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特許訂正審判

2025-390034

エッチング方法

審判番号
2025-390034
法域
特許
審判種別
訂正審判(訂正の審決)
出願番号
特願2023-514954
登録番号
7336623
請求日
2025年03月25日
審決日
2025年05月23日
公報発行日
2025年08月29日
結論
訂正認容
当事者
  • 【請求人】東京エレクトロン株式会社
  • 【請求人代理人】長谷川 芳樹
  • 【請求人代理人】黒木 義樹
  • 【請求人代理人】柏岡 潤二
審判長/審判官
  • 審判長 松永 稔
  • 審判官 棚田 一也
  • 審判官 中野 浩昌
分類
P141 .841-Y (H01L) / P141 .851-Y (H01L) / P141 .853-Y (H01L) / P141 .854-Y (H01L) / P141 .855-Y (H01L) / P141 .856-Y (H01L) / P141 .857-Y (H01L)
根拠条文(結論部分から自動抽出・参考)
特許法126条1項3号特許法126条1項4号特許法126条3項特許法126条5項
条文(本文から自動抽出・参考)
特許法第126条第1項、特許法第126条第5項、特許法第126条第6項、特許法第126条第7項、特許法第126条第3項
データ出所
審決公報(XML)

事件の表示

特許第7336623号に関する訂正審判事件について、次のとおり審決する。

結論

結 論 特許第7336623号の特許請求の範囲を本件審判請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔29-32〕について訂正することを認める。

理由

理 由 第1 手続の経緯 本件訂正審判(以下「本件審判」という。)の請求に係る特許第7336623号は、2021年(令和3年)4月28日を国際出願日とする特許出願に係る特許であって、その請求項1~34に係る発明について令和5年8月23日に特許権の設定登録がなされ、令和7年3月25日に本件審判の請求がなされたものである。 第2 請求の趣旨 本件審判の請求の趣旨は、特許第7336623号の特許請求の範囲を、本件審判請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項29~32について訂正することを認める、との審決を求めるものである。 第3 訂正の内容 本件審判の請求に係る訂正(以下「本件訂正」という。)の内容は、以下のとおりである。なお、下線部は訂正箇所を示す。 1 訂正事項1 特許請求の範囲の請求項29を削除する。 2 訂正事項2 特許請求の範囲の請求項30に「前記処理ガスは、Xeを更に含む請求項1~29の何れか一項に記載のエッチング方法。」と記載されているのを、「前記処理ガスは、Xeを更に含む請求項1~28の何れか一項に記載のエッチング方法」に訂正する。(請求項30の記載を直接的又は間接的に引用する請求項31及び32も同様に訂正する。) 3 訂正事項3 特許請求の範囲の請求項31に「前記(b)により、前記シリコン含有膜に、20以上のアスペクト比を有する凹部が形成される、請求項1~30の何れか一項に記載のエッチング方法。」と記載されているのを、「前記(b)により、前記シリコン含有膜に、20以上のアスペクト比を有する凹部が形成される、請求項1~28及び30の何れか一項に記載のエッチング方法。」に訂正する。(請求項31の記載を直接的又は間接的に引用する請求項32も同様に訂正する。) 4 訂正事項4 特許請求の範囲の請求項32に「前記マスクは、3μm以上の厚みを有する、請求項1~31の何れか一項に記載のエッチング方法。」と記載されているのを、「前記マスクは、3μm以上の厚みを有する、請求項1~28、30、及び31の何れか一項に記載のエッチング方法。」に訂正する。 第4 当審の判断 1 一群の請求項について 訂正前の請求項29~32について、請求項30~32は、請求項29の記載を引用するものであって、本件訂正によって記載が訂正される請求項29に連動して訂正されるものである。 したがって、訂正前の請求項29~32に対応する訂正後の請求項29~32は、特許法第126条第3項に規定する一群の請求項である。 2 訂正事項1について (1)訂正の目的について 訂正事項1は、訂正前の請求項29を削除するものであるから、特許法第126条第1項ただし書第1号に規定する「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。 (2)新規事項の有無について 訂正事項1は、訂正前の請求項29を削除するものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面(以下、「本件明細書等」という。)のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 よって、訂正事項1は、特許法第126条第5項の規定に適合するものである。 (3)特許請求の範囲の拡張・変更の有無について 訂正事項1は、訂正前の請求項29を削除するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 よって、訂正事項1は、特許法第126条第6項の規定に適合するものである。 (4)独立特許要件について 訂正事項1は、特許請求の範囲の請求項29を削除するものであるところ、本件訂正後の、特許請求の範囲に記載された事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見できない。 よって、訂正事項1は、特許法第126条第7項に規定する要件を満たすものである。 3 訂正事項2について (1)訂正の目的について 訂正事項2は、訂正前の請求項30が請求項1~29の記載を選択的に引用する記載であるところ、訂正事項1で訂正前の請求項29が削除されて請求項29を引用できなくなったことに伴い、請求項間の引用関係を解消する訂正であるから、特許法第126条第1項ただし書第3号に規定する「明瞭でない記載の釈明」又は同項第4号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。また、訂正事項2は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、特許法第126条第1項ただし書第1号に規定する「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。 (2)新規事項の有無について 訂正事項2は、選択的に引用する請求項の数を減少するものであるから、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 よって、訂正事項2は、特許法第126条第5項の規定に適合するものである。 (3)特許請求の範囲の拡張・変更の有無について 訂正事項2は、選択的に引用する請求項の数を減少するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 よって、訂正事項2は、特許法第126条第6項の規定に適合するものである。 (4)独立特許要件について 訂正事項2は、選択的に引用する請求項の数を減少するものであるところ、本件訂正後の、特許請求の範囲に記載された事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見できない。 よって、訂正事項2は、特許法第126条第7項に規定する要件を満たすものである。 4 訂正事項3について (1)訂正の目的について 訂正事項3は、訂正前の請求項31が請求項1~30の記載を選択的に引用する記載であるところ、訂正事項1で訂正前の請求項29が削除されて請求項29を引用できなくなったことに伴い、請求項間の引用関係を解消する訂正であるから、特許法第126条第1項ただし書第3号に規定する「明瞭でない記載の釈明」又は同項第4号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。また、訂正事項3は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、特許法第126条第1項ただし書第1号に規定する「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。 (2)新規事項の有無について 訂正事項3は、選択的に引用する請求項の数を減少するものであるから、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 よって、訂正事項3は、特許法第126条第5項の規定に適合するものである。 (3)特許請求の範囲の拡張・変更の有無について 訂正事項3は、選択的に引用する請求項の数を減少するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 よって、訂正事項3は、特許法第126条第6項の規定に適合するものである。 (4)独立特許要件について 訂正事項3は、選択的に引用する請求項の数を減少するものであるところ、本件訂正後の、特許請求の範囲に記載された事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見できない。 よって、訂正事項3は、特許法第126条第7項に規定する要件を満たすものである。 5 訂正事項4について (1)訂正の目的について 訂正事項4は、訂正前の請求項32が請求項1~31の記載を選択的に引用する記載であるところ、訂正事項1で訂正前の請求項29が削除されて請求項29を引用できなくなったことに伴い、請求項間の引用関係を解消する訂正であるから、特許法第126条第1項ただし書第3号に規定する「明瞭でない記載の釈明」又は同項第4号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものである。また、訂正事項4は、選択的に引用する請求項の数を減少させるものであるから、特許法第126条第1項ただし書第1号に規定する「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものである。 (2)新規事項の有無について 訂正事項4は、選択的に引用する請求項の数を減少するものであるから、本件明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において新たな技術的事項を導入するものではなく、本件明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 よって、訂正事項4は、特許法第126条第5項の規定に適合するものである。 (3)特許請求の範囲の拡張・変更の有無について 訂正事項4は、選択的に引用する請求項の数を減少するものであるから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。 よって、訂正事項4は、特許法第126条第6項の規定に適合するものである。 (4)独立特許要件について 訂正事項4は、選択的に引用する請求項の数を減少するものであるところ、本件訂正後の、特許請求の範囲に記載された事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見できない。 よって、訂正事項4は、特許法第126条第7項に規定する要件を満たすものである。 第5 むすび 以上のとおりであるから、本件訂正は、特許法第126条第1項ただし書第1号並びに第3号又は第4号に掲げる事項を目的とし、かつ、同条第3項、第5項~第7項の規定に適合するものである。 よって、結論のとおり審決する。

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2025-390034

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