＭＤを構成する２次元状に配列された多数の画素部のうちの１部分のみを使用して前記空間光変調を行なうものであることを特徴とする、投影露光装置。」、 に訂正する。 （５）訂正事項５ 特許請求の範囲の請求項５に「前記ＤＭＤが、該ＤＭＤを構成する２次元状に配列された多数の画素部のうちの１部分のみを使用して前記空間光変調を行なうものであることを特徴とする請求項４記載の投影露光装置。」とあるうち、引用する請求項４のうち請求項２を引用するものについて、独立形式に改め、 「 入射された光を所定の制御信号に応じて変調する画素部を２次元状に多数配列してなり、前記多数の画素部により前記光を空間光変調するＤＭＤと、 前記ＤＭＤで空間光変調された光の２次元パターンを結像させる第１結像光学系と、 該第１結像光学系により結像される前記２次元パターンの結像面近傍に配設された、前記第１結像光学系を通過した前記各画素部に対応する各光をそれぞれ通す個別のマイクロレンズを２次元状に配置してなるマイクロレンズアレイと、 前記マイクロレンズアレイを通った前記各光それぞれを感光材料上に結像させる像側テレセントリックな第２結像光学系とを備え、前記２次元パターンを前記感光材料上に投影して該感光材料に前記２次元パターンを露光する投影露光装置であって、 前記感光材料と前記第２結像光学系との間に配置され、該感光材料と第２結像光学系との間の空気間隔を変更して前記２次元パターンを結像させる際のピントを調節する空気間隔調節手段を備え、 前記空気間隔調節手段が、くさび型プリズムペアを有し、前記感光材料上に結像される前記２次元パターンの結像領域の最小幅方向へ、前記くさび型プリズムペアを構成する各くさび型プリズムの互いの位置を相対的に移動させて前記ピントを調節するものであり、 前記ＤＭＤが、該ＤＭＤを構成する２次元状に配列された多数の画素部のうちの１部分のみを使用して前記空間光変調を行なうものであることを特徴とする、投影露光装置。」、 と記載し、新たに請求項８とする。 （６）訂正事項６ 特許請求の範囲の請求項５に「前記ＤＭＤが、該ＤＭＤを構成する２次元状に配列された多数の画素部のうちの１部分のみを使用して前記空間光変調を行なうものであることを特徴とする請求項４記載の投影露光装置。」とあるうち、引用する請求項４のうち請求項３を引用するものについて、独立形式に改め、 「 入射された光を所定の制御信号に応じて変調する画素部を２次元状に多数配列してなり、前記多数の画素部により前記光を空間光変調するＤＭＤと、 前記ＤＭＤで空間光変調された光の２次元パターンを結像させる第１結像光学系と、 該第１結像光学系により結像される前記２次元パターンの結像面近傍に配設された、前記第１結像光学系を通過した前記各画素部に対応する各光をそれぞれ通す個別のマイクロレンズを２次元状に配置してなるマイクロレンズアレイと、 前記マイクロレンズアレイを通った前記各光それぞれを感光材料上に結像させる像側テレセントリックな第２結像光学系とを備え前記２次元パターンを前記感光材料上に投影して該感光材料に前記２次元パターンを露光する投影露光装置であって、 前記第２結像光学系と前記マイクロレンズアレイとの間に配置され、該第２結像光学系とマイクロレンズアレイとの間の空気間隔を変更して前記２次元パターンを結像させる際のピントを調節する空気間隔調節手段を備え、 前記空気間隔調節手段が、くさび型プリズムペアを有し、前記感光材料上に結像される前記２次元パターンの結像領域の最小幅方向へ、前記くさび型プリズムペアを構成する各くさび型プリズムの互いの位置を相対的に移動させて前記ピントを調節するものであり、 前記ＤＭＤが、該ＤＭＤを構成する２次元状に配列された多数の画素部のうちの１部分のみを使用して前記空間光変調を行なうものであることを特徴とする、投影露光装置。」、 と記載し、新たに請求項９とする。 （７）訂正事項７ 特許請求の範囲の請求項１を削除する。 （８）訂正事項８ 特許請求の範囲の請求項２を削除する。 （９）訂正事項９ 特許請求の範囲の請求項３を削除する。 第３ 当合議体の判断 １ 訂正事項１～３について （１）訂正の目的について ア 訂正事項１～３の内容の整理 訂正事項１～３は、上記第２の２（１）～（３）のとおり、訂正前の請求項４に対する訂正であるところ、当該請求項４は、訂正前の請求項１～３（これらはいずれも独立項である。）を択一的に引用するものであって、当該請求項１～４は、以下のとおりである（下線は当審が付した。以下同じ。）。 （請求項１）「 光源から発せられた光を空間光変調して２次元パターンを形成する空間光変調手段と、 該空間光変調された２次元パターンを感光材料上に結像させる像側テレセントリックな結像光学系とを備え、前記２次元パターンを前記感光材料上に投影し露光する投影露光装置であって、 前記感光材料と前記結像光学系との間に配置され、該感光材料と結像光学系との間の空気間隔を変更して前記２次元パターンを結像させる際のピントを調節する空気間隔調節手段を備え、 前記空気間隔調節手段が、くさび型プリズムペアを有し、前記感光材料上に結像される前記２次元パターンの結像領域の最小幅方向へ、前記くさび型プリズムペアを構成する各くさび型プリズムの互いの位置を相対的に移動させて前記ピントを調節するものであることを特徴とする投影露光装置。」 （請求項２）「 入射された光を所定の制御信号に応じて変調する画素部を２次元状に多数配列してなり、前記多数の画素部により前記光を空間光変調する空間光変調手段と、 前記空間光変調手段で空間光変調された光の２次元パターンを結像させる第１結像光学系と、 該第１結像光学系により結像される前記２次元パターンの結像面近傍に配設された、前記第１結像光学系を通過した前記各画素部に対応する各光をそれぞれ通す個別のマイクロレンズを２次元状に配置してなるマイクロレンズアレイと、 前記マイクロレンズアレイを通った前記各光それぞれを感光材料上に結像させる像側テレセントリックな第２結像光学系とを備え、前記２次元パターンを前記感光材料上に投影して該感光材料に前記２次元パターンを露光する投影露光装置であって、 前記感光材料と前記第２結像光学系との間に配置され、該感光材料と第２結像光学系との間の空気間隔を変更して前記２次元パターンを結像させる際のピントを調節する空気間隔調節手段を備え、 前記空気間隔調節手段が、くさび型プリズムペアを有し、前記感光材料上に結像される前記２次元パターンの結像領域の最小幅方向へ、前記くさび型プリズムペアを構成する各くさび型プリズムの互いの位置を相対的に移動させて前記ピントを調節するものであることを特徴とする投影露光装置。」 （請求項３）「 入射された光を所定の制御信号に応じて変調する画素部を２次元状に多数配列してなり、前記多数の画素部により前記光を空間光変調する空間光変調手段と、 前記空間光変調手段で空間光変調された光の２次元パターンを結像させる第１結像光学系と、 該第１結像光学系により結像される前記２次元パターンの結像面近傍に配設された、前記第１結像光学系を通過した前記各画素部に対応する各光をそれぞれ通す個別のマイクロレンズを２次元状に配置してなるマイクロレンズアレイと、 前記マイクロレンズアレイを通った前記各光それぞれを感光材料上に結像させる像側テレセントリックな第２結像光学系とを備え前記２次元パターンを前記感光材料上に投影して該感光材料に前記２次元パターンを露光する投影露光装置であって、 前記第２結像光学系と前記マイクロレンズアレイとの間に配置され、該第２結像光学系とマイクロレンズアレイとの間の空気間隔を変更して前記２次元パターンを結像させる際のピントを調節する空気間隔調節手段を備え、 前記空気間隔調節手段が、くさび型プリズムペアを有し、前記感光材料上に結像される前記２次元パターンの結像領域の最小幅方向へ、前記くさび型プリズムペアを構成する各くさび型プリズムの互いの位置を相対的に移動させて前記ピントを調節するものであることを特徴とする投影露光装置。」 （請求項４）「 前記空間光変調手段がＤＭＤであることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項記載の投影露光装置。」 以上の訂正前の請求項１～４の記載を踏まえると、訂正事項１～３の内容は、以下のとおりであるといえる。 （ｉ）訂正前の請求項４のうち、請求項１を引用するものについて独立形式に改める訂正。 （ｉｉ）訂正前の請求項４のうち、請求項２を引用するものについて独立形式に改め、訂正後の請求項６とする訂正。 （ｉｉｉ）訂正前の請求項４のうち、請求項３を引用するものについて独立形式に改め、訂正後の請求項７とする訂正。 （ｉｖ）上記（ｉ）～（ｉｉｉ）の訂正後に存在する「光源から発せられた光を空間光変調して２次元パターンを形成する空間光変調手段」の特定事項を「光源から発せられた光を空間光変調して２次元パターンを形成するＤＭＤ」とする訂正。 （ｖ）上記（ｉｉ）～（ｉｉｉ）の訂正後に存在する「前記空間光変調手段で空間光変調された」の特定事項を「前記ＤＭＤで空間光変調された」とする訂正。 （ｖｉ）上記（ｉ）～（ｉｉｉ）の訂正後に存在する「前記空間光変調手段がＤＭＤである」との特定事項を削除する訂正。 イ 判断 上記（ｉ）～（ｉｉｉ）の訂正は、３つの引用関係（請求項１を引用するもの、請求項２を引用するもの、請求項３を引用するもの）からなる訂正前の請求項４に対して、これら３つの引用関係を全て解消して、同数の独立項とするものであるから、特許法第１２６条第１項ただし書第４号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。 上記（ｉｖ）～（ｖｉ）の訂正は、上記（ｉ）～（ｉｉｉ）の訂正によって、「空間光変調手段」の文言が単なる冗長表現となることから、それを使用しないようにする訂正であるといえる。すなわち、当該（ｉ）～（ｉｉｉ）の訂正により、一の請求項中に、「空間光変調手段」に関して、「光源から発せられた光を空間光変調して２次元パターンを形成する空間光変調手段」との特定事項に加えて、「前記空間光変調手段がＤＭＤである」との特定事項もが存在することになった。しかるに、このときの「空間光変調手段」の文言の存在意義を、当該文言を構成する「空間光変調」及び「手段」の両文言に分けて検討してみると、「空間光変調」の文言については、それが担う意味内容は、「空間光変調手段」を修飾する「光源から発せられた光を空間光変調して２次元パターンを形成する」の記載により、訂正前から表現され尽くされていたものにすぎないし、また、「手段」の文言については、その下位概念に該当する「ＤＭＤ」の文言が登場したことにより、当該「ＤＭＤ」の文言で代替するのが可能になったことから、「光源から発せられた光を空間光変調して２次元パターンを形成する」の記載を維持しつつ、「ＤＭＤ」の文言を採用すれば、「空間光変調手段」の文言をあえて使用する必要性がなくなったといえるのであり、よって、その意味で、「空間光変調手段」の文言の存在意義はなくなったといえる。上記（ｉ）～（ｉｉｉ）の訂正は、このような訂正であるから、当該訂正によって、「空間光変調手段」の文言が単なる冗長表現となったことになる。そして、上記（ｉｖ）～（ｖｉ）の訂正は、このような冗長表現という意味で明瞭でない「空間光変調手段」の文言を使用しない表現とするものであるから、特許法第１２６条第１項ただし書第３号に規定する「明瞭でない記載の釈明」を目的とするものである。 よって、訂正事項１～３は、特許法第１２６条第１項ただし書の規定に適合するものである。 （２）新規事項の有無 上記（ｉ）～（ｉｉｉ）の訂正は、単に引用関係を解消するためのものであるし、上記（ｉｖ）～（ｖｉ）の訂正は、「空間光変調手段」という冗長な表現を使用しないようにするためのものであるから、これにより新たな技術的事項が導入されることはなく、新規事項を追加するものではない。 よって、訂正事項１～３は、特許法第１２６条第５項の規定に適合するものである。 （３）実質上特許請求の範囲を拡張又は変更することの有無 上記（１）及び（２）にも照らせば、訂正事項１～３は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないから、特許法第１２６条第６項の規定に適合するものである。 （４）独立特許要件について 訂正事項１～３は、上記（１）のとおり、特許法第１２６条第１項ただし書第３号及び第４号に掲げる事項のみを目的とするものであるから、同法同条第７項に規定する独立特許要件は課されない。 （５）小括 訂正事項１～３は訂正要件を満たす。 ２ 訂正事項４～６について （１）訂正の目的について ア 訂正事項４～６の整理 訂正事項４～６は、上記第２の２（４）～（６）のとおり、訂正前の請求項５に対する訂正であるところ、当該請求項５は、訂正前の請求項１～３（これらはいずれも独立項である。）を択一的に引用する訂正前の請求項４のみを引用するものであって、当該請求項５は、以下のとおりである。 （請求項５）「 前記ＤＭＤが、該ＤＭＤを構成する２次元状に配列された多数の画素部のうちの１部分のみを使用して前記空間光変調を行なうものであることを特徴とする請求項４記載の投影露光装置。」 以上の訂正前の請求項１～５の記載を踏まえると、訂正事項４～６の内容は、以下のとおりであるといえる。 （ｉ）訂正前の請求項５のうち、請求項１を引用する請求項４を引用するものについて独立形式に改める訂正。 （ｉｉ）訂正前の請求項５のうち、請求項２を引用する請求項４を引用するものについて独立形式に改め、訂正後の請求項８とする訂正。 （ｉｉｉ）訂正前の請求項５のうち、請求項３を引用する請求項４を引用するものについて独立形式に改め、訂正後の請求項９とする訂正。 （ｉｖ）上記（ｉ）～（ｉｉｉ）の訂正後に存在する「光源から発せられた光を空間光変調して２次元パターンを形成する空間光変調手段」の特定事項を「光源から発せられた光を空間光変調して２次元パターンを形成するＤＭＤ」とする訂正。 （ｖ）上記（ｉｉ）～（ｉｉｉ）の訂正後に存在する「前記空間光変調手段で空間光変調された」の特定事項を「前記ＤＭＤで空間光変調された」とする訂正。 （ｖｉ）上記（ｉ）～（ｉｉｉ）の訂正後に存在する「前記空間光変調手段がＤＭＤである」との特定事項を削除する訂正。 イ 判断 上記（ｉ）～（ｉｉｉ）の訂正は、３つの引用関係（請求項１を引用する請求項４を引用するもの、請求項２を引用する請求項４を引用するもの、請求項３を引用する請求項４を引用するもの）からなる訂正前の請求項５に対して、これら３つの引用関係を全て解消して、同数の独立項とするものであるから、特許法第１２６条第１項ただし書第４号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。 また、上記（ｉｖ）～（ｖｉ）の訂正は、上記１（１）アの（ｉｖ）～（ｖｉ）の訂正と内容が同じものであり、上記１（１）イで説示したとおり、特許法第１２６条第１項ただし書第３号に規定する「明瞭でない記載の釈明」を目的とするものである。 よって、訂正事項４～６は、特許法第１２６条第１項ただし書の規定に適合するものである。 （２）新規事項の有無 上記（ｉ）～（ｉｉｉ）の訂正は、単に引用関係を解消するためのものであるし、上記（ｉｖ）～（ｖｉ）の訂正は、「空間光変調手段」という冗長な表現を使用しないようにするためのものであるから、これにより新たな技術的事項が導入されることはなく、新規事項を追加するものではない。 よって、訂正事項４～６は、特許法第１２６条第５項の規定に適合するものである。 （３）訂正により実質上特許請求の範囲を拡張又は変更することの有無 上記（１）及び（２）にも照らせば、訂正事項４～６は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないから、特許法第１２６条第６項の規定に適合するものである。 （４）独立特許要件について 訂正事項４～６は、上記（１）のとおり、特許法第１２６条第１項ただし書第３号及び第４号に掲げる事項のみを目的とするものであるから、同法同条第７項に規定する独立特許要件は課されない。 （５）小括 訂正事項４～６は訂正要件を満たす。 ３ 訂正事項７～９について （１）訂正の目的について 訂正事項７～９は、それぞれ訂正前の請求項１～３を削除するものである。 したがって、訂正事項７～９は、特許法第１２６条第１項ただし書第１号に規定する「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。 （２）新規事項の有無 訂正事項７～９は、いずれも請求項を削除するものであるから、このことにより新たな技術的事項が導入されることはなく、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２６条第５項の規定に適合するものである。 （３）訂正により実質上特許請求の範囲を拡張又は変更することの有無 上記（１）及び（２）にも照らせば、訂正事項７～９は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないため、特許法第１２６条第６項の規定に適合するものである。 （４）独立特許要件について 上記（１）で検討したように、訂正事項７～９は「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものであるものの、いずれも請求項を削除するものであるから、訂正事項７～９について、特許法第１２６条第７項に規定する独立特許要件は課されない。 （５）小括 訂正事項７～９は訂正要件を満たす。 第４ むすび 以上のとおり、本件訂正は、特許法第１２６条第１項ただし書第１号、第３号又は第４号に掲げる事項を目的とするものであり、また、同条第５項及び第６項の規定に適合するものであり、同条第７項に規定する要件は課されないものである。 よって、結論のとおり審決する。