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特許訂正審判

2025-390033

エッチング方法、プラズマ処理装置、処理ガス、デバイスの製造方法、プログラム、及び記憶媒体

審判番号
2025-390033
法域
特許
審判種別
訂正審判(訂正の審決)
出願番号
特願2021-512831
登録番号
6990799
請求日
2025年03月25日
審決日
2025年06月23日
公報発行日
2025年09月26日
結論
訂正認容
当事者
  • 【請求人】東京エレクトロン株式会社
  • 【請求人代理人】長谷川 芳樹
  • 【請求人代理人】黒木 義樹
  • 【請求人代理人】柏岡 潤二
審判長/審判官
  • 審判長 松永 稔
  • 審判官 棚田 一也
  • 審判官 中野 浩昌
分類
P141 .841-Y (H01L) / P141 .851-Y (H01L) / P141 .853-Y (H01L) / P141 .857-Y (H01L) / P141 .854-Y (H01L) / P141 .855-Y (H01L) / P141 .856-Y (H01L)
根拠条文(結論部分から自動抽出・参考)
特許法126条1項3号特許法126条1項4号特許法126条5項
条文(本文から自動抽出・参考)
特許法第126条第1項、特許法第126条第5項、特許法第126条第6項、特許法第126条第7項、特許法第126条第3項
データ出所
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特許第6990799号に関する訂正審判事件について、次のとおり審決する。

結論

結 論 特許第6990799号の特許請求の範囲を本件審判請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔16、23~27、30、33~37、97~99〕、〔52、58~61、64、67~71〕について訂正することを認める。

理由

理 由 第1 手続の経緯 本件訂正審判(以下「本件審判」という。)の請求に係る特許第6990799号は、2020年(令和2年)11月2日(優先権主張 令和2年2月14日、令和1年11月8日、令和2年9月11日)を国際出願日とする特許出願に係る特許であって、その請求項1~99に係る発明について令和3年12月8日に特許権の設定登録がなされ、令和7年3月25日に本件審判の請求がなされ、令和7年4月23日に、審判請求書について手続補正書(方式)が提出されたものである。 第2 請求の趣旨 本件審判の請求の趣旨は、特許第6990799号の特許請求の範囲を、本件審判請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項16、23~27、30、33~37及び97~99、並びに、52、58~61、64及び67~71について訂正することを認める、との審決を求めるものである。 第3 訂正の内容 本件審判の請求に係る訂正(以下「本件訂正」という。)の内容は、以下のとおりである。なお、下線部は訂正箇所を示す。 1 一群の請求項16、23~27、30、33~37及び97~99に係る訂正 (1)訂正事項1 特許請求の範囲の請求項16を削除する。 (2)訂正事項2 特許請求の範囲の請求項23に「前記シリコン含有膜は、シリコン酸化膜、シリコン酸化膜及びシリコン窒化膜、又は、シリコン酸化膜及び多結晶シリコン膜を含む、請求項1~22の何れか一項に記載のエッチング方法。」と記載されているのを、「前記シリコン含有膜は、シリコン酸化膜、シリコン酸化膜及びシリコン窒化膜、又は、シリコン酸化膜及び多結晶シリコン膜を含む、請求項1~15及び17~22の何れか一項に記載のエッチング方法。」に訂正する。(請求項23の記載を直接的又は間接的に引用する請求項24~27、30、33~37及び97~99も同様に訂正する。) (3)訂正事項3 特許請求の範囲の請求項24に「前記リン含有ガスは、ハロゲンを含む、請求項1~23の何れか一項に記載のエッチング方法。」と記載されているのを、「前記リン含有ガスは、ハロゲンを含む、請求項1~15及び17~23の何れか一項に記載のエッチング方法。」に訂正する。(請求項24の記載を直接的又は間接的に引用する請求項30、33~37及び97~99も同様に訂正する。) (4)訂正事項4 特許請求の範囲の請求項25に「前記リン含有ガスは、PF3、PCl3、PF5、PCl5、POCl3、PH3、PBr3、又はPBr5の少なくとも一つを含む、請求項1~23の何れか一項に記載のエッチング方法。」と記載されているのを、「前記リン含有ガスは、PF3、PCl3、PF5、PCl5、POCl3、PH3、PBr3、又はPBr5の少なくとも一つを含む、請求項1~15及び17~23の何れか一項に記載のエッチング方法。」に訂正する。(請求項25の記載を直接的又は間接的に引用する請求項30、33~37及び97~99も同様に訂正する。) (5)訂正事項5 特許請求の範囲の請求項26に「前記リン含有ガスは、フッ素を含む、請求項1~23の何れか一項に記載のエッチング方法。」と記載されているのを、「前記リン含有ガスは、フッ素を含む、請求項1~15及び17~23の何れか一項に記載のエッチング方法。」に訂正する。(請求項26の記載を直接的又は間接的に引用する請求項27、30、33~37及び97~99も同様に訂正する。) (6)訂正事項6 特許請求の範囲の請求項30に「前記処理ガスは酸素含有ガスを更に含む、請求項1~29の何れか一項に記載のエッチング方法。」と記載されているのを、「前記処理ガスは酸素含有ガスを更に含む、請求項1~15及び17~29の何れか一項に記載のエッチング方法。」に訂正する。(請求項30の記載を直接的又は間接的に引用する請求項33~37及び97~99も同様に訂正する。) (7)訂正事項7 特許請求の範囲の請求項33に「前記プラズマ処理装置は、容量結合型のプラズマ処理装置である、請求項1~32の何れか一項に記載のエッチング方法。」と記載されているのを、「前記プラズマ処理装置は、容量結合型のプラズマ処理装置である、請求項1~15及び17~32の何れか一項に記載のエッチング方法。」に訂正する。(請求項33の記載を直接的又は間接的に引用する請求項34~36及び97~99も同様に訂正する。) (8)訂正事項8 特許請求の範囲の請求項37に「前記プラズマ処理装置は、誘導結合型のプラズマ処理装置である、請求項1~32の何れか一項に記載のエッチング方法。」と記載されているのを、「前記プラズマ処理装置は、誘導結合型のプラズマ処理装置である、請求項1~15及び17~32の何れか一項に記載のエッチング方法。」に訂正する。(請求項37の記載を直接的又は間接的に引用する請求項97~99も同様に訂正する。) (9)訂正事項9 特許請求の範囲の請求項97に「請求項1~37の何れか一項に記載のエッチング方法によって基板のシリコン含有膜をエッチングすることを含む、デバイスの製造方法。」と記載されているのを、「請求項1~15及び17~37の何れか一項に記載のエッチング方法によって基板のシリコン含有膜をエッチングすることを含む、デバイスの製造方法。」に訂正する。 (10)訂正事項10 特許請求の範囲の請求項98に「請求項1~37の何れか一項に記載のエッチング方法をプラズマ処理装置によって実行させるよう、該プラズマ処理装置のコンピュータによって実行されるプログラム。」と記載されているのを、「請求項1~15及び17~37の何れか一項に記載のエッチング方法をプラズマ処理装置によって実行させるよう、該プラズマ処理装置のコンピュータによって実行されるプログラム。」に訂正する。(請求項98の記載を直接的に引用する請求項99も同様に訂正する。) 2 一群の請求項52、58~61、64及び67~71に係る訂正 (1)訂正事項11 特許請求の範囲の請求項52を削除する。 (2)訂正事項12 特許請求の範囲の請求項58に「前記リン含有ガスは、ハロゲンを含む、請求項38~57の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。」と記載されているのを、「前記リン含有ガスは、ハロゲンを含む、請求項38~51及び53~57の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。」に訂正する。(請求項58の記載を直接的又は間接的に引用する請求項64、67~71も同様に訂正する。) (3)訂正事項13 特許請求の範囲の請求項59に「前記リン含有ガスは、PF3、PCl3、PF5、PCl5、POCl3、PH3、PBr3、又はPBr5の少なくとも一つを含む、請求項38~57の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。」と記載されているのを、「前記リン含有ガスは、PF3、PCl3、PF5、PCl5、POCl3、PH3、PBr3、又はPBr5の少なくとも一つを含む、請求項38~51及び53~57の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。」に訂正する。(請求項59の記載を直接的又は間接的に引用する請求項64、67~71も同様に訂正する。) (4)訂正事項14 特許請求の範囲の請求項60に「前記リン含有ガスは、フッ素を含む、請求項38~57の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。」と記載されているのを、「前記リン含有ガスは、フッ素を含む、請求項38~51及び53~57の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。」に訂正する。(請求項60の記載を直接的又は間接的に引用する請求項61、64、67~71も同様に訂正する。) (5)訂正事項15 特許請求の範囲の請求項64に「前記処理ガスは酸素含有ガスを更に含む、請求項38~63の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。」と記載されているのを、「前記処理ガスは酸素含有ガスを更に含む、請求項38~51及び53~63の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。」に訂正する。(請求項64の記載を直接的又は間接的に引用する請求項67~71も同様に訂正する。) (6)訂正事項16 特許請求の範囲の請求項67に「前記プラズマ処理装置は、容量結合型のプラズマ処理装置である、請求項38~66の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。」と記載されているのを、「前記プラズマ処理装置は、容量結合型のプラズマ処理装置である、請求項38~51及び53~66の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。」に訂正する。(請求項67の記載を直接的又は間接的に引用する請求項68~70も同様に訂正する。) (7)訂正事項17 特許請求の範囲の請求項71に「前記プラズマ処理装置は、誘導結合型のプラズマ処理装置である、請求項38~66の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。」と記載されているのを、「前記プラズマ処理装置は、誘導結合型のプラズマ処理装置である、請求項38~51及び53~66の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。」に訂正する。 第4 当審の判断 1 一群の請求項について (1)訂正前の請求項16、23~27、30、33~37及び97~99について、請求項23~27、30、33~37及び97~99の記載は、請求項16の記載を直接的又は間接的に引用するものであって、本件訂正によって記載が訂正される請求項16に連動して訂正されるものである。 したがって、訂正前の請求項16、23~27、30、33~37及び97~99に対応する訂正後の請求項16、23~27、30、33~37及び97~99は、特許法第126条第3項に規定する一群の請求項である。 (2)また、訂正前の請求項52、58~61、64及び67~71について、請求項58~61、64及び67~71の記載は、請求項52の記載を直接的又は間接的に引用するものであって、本件訂正によって記載が訂正される請求項52に連動して訂正されるものである。 したがって、訂正前の請求項52、58~61、64及び67~71に対応する訂正後の請求項52、58~61、64及び67~71は、特許法第126条第3項に規定する一群の請求項である。 2 一群の請求項16、23~27、30、33~37及び97~99に係る訂正について (1)訂正事項1について ア 訂正の目的について 訂正事項1は、訂正前の請求項16を削除するものであるから、特許法第126条第1項ただし書第1号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。 イ 新規事項の有無について 訂正事項1は、訂正前の請求項16を削除するものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面(以下、「本件明細書等」という。)のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 よって、訂正事項1は、特許法第126条第5項の規定に適合するものである。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の有無について 訂正事項1は、訂正前の請求項16を削除するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 よって、訂正事項1は、特許法第126条第6項の規定に適合するものである。 エ 独立特許要件について 訂正事項1は、訂正前の範囲の請求項16を削除するものであるところ、本件訂正後の、特許請求の範囲に記載された事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見できない。 よって、訂正事項1は、特許法第126条第7項に規定する要件を満たすものである。 (2)訂正事項2について ア 訂正の目的について 訂正事項2は、訂正前の請求項23が請求項1~22の記載を選択的に引用する記載であるところ、訂正事項1で訂正前の請求項16が削除されて請求項16の記載を引用できなくなったことに伴い、請求項間の引用関係を解消する訂正であるから、特許法第126条第1項ただし書第3号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」又は同項第4号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。また、訂正事項2は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、特許法第126条第1項ただし書第1号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。 イ 新規事項の有無について 訂正事項2は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 よって、訂正事項2は、特許法第126条第5項の規定に適合するものである。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の有無について 訂正事項2は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 よって、訂正事項2は、特許法第126条第6項の規定に適合するものである。 エ 独立特許要件について 訂正事項2は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるところ、本件訂正後の、特許請求の範囲に記載された事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見できない。 よって、訂正事項2は、特許法第126条第7項に規定する要件を満たすものである。 (3)訂正事項3について ア 訂正の目的について 訂正事項3は、訂正前の請求項24が請求項1~23の記載を選択的に引用する記載であるところ、訂正事項1で訂正前の請求項16が削除されて請求項16の記載を引用できなくなったことに伴い、請求項間の引用関係を解消する訂正であるから、特許法第126条第1項ただし書第3号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」又は同項第4号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。また、訂正事項3は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、特許法第126条第1項ただし書第1号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。 イ 新規事項の有無について 訂正事項3は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 よって、訂正事項3は、特許法第126条第5項の規定に適合するものである。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の有無について 訂正事項3は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 よって、訂正事項3は、特許法第126条第6項の規定に適合するものである。 エ 独立特許要件について 訂正事項3は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるところ、本件訂正後の、特許請求の範囲に記載された事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見できない。 よって、訂正事項3は、特許法第126条第7項に規定する要件を満たすものである。 (4)訂正事項4について ア 訂正の目的について 訂正事項4は、訂正前の請求項25が請求項1~23の記載を選択的に引用する記載であるところ、訂正事項1で訂正前の請求項16が削除されて請求項16の記載を引用できなくなったことに伴い、請求項間の引用関係を解消する訂正であるから、特許法第126条第1項ただし書第3号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」又は同項第4号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。また、訂正事項4は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、特許法第126条第1項ただし書第1号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。 イ 新規事項の有無について 訂正事項4は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 よって、訂正事項4は、特許法第126条第5項の規定に適合するものである。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の有無について 訂正事項4は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 よって、訂正事項4は、特許法第126条第6項の規定に適合するものである。 エ 独立特許要件について 訂正事項4は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるところ、本件訂正後の、特許請求の範囲に記載された事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見できない。 よって、訂正事項4は、特許法第126条第7項に規定する要件を満たすものである。 (5)訂正事項5について ア 訂正の目的について 訂正事項5は、訂正前の請求項26が請求項1~23の記載を選択的に引用する記載であるところ、訂正事項1で訂正前の請求項16が削除されて請求項16の記載を引用できなくなったことに伴い、請求項間の引用関係を解消する訂正であるから、特許法第126条第1項ただし書第3号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」又は同項第4号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。また、訂正事項5は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、特許法第126条第1項ただし書第1号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。 イ 新規事項の有無について 訂正事項5は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 よって、訂正事項5は、特許法第126条第5項の規定に適合するものである。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の有無について 訂正事項5は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 よって、訂正事項5は、特許法第126条第6項の規定に適合するものである。 エ 独立特許要件について 訂正事項5は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるところ、本件訂正後の、特許請求の範囲に記載された事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見できない。 よって、訂正事項5は、特許法第126条第7項に規定する要件を満たすものである。 (6)訂正事項6について ア 訂正の目的について 訂正事項6は、訂正前の請求項30が請求項1~29の記載を選択的に引用する記載であるところ、訂正事項1で訂正前の請求項16が削除されて請求項16の記載を引用できなくなったことに伴い、請求項間の引用関係を解消する訂正であるから、特許法第126条第1項ただし書第3号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」又は同項第4号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。また、訂正事項6は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、特許法第126条第1項ただし書第1号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。 イ 新規事項の有無について 訂正事項6は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 よって、訂正事項6は、特許法第126条第5項の規定に適合するものである。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の有無について 訂正事項6は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 よって、訂正事項6は、特許法第126条第6項の規定に適合するものである。 エ 独立特許要件について 訂正事項6は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるところ、本件訂正後の、特許請求の範囲に記載された事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見できない。 よって、訂正事項6は、特許法第126条第7項に規定する要件を満たすものである。 (7)訂正事項7について ア 訂正の目的について 訂正事項7は、訂正前の請求項33が請求項1~32の記載を選択的に引用する記載であるところ、訂正事項1で訂正前の請求項16が削除されて請求項16の記載を引用できなくなったことに伴い、請求項間の引用関係を解消する訂正であるから、特許法第126条第1項ただし書第3号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」又は同項第4号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。また、訂正事項7は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、特許法第126条第1項ただし書第1号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。 イ 新規事項の有無について 訂正事項7は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 よって、訂正事項7は、特許法第126条第5項の規定に適合するものである。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の有無について 訂正事項7は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 よって、訂正事項7は、特許法第126条第6項の規定に適合するものである。 エ 独立特許要件について 訂正事項7は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるところ、本件訂正後の、特許請求の範囲に記載された事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見できない。 よって、訂正事項7は、特許法第126条第7項に規定する要件を満たすものである。 (8)訂正事項8について ア 訂正の目的について 訂正事項8は、訂正前の請求項37が請求項1~32の記載を選択的に引用する記載であるところ、訂正事項1で訂正前の請求項16が削除されて請求項16の記載を引用できなくなったことに伴い、請求項間の引用関係を解消する訂正であるから、特許法第126条第1項ただし書第3号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」又は同項第4号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。また、訂正事項8は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、特許法第126条第1項ただし書第1号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。 イ 新規事項の有無について 訂正事項8は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 よって、訂正事項8は、特許法第126条第5項の規定に適合するものである。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の有無について 訂正事項8は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 よって、訂正事項8は、特許法第126条第6項の規定に適合するものである。 エ 独立特許要件について 訂正事項8は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるところ、本件訂正後の、特許請求の範囲に記載された事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見できない。 よって、訂正事項8は、特許法第126条第7項に規定する要件を満たすものである。 (9)訂正事項9について ア 訂正の目的について 訂正事項9は、訂正前の請求項97が請求項1~37の記載を選択的に引用する記載であるところ、訂正事項1で訂正前の請求項16が削除されて請求項16の記載を引用できなくなったことに伴い、請求項間の引用関係を解消する訂正であるから、特許法第126条第1項ただし書第3号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」又は同項第4号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。また、訂正事項9は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、特許法第126条第1項ただし書第1号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。 イ 新規事項の有無について 訂正事項9は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 よって、訂正事項9は、特許法第126条第5項の規定に適合するものである。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の有無について 訂正事項9は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 よって、訂正事項9は、特許法第126条第6項の規定に適合するものである。 エ 独立特許要件について 訂正事項9は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるところ、本件訂正後の、特許請求の範囲に記載された事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見できない。 よって、訂正事項9は、特許法第126条第7項に規定する要件を満たすものである。 (10)訂正事項10について ア 訂正の目的について 訂正事項10は、訂正前の請求項98が請求項1~37の記載を選択的に引用する記載であるところ、訂正事項1で訂正前の請求項16が削除されて請求項16の記載を引用できなくなったことに伴い、請求項間の引用関係を解消する訂正であるから、特許法第126条第1項ただし書第3号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」又は同項第4号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。また、訂正事項10は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、特許法第126条第1項ただし書第1号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。 イ 新規事項の有無について 訂正事項10は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 よって、訂正事項10は、特許法第126条第5項の規定に適合するものである。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の有無について 訂正事項10は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 よって、訂正事項10は、特許法第126条第6項の規定に適合するものである。 エ 独立特許要件について 訂正事項10は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるところ、本件訂正後の、特許請求の範囲に記載された事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見できない。 よって、訂正事項10は、特許法第126条第7項に規定する要件を満たすものである。 3 一群の請求項52、58~61、64及び67~71に係る訂正について (1)訂正事項11について ア 訂正の目的について 訂正事項11は、訂正前の請求項52を削除するものであるから、特許法第126条第1項ただし書第1号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。 イ 新規事項の有無について 訂正事項11は、訂正前の請求項52を削除するものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面(以下、「本件明細書等」という。)のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 よって、訂正事項11は、特許法第126条第5項の規定に適合するものである。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の有無について 訂正事項11は、訂正前の請求項52を削除するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 よって、訂正事項11は、特許法第126条第6項の規定に適合するものである。 エ 独立特許要件について 訂正事項11は、訂正前の範囲の請求項52を削除するものであるところ、本件訂正後の、特許請求の範囲に記載された事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見できない。 よって、訂正事項11は、特許法第126条第7項に規定する要件を満たすものである。 (2)訂正事項12について ア 訂正の目的について 訂正事項12は、訂正前の請求項58が請求項38~57の記載を選択的に引用する記載であるところ、訂正事項11で訂正前の請求項52が削除されて請求項52の記載を引用できなくなったことに伴い、請求項間の引用関係を解消する訂正であるから、特許法第126条第1項ただし書第3号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」又は同項第4号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。また、訂正事項12は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、特許法第126条第1項ただし書第1号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。 イ 新規事項の有無について 訂正事項12は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 よって、訂正事項12は、特許法第126条第5項の規定に適合するものである。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の有無について 訂正事項12は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 よって、訂正事項12は、特許法第126条第6項の規定に適合するものである。 エ 独立特許要件について 訂正事項12は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるところ、本件訂正後の、特許請求の範囲に記載された事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見できない。 よって、訂正事項12は、特許法第126条第7項に規定する要件を満たすものである。 (3)訂正事項13について ア 訂正の目的について 訂正事項13は、訂正前の請求項59が請求項38~57の記載を選択的に引用する記載であるところ、訂正事項11で訂正前の請求項52が削除されて請求項52の記載を引用できなくなったことに伴い、請求項間の引用関係を解消する訂正であるから、特許法第126条第1項ただし書第3号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」又は同項第4号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。また、訂正事項13は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、特許法第126条第1項ただし書第1号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。 イ 新規事項の有無について 訂正事項13は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 よって、訂正事項13は、特許法第126条第5項の規定に適合するものである。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の有無について 訂正事項13は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 よって、訂正事項13は、特許法第126条第6項の規定に適合するものである。 エ 独立特許要件について 訂正事項13は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるところ、本件訂正後の、特許請求の範囲に記載された事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見できない。 よって、訂正事項13は、特許法第126条第7項に規定する要件を満たすものである。 (4)訂正事項14について ア 訂正の目的について 訂正事項14は、訂正前の請求項60が請求項38~57の記載を選択的に引用する記載であるところ、訂正事項11で訂正前の請求項52が削除されて請求項52の記載を引用できなくなったことに伴い、請求項間の引用関係を解消する訂正であるから、特許法第126条第1項ただし書第3号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」又は同項第4号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。また、訂正事項14は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、特許法第126条第1項ただし書第1号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。 イ 新規事項の有無について 訂正事項14は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 よって、訂正事項14は、特許法第126条第5項の規定に適合するものである。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の有無について 訂正事項14は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 よって、訂正事項14は、特許法第126条第6項の規定に適合するものである。 エ 独立特許要件について 訂正事項14は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるところ、本件訂正後の、特許請求の範囲に記載された事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見できない。 よって、訂正事項14は、特許法第126条第7項に規定する要件を満たすものである。 (5)訂正事項15について ア 訂正の目的について 訂正事項15は、訂正前の請求項64が請求項38~63の記載を選択的に引用する記載であるところ、訂正事項11で訂正前の請求項52が削除されて請求項52の記載を引用できなくなったことに伴い、請求項間の引用関係を解消する訂正であるから、特許法第126条第1項ただし書第3号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」又は同項第4号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。また、訂正事項15は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、特許法第126条第1項ただし書第1号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。 イ 新規事項の有無について 訂正事項15は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 よって、訂正事項15は、特許法第126条第5項の規定に適合するものである。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の有無について 訂正事項15は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 よって、訂正事項15は、特許法第126条第6項の規定に適合するものである。 エ 独立特許要件について 訂正事項15は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるところ、本件訂正後の、特許請求の範囲に記載された事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見できない。 よって、訂正事項15は、特許法第126条第7項に規定する要件を満たすものである。 (6)訂正事項16について ア 訂正の目的について 訂正事項16は、訂正前の請求項67が請求項38~66の記載を選択的に引用する記載であるところ、訂正事項11で訂正前の請求項52が削除されて請求項52の記載を引用できなくなったことに伴い、請求項間の引用関係を解消する訂正であるから、特許法第126条第1項ただし書第3号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」又は同項第4号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。また、訂正事項16は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、特許法第126条第1項ただし書第1号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。 イ 新規事項の有無について 訂正事項16は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 よって、訂正事項16は、特許法第126条第5項の規定に適合するものである。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の有無について 訂正事項16は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 よって、訂正事項16は、特許法第126条第6項の規定に適合するものである。 エ 独立特許要件について 訂正事項16は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるところ、本件訂正後の、特許請求の範囲に記載された事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見できない。 よって、訂正事項16は、特許法第126条第7項に規定する要件を満たすものである。 (7)訂正事項17について ア 訂正の目的について 訂正事項17は、訂正前の請求項71が請求項38~66の記載を選択的に引用する記載であるところ、訂正事項11で訂正前の請求項52が削除されて請求項52の記載を引用できなくなったことに伴い、請求項間の引用関係を解消する訂正であるから、特許法第126条第1項ただし書第3号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」又は同項第4号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。また、訂正事項17は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、特許法第126条第1項ただし書第1号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。 イ 新規事項の有無について 訂正事項17は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 よって、訂正事項17は、特許法第126条第5項の規定に適合するものである。 ウ 特許請求の範囲の拡張・変更の有無について 訂正事項17は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 よって、訂正事項17は、特許法第126条第6項の規定に適合するものである。 エ 独立特許要件について 訂正事項17は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるところ、本件訂正後の、特許請求の範囲に記載された事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見できない。 よって、訂正事項17は、特許法第126条第7項に規定する要件を満たすものである。 第5 むすび 以上のとおりであるから、本件訂正は、特許法第126条第1項ただし書第1号並びに第3号又は第4号に掲げる事項を目的とし、かつ、同条第5項~第7項の規定に適合するものである。 よって、結論のとおり審決する。

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2025-390033

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