2019-016068

第１　手続の経緯の概略

本願は，２０１４年（平成２６年）１１月１３日（パリ条約による優先権主張外国庁受理：２０１３年１１月１３日，ＵＳ）を国際出願日とする特許出願であって，その手続の経緯は，おおむね，以下のとおりである。

第２　原査定の概要

原査定（令和元年７月２２日付け拒絶査定）の概要は次のとおりである。

本願請求項１－１０に係る発明は，以下の引用文献１－３に記載された発明に基いて，その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下，「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。

引用文献等一覧

１.特開２００３－３３９１２８号公報

２.特開２００１－１１２２２３号公報

３.国際公開第２００９／１３９２７８号

第３　本願発明

本願請求項１－１９に係る発明（以下，請求項の番号に従って「本願発明１」などという。）は，平成３１年４月９日になされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１－１９に記載された事項により特定される発明であり，以下のとおりの発明である。

「　　【請求項１】

少なくとも１つのロータ突極を有する密封ロータと，

前記少なくとも１つのロータ突極から密封され，前記少なくとも１つのロータ突極の少なくとも一部で重なるように，前記密封ロータに向かって径方向に延在する少なくとも１つのステータ突極を備えるステータであって，少なくとも１つのステータ突極が，ステータ突極と関連する励磁巻線を有し，前記少なくとも１つのステータ突極と前記少なくとも１つのロータ突極との間に軸方向磁束回路を生じさせるために，前記少なくとも１つのロータ突極と相互作用する，ステータと，

を備える，

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スイッチトリラクタンスモータ。

【請求項２】

各ロータ突極が，軸方向で変位した副極のセットを備える，請求項１記載のスイッチトリラクタンスモータ。

【請求項３】

前記少なくとも１つのロータ突極が，前記少なくとも１つのステータ突極から密封される，請求項１記載のスイッチトリラクタンスモータ。

【請求項４】

前記少なくとも１つのステータ突極が，ステータ極の接続部材から前記密封ロータに向かって延在する軸方向で変位した端部材を有する，請求項１記載のスイッチトリラクタンスモータ。

【請求項５】

各ロータ突極が，電気角分ずれた副極のセットを備える，請求項１記載のスイッチトリラクタンスモータ。

【請求項６】

前記密封ロータが，非磁性コアを備え，前記少なくとも１つのロータ突極が，強磁性である，請求項１記載のスイッチトリラクタンスモータ。

【請求項７】

前記少なくとも１つのロータ突極が，強磁性裏当てに取り付けられる，請求項１記載のスイッチトリラクタンスモータ。

【請求項８】

前記強磁性裏当てが，前記軸方向磁束流回路を生じさせるために，前記少なくとも１つのステータ突極に向かって径方向に延在する部材を備える，請求項７記載のスイッチトリラクタンスモータ。

【請求項９】

前記少なくとも１つのステータ突極が，前記軸方向磁束流回路を生じさせるために，前記少なくとも１つのロータ突極が通過するスロットとして構成される，請求項１記載のスイッチトリラクタンスモータ。

【請求項１０】

前記少なくとも１つのロータ突極および少なくとも１つのステータ突極が，対面する端部材を有し，前記軸方向磁束流回路を生じさせるように構成される，請求項１記載のスイッチトリラクタンスモータ。

【請求項１１】

少なくとも１つのロータ突極を有し，スイッチトリラクタンスロータとして構成されるロータと，

密封区画によって前記ロータから分離される，ブラシレスステータとして構成されるステータであって，前記ステータは，前記ロータおよび前記ステータがモータ内で軸方向磁束流を生成するように構成されるよう，前記少なくとも１つのロータ突極が通過するスロットを形成する軸方向で変位した端部材を備えた少なくとも１つのステータ突極を有する，ステータと，

を備えるスイッチトリラクタンスモータであって，

各ロータ突極が，軸方向で変位した副極の対応するセットを備え，前記軸方向で変位した副極の対応するセットは，各ロータ突極を通した各軸方向磁束回路が，前記ロータ突極の前記軸方向で変位した副極の対応するセットの各軸方向で変位した副極に共通であるように配置される，

スイッチトリラクタンスモータ。

【請求項１２】

前記少なくとも１つのロータ突極が，強磁性裏当てに取り付けられ，前記端部材が，軸方向磁束流を生じさせるために，前記ステータに向かって延在する，請求項１１記載のスイッチトリラクタンスモータ。

【請求項１３】

前記ステータが，少なくとも３つの相巻線の独立したセットを備える，請求項１１記載のスイッチトリラクタンスモータ。

【請求項１４】

前記ステータが，それぞれがステータ極および励磁コイルを備える独立ステータモジュールのセットを備える，請求項１１記載のスイッチトリラクタンスモータ。

【請求項１５】

前記密封区画が，前記少なくとも１つのステータ突極から前記少なくとも１つのロータ突極を密封する，請求項１１記載のスイッチトリラクタンスモータ。

【請求項１６】

各ロータ突極が，電気角分ずれた副極のセットを備える，請求項１１記載のスイッチトリラクタンスモータ。

【請求項１７】

前記ロータが，非磁性コアを備え，前記少なくとも１つのロータ突極が，強磁性である，請求項１１記載のスイッチトリラクタンスモータ。

【請求項１８】

前記少なくとも１つのロータ突極が，強磁性裏当てに取り付けられる，請求項１１記載のスイッチトリラクタンスモータ。

【請求項１９】

前記強磁性裏当てが，前記軸方向磁束流回路を生じさせるために，前記少なくとも１つのステータ突極に向かって径方向に延在する部材を備える，請求項１８記載のスイッチトリラクタンスモータ。」

第４　引用文献及び引用発明

１　引用文献１について

（１）原査定の拒絶の理由で引用された引用文献１には，図面とともに以下の事項が記載されている（下線は，当審にて付与した。以下同様である。）

ア　「【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は，スイッチド・リラクタンスモータ及びその製造方法に関する。さらに，当該モータに適したステータコア及びロータコア並びにその製造方法に関する。」

イ　「【００１５】本発明は，上記従来技術の問題を解決するために，ステータコア内に発生する渦電流を抑制し，鉄損を低減することによって，高いエネルギー効率を有するモータを提供することを目的とする。同時に，モータサイズに対する回転トルク比が高いモータを提供することを目的とする。

【００１６】また，そのモータを実現するために適したステータコア及びロータコアを提供することを目的とする。

【００１７】さらに，これらのモータ，ステータコア及びロータコアを簡易かつ安価に製造することができる製造方法を提供することを目的とする。」

ウ　「【００１８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するための本発明は，ロータと，前記ロータの周囲を囲むように配置された励磁用のステータコアであって，屈曲した鋼板を相互の電気的絶縁を保つように積層した積層体を含んでなるステータコアとを備え，前記ステータコアに含まれる前記積層体によって前記ロータの少なくとも一部を挟み込んで成ることを特徴とする。」

エ　「【００３５】

【発明の実施の形態】＜第１の実施の形態＞図１に第１の実施の形態におけるモータの構造を示す。図１（ａ）はモータの要部平面図，図１（ｂ）はモータの要部断面図（要部平面図のＣ－Ｃ'で切断した断面）を示す。

【００３６】ロータ１４は薄型化されて平板状に形成されており，中心軸２４を介してベアリング２６によってモータケースに回転可能に設置されている。ロータ１４は外向きに突出した突極１８を有している。ステータコア２２はＵ字型の形状を有し，ロータ１４の突極１８を回転軸方向に挟み込むようにステータ１０の内壁に固定されている。それぞれのステータコア２２には励磁用のコイル１６が巻かれている。

【００３７】本実施形態では，Ｕ字型のステータコア２２を用いているがこれに限定されるものではない。ロータ１４の突極１８を回転軸方向に挟み込む構造であれば良い。さらに，図１のように，Ｕ字型の先端部にロータ１４の回転軸と平行な方向に突出部２８を有することが好ましい。回転軸と平行な方向とは回転軸に対して完全に平行である必要はなく，ほぼ平行であれば良い。

【００３８】ロータ１４の突極１８の数と，ステータコア２２の数は互いに倍数の関係にならないように設定される。本実施形態では，突極１８が４つ，ステータコア２２が３つであるモータを例示しているが，本発明のモータはこれに限定されるものではない。例えば，ステータコア極数／ロータ極数を，１２／８，８／６又は６／４等の組み合わせにすることができる。

【００３９】ロータ１４の少なくとも突極１８は強磁性材料を含むことが好ましい。例えば，軟性磁性体であるフェライト等の鉄系酸化物を用いることが好ましい。

【００４０】図２に，本実施形態におけるステータコア２２及びそれに巻かれたコイル１６の構成図を示す。ステータコア２２は，鋼板の積層体を含んでいる。鋼板のそれぞれはＵ字型に曲げられ，Ｕ字型の開放端の間にロータ１４の端部が挟み込まれるように配置されている。鋼板は，鉄を主材料として珪素を混合した軟性磁性体である鉄系酸化物等を含む電磁鋼板とすることが好ましい。さらに，方向性電磁鋼板を用い，ステータコア２２内に形成される磁場の磁力線に沿った方向３０に方向性電磁鋼板の容易磁化方向を配置することがより好ましい。」

オ　「【００４３】以下に，図を参照して本実施形態におけるモータの動作を説明する。

【００４４】ステータコア２２の胴部に巻かれたコイル１６に電流を流すと，ロータ１４の回転軸と平行な方向に外部磁場３２が発生する。外部磁場３２の磁力線はロータ１４の突極１８を貫き，突極１８がステータコア２２に引き付けられる。ステータコア２２を順次選択し，そのステータコア２２のコイル１６に電流を流すことによって，突極１８が連続的に磁場に引き付けられてロータ１４が回転する。

【００４５】本実施の形態におけるモータは，Ｕ字型のステータコア２２を有することによって，ロータ１４の回転軸と平行な方向に外部磁場３２が発生し，ロータ１４を回転させることができる。

【００４６】また，ステータコア２２は，内部に発生する磁場の磁力線方向に連続的な鋼板の積層体から形成されているため，ステータコア２２内に磁場を遮る部分がなく，磁気抵抗を低減することができる。その結果，コイル１６の電気エネルギーを外部磁場３２に低損失で変換することができる。

【００４７】また，積層体の鋼板間に電気的な絶縁物が設けられているため，各鋼板間の電気抵抗を大きくすることができる。従って，鋼板間をまたがって流れようとする渦電流を抑制し，ステータコア２２における鉄損を低減することができる。

【００４８】さらに，ステータコア２２に方向性電磁鋼板を用い，磁場の磁力線に沿って容易磁化方向を揃えることで，ステータコア２２内によって発生する磁場を有効に外部磁場３２として伝達することができる。

【００４９】その結果，外部磁場３２を強めることが可能となり，モータの回転トルク，モータの効率を高めることができる。

【００５０】また，ステータコア２２に突出部２８を設けることにより，ロータ１４の回転軸に平行な方向に外部磁場３２を集中させることができる。」

カ　図１には，以下の事項が図示されている。

キ　図２には，以下の事項が図示されている。

ク　上記エ，カ，キより，ステータ１０は，回転軸方向において，ロータ１４の４つの突極１８の少なくとも一部で重なるように，前記ロータ１４に向かって径方向に延在する部分及び回転軸と平行な方向に延びる突出部２８を有するステータコア２２を備えていることがわかる。

ケ　上記オ，キより，ステータコア２２の胴部に巻かれたコイル１６によって，ステータコア２２の内部に磁場が発生することから，前記コイル１６は，前記ステータコア２２と関連していることがわかる。

コ　上記オ，キより，ステータコア２２の突出部２８とロータ１４の突極１８との間に回転軸方向の磁束回路を生じさせるために，ロータ１４の突極１８とステータ１０が相互作用していることがわかる。

（２）上記の記載及び図面の記載からみて，引用文献１には，次の発明（以下，「引用発明」という。）が記載されているといえる。

（引用発明）

「４つの突極１８を有するロータ１４と，

回転軸方向において前記４つの突極１８の少なくとも一部で重なるように，前記ロータ１４に向かって径方向に延在する部分及び回転軸と平行な方向に延びる突出部２８を有する３つのステータコア２２を備えるステータ１０であって，３つのステータコア２２が，ステータコア２２と関連するコイル１６を有し，前記３つのステータコア２２と前記４つの突極１８との間に回転軸方向の磁束回路を生じさせるために，前記４つの突極１８と相互作用する，ステータ１０と，

を備える，

スイッチド・リラクタンスモータ。」

２　引用文献２の記載

原査定の拒絶の理由で引用された引用文献２には，図面とともに以下の事項が記載されている。

（１）「【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は，半導体製造工程に使用される電磁誘導を用いた真空モータ，及び，真空モータにより駆動する搬送装置に関する。」

（２）「【０００２】複数のプロセスチャンバ（処理室）を備えたマルチチャンバ方式の処理装置には，被処理体たる半導体ウェハ（以下，「ウェハ」と称する。）をプロセスチャンバ間で搬入出するための搬送アームが備えられている。この搬送アームは，トランスファチャンバ（共通移載室）内に収容されている。搬送アームに設けられている基板保持部は，トランスファチャンバ内のみならず，トランスファチャンバに接続されている各種プロセスチャンバ内や真空予備室内にも侵入可能に構成されている。

【０００３】上記搬送アームの一般的なものとして，スカラ型搬送アームとフロッグレッグ型搬送アームとがある。スカラ型搬送アームは，基板保持部と回転軸を２以上のアームにより接続し，さらにその回転軸に回転ベルトとプーリを介して回転機構が接続されている。かかる構成により，回転機構を作動させると，上記アームが水平方向に移動し，基板保持部が所定位置に移動する。一方，フロッグレッグ型搬送アームは，一対のアームを略蛙足形状に複数接続してなるフロッグレッグアームを有し，このフロッグレッグアームで基板保持部と回転軸を接続している。かかる構成により，上記回転軸に接続されている回転機構を作動させると，フロッグレッグアームが搬送アームの回転中心から半径方向に伸縮し，基板保持部が所定位置に移動する。

【０００４】従来，上記回転機構における真空処理室内で用いられるモータは，電磁誘導により機械的動力を得るためのコイル及び鉄芯等の磁性体（以下，「ステータ」と称する。）を，回転軸を駆動するための磁性体（以下，「ロータ」と称する。）とともに真空雰囲気中に配するものであった。しかし，コイルやステータを真空雰囲気内に配すると，アウトガスやパーティクル等の発生や発熱による処理への悪影響を避けられない。そこで，近年の半導体製造工程においては，大気雰囲気と真空雰囲気とをカンシールと称される非磁性体の隔壁により隔絶し，コイルやステータを大気雰囲気中に配した真空モータが用いられている。」

（３）「【０００５】上述のコイル及びステータを大気雰囲気中に配した真空モータの構成の一例を，図４及び図５を参照しながら説明する。真空モータ３００は，図４に示したように，大気雰囲気と真空雰囲気とを隔絶する非磁性体のカンシール３１０を備え，カンシール３１０にベアリングＢを介して配置された外側回転軸３５０と内側回転軸３６０の２つの回転軸を備えている。

【０００６】さらに，真空モータ３００は，大気雰囲気側に設けられ，コイル３２０ａが巻装された外側回転軸用ステータ３３０ａと，真空雰囲気側に外側回転軸用ステータ３３０ａに対応して設けられ，外側回転軸用ステータ３３０ａより磁気的動力が伝達されて外側回転軸３５０を駆動する外側回転軸用ロータ３４０ａとを備えている。また同様に，大気雰囲気側に設けられ，コイル３２０ｂが巻装された内側回転軸用ステータ３３０ｂと，真空雰囲気中に内側回転軸用ステータ３３０ｂに対応して設けられ，内側回転軸用ステータ３３０ｂより磁気的動力が伝達されて内側回転軸３６０を駆動する内側回転軸用ロータ３４０ｂとを備えている。

【０００７】コイル３２０ａが巻装された外側回転軸用ステータ３３０ａ及び外側回転軸用ロータ３４０ａは，図５に示したように，外側回転軸３５０を囲むように１０箇所設けられている。同様に，コイル３２０ｂが巻装された内側回転軸用ステータ３３０ｂ及び内側回転軸用ロータ３４０ｂは，内側回転軸３６０を囲むように１０箇所設けられている。なお，図５では，外側回転軸３５０及び内側回転軸３６０については，図より省略している。

【０００８】真空モータ３００の真空雰囲気側は，図示の例では，真空処理室３９０が形成されており，カンシール３１０の一辺は真空処理室３９０の側壁の一部をなしている。カンシール３１０の端部は，例えばＯリング等のシール部材Ｏにより真空処理室３９０の側壁３９２と気密に接続されている。外側回転軸３５０及び内側回転軸３６０は，上述のように，真空処理室３９０内の搬送装置，例えば搬送アームを駆動する。

【０００９】なお，図中符号３７０ａは，外側回転軸用ステータ３３０ａ及び外側回転軸用ロータ３４０ａの動作を制御するためのエンコーダであり，符号３７０ｂは，内側回転軸用ステータ３３０ｂ及び内側回転軸用ロータ３４０ｂの動作を制御するためのエンコーダである。また，符号３８０は，コイル３２０ａ，３２０ｂ及びエンコーダ３７０ａ，３７０ｂに通電するためのケーブルである。以上説明した各構成要素はモータケース３９５に収納されている。

【００１０】以上説明したように，カンシール３１０により大気雰囲気と真空雰囲気とを隔絶し，コイルが巻装されたステータ３３０ａ，３３０ｂを大気雰囲気中に配することにより，真空雰囲気中におけるアウトガスやパーティクル等の発生や発熱による処理への悪影響を解消することができる。」

（４）図４には，以下の事項が図示されている。

（５）図５には，以下の事項が図示されている。

第５　対比

本願発明１と引用発明とを対比する。

引用発明における，「突極１８」，「ステータコア２２」，「ステータ１０」，「コイル１６」，「回転軸方向の磁束回路」，「スイッチド・リラクタンスモータ」は，その機能に照らして，それぞれ，本願発明１における，「ロータ突極」，「ステータ突極」，「ステータ」，「励磁巻線」，「軸方向磁束回路」，「スイッチトリラクタンスモータ」に相当する。

また，引用発明における，「４つの突極１８」，「３つのステータコア２２」は，それぞれ，本願発明１における，「少なくとも１つのロータ突極」，「少なくとも１つのステータ突極」に相当し，引用発明の「回転軸方向において前記４つの突極１８の少なくとも一部で重なるように」は，本願発明１の「前記少なくとも１つのロータ突極の少なくとも一部で重なるように」に相当する。

引用発明の「ロータ１４」と本願発明１の「密封ロータ」は，「ロータ」である点で共通し，引用発明の「前記ロータ１４に向かって径方向に延在する部分及び回転軸と平行な方向に延びる突出部２８を有する３つのステータコア２２」と本願発明１の「前記密封ロータに向かって径方向に延在する少なくとも１つのステータ突極」は，「ロータに向かって径方向に延在する少なくとも１つのステータ突極」である点で共通する。

そうすると，本願発明１と引用発明は以下の点で一致し，相違する。

（一致点）

「少なくとも１つのロータ突極を有するロータと，

前記少なくとも１つのロータ突極の少なくとも一部で重なるように，前記ロータに向かって径方向に延在する少なくとも１つのステータ突極を備えるステータであって，少なくとも１つのステータ突極が，ステータ突極と関連する励磁巻線を有し，前記少なくとも１つのステータ突極と前記少なくとも１つのロータ突極との間に軸方向磁束回路を生じさせるために，前記少なくとも１つのロータ突極と相互作用する，ステータと，

を備える，

スイッチトリラクタンスモータ。」

（相違点）

本願発明１は，ロータが「密封ロータ」であって，ステータが，前記少なくとも１つのロータ突極から「密封」されているのに対し，引用発明は，ロータ１４が密封ロータではなく，ステータ１０が，突極１８から密封されていない点。

第６　判断

１　相違点について

（１）以下，前記相違点について検討する。

引用文献２には，半導体製造工程に使用される真空モータ（３００）において，大気雰囲気側に設けられたステータ（３３０ａ，３３０ｂ）と，真空雰囲気側に設けられたロータ（３４０ａ，３４０ｂ）との間にカンシール（３１０）（隔壁）を設け，ステータが配置された大気雰囲気とロータが配置された真空雰囲気とを隔絶した構成が記載されている（段落【０００１】，【０００５】－【０００６】，【０００８】，【００１０】，図４，５参照。）。

引用発明の用途については引用文献１に明示的な記載はないものの，スイッチトリラクタンスモータは様々な機械分野において利用されるモータであるところ，真空雰囲気下で作業する半導体製造装置の動力源として用いられることも知られており（一例として，特開２０１３－１３２０９３号公報の段落【００４１】参照。），引用発明を半導体製造装置の動力源として利用することに格別のものは見あたらない。

そして，引用発明を半導体製造装置に用いる際に，ロータ１４が真空雰囲気下に密封して配置される必要があることは，当業者であれば当然考慮すべきことであり，真空雰囲気下における使用に適するように，引用発明において，引用文献２に記載された事項を適用して，真空雰囲気下に配置されるロータ１４と，大気雰囲気下に配置されるステータ１０とを隔絶する，すなわち，ロータ１４を密封ロータとし，ステータ１０を突極１８から密封することは当業者が容易になし得たことである。

したがって，引用発明において，引用文献２に記載された事項を適用し，相違点に係る本願発明１の構成を備えるようにすることは当業者が容易に行い得たことである。

（２）また，本願発明１の奏する作用効果をみても，引用発明，引用文献２に記載された事項から予測される範囲内のものであって，格別顕著なものでもない。

２　請求人の主張について

（１）請求人は，審判請求書において，おおむね，以下の点を主張している。

ア　引用文献１は，ステータコアのいくつかのブロックの組合せを排除しており，単一部品のＵ字型ステータコアを備えるものであるのに対し，引用文献２は，カンシール１１０の両側で互いに使用される異なるブロックからなるステータを必要とするものである。

したがって，引用文献１のステータコアは複数の部品から形成することはできないため，カンシール１１０の両側で使用される複数の部品からなるステータを備える引用文献２の構成を適用することはできない。

イ　引用文献１のステータコアが，引用文献２のカンシールを通過しない場合，カンシールは，ステータコアとロータとの間の距離を大きくすることなく（及び磁場の強度を減少させることなく），引用文献１のステータコアとロータとの間をどのように通過することができるか開示がない。

（２）以下，上記主張について検討する。

アに関して，上記第６　１（１）で記載したように，引用文献２から導かれる事項は，段落【０００１】，【０００５】－【０００６】，【０００８】，【００１０】，図４，５に記載されているロータとステータとの間にカンシール３１０を配置した真空モータの構成に基づいており，カンシールの両側で異なるブロックに分けたステータを備える真空モータの構成に基づくものではない。そして，引用発明に引用文献２に記載された事項を適用することが容易であることは上記第６　１（１）に示したとおりである。

イに関して，引用発明に引用文献２に記載された事項を適用する際，引用発明のロータ及びステータの形状，位置関係等を考慮して，磁場強度への影響が小さくなるように隔壁を設けるようにすることは当業者が通常行うことである。

また，本願請求項１には，どのように密封ロータを構成しているのか，また，どのようにステータをロータ突極から密封しているかについて，具体的な開示がなく，どのように密封を実現させているのか不明であり，本願発明１の密封を実現する構成が格別のものであるとはいえない。

３　したがって，本願発明１は，引用発明，引用文献２に記載された事項に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により，特許を受けることができない。

第７　むすび

以上のとおり，本願請求項１に係る発明（本願発明１）は，引用発明，引用文献２に記載された事項に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものであるから，他の請求項に係る発明について検討するまでもなく特許法第２９条第２項の規定により，特許を受けることができない。

よって，結論のとおり審決する。