2020-011587

特願２０１７－５１３６８８「フッ素化界面活性剤含有組成物」拒絶査定不服審判事件〔平成２８年 ３月１７日国際公開、ＷＯ２０１６／０４０５５１、平成２９年 ９月２８日国内公表、特表２０１７－５２８５６８〕について、次のとおり審決する。

結 論 本件審判の請求は、成り立たない。

理 由 第１ 手続の経緯 本願は、２０１５年９月１０日〔パリ条約による優先権主張外国庁受理 ２０１４年９月１１日（ＵＳ）米国〕を国際出願日とする特許出願であって、平成３０年９月３日付けで手続補正がなされ、 令和元年６月２５日付けの拒絶理由通知に対し、令和元年１２月２日付けで意見書の提出とともに手続補正がなされ、 令和２年４月１６日付けの拒絶査定に対し、令和２年８月２０日付けで審判請求がなされ、 令和３年３月１７日付けの審判合議体による拒絶理由通知に対し、令和３年９月２２日付けで意見書の提出とともに手続補正がなされ、 令和４年１月１９日付けの審尋に対し、令和４年４月２５日付けで回答書の提出がなされたものである。 第２ 本願発明 本願の請求項１～６に係る発明は、令和３年９月２２日付けの手続補正（以下「第３補正」ともいう。）により補正された特許請求の範囲の請求項１～６に記載された事項により特定されるとおりのものであり、その請求項１に係る発明（以下「本１発明」ともいう。）は、次のとおりのものである。 「【請求項１】 フッ素化又は全フッ素化有機溶媒と、 一般式（１）のフッ素化界面活性剤 【化１】 ［図：0001392433000001.jpg］ ［式中、 Ｒｆは１～６個の炭素原子を有するペルフルオロアルキル基であり、 Ｒ１及びＲ２はＨであり、 ｎは１又は２であり、 ｘは１又は２であり、 ただし、ｎが２である場合、ｘは２ではない］と、 を含む、基材から汚染物質を除去するための組成物。」 第３ 令和３年６月３０日付けの拒絶理由通知の概要 令和３年３月１７日付けの拒絶理由通知には、理由１及び２として、次の理由が示されている。 「理由１：この出願の請求項１～２に係る発明は、その出願前日本国内又は外国において頒布された下記の刊行物１～３に記載された発明に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 理由２：この出願は、特許請求の範囲の記載が下記の点で不備のため、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない。」 そして、その「記」には、次のような指摘がなされている。 「１．理由１（進歩性）について （１）引用刊行物及びその記載事項 刊行物１：特開２００５－２２３１８４号公報（原審の文献４に同じ。） 刊行物２：国際公開第２０１４／１２０４０５号（原審の文献１に同じ。） 刊行物３：特開平５－１１７６９６号公報… （４）…本願明細書の…「試験結果」によっては、…本１発明の範囲に含まれるもの全てに格別予想外の顕著な効果があると認めるに至らない（本１発明の効果を主張する場合には、同段落００６６の表中の「５０～８０％」等の範囲で表記された試験結果における具体的な値を明らかにされたい。）。…したがって、本１発明は、刊行物１～２に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。… ２．理由２（サポート要件）について… （３）…本願明細書の段落００６６の「【表２】ノベック７１ＩＰＡの粒子除去率」及び「【表３】ノベック７１００の粒子除去率」の「試験結果」では、界面活性剤の添加がないＣＥ１８及びＣＥ２２に対して、本１発明の一般式（１）を満たす「ＦＢＳ（ＥＥ）２」の省略名の界面活性剤が「優れた洗浄性」をもたらし「洗浄改善を促進」する性能を示していないので、本願請求項１に記載の一般式（１）の広範な範囲のものすべてが、上記課題を解決できると認識できる範囲にあるとは認められない。」 第４ 当審の判断 １．理由２（サポート要件）について （１）サポート要件に適合するか否かの観点 一般に『特許請求の範囲の記載が，明細書のサポート要件に適合するか否かは，特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載とを対比し，特許請求の範囲に記載された発明が，発明の詳細な説明に記載された発明で，発明の詳細な説明の記載により当業者が当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否か，また，その記載や示唆がなくとも当業者が出願時の技術常識に照らし当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否かを検討して判断すべきものであり，明細書のサポート要件の存在は，特許出願人（…）が証明責任を負うと解するのが相当である。』とされている〔平成１７年（行ケ）１００４２号判決参照。〕。 （２）本願の特許請求の範囲及び発明の詳細な説明の記載 本願特許請求の範囲の請求項１の記載は、上記第２に示したとおりであり、本願明細書の発明の詳細な説明には、次の記載がある（なお、当審において下線を付した。）。 摘示ａ：分野などに関する記載 「【０００１】…本開示は、汚染物質の洗浄又は除去に有用となり得る加工用流体、特に、フルオロケミカル界面活性剤と有機溶媒とを含む組成物に関する。… 【００３８】驚くべきことに、本開示のフッ素化界面活性剤は、比較的短いフルオロケミカル尾にもかかわらず、許容可能なハイドロフルオロエーテル系溶媒中での溶解性及び優れた洗浄性能をもたらすことが発見された。更に、本開示のフッ素化界面活性剤は、非毒性であり、生物濃縮の可能性がほとんどないと予想される。したがって、これらの界面活性剤は、ハイドロフルオロエーテル系洗浄組成物に使用するための既知のフルオロケミカル界面活性剤の持続可能な代替品を提供する。本開示の改善されたハイドロフルオロエーテル系洗浄組成物は、激しく汚れたデリケートな電子及び光学コンポーネント（例えば、高ピクセル密度のＣＭＯＳデバイス）の洗浄改善を促進し得る。」 摘示ｂ：界面活性剤の溶解度や粒子再付着性能に関する実施例の記載 「【００６０】実施例（ＥＸ）１～２１及び比較例（ＣＥ）１～１７：界面活性剤の溶解度… 【００６９】実施例３１～３２及び比較例２５～２９：粒子再付着性能」 摘記ｃ：洗浄性能に関する実施例の記載 「【００６２】実施例２２～３０及び比較例１８～２４：洗浄性能 ノベック７１００及びノベック７１ＩＰＡベース溶媒を上記の可溶性界面活性剤あり又はなしで使用して、実験を行い、溶解した界面活性剤が流体の洗浄性能に与える影響を測定した。いくつかの場合には、単一の界面活性剤を使用した。その他の場合には、２種の界面活性剤の混合物を使用した。全ての場合に、使用したフルオロケミカル界面活性剤の総濃度は、ベース流体中０．２０重量％（又は２０００ｐｐｍ）であった。洗浄結果を、界面活性剤を含有しない純ノベック流体対照品と比較した。洗浄試験は、高ピクセル密度を含む激しく汚れたＣＭＯＳセンサで実施した。これらのセンサは、粒子汚染物質を本質的に含まないように洗浄することが極めて困難であることが知られている。… 【００６６】試験したノベック７１ＩＰＡ及びノベック７１００系洗浄流体組成物（ＦＣ界面活性剤あり及びなし）並びにそれぞれで得られた洗浄性能（又は粒子除去率（％））の結果を、それぞれ表２及び３にまとめる。最高性能の洗浄流体組成物は、当初ＣＭＯＳ表面に存在した粒子の９０～１００％を除去することができ、これらの最高性能組成物を、各表の最下部にまとめている。 【表３】 ［図：0001392433000002.jpg］ 【表４】 ［図：0001392433000003.jpg］ 【００６７】ノベックＨＦＥベース流体と特定のＣ４Ｆ９ＳＯ２Ｎ系フルオロケミカル界面活性剤又は界面活性剤混合物との組み合わせは、ベースのノベック流体のみ（界面活性剤なしの対照流体）と比較したときに卓越した粒子洗浄性能を提供する。結果は、更に、ＦＢＳＥＥ（ＩＸ）、ＦＢＳＥ（ＥＥ）（Ｖ）、及びＦＢＳ（ＥＥ）２（ＩＶ）などの構造（１）に従う非イオン性Ｃ４Ｆ９ＳＯ２Ｎ系フルオロケミカル界面活性剤は、ノベック流体中での十分な溶解度と最善の洗浄性能との両方を提供することを示す。ＦＣ－４１７１（ＸＩ）のような、構造モチーフの異なるその他の非イオン性Ｃ４Ｆ９ＳＯ２Ｎ系フルオロケミカル界面活性剤、並びにＨ－ＦＢＳＥ（Ｘ）及びＨ－ＦＢＳ（ＥＥ）（ＩＩＩ）のようなイオン性（又はプロトン性）Ｃ４Ｆ９ＳＯ２Ｎ系フルオロケミカル界面活性剤は、粒子除去効率に関して、有効性が劣る。驚くべきことに、いくつかの場合では、ＦＢＳ（ＥＥ）２（ＩＶ）のような非イオン性Ｃ４Ｆ９ＳＯ２Ｎ系フルオロケミカル界面活性剤を、Ｈ－ＦＢＳ（ＥＥ）（ＩＩＩ）のようなイオン性（又はプロトン性）Ｃ４Ｆ９ＳＯ２Ｎ系フルオロケミカル界面活性剤と組み合わせることで、実施例２８のように、非イオン性界面活性剤又はイオン性界面活性剤のいずれかのみよりも優れた洗浄性能を生じることができる。 【００６８】本開示の非イオン性Ｃ４Ｆ９ＳＯ２Ｎ系フルオロケミカル界面活性剤は、ノベック７１００及びノベック７１ＩＰＡのようなＨＦＥ系洗浄流体の粒子洗浄性能の改善に非常に有効であることが示された。更に、これらの新規界面活性剤含有洗浄配合物は、激しく汚れたＣＭＯＳセンサの洗浄に有用であることが示された。」 （３）本１発明の解決しようとする課題 令和３年９月２２日付けの意見書の第４頁の主張をも参酌するに、本願明細書の段落０００１及び００３８（摘示ａ）の記載を含む発明の詳細な説明の全ての記載からみて、本１発明の解決しようとする課題は『汚染物質の洗浄又は除去に有用となり得、激しく汚れたデリケートな電子及び光学コンポーネントの洗浄改善を促進し得る組成物の提供』にあるものと認められる。 （４）課題を解決できる一般式（１）の範囲 本願請求項１に記載された「一般式（１）のフッ素化界面活性剤」は「ｎは１又は２であり、ｘは１又は２であり、ただし、ｎが２である場合、ｘは２ではない」ものとして特定されているところ、本願明細書の段落００６６（摘示ｃ）のＥＸ２３で用いられている「ＦＢＳＥＥ（ＩＸ）」並びにＥＸ２４で用いられている「ＦＢＳＥ（ＥＥ）（Ｖ）」のフッ素化界面活性剤は、本１発明の「一般式（１）のフッ素化界面活性剤」に該当する。 そして、同段落００６６（摘示ｃ）の表２には「 ┌─────┬────────┬────────┬───┬───┐ │ ＥＸ番号/│界面活性剤構造 │ 省略名 │添加量│除去率│ │ ＣＥ番号 │ │ （化合物番号） │（％）│（％）│ ├─────┼────────┼────────┼───┼───┤ │ ＣＥ１８ │ なし │ノベック７１IPA │ ０ │50～80│ │ │ │ のみ（対照） │ │ │ ├─────┼────────┼────────┼───┼───┤ │ ＥＸ２３ │式（１） n=1 x=1│FBSEE (IX) │0.0667│50～80│ │ │式（２） m=2 │H-FBS(EE) (III) │0.1333│ │ ├─────┼────────┼────────┼───┼───┤ │ ＥＸ２４ │式（１） n=1 x=2│FBSE(EE) (V) │0.0667│50～80│ │ │式（２） m=2 │H-FBS(EE) (III) │0.1333│ │ └─────┴────────┴────────┴───┴───┘ 」という「試験結果」が示されている。 すなわち、本願明細書の段落００６６の「【表２】ノベック７１ＩＰＡの粒子除去率」の「試験結果」では、界面活性剤の添加がない「ＣＥ１８」の除去率が「50～80」％であるのに対して、本１発明の一般式（１）を満たす「ＦＢＳＥＥ（ＩＸ）」又は「ＦＢＳＥ（ＥＥ）（Ｖ）」の界面活性剤を用いた「ＥＸ２３」及び「ＥＸ２４」の除去率が「50～80」％であって、「ＣＥ１８」の除去率と相違せず、「洗浄改善を促進」する性能を示していないので、このような「試験結果」が実在する以上、当業者が本願出願時の「技術常識」に照らし、本願明細書の発明の詳細な説明の全ての記載を考慮したとしても、本願請求項１に記載の一般式（１）の広範な範囲のものすべてが、上記『汚染物質の洗浄又は除去に有用となり得、激しく汚れたデリケートな電子及び光学コンポーネントの洗浄改善を促進し得る組成物の提供』という課題を解決できると認識できる範囲にあるとは認められない。 （５）審判請求人の主張について ア 意見書の主張について 令和３年９月２２日付けの意見書の第４頁において、審判請求人は「実施例３０のＦＢＳＥ（ＥＥ）（Ｖ）のデータは、補正後の請求項１をサポートしています。なお、アルコール共溶媒を含まないノベック７１００と、一般式（１）においてｎ＝１かつｘ＝１であるものに対応するＦＢＳＥＥ（ＩＸ）との組み合わせについては、本願明細書にデータは開示されていないものの、その粒子除去における有用性は、他の実施例のデータなどから合理的に推認できるものと思料いたします。」と主張する。 しかしながら、実施例３０のデータは、ＦＢＳＥ（ＥＥ）を０．２％添加した場合のデータであり、前記ＥＸ２４とは前提条件が異なるものである。また、ノベック７１ＩＰＡと、一般式（１）においてｎ＝１かつｘ＝１であるものに対応するＦＢＳＥＥ（ＩＸ）との組み合わせについては、上記「ＥＸ２３」のとおり本願明細書にデータが開示されており、その粒子除去における有用性は、界面活性剤の添加がない「ＣＥ１８」に比して「洗浄改善を促進」する性能を示していないという実施例のデータから合理的に推認できないので、上記意見書の主張は採用できない。 イ 回答書の補正案について なお、令和４年１月１９日付けの審尋における『請求項６の…０．０１～１重量％の量…との記載における請求項１に記載のフッ素化界面活性剤の含有量が「０．２重量％」未満であるもの』が、課題を解決できると認識できる範囲にあると認めることができないので、必要があれば補正案を提示されたい、という旨の指摘に対して、 令和４年４月２５日付けの回答書の第５～６頁において、審判請求人は『上記補正案における請求項１では、一般式（１）中のｎを１に特定すると共に、一般式（１）のフッ素化界面活性剤が、組成物の総重量に基づいて、０．０６６７重量％超の量で含まれること、及び組成物が一般式（１）のもの以外のフッ素化界面活性剤を含まないことを特定しました。これにより、本願明細書の実施例におけるＥＸ２３及びＥＸ２４は、請求項１の範囲に包含されないものとなりました。…補正案における請求項１の範囲は、本願明細書の記載に接した当業者が、明細書に記載されていると合理的に認識できるものであり、且つ、明細書の記載及び技術常識に照らして課題が解決できるであろうとの合理的な期待が得られるものであり、サポート要件を充足するものであると思料いたします。』と主張する。 しかしながら、一般式（１）のフッ素化界面活性剤の量の範囲を、ＥＸ２３（又はＥＸ２４）の「０．０６６７重量％」を超える、補正案の「０．０６６７重量％超」に変更したとしても、その差は０．０００１重量％でしかないので、このような微差によって有用性が大きく改善されるとは推認できず、上記補正案のものがサポート要件を満たし得る範囲にあると合理的に解せない。 また、ＥＸ２３（又はＥＸ２４）で併用されている「Ｈ－ＦＢＳ（ＥＥ）（ＩＩＩ）」は、本願明細書の段落００６７（摘示ｃ）において「非イオン性Ｃ４Ｆ９ＳＯ２Ｎ系フルオロケミカル界面活性剤」と組み合わせることで、単独使用よりも「優れた洗浄性能を生じる」ことができると説明され、本願請求項３及び４に係る発明において必須の界面活性剤とされているので、一般式（１）のもの以外のフッ素化界面活性剤を含まないことを特定する補正案のものが、サポート要件を満たし得る範囲にあると合理的に解せない。 したがって、上記回答書の補正案は採用できない。 ２．理由１（進歩性）について （１）引用刊行物の記載事項 上記刊行物１には、次の記載がある。 摘記１ａ：請求項１ 「【請求項１】無機物を主成分とする微小汚染物を基板から除去することのできる洗浄液であって、当該洗浄液が弗素系溶剤と界面活性剤とを含有することを特徴とする洗浄液。」 摘記１ｂ：段落０００８～０００９及び００１６～００１７ 「【０００８】…本発明に用いる弗素系溶剤は、常圧、常温で液体の弗素原子を含有する化合物であり、１つの酸素原子を有していても良い部分弗素化炭化水素が好ましい。また、この弗素系溶剤は、後述する界面活性剤を溶解するものである。… 【０００９】好適な弗素系溶剤である酸素原子を有していても良い部分弗素化炭化水素の具体例としては、…式（ＩＩ）で表されるハイドロフルオロエーテル（以下、「ＨＦＥ」ということがある）が挙げられる。… 【００１６】式（ＩＩ）で表せられるＨＦＥとして、例えば、…ｎ－Ｃ４Ｆ９ＯＣＨ３、…ｎ－Ｃ４Ｆ９ＯＣ２Ｈ５…が挙げられる。 【００１７】ＨＦＣやＨＦＥのような弗素系溶剤は、不燃性で、水存在下での安定性に優れ、無毒であり、オゾン破壊係数がゼロであることから、地球環境にやさしく、その回収・廃棄に対する処理コストも軽減できるという利点もある。」 摘記１ｃ：段落００１８～００１９ 「【００１８】本発明の基板洗浄液は界面活性剤を含有するものである。特に、弗素系溶剤との相溶性が良好で、優れた洗浄性を容易に与えられることから、非イオン性界面活性剤が好ましく、特に弗素原子を含有する非イオン性の界面活性剤（以下、弗素系非イオン性界面活性剤ということがある）が好ましい。 非イオン性界面活性剤としては、公知の高級アルコール等のエチレンオキシド・プロピレンオキシド付加物、多価アルコールの脂肪酸エステル、エステル・エーテル型、脂肪酸アルカノールアミドなどが挙げられる。 非イオン性界面活性剤としては、大日本インキ化学工業社製の界面活性剤メガファックシリーズ（Ｆ－１７７、Ｆ－４４３、Ｆ－４７０、Ｆ－４７２ＳＦ、Ｒ－０８、Ｒ－３０等）、三菱マテリアル社製ＥＦシリーズ（１２２Ｃ、３５１、３５２、８０２等）、ネオス社製フタージェントシリーズ（２５０、２５１等）、ネオス社製ＦＴＸシリーズ（２０９Ｆ、２０８Ｇ、２０４Ｄ、２０７Ｘ等）等の弗素系非イオン性界面活性剤；日本乳化剤社製の界面活性剤ニューコールシリーズ（２３０８、２３０２、３‐８５、７２３ＳＦ等）や、竹本油脂社製の界面活性剤パイオニンシリーズ（Ｄ－２０６、Ｄ－２０８－Ｋ、Ｄ－６１１２等）等の弗素原子を含有しない非イオン性界面活性剤；が挙げられる。 これら界面活性剤の使用量は、洗浄液全量の通常１０重量％以下、好ましくは０．００００１～５重量％、特に好ましくは０．０００１～１重量％である。」 摘記１ｄ：段落００３０～００３２ 「【００３０】（実施例１～７及び比較例１）…調製した粒子汚染ウエハに、３５℃に保持した表１記載の組成の洗浄液を、噴霧法により２分間接触させて洗浄した。…結果を表１に示す。 【００３１】【表１】 ［図：0001392433000004.jpg］ 【００３２】この結果から、弗素系溶剤に界面活性剤を添加した洗浄液を用いると、容易に微小汚染物量を３０％以下に低減することが可能であることが判った。特に、非イオン性界面活性剤を添加したものは１０％以下に、弗素系非イオン性界面活性剤を添加したものは５％以下に低減することができることが判った。」 上記刊行物２には、和訳にして、次の記載がある。 摘記２ａ：第３頁第２～４行、６頁第３０～３４行及び第１０頁第１～２６行 「本開示の界面活性剤及び界面活性剤組成物の用途としては、例えば、湿潤剤、洗浄界面活性剤、レベリングが向上しコーティング不良が低減されたコーティング界面活性剤、及び緩衝酸化物エッチング（ＢＯＥ）界面活性剤としての使用が挙げられる。… 水への最大溶解度を促進するために、様々な実施形態では、アニオン性界面活性剤又は中性界面活性剤のいずれかのスルホンアミド窒素原子に結合した非フッ素化基の少なくとも１つは、オリゴマーのエチレンオキシド基であってもよく、このオリゴマーのエチレンオキシド基は、２～６、２～５、２～４、又は２～３個のエチレンオキシド反復単位を有する。… 様々な実施形態では、本開示のフッ素化スルホンアミド界面活性剤組成物に好適な溶媒は、水及び／又は許容可能な性能に必要な界面活性剤の添加量において十分な界面活性剤の溶解度を提供する任意の有機溶媒を含んでもよい。単一の溶媒又は溶媒混合物を用いてもよい。いくつかの実施形態では、溶媒は、水、及び米国特許出願公開第２００８／０２８０２３０号に記載されているものなどの１つ以上のアルコール系化学物質を含んでもよい。 例示の実施形態では、フッ素化スルホンアミド界面活性剤は、０．００１質量％～５．０質量％、０．０１質量％～１．０質量％、又は０．１質量％～０．５質量％もの全濃度（即ち、含まれる全てのフッ素化スルホンアミド界面活性剤種）で、溶液中（即ち、水中又は水及び有機溶媒の混合溶媒中）に存在してもよい。… 本開示のフッ素化スルホンアミド界面活性剤及び界面活性剤組成物は、既知の界面活性剤と比較して、多くの驚くべき利点を提供する。例えば、本開示の界面活性剤及び界面活性剤組成物は、水溶性の向上を示しているが、水溶性は、半導体加工の間の界面活性剤沈殿及び関連する欠陥形成の可能性を少なくするために重要であり得る。具体例として、スルホンアミド窒素原子に結合したオリゴマーのエチレンオキシド基［式中、ｎ＞１である－（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｎ］を有する本開示のアニオン性及び中性フッ素化スルホンアミド界面活性剤は、既知のスルホンアミド界面活性剤と比較して、かなり高い水への溶解度をもたらすことが発見された。」 摘記２ｂ：第１４頁の表２ 「 ［図：0001392433000005.jpg］ 」 摘記２ｃ：第４３頁第１７行～第４５頁第１７行 「３．フッ素化スルホンアミド界面活性剤組成物であって、 式： ＲｆＳＯ２Ｎ（Ｈ）－ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）ＯＨ、若しくは ＲｆＳＯ２Ｎ（Ｈ）－（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｘＨで表されるアニオン性界面活性剤、又は 式： ＲｆＳＯ２Ｎ［ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）ＯＨ］２、 ＲｆＳＯ２Ｎ［ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）ＯＨ］［（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｎＨ］、 ＲｆＳＯ２Ｎ（Ｒ）［（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｐＨ］、若しくは ＲｆＳＯ２Ｎ［（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｑＨ］［（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｍＨ］で表される中性界面活性剤と、 溶媒と、を含む、フッ素化スルホンアミド界面活性剤組成物。 ［式中、ｘは、２～６の整数であり、ｎは、１～６の整数であり、ｐは、２～６の整数であり、Ｒは、１～４個の炭素原子を有するアルキル基であり、ｑは、１～６の整数であり、ｍは、１～６の整数であり、（ｑ＋ｍ）≧３であり、Ｒｆは、３～８個の炭素原子を有するフルオロアルキル基である。］… １６．前記組成物が溶媒を含む場合、該溶媒は、水、有機液体、又はそれらの組み合わせを含む、請求項３～１５のいずれか一項に記載の組成物。」 （２）刊行物１に記載された発明 摘記１ａの「無機物を主成分とする微小汚染物を基板から除去することのできる洗浄液であって、当該洗浄液が弗素系溶剤と界面活性剤とを含有することを特徴とする洗浄液。」との記載、 摘記１ｃの「本発明の基板洗浄液は界面活性剤を含有するものである。特に、弗素系溶剤との相溶性が良好で、優れた洗浄性を容易に与えられることから、非イオン性界面活性剤が好ましく、特に弗素原子を含有する非イオン性の界面活性剤（以下、弗素系非イオン性界面活性剤ということがある）が好ましい。」との記載、及び 摘記１ｄの「表１…実施例１…弗素系溶剤…Ａ…含有量…残部…界面活性剤…Ｆ－１７７…含有量…０．０２５…含有量の単位 重量％…Ａ：１，１，２，２，３，３，４－ヘプタフルオロシクロペンタン…Ｆ－１７７…：大日本インキ化学工業社製弗素系非イオン性界面活性剤」との記載からみて、刊行物１には、 『弗素原子を含有する非イオン性の界面活性剤（Ｆ－１７７：大日本インキ化学工業社製弗素系非イオン性界面活性剤）０．０２５重量％と、弗素系溶剤（１，１，２，２，３，３，４－ヘプタフルオロシクロペンタン）残部のみからなる、無機物を主成分とする微小汚染物を基板から除去することのできる洗浄液。』についての発明（以下「刊１発明」という。）が記載されているといえる。 （３）対比 本願請求項１に係る発明（以下「本１発明」ともいう。）と刊１発明とを対比する。 刊１発明の「弗素系溶剤（１，１，２，２，３，３，４－ヘプタフルオロシクロペンタン）」は、本１発明の「フッ素化又は全フッ素化有機溶媒」に相当する。 刊１発明の「弗素原子を含有する非イオン性の界面活性剤（Ｆ－１７７：大日本インキ化学工業社製弗素系非イオン性界面活性剤）」は、本１発明の「フッ素化界面活性剤」に相当する。 刊１発明の「微小汚染物を基板から除去することのできる洗浄液」は、本１発明の「基材から汚染物質を除去するための組成物」に相当する。 してみると、本１発明と刊１発明は『フッ素化又は全フッ素化有機溶媒と、フッ素化界面活性剤と、を含む、基材から汚染物質を除去するための組成物。』という点において一致し、次の（α）の点において相違する。 （α）フッ素化界面活性剤が、本１発明は「一般式（１） ［図：0001392433000006.jpg］ ［式中、Ｒｆは１～６個の炭素原子を有するペルフルオロアルキル基であり、Ｒ１及びＲ２はＨであり、ｎは１又は２であり、ｘは１又は２であり、ただし、ｎが２である場合、ｘは２ではない］」で表されるものであるのに対して、刊１発明は「Ｆ－１７７」という製品名のものであって、その具体的な化学構造が不明なものである点。 （４）判断 上記（α）の相違点について検討する。 刊１発明の「弗素原子を含有する非イオン性の界面活性剤」は、刊行物１の段落００１８（摘記１ｃ）の「特に、弗素系溶剤との相溶性が良好で、優れた洗浄性を容易に与えられることから…特に弗素原子を含有する非イオン性の界面活性剤…が好ましい。」との記載にあるように、溶媒との相溶性が良好で、優れた洗浄性を容易に与えられることから、特に「弗素原子を含有する非イオン性の界面活性剤」が好ましいとされるものである。 そして、刊行物２には「３．フッ素化スルホンアミド界面活性剤組成物であって、…式：…ＲｆＳＯ２Ｎ［（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｑＨ］［（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｍＨ］で表される中性界面活性剤と、溶媒と、を含む、フッ素化スルホンアミド界面活性剤組成物。…１６．…該溶媒は、水、有機液体、又はそれらの組み合わせを含む、…組成物。」に関する発明が記載され、その「既知の界面活性剤と比較して、多くの驚くべき利点を提供」し「半導体加工の間の界面活性剤沈殿及び関連する欠陥形成の可能性を少なくするために重要」であり得る「スルホンアミド窒素原子に結合したオリゴマーのエチレンオキシド基」を有する「中性フッ素化スルホンアミド界面活性剤」として、合成例＃４の「ＦＢＳＥ（ＥＥ）」に示されるとおりの弗素原子を含有する非イオン性の界面活性剤が記載され、オリゴマーのエチレンオキシド基によって、溶媒（水、有機液体、又はそれらの組み合わせを含む）への最大溶解度が促進され、その用途として「洗浄界面活性剤」が挙げられることが記載されているところ（摘記２ａ～２ｃ）、刊行物２の合成例＃４の「ＦＢＳＥ（ＥＥ）」の化学構造は、本１発明の一般式（１）において、Ｒｆが４個の炭素原子を有するペルフルオロアルキル基であり、Ｒ１及びＲ２がＨであり、ｎが１であり、ｘが２であり、ｎが２である場合、ｘは２ではないものに相当する。 してみると、刊行物１の記載において「溶媒との相溶性が良好」で「優れた洗浄性を容易に与えられる」という観点で、特に好ましいとされる「弗素原子を含有する非イオン性の界面活性剤」として、刊行物２に記載された溶媒への「最大溶解度が促進」される「オリゴマーのエチレンオキシド基」を有する「ＦＢＳＥ（ＥＥ）」のような「洗浄界面活性剤」を採用することには、強い動機付けがあるといえるので、刊１発明に刊行物２に記載の技術を組み合わせて、上記（α）の相違点に係る構成を導き出すことは、当業者にとって通常の創作能力の発揮の範囲である。 そして、本１発明の効果について検討するに、本願明細書の段落００６６（摘記ｃ）に記載された【表３】の「試験結果」では、本１発明の具体例に相当するＥＸ２２～ＥＸ２４のものの除去率が「５０～８０％」とされており、対応する比較例のＣＥ１８のものの除去率に比べて良好な結果になっていないので、本１発明の範囲に含まれるもの全てに格別予想外の顕著な効果があると認めるに至らない。 したがって、本１発明は、刊行物１～２に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 （５）審判請求人の主張について ア 意見書の主張について 令和３年９月２２日付けの意見書の第３頁において、審判請求人は『界面活性剤「Ｆ－１７７」については、引用文献１には「大日本インキ化学工業社製弗素系非イオン性界面活性剤」とのみ記載されていますが、例えば、その供給元である大日本インキ化学工業株式会社が出願人である特開２００５－３３８２４０号公報の［００８０］段落には、それと同一と推察されるものについて「フッ素化オリゴマー（大日本インキ性メガファックＦ－１７７）」と記載されています。そうすると、引用文献１の界面活性剤「Ｆ－１７７」は、オリゴマー型界面活性剤である蓋然性が高いといえます。オリゴマー型界面活性剤については、例えば、参考資料１として写しを添付したＤＩＣ株式会社（旧・大日本インキ化学工業株式会社）のｗｅｂサイトに、オリゴマー型界面活性剤では表面近傍に多く存在して溶剤の蒸発速度を制御する効果が顕著に表れる、と記載されているように、オリゴマー型界面活性剤は、本願発明に係るフッ素化界面活性剤とは異なる系統に属するものと当業者に認識されています。そのため、当業者であれば、引用文献１において用いられているオリゴマー型界面活性剤「Ｆ－１７７」を、それとは異なる系統のものに置き換えることに、何らの成功予見性もなく容易に想到するとは考えられません。』と主張する。 しかしながら、刊行物１の段落００１８（摘記１ｃ）には、特に「弗素系溶剤との相溶性が良好で、優れた洗浄性を容易に与えられる」という観点から、特に「弗素原子を含有する非イオン性の界面活性剤」が好ましいとして、大日本インキ化学工業社製の界面活性剤メガファックシリーズ（Ｆ－１７７等）等の各種の「弗素系非イオン性界面活性剤」が例示されていることから、当該「Ｆ－１７７」以外の各種の「弗素系非イオン性界面活性剤」として、刊行物２に記載の「スルホンアミド窒素原子に結合したオリゴマーのエチレンオキシド基」を有する合成例＃４の「ＦＢＳＥ（ＥＥ）」のような「中性フッ素化スルホンアミド界面活性剤」を採用すること（摘記２ｃの「ＲｆＳＯ２Ｎ［（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｑＨ］［（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｍＨ］で表される中性界面活性剤」において、ｑ＝１、ｍ＝２、Ｒｆが４個の炭素原子を有するフルオロアルキル基であるものを採用すること）に阻害事由があるとはいえない。 したがって、上記意見書の主張は採用できない。 イ 審判請求書の主張について （ア）審判請求書において、審判請求人は上記刊行物２の摘記２ａに「本開示のフッ素化スルホンアミド界面活性剤組成物に好適な溶媒は、水及び／又は許容可能な性能に必要な界面活性剤の添加量において十分な界面活性剤の溶解度を提供する任意の有機溶媒を含んでもよい。・・・いくつかの実施形態では、溶媒は、水、及び米国特許出願公開第２００８／０２８０２３０号に記載されているものなどの１つ以上のアルコール系化学物質を含んでもよい。」に記載されているように、上記刊行物においては、溶媒としては水またはアルコールのような極性溶媒しか想定されていないと主張する。 （イ）しかしながら、前記（ア）の記載は、「任意の有機溶媒」のいくつかの実施形態としてのアルコールと記載されているのであって、審判請求人の主張は、前記（ア）の記載を曲解するものである。さらにいえば、当業者であれば、刊行物２記載のＦＢＳＥ（ＥＥ）はそのパーフルオロ炭化水素を有する化学構造からみて、前記の「十分な界面活性剤の溶解度を提供する任意の有機溶媒」として「フッ素化又は全フッ素化有機溶媒」は好適であることが読み取りうることである。審判請求人の主張は採用できない。 第５ むすび 以上総括するに、本１発明は、刊行物１～２に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、また、本願請求項１の記載は、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていないものであるから、本願は特許法第４９条第２号及び第４号の規定に該当し、その余のことを検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。 よって、結論のとおり審決する。