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特許拒絶査定不服審判

2021-013971

リソグラフィプロセスおよびリソグラフィ装置、ならびに検査プロセスおよび検査装置

審判番号
2021-013971
法域
特許
審判種別
拒絶査定不服審判(拒絶査定不服の審決)
出願番号
特願2019-527339外部サイト(J-PlatPat)へ移動します
請求日
2021年10月14日
審決日
2023年03月31日
公報発行日
2023年09月29日
結論
請求不成立
当事者
審判長/審判官
分類
P18 .536-WZF(G03F) / P18 .537-WZF(G03F)
データ出所
審決公報(XML)

事件の表示

特願2019-527339「リソグラフィプロセスおよびリソグラフィ装置、ならびに検査プロセスおよび検査装置」拒絶査定不服審判事件〔平成30年 7月 5日国際公開、WO2018/121921、令和 2年 2月 6日国内公表、特表2020-504321〕について、次のとおり審決する。

結論

結 論
本件審判の請求は、成り立たない。

理由

理 由

本願は、平成29年11月22日の出願であって、「リソグラフィプロセスおよびリソグラフィ装置、ならびに検査プロセスおよび検査装置」に関するものと認める。

これに対して、令和 4年11月17日付けで拒絶理由を通知し、期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、請求人からは何らの応答もない。

そして、上記の拒絶理由は妥当なものと認められるので、本願は、この拒絶理由によって拒絶すべきものである。

よって、結論のとおり審決する。

審決本文(J-PlatPat)

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2021-013971

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