2022-004177

本願は、令和２年５月２５日（パリ条約による優先権主張２０２０年１月２２日、韓国）の出願であって、その手続の経緯は以下のとおりである。

１ 引用文献１について

（１）引用文献１の記載

令和５年２月８日付けで当審が通知した拒絶理由に引用した引用文献１には、以下の事項が記載されている（下線は、当審で付与した。以下同じ。）

「【０００１】

本発明は、未焼成のグリーンシート積層体を切断してグリーンチップを製造するためのグリーンシート積層体の切断装置及び切断方法に関する。」

「【００１４】

本発明における複数の実施形態に係るグリーンシート積層体の切断装置について、以下に図面を参照して説明する。なお、以下の各々の実施形態に付いて同一の機能を有する構成要素については同一の参照符号を用いることとする。なお、本明細書において述べるグリーンシート積層体は、各種積層型の電子部品の製造過程においてその中間体として形成されたものを言う。より具体的には、フィライト、ガラス系セラミック等の粉末、バインダ、可塑剤、溶剤等から構成され、電子部品における絶縁領域を形成するシート、及び該電子部品における導電性領域を形成するために構成された当該シート内部に導電性の領域を有するシート等を積層し、且つ積層方向にこれらを加圧して圧着させる事で得られたシート状の部材、或いは単一のシートからなる部材を言う。また、当該シート或いはシート状部材は、これらを支持するシート状の支持体を有するものであっても良い。

【００１５】

図１は、本発明の第一の実施形態に係る切断装置について、これを側面から見た状態において特定構成の部分断面を同時に示す概略構成図である。グリーンシート積層体切断装置１は、カッター３、ステージ１０、冷却手段２０、及び加熱手段３０を備えている。ステージ１０は、水平方向に延在する載置面１０ａを有し、該載置面１０ａ上に被切断物であるグリーンシート積層体２を支持している。更にステージ１０は、図中Ｂ方向（水平面内における所定方向）への移動が可能となっている。また、該ステージ１０は加熱手段３０としての役割を有しており、グリーンシート積層体２が所定の温度となるように、載置面１０ａ上に該積層体２を支持すると同時にこれを加熱している。

【００１６】

カッター３は図中の矢印Ａ方向（載置面１０ａの延在面である水平面に対する鉛直方向即ちグリーンシート積層体の厚さ方向）に駆動可能とされており、当該方向において所定量の往復運動を行うことによって、グリーンシート積層体２に所定量食い込んで切断済み領域を形成する。なお、カッター３の切断刃３ａ（切断刃の刃先）は、図１における紙面に垂直な方向に延在しており、当該紙面に対して垂直となる切断面を形成する。ステージ１０のＢ方向への駆動は、カッター３の一回の切断操作終了後に所定量のみ行われ、その後二回目の切断操作が行われる。」

「【００２２】

次に、図１と同様の様式にてグリーンシート積層体切断装置１を示す図２を参照し、本発明の第二の実施形態について説明する。本実施形態においては、加熱手段３０がステージ１０と分離して配置されている。即ち、本実施形態においては、ステージ１０はグリーンシート積層体２を支持し、且つ支持状態でＢ方向に駆動するための機構のみから構成されている。加熱手段３０は、第一の実施形態と同様に、不図示の、公知の加熱源を内蔵し、且つグリーンシート積層体２の表面に当接する当接加熱部３０ａを有している。加熱当接部３０ａ（当審注：「加熱当接部３０ａ」は「当接加熱部３０ａ」の誤記と認める。）は、ステージ１０が駆動されるＢ方向上流側であって、切断刃３ａがグリーンシート積層体２に食い込む領域に対して平行且つ隣接すると所定幅の当接領域を有している。また、加熱手段３０は、冷却手段２０と同様の構成を有することにより、冷却手段２０と同様に略Ａ方向における往復動作を行うことが可能となっている。

【００２３】

以下に、本実施形態に係るグリーンシート積層体切断装置１を用いて実際にグリーンシート積層体２を切断する一連の工程について説明する。まず、ステージ１０における載置面１０ａ上に支持されたグリーンシート積層体２に対して、加熱手段３０を動作させて、当接加熱部３０ａを該積層体表面に当接させ、これを所定温度まで加熱する。グリーンシート積層体２が所定温度となった後、切断予定部位がカッター３の切断刃３ａ直下となるようにステージ１０を駆動する。その際、加熱手段３０は当接加熱部３０ａを略Ａ方向上方に移動させ、ステージ１０の駆動時でのグリーンシート積層体表面との当接状態を回避する。ステージ１０停止後、切断刃３の降下・上昇の操作が行われ、グリーンシート積層体２の所定位置に切断面が形成される。切断面形成後、ステージ１０はＢ方向に所定量駆動する。これにより、次の切断予定部位が切断刃３ａの直下に位置することとなる。同時に、当接加熱部３０ａは略Ａ方向下方に移動し、次の切断予定部位の表面と当接して当該部位の加熱を行う。なお、ステージ１０の所定量の駆動が行われる間、冷却手段２０は当接部材２１を略Ａ方向上方に保持している。

・・・中略・・・

【００２５】

本実施形態においては、グリーンシート積層体２における切断予定部位について、切断直前に当該部位を切断が容易となる温度まで加熱し、切断後には冷却手段を用いて該切断済み部位の変形を抑えることとしている。本実施例においては、切断が行われる部位について切断操作の直前において切断を好適に行ない得る温度まで加熱することとし、且つ他の領域に関しては常に切断による応力が発生した場合であってもこの応力による変形量が問題とならなくなる状態まで該グリーンシート積層体の保持温度を低下させることとしている。また、切断時に加熱された領域は、切断後冷却手段によって速やかに冷却することで該シートを急速に該保持温度まで冷却ことを可能としている。これにより、切断効率を低下させることなく、グリーンシート積層体の分離効率を向上することが可能となる。」

「【００４４】

次に、第二の実施形態を具現化した第三の実施例について述べる。図５Ａ及び図５Ｂは、各々図３Ａ及び図３Ｂと同様の様式にて本実施例に係るグリーンシート積層体切断装置を示したものであるが、図５Ａは当該装置を背面側（加熱ユニットが配置される方向）から見た状態を示している。従って、図３Ａ等と同様に、先に述べた構成要素と同一の構成要素については同一の参照符号を用いて説明することとし、且つ重複する構成要素についての説明は省略することとする。

【００４５】

本実施例においては、加熱手段３０がステージ１０と分離されて別ユニットとして構築され、グリーンシート積層体に対して加熱作用を有さない点において、第一及び第二の実施例と異なっている。具体的には、先にも述べたように、次の切断操作において切断される切断予定部位に対して、当該部位と当接可能な加熱ユニットを当接させ、当該部位を容易に切断できる温度まで加温し、その後応力による変形を抑え得るまで、切断済み部位等を冷却することとしている。以下、具体的構成について説明する。

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・・・中略・・・

【００４８】

加熱ユニット３１はまた更に、前述した規定面内において両端部に突出する突出領域３１ｄを有している。当該突出領域３１ｄは、前述したメインフレーム部材５に設けられた孔部５ａ内部に収容されている。当該孔部５ａ下面に埋設されたストッパ５ｂの上端部と当該突出領域３１ｄとが当接することで加熱ユニット３１の降下量が規定される。加熱ユニット３１における略Ｌ字の下部直線領域を構成する部分内部には、加熱源３１ｆが形成されている。該加熱源３１ｆはグリーンシート積層体２の幅、と略同等以上の幅（長さ）となるように冷却ユニット２３の延在方向と平行に形成されている。当該構成を有することにより、切断直前の切断予定部位に対して、加熱ユニット３１を当接させ、切断操作を容易に実施し得る状態まで、当該部位を加温しておくことが可能となる。

【００４９】

なお、本実施例においては、メインフレーム部材５、アクチュエータ７、サブフレーム部材５、切断刃保持部材１５、加熱ユニット３１等によって実施形態における加熱手段が３０構成される。また、本実施例においては、冷却ユニッ２３と加熱ユニットとが同一のストッパ５ｂによって降下位置が規定されるため、これら各々の略Ｌ字の下部直線領域の下面の位置によって個々のユニットの当接タイミングを規定している。しかし、各々のユニットに対して対応するストッパを各々配することとして、当接タイミングを規定することとしても良い。

【００５０】

以上本発明の実施例について説明したが、本発明は上述した実施形態或いは実施例の具体的構成に限定されない。例えば、冷却ユニット及び加熱ユニットは、カッター３の駆動を司るアクチュエータ１３により駆動されることとしているが、例えば該アクチュエータとは独立した駆動系を有することとしても良い。また、各々の構成の配置及び駆動方向は、グリーンシート積層体が水平に支持されることを前提として、全て規定されているが、これらを異なる方向において規定することとしても良い。また、冷却ユニット及び加熱ユニットは、各々フィードフォワードタイプのものを用いてもよく、各ユニット自身が温度調整をすることが可能なフィードバックタイプのものを用いても良い。また、加熱源として、近赤外線ヒータ、温風等、高知（当審注：「高知」は「公知」の誤記と認める。）の種々の方式を用いることも可能である。」

【図１】

［図：0001404066000001.jpg］

【図２】

［図：0001404066000002.jpg］

【図５Ａ】

［図：0001404066000003.jpg］

【図５Ｂ】

［図：0001404066000004.jpg］

（２）引用文献１に記載された技術事項

上記（１）の摘記事項から、引用文献１には、次の技術事項が記載されているものと認められる。

ア 段落【０００１】の記載によれば、引用文献１には、「グリーンシート積層体を切断してグリーンチップを製造するためのグリーンシート積層体の」「切断方法」が記載されている。

ここで、段落【００１４】の「本明細書において述べるグリーンシート積層体は、・・・ガラス系セラミック等の粉末・・・等から構成」との記載を考慮すれば、引用文献１のグリーンシート積層体は、ガラス系セラミック等の粉末等から構成される。

イ 段落【００２３】の「本実施形態に係るグリーンシート積層体切断装置１を用いて実際にグリーンシート積層体２を切断する一連の工程について説明する。」との記載によれば、上記アの切断方法はグリーンシート積層体切断装置１を用いてグリーンシート積層体２を切断することにより行われるといえる。

ウ 段落【００１５】の「図１は、本発明の第一の実施形態に係る・・・概略構成図である。グリーンシート積層体切断装置１は、カッター３、ステージ１０、・・・及び加熱手段３０を備えている。ステージ１０は、水平方向に延在する載置面１０ａを有し、該載置面１０ａ上に被切断物であるグリーンシート積層体２を支持している。更にステージ１０は、図中Ｂ方向（水平面内における所定方向）への移動が可能となっている。」との記載によれば、グリーンシート積層体切断装置１は、カッター３、ステージ１０、及び加熱手段３０を備え、ステージ１０は、水平方向に延在する載置面１０ａを有し、該載置面１０ａ上に被切断物であるグリーンシート積層体２を支持し、更にステージ１０は、水平面内における所定方向への移動が可能となっている。

エ 段落【００１６】の「カッター３は図中の矢印Ａ方向（載置面１０ａの延在面である水平面に対する鉛直方向即ちグリーンシート積層体の厚さ方向）に駆動可能とされており、当該方向において所定量の往復運動を行うことによって、グリーンシート積層体２に所定量食い込んで切断済み領域を形成する。」、「カッター３の切断刃３ａ（切断刃の刃先）は、図１における紙面に垂直な方向に延在しており、当該紙面に対して垂直となる切断面を形成する。ステージ１０のＢ方向への駆動は、カッター３の一回の切断操作終了後に所定量のみ行われ、その後二回目の切断操作が行われる。」との記載によれば、カッター３はグリーンシート積層体の厚さ方向に駆動可能とされており、当該方向において所定量の往復運動を行うことによって、グリーンシート積層体２に所定量食い込んで切断済み領域を形成するものであり、切断刃３ａ（切断刃の刃先）を有し、切断刃３ａは前記水平面内における所定方向に垂直な方向に延在しているといえる。

オ 段落【００２２】の「図１と同様の様式にてグリーンシート積層体切断装置１を示す図２を参照し、本発明の第二の実施形態について説明する。・・・加熱手段３０は、・・・グリーンシート積層体２の表面に当接する当接加熱部３０ａを有している。当接加熱部３０ａは、ステージ１０が駆動されるＢ方向上流側であって、切断刃３ａがグリーンシート積層体２に食い込む領域に対して平行且つ隣接すると所定幅の当接領域を有している。」との記載、段落【００２３】の「当接加熱部３０ａは・・・、次の切断予定部位の表面と当接して当該部位の加熱を行う。」との記載によれば、引用文献１の第二の実施形態では、加熱手段３０は、グリーンシート積層体２の表面に当接する当接加熱部３０ａを有し、当接加熱部３０ａは、ステージ１０が駆動される前記水平面内における所定方向上流側であって、切断刃３ａがグリーンシート積層体２に食い込む領域に対して平行且つ隣接する所定幅の当接領域を有し、切断予定部位の表面と当接して当該部位の加熱を行う。

カ 段落【００４４】の「第二の実施形態を具現化した第三の実施例について述べる。図５Ａ及び図５Ｂは・・・本実施例に係るグリーンシート積層体切断装置を示したものである」との記載、段落【００４８】の「加熱ユニット３１における略Ｌ字の下部直線領域を構成する部分内部には、加熱源３１ｆが形成されている。該加熱源３１ｆはグリーンシート積層体２の幅、と略同等以上の幅（長さ）となるように・・・形成されている。」との記載、段落【００４９】の「本実施例においては、・・・加熱ユニット３１等によって実施形態における加熱手段が３０構成される。」との記載によれば、引用文献１の第二の実施形態を具現化した第三の実施例では、加熱手段３０は加熱ユニット３１等により構成され、加熱ユニット３１内部には、加熱源３１ｆが形成され、該加熱源３１ｆはグリーンシート積層体２の幅と略同等以上の幅（長さ）となるように形成されている。

キ 段落【００２３】の「本実施形態に係るグリーンシート積層体切断装置１を用いて実際にグリーンシート積層体２を切断する一連の工程について説明する。まず、ステージ１０における載置面１０ａ上に支持されたグリーンシート積層体２に対して、加熱手段３０を動作させて、当接加熱部３０ａを該積層体表面に当接させ、これを所定温度まで加熱する。グリーンシート積層体２が所定温度となった後、切断予定部位がカッター３の切断刃３ａ直下となるようにステージ１０を駆動する。・・・ステージ１０停止後、切断刃３の降下・上昇の操作が行われ、グリーンシート積層体２の所定位置に切断面が形成される。」なる記載によれば、グリーンシート積層体２を切断する一連の工程は、加熱手段３０を動作させて当接加熱部３０ａを積層体表面に当接させこれを所定温度まで加熱し、切断予定部位がカッター３の切断刃３ａ直下となるようにステージ１０を駆動した後、切断刃３の降下・上昇の操作が行われグリーンシート積層体２の所定位置に切断面を形成するものである。

（３）引用発明

上記（２）アないし（２）キの技術事項及び図面を総合勘案すると、引用文献１には、第二の実施形態を具現化した第三の実施例について次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。

「ガラス系セラミック等の粉末等から構成されるグリーンシート積層体を切断してグリーンチップを製造するためのグリーンシート積層体の切断方法であって、

当該切断方法はグリーンシート積層体切断装置１を用いてグリーンシート積層体２を切断することにより行われ、

グリーンシート積層体切断装置１は、カッター３、ステージ１０、及び加熱手段３０を備え、

ステージ１０は、水平方向に延在する載置面１０ａを有し、該載置面１０ａ上に被切断物であるグリーンシート積層体２を支持し、更にステージ１０は、水平面内における所定方向への移動が可能となっており、

カッター３はグリーンシート積層体の厚さ方向に駆動可能とされており、当該方向において所定量の往復運動を行うことによって、グリーンシート積層体２に所定量食い込んで切断済み領域を形成するものであり、切断刃３ａ（切断刃の刃先）を有し、切断刃３ａは前記水平面内における所定方向に垂直な方向に延在しており、

加熱手段３０は、グリーンシート積層体２の表面に当接する当接加熱部３０ａを有し、当接加熱部３０ａは、ステージ１０が駆動される前記水平面内における所定方向上流側であって、切断刃３ａがグリーンシート積層体２に食い込む領域に対して平行且つ隣接する所定幅の当接領域を有し、切断予定部位の表面と当接して当該部位の加熱を行い、加熱手段３０は加熱ユニット３１等により構成され、加熱ユニット３１内部には、加熱源３１ｆが形成され、該加熱源３１ｆはグリーンシート積層体２の幅と略同等以上の幅（長さ）となるように形成されているものであり、

グリーンシート積層体２を切断する一連の工程は、加熱手段３０を動作させて当接加熱部３０ａを積層体表面に当接させこれを所定温度まで加熱し、切断予定部位がカッター３の切断刃３ａ直下となるようにステージ１０を駆動した後、切断刃３の降下・上昇の操作が行われグリーンシート積層体２の所定位置に切断面を形成する、

グリーンシート積層体の切断方法。」

２ 引用文献２について

（１）引用文献２の記載

令和５年２月８日付けで当審が通知した拒絶理由に引用した引用文献２には、以下の事項が記載されている。

「【０００１】

本発明は、積層セラミックコンデンサ等の積層型セラミック電子部品の製造に広く用いられているキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造装置及び製造方法に関する。」

「【００２０】

加熱器２２は、キャリアフィルム１１付きセラミックグリーンシート１２の移動に同期してセラミックグリーンシート１２の幅方向一部（図３（Ｂ）の熱軟化部位１２ａを参照）を連続的に加熱する役目を果たす。図示を省略したが、加熱器２２としては、電熱ヒータで加熱された空気を送風機によって吹き出し口からセラミックグリーンシート１２に吹き付けて該セラミックグリーンシート１２の幅方向一部を連続的に加熱するようにした温風吹き出しタイプや、赤外線ヒータ（遠赤外線ヒータ及び近赤外線ヒータを含む）からの赤外線（遠赤外線及び近赤外線を含む）を直接セラミックグリーンシート１２に照射して該セラミックグリーンシート１２の幅方向一部を連続的に加熱するようにした輻射熱タイプが選択的に使用できる。

【００２１】

切断刃２３は、キャリアフィルム１１付きセラミックグリーンシート１２が切断ガイドローラ１４の外周面上を通過する過程でキャリアフィルム１１付きセラミックグリーンシート１２を二分するように連続的に切断する役目を果たす。この切断刃２３は好ましくは従動回転型の円形刃であり、その外周部分の一部が切断ガイドローラ１４の円形溝１４ａ内に非接触で入り込むように配置されている。前記加熱器２２によってセラミックグリーンシート１２に形成される熱軟化部位１２ａ（図３（Ｂ）を参照）の幅は切断ガイドローラ１４の円形溝１４ａの幅（図２（Ａ）及び図２（Ｂ）を参照）と略同じか若干大きく、該熱軟化部位１２ａは円形溝１４ａ上を通過するように設定されているため、切断刃２３は熱軟化部位１２ａを幅方向に二分するようにしてセラミックグリーンシート１２を長さ方向の連続的に切断すると共にキャリアフィルム１１も長さ方向の連続的に切断するようになっている。」

（２）引用文献２に記載された技術事項

上記（１）の摘記事項から、引用文献２には、次の技術事項が記載されているものと認められる。

「積層型セラミック電子部品の製造に用いられているキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法において、

セラミックグリーンシートを加熱する加熱器として温風吹き出しタイプや輻射熱タイプを使用し、

加熱器によってセラミックグリーンシートに形成される熱軟化部位を切断する」技術。