2018-700275

特許第６２０５５８７号発明「光学反射素子」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

【結　論】 特許第６２０５５８７号の明細書及び特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正明細書及び特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１－１０〕、１１について訂正することを認める。 特許第６２０５５８７号の請求項１、２、３、５、７、９、１０、１１に係る特許を維持する。

【理　由】 １　手続の経緯 特許第６２０５５８７号の請求項１ないし１１に係る特許についての出願は、平成２５年４月２４日（優先権主張　平成２４年５月７日）を国際出願日とする出願である特願２０１４－５１４３７３号の一部を平成２８年８月８日に新たな出願とした特願２０１６－１５５２２７号であって、平成２９年９月１５日にその特許権の設定登録がされ、平成２９年１０月４日に特許掲載公報が発行された。その後、請求項１ないし３、５、７、９ないし１１に係る特許について、平成３０年４月３日に特許異議申立人市東勇により特許異議の申立てがされ、当審は、平成３０年６月１４日（同年同月１９日発送）に取消理由を通知した。特許権者は、その指定期間内である平成３０年８月１７日（同年同月２０日受付）に意見書の提出及び訂正の請求を行った。 なお、同年９月７日付けで当審から特許異議申立人市東勇に特許法第１２０条の５第５項の規定に基づく書面等を送付し、期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、特許異議申立人市東勇からの意見書の提出はなかった。 ２　訂正の適否についての判断 （１）訂正の内容 平成３０年８月１７日付けの訂正請求（以下「本件訂正請求」という。）による訂正の内容は、以下のアないしクのとおりである。 ア　訂正事項１ 請求項１に係る「前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さい、光学反射素子。」を「前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる、光学反射素子。」に訂正する。 （請求項１の記載を引用する請求項２、３、５、７、９、１０も同様に訂正する。） イ　訂正事項２ 請求項４に係る「前記第２湾曲部の曲率半径は、前記第１湾曲部により近い側と前記縦梁部により近い側とで異なる、請求項２記載の光学反射素子。」を「ミラー部と、前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部により近い第１湾曲部と、前記縦梁部により近い第２湾曲部と、を有し、前記第２湾曲部の曲率半径は、前記第１湾曲部により近い側と前記縦梁部により近い側とで異なる、光学反射素子。」に訂正する。 ウ　訂正事項３ 請求項６に係る「前記駆動部は前記第２湾曲部上に形成されている、請求項１記載の光学反射素子。」を「ミラー部と、前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部により近い第１湾曲部と、前記縦梁部により近い第２湾曲部と、を有し、前記駆動部は前記第２湾曲部上に形成されている、光学反射素子。」に訂正する。 エ　訂正事項４ 請求項８に係る「前記固定部と前記横梁部との境界にモニタ部が形成されている、請求項１記載の光学反射素子。」を「ミラー部と、前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、前記固定部と前記横梁部との境界にモニタ部が形成されている、光学反射素子。」に訂正する。 オ　訂正事項５ 請求項１０に係る「前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さい、請求項９の光学反射素子。」を「前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さい、請求項９の光学反射素子。」に訂正する。 カ　訂正事項６ 請求項１１に係る「前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分に近い側の曲率半径が、前記縦梁と接続される部分に近い側おける曲率半径よりも小さい光学反射素子。」を「前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる光学反射素子。」に訂正する。 キ　訂正事項７ 発明の詳細な説明の段落【０００６】の「本発明は、大きな変位量かつ高周波駆動を実現できる小型の光学反射素子である。本発明の光学反射素子は、ミラー部と、一対の接合部と、一対の振動部と、複数の駆動部と、固定部とを有する。接合部はそれぞれ、ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続された第１端と、この第１端の反対側の第２端とを有し、第１軸方向に伸びている。振動部はそれぞれ、接合部の一方の第２端に接続された中央部を有する。複数の駆動部はそれぞれ、一対の振動部のそれぞれに設けられ、ミラー部を回動させる。固定部には一対の振動部の各両端が連結されている。接合部の第１軸に直交する方向の長さとして定義される梁幅は、一対の振動部のそれぞれの梁幅より大きい。」という記載を「本発明は、大きな変位量かつ高周波駆動を実現できる小型の光学反射素子である。本発明の一の態様に係る光学反射素子は、ミラー部と、一対の接合部と、一対の振動部と、複数の駆動部と、固定部とを有する。接合部はそれぞれ、ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続された第１端と、この第１端の反対側の第２端とを有し、第１軸方向に伸びている。振動部はそれぞれ、接合部の一方の第２端に接続された中央部を有する。複数の駆動部はそれぞれ、一対の振動部のそれぞれに設けられ、ミラー部を回動させる。固定部には一対の振動部の各両端が連結されている。接合部の第１軸に直交する方向の長さとして定義される梁幅は、一対の振動部のそれぞれの梁幅より大きい。 また、本発明の他の態様に係る光学反射素子は、ミラー部と、前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる。」に訂正する。 ク　訂正事項８ 発明の詳細な説明の段落【０００７】の「この構成により、接合部に掛かる応力が低減され機械的強度を高めることができるので、ミラー部を大きな回動角（変位量）でかつ高周波駆動させることができる。」という記載を「また、本発明のさらに他の態様に係る光学反射素子は、ミラー部と、前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる。 この構成により、接合部に掛かる応力が低減され機械的強度を高めることができるので、ミラー部を大きな回動角（変位量）でかつ高周波駆動させることができる。」に訂正する。 本件訂正請求は、一群の請求項〔１－１０〕及び請求項１１に対して請求されたものである。また、明細書に係る訂正事項７は、一群の請求項〔１－１０〕について請求されたものであり、明細書に係る訂正事項８は、請求項１１について請求されたものである。 また、訂正後の請求項４、６、８については、当該請求項についての訂正が認められる場合には、一群の請求項の他の請求項とは別途訂正することを求めている。 （２）訂正の目的の適否、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否、新規事項の有無 ア　訂正事項１について （ア）訂正の目的の適否 訂正事項１は、 請求項１の「前記一対の横梁部を支持する固定部」を、 「前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、前記一対の横梁部を支持する固定部」とする訂正（以下、「訂正事項１－１」という）と、 「前記縦梁と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さい、」を、 「前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、」とする訂正（以下、「訂正事項１－２」という）と、 請求項１に「前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる」との発明特定事項を追加する訂正（以下、「訂正事項１－３」という）とを含むものである。 訂正事項１－１に関し、訂正前の請求項１に係る発明では、固定部が「前記一対の横梁部を支持する」ことを特定していたが、どのような態様で固定部が「前記一対の横梁部を支持する」のかについては、何ら特定していない。 これに対して、訂正後の請求項１に係る発明では、固定部が「前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され］ることを明らかにすることで、どのような態様で固定部が「前記一対の横梁部を支持する」のかを特定して特許請求の範囲を減縮しようとするものであるから、当該訂正事項１－１は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 訂正事項１－２に関し、訂正前の請求項１において「前記縦梁と」との記載があるところ、訂正前の請求項１には「縦梁」が存在せず、訂正前の請求項１における「前記縦梁と」との事項が不明瞭であるため、不明瞭な記載の釈明を目的として、当該記載を「前記縦梁部と」に変更した。この点において、訂正事項１一２は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。 訂正事項１－３に関し、訂正前の請求項１に係る発明では、複数の駆動部が「前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる」ことを特定していたが、どのような態様で複数の駆動部が「前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる」のかについては、何ら特定していない。 これに対して、訂正後の請求項１に係る発明では、複数の駆動部が「前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる」ことを明らかにすることで、どのような態様で複数の駆動部が「前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる」のかを特定して特許請求の範囲を減縮しようとするものであるから、当該訂正事項１－３は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 したがって、訂正事項１は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号及び第３号に規定する特許請求の範囲の減縮及び明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。 （イ）特許請求の範囲の拡張・変更の存否 訂正事項１は発明特定事項を直列的に付加することで、訂正前の請求項１の記載を減縮するものであり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。 （ウ）新規事項の有無 訂正事項１－１は、明細書の段落【００１１】の記載「枠状の固定部１６は振動部１４、１５の両端に連結され、振動部１４、１５を支持している。」、段落【００３０】の記載「振動部３２は一対で設けられ、それぞれの中央部で接合部３３に接続されている。振動部３２の両端は固定部３５に接続されている。」、図１，４等に基づくものである。 訂正事項１－２に関し、「前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さ」いことは、明細書の段落【００３８】の記載「接合部３３に近い第２湾曲部３７上に占めるように、第１湾曲部３６の曲率半径ｒを第２湾曲部３７の曲率半径Ｒより小さくすることが好ましい。」、図７Ｂ等に基づくものである。 訂正事項１－３は、段落【００３５】の記載「振動部１４、１５では、振動部１４、１５と固定部１６との接続箇所において、振動部１４、１５の曲げ変位に伴った応力が集中しやすい。」、段落【００４３】の記載「振動部３２が曲げ変位を起こすため、固定部３５と第１湾曲部３６との境界線周辺に歪みが集中し易い。」等に基づくものである。 すなわち、これらの記載に、出願時の技術常識を照らし合わせれば、横梁部に相当する「振動部」は、固定部との接続箇所である両端が固定された状態で、振動部自体に曲げ変位が生じていることが感得される。よって、訂正事項１－３は、本件特許明細書等の記載から自明な事項である。 よって、訂正事項１は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。 イ　訂正事項２について （ア）訂正の目的の適否 訂正事項２は、訂正前の請求項４が訂正前の請求項２の記載を引用し、訂正前の請求項２が訂正前の請求項１の記載を引用する記載であったものを、請求項間の引用関係を解消して、独立形式請求項へ改めるための訂正であって、特許法第１２０条の５第２項ただし書第４号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とする訂正である。 また、訂正事項２では、訂正前の請求項１において「前記縦梁と」との記載があるところ、訂正前の請求項１には「縦梁」が存在せず、訂正前の請求項１における「前記縦梁と」との事項が不明瞭であるため、不明瞭な記載の釈明を目的として、当該記載を「前記縦梁部と」に変更した。この点において、訂正事項２は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。 （イ）特許請求の範囲の拡張・変更の存否 訂正事項２は、訂正前の請求項４に対して、何ら実質的な内容の変更を伴うものではないから、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。 （ウ）新規事項の有無 訂正事項２は、何ら実質的な内容の変更を伴うものではないから、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。 ウ　訂正事項３について （ア）訂正の目的の適否 訂正事項３は、訂正前の請求項６について、請求項１の記載を引用する記載であるところ、訂正前の請求項１には「第２湾曲部」が存在せず、訂正前の請求項６における「前記駆動部は前記第２湾曲部上に形成されている」との事項が不明瞭であるため、不明瞭な記載の釈明を目的として、請求項２の記載を引用する形に変更した。この点において、訂正事項３は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。 その上で、訂正事項３は、訂正前の請求項６が訂正前の請求項２の記載を引用し、訂正前の請求項２が訂正前の請求項１の記載を引用する記載であったものを、請求項間の引用関係を解消して、独立形式請求項へ改めるための訂正であって、特許法第１２０条の５第２項ただし書第４号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とする訂正である。 さらに、訂正事項３では、訂正前の請求項１において「前記縦梁と」との記載があるところ、訂正前の請求項１には「縦梁」が存在せず、訂正前の請求項１における「前記縦梁と」との事項が不明瞭であるため、不明瞭な記載の釈明を目的として、当該記載を「前記縦梁部と」に変更した。この点において、訂正事項３は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。 （イ）特許請求の範囲の拡張・変更の存否 訂正事項３は、訂正前の請求項６に対して、何ら実質的な内容の変更を伴うものではないから、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。 （ウ）新規事項の有無 訂正事項３は、何ら実質的な内容の変更を伴うものではないから、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。 エ　訂正事項４について （ア）訂正の目的の適否 訂正事項４は、訂正前の請求項８が訂正前の請求項１の記載を引用する記載であったものを、請求項間の引用関係を解消して、独立形式請求項へ改めるための訂正であって、特許法第１２０条の５第２項ただし書第４号に規定する「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とする訂正である。 また、訂正事項４では、訂正前の請求項１において「前記縦梁と」との記載があるところ、訂正前の請求項１には「縦梁」が存在せず、訂正前の請求項１における「前記縦梁と」との事項が不明瞭であるため、不明瞭な記載の釈明を目的として、当該記載を「前記縦梁部と」に変更した。この点において、訂正事項４は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。 （イ）特許請求の範囲の拡張・変更の存否 訂正事項４は、訂正前の請求項８に対して、何ら実質的な内容の変更を伴うものではないから、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。 （ウ）新規事項の有無 訂正事項４は、何ら実質的な内容の変更を伴うものではないから、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。 オ　訂正事項５について （ア）訂正の目的の適否 訂正事項５は、訂正前の請求項１０において「前記縦梁と」との記載があるところ、訂正前の請求項１０、並びに訂正前の請求項１０が引用する訂正前の請求項１及び９には「縦梁」が存在せず、訂正前の請求項１０における「前記縦梁と」との事項が不明瞭であるため、不明瞭な記載の釈明を目的として、当該記載を「前記縦梁部と」に変更した。この点において、訂正事項５は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。 （イ）特許請求の範囲の拡張・変更の存否 訂正事項５は、訂正前の請求項１０に対して、何ら実質的な内容の変更を伴うものではないから、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。 （ウ）新規事項の有無 訂正事項５は、何ら実質的な内容の変更を伴うものではないから、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。 カ　訂正事項６について （ア）訂正の目的の適否 訂正事項６は、請求項１１の「前記一対の横梁部を支持する固定部」を、「前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、前記一対の横梁部を支持する固定部」とする訂正（以下、「訂正事項６－１」という）と、請求項１１の「前記固定部と接続される部分に近い側の曲率半径が、前記縦梁と接続される部分に近い側おける曲率半径よりも小さい」を、「前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、」とする訂正（以下、「訂正事項６－２」という）と、請求項１１に「前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる」との発明特定事項を追加する訂正（以下、「訂正事項６－３」という）とを含むものである。 訂正事項６－１に関し、訂正前の請求項１１に係る発明では、固定部が「前記一対の横梁部を支持する」ことを特定していたが、どのような態様で固定部が「前記一対の横梁部を支持する」のかについては、何ら特定していない。 これに対して、訂正後の請求項１１に係る発明では、固定部が「前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され」ることを明らかにすることで、どのような態様で固定部が「前記一対の横梁部を支持する」のかを特定して特許請求の範囲を減縮しようとするものであるから、当該訂正事項６－１は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 訂正事項６－２に関し、訂正前の請求項１１において「前記縦梁と」との記載があるところ、訂正前の請求項１１には「縦梁」が存在せず、訂正前の請求項１１における「前記縦梁と」との事項が不明瞭であるため、不明瞭な記載の釈明を目的として、当該記載を「前記縦梁部と」に変更した。また、訂正事項６－２に関し、訂正前の請求項１１には「前記固定部と接続される部分に近い側の曲率半径が、前記縦梁と接続される部分に近い側おける曲率半径よりも小さい」との記載があるところ、各々の「曲率半径」が内周か外周かが不明瞭であるため、不明瞭な記載の釈明を目的として、当該記載を「前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、」に変更した。これらの点において、訂正事項６－２は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。 訂正事項６－３に関し、訂正前の請求項１１に係る発明では、複数の駆動部が「前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる」ことを特定していたが、どのような態様で複数の駆動部が「前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる」のかについては、何ら特定していない。 これに対して、訂正後の請求項１１に係る発明では、複数の駆動部が「前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる」ことを明らかにすることで、どのような態様で複数の駆動部が「前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる」のかを特定して特許請求の範囲を減縮しようとするものであるから、当該訂正事項６－３は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 したがって、訂正事項６は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号及び第３号に規定する特許請求の範囲の減縮及び明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。 （イ）特許請求の範囲の拡張・変更の存否 訂正事項６は発明特定事項を直列的に付加することで、訂正前の請求項１１の記載を減縮するものであり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。 （ウ）新規事項の有無 訂正事項６－１は、明細書の段落【００１１】の記載「枠状の固定部１６は振動部１４、１５の両端に連結され、振動部１４、１５を支持している。」、段落【００３０】の記載「振動部３２は一対で設けられ、それぞれの中央部で接合部３３に接続されている。振動部３２の両端は固定部３５に接続されている。」、図１、４等に基づくものである。 訂正事項６－２に関し、「前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さ」いことは、明細書の段落【００４１】の記載「また、図７Ｃに示すように、第２湾曲部３７を第１湾曲部３６により近い側と接合部３３により近い側とで曲率半径が異なる構成としても良い。」、図７Ｃ等に基づくものである。 訂正事項６－３は、段落【００３５】の記載「振動部１４，１５では、振動部１４、１５と固定部１６との接続箇所において、振動部１４，１５の曲げ変位に伴った応力が集中しやすい。」、段落【００４３】の記載「振動部３２が曲げ変位を起こすため、固定部３５と第１湾曲部３６との境界線周辺に歪みが集中し易い。」等に基づくものである。すなわち、これらの記載に、出願時の技術常識を照らし合わせれば、横梁部に相当する「振動部」は、固定部との接続箇所である両端が固定された状態で、振動部自体に曲げ変位が生じていることが感得される。よって、訂正事６－３は、本件特許明細書等の記載から自明な事項である。 よって、訂正事項６は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。 キ　訂正事項７について （ア）訂正の目的の適否 訂正事項７は、訂正事項１に係る訂正に伴い特許請求の範囲の記載と明細書の記載との整合を図るための訂正である。 よって、訂正事項７は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。 （イ）特許請求の範囲の拡張・変更の存否 訂正事項７は、訂正事項１と同じ理由により、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。 （ウ）新規事項の有無 訂正事項７は、訂正事項１と同じ理由により、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。 ク　訂正事項８について （ア）訂正の目的の適否 訂正事項８は、訂正事項６に係る訂正に伴い特許請求の範囲の記載と明細書の記載との整合を図るための訂正である。 よって、訂正事項８は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。 （イ）特許請求の範囲の拡張・変更の存否 訂正事項８は、訂正事項６と同じ理由により、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第６項に適合するものである。 （ウ）新規事項の有無 訂正事項８は、訂正事項６と同じ理由により、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項に適合するものである。 ケ　特許出願の際に独立して特許を受けることができること 本件においては、訂正前の請求項１、２、３、５、７、９、１０、１１について特許異議の申立てがされており、また、訂正前の請求項４，６，８についての訂正は、「明瞭でない記載の釈明」及び「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とする訂正であるので、訂正事項１ないし６に関して、特許法第１２０条の５第９項で読み替えて準用する特許法第１２６条第７項の独立特許要件は課されない。 （３）明細書又は図面の訂正と関係する請求項についての説明 請求項１～１０が訂正事項７による明細書の訂正に係る請求項であり、請求項１１が訂正事項８による明細書の訂正に係る請求項である。 したがって、訂正事項７は、明細書の訂正に係る請求項を含む一群の請求項の全て（請求項１～１０）について行うものであり、訂正事項８は、明細書の訂正に係る請求項１１について行うものであるから、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第４項に適合するものである。 （４）小括 以上のとおりであるから、本件訂正請求による訂正は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号及び第３号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第９項において準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合する。 したがって、明細書、特許請求の範囲を、訂正請求書に添付された訂正明細書、特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１ないし１０〕及び請求項１１について訂正することを認める。 ３　訂正後の本件発明 本件訂正請求により訂正された請求項を含む請求項１ないし１１に係る発明（以下「本件発明１」などという。）は、訂正特許請求の範囲の請求項１ないし１１に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。 「【請求項１】 ミラー部と、 前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、 前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、 前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、 前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、 前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、 前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、 前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、 前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる、光学反射素子。 【請求項２】 前記一対の梁部はそれぞれ、 前記固定部により近い第１湾曲部と、 前記縦梁部により近い第２湾曲部と、を有する、請求項１記載の光学反射素子。 【請求項３】 前記第１湾曲部の曲率半径が前記第２湾曲部の曲率半径よりも小さい、 請求項２記載の光学反射素子。 【請求項４】 ミラー部と、 前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、 前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、 前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、 前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、 前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、 前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、 前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、 前記一対の梁部はそれぞれ、 前記固定部により近い第１湾曲部と、 前記縦梁部により近い第２湾曲部と、を有し、 前記第２湾曲部の曲率半径は、前記第１湾曲部により近い側と前記縦梁部により近い側とで異なる、光学反射素子。 【請求項５】 前記第１湾曲部と前記第２湾曲部の湾曲方向が異なる、請求項２記載の光学反射素子。 【請求項６】 ミラー部と、 前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、 前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、 前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、 前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、 前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、 前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、 前記一対の梁部はそれぞれ、 前記固定部により近い第１湾曲部と、前記縦梁部により近い第２湾曲部と、を有し、 前記駆動部は前記第２湾曲部上に形成されている、光学反射素子。 【請求項７】 前記駆動部は、下部電極膜と圧電膜と上部電極膜を順に積膜して形成されている、請求項１記載の光学反射素子。 【請求項８】 ミラー部と、 前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、 前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、 前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、 前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、 前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、 前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、 前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、 前記固定部と前記横梁部との境界にモニタ部が形成されている、光学反射素子。 【請求項９】 前記内周は、前記横梁部の前記ミラー部に近い側の周であり、 前記外周は、前記横梁部の前記ミラー部から遠い側の周である、請求項１記載の光学反射素子。 【請求項１０】 前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さい、請求項９の光学反射素子。 【請求項１１】 ミラー部と、 前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、 前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、 前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、 前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、前記一対の横梁部を支持する固定部と、を備え、 前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し、 前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、 前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる光学反射素子。」 ４　取消理由通知に記載した取消理由について （１）取消理由の概要 訂正前の請求項１，２，３，５，７，９，１０及び１１に係る特許に対して、当審が平成３０年６月１４日に特許権者に通知した取消理由の要旨は、次のとおりである。 ア　理由１（新規性）２９条１項３号 本件特許の請求項１，２，３，５，７，９，１０及び１１に係る発明は、本件特許の出願前日本国内または外国において頒布された特開２０１０－２８８４３５号公報（以下「甲第１号証」という。）に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明であって、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができないから、その発明に係る特許は取り消すべきものである。 イ　理由２（進歩性）２９条２項 本件特許の請求項１，２，３，５，７，９，１０及び１１に係る発明は、本件特許の出願前日本国内または外国において頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、その発明に係る特許は取り消すべきものである。 ウ　理由３（拡大先願）２９条の２ 本件特許の請求項１，２，３，５，７，９，１０及び１１に係る発明は、本件特許の出願の日前の特許出願であって、本件特許の出願後に出願公開公報の発行がされた特願２０１０－２８６７５８号（以下「先願」という。）の願書に最初に添付された明細書、特許請求の範囲に記載された発明と同一であり、しかも、本件特許の出願の発明者が本件特許の出願前の特許出願に係る上記の発明をした者と同一ではなく、また本件特許の出願の時において、その出願人が上記特許出願の出願人と同一でもなく、特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができないから、その発明に係る特許は取り消すべきものである。 （２）甲号証の記載 ア　甲第１号証 （ア）記載事項 【０００８】 そこで、本発明は、小型化の要請に応えつつ、内部応力を十分に分散させて破断等のおそれ無く安定動作させることができるアクチュエータ及びこれを用いた光走査装置を提供することを目的とする。 【００５１】 圧電素子２１は、上部電極２３と、下部電極２４とを備える。上部電極２３及び下部電極２４は、圧電体２２に電圧を印加するための電極であり、上部電極２３及び下部電極２４に電圧が印加されることにより、圧電体２２が伸縮し、梁１５を駆動させる。 【００６４】 図７は、実施例１に係るアクチュエータの共振駆動部８０を抜き出して示した斜視図の一例である。図７において、共振駆動部８０は、ミラー３１と、支持梁４０と、連結部５０と、可動枠６０と、駆動梁７０と、駆動源２０とを含み、これらは総て一体となって連結されている。 【００６５】 ミラー３１は、本実施例に係るアクチュエータにより傾動駆動される駆動対象物３０である。駆動対象物３０は、ミラー３１以外のものも適用できるが、以後、説明の容易のため、ミラー３１を駆動対象物３０として適用した例を挙げて説明する。 【００６６】 支持梁４０は、ミラー３１を両側から支持する１対の梁である。支持梁４０は、ミラー３１に連結され、ミラー３１に関して対称に、回転軸Ｘに沿って、左右で１対となって設けられる。支持梁４０は、図１において説明したように、例えば、約３０〔μｍ〕程度の薄いシリコン活性層１４として構成されるので、弾性を有する弾性部材として機能する。 【００７０】 連結部５０は、支持梁４０の先端部と可動枠６０とを連結し、可動枠６０の曲げ振動をねじれ振動に変換して支持梁４０に伝達する部分である。連結部５０は、支持梁４０を回転軸Ｘ方向の両側から挟むように、１対となって構成されている。可動枠６０は、支持梁４０を回転軸Ｘに直交する方向の両側から挟むように対をなしているので、１つの連結部５０は、支持梁４０と、支持梁４０の両側に存在する可動枠６０の３つの部材を連結する。 【００７５】 連結部５０は、支持梁４０との連結により生じる角５５が、丸められる加工処理がなされていてよい。これにより、支持梁４０と連結部５０との連結箇所の応力を更に分散させることができる。同様に、ミラー３１と支持梁４０の連結部分に生じる角４５、連結部５０と可動枠６０の連結部分に生じる角６５及び可動枠６０と駆動梁７０の連結部分に生じる角７５を丸める加工処理を行い、これらの応力も分散させるようにしてよい。なお、角４５、５５、６５、７５の丸め処理の詳細については、後述する。 【００７６】 図７に戻る。駆動梁７０は、可動枠６０に曲げ応力を付与する駆動力発生源である。駆動梁７０は、回転軸Ｘと直交する方向に延在し、可動枠６０を両側から挟むように可動枠６０に連結され、１対となって設けられる。駆動梁７０は、表面に駆動源２０が装着され、自身が駆動源２０に変形されて、曲げ振動を発生させる。駆動源２０は、例えば、圧電素子２１が用いられてよいが、曲げ振動を発生することができる手段であれば、他の手段であってもよい。圧電素子２１が用いられる場合、１対の駆動梁７０の圧電素子２１には、両側で互いに異なる方向に変位する電圧が印加される。電圧の印加は、図１において説明したように、圧電体２２に設けられた上面電極２３と下面電極２４から行われてよい。 【００７９】 図９は、実施例１に係るアクチュエータの共振駆動部８０の共振振動時における変形状態の一例を示した斜視図である。図９において、１対の駆動源２０は、奥側の圧電素子２５と手前側の圧電素子２６とを含み、各々異なる極性又は位相の電圧が印加される。これにより、１対の駆動梁７０は、奥側の駆動梁７１が上方に反り、手前側の駆動梁７２が下方に反る変形をし、可動枠６０に曲げ振動を付与する。可動枠６０の曲げ振動は、連結部５０において支持梁４０に伝達されるが、このとき、曲げ振動はねじれ振動に変換され、１対の支持梁４０は、左側と右側でねじれる振動をする。そして、このねじれ振動により、両側から支持梁４０で支持されているミラー３１は、奥側と手前側に傾動振動する運動を行い、回転軸Ｘ周りに傾動駆動させられることになる。このような動作により、ミラー３１は回転軸Ｘの軸周りで傾動駆動させられる。 【００８０】 図１０は、実施例１に係るアクチュエータの共振駆動部８０の共振駆動時の変形状態の一例を示したミラー３１の周辺拡大図である。図１０において、ミラー３１が、右側が上昇し、左側が下降するように傾動しているが、可動枠６０も、ミラー３１と同一方向に傾動し、ミラー３１の方が、可動枠６０よりも傾動の傾角が大きい状態となっている。図１０における動作は、１対の駆動梁７０に備えられた1対の駆動源２０に、極性又は位相の異なる電圧を印加することにより共振させると、駆動梁７０と可動枠６０の連結部付近が、大きく上下に振動する。この動作により、可動枠６０が傾き、また可動枠６０自身がたわむことで、連結部５０付近を更に傾け、連結部５０がねじれて更にミラー３１を傾ける、という動作を行う。 【００９０】 図１３は、ミラー３１と支持梁４０との連結箇所４５と、支持梁４０と連結部５０との連結箇所５５と、連結部５０と可動枠６０との連結箇所６５に生じる角を丸めた場合について説明するための図である。図１３（Ａ）は、連結箇所４５、５５、６５に角Ｒを付与した場合のアクチュエータの斜視図の一例であり、図１３（Ｂ）は、角Ｒを付与したときの傾角感度と、±１２〔ｄｅｇ〕傾いたときの連結箇所４５、５５、６５の最大応力変化を示した図である。 【００９１】 図１３（Ａ）に示すように、ミラー３１と支持梁４０との連結箇所４５のみならず、支持梁４０と連結部５０との連結箇所５５及び連結部５０と可動枠６０との連結箇所６５にも角Ｒが付与されている。連結箇所５５、６５の角Ｒは、例えば、０．００５～０．０４〔ｍｍ〕の範囲で付与されてもよい。 【００９２】 図１３（Ｂ）は、図１３（Ａ）のような角Ｒを付与した構成において、傾角感度と最大応力の変化を示している。図１３（Ｂ）において、傾角感度はあまり変化していないが、角Ｒが０．０２〔ｍｍ〕以上で若干劣化している。内部応力は、ねじれが発生する連結部５０で最大となる。角Ｒ＝０．００５～０．０２〔ｍｍ〕では、最大内部応力は０．５〔ＧＰａ〕となり、深掘り反応性イオンエッチングによる加工変質層の影響や繰り返し応力の印加により、破断の可能性が出てしまう。Ｒ＝０．０３〔ｍｍ〕のときに、最大応力は０．４９〔ＧＰａ〕となり、破断が生じない値まで応力が分散される。よって、Ｒ＝０．０３〔ｍｍ〕以上であれば、破断発生のおそれが無く、特に問題無いことが分かる。 【００９７】 図１５は、共振駆動部８０における駆動源２０の電極配置構成の種々の態様について示した図である。 【００９８】 図１５（Ａ）は、駆動梁７０にのみ駆動源２０を設けた共振駆動部８０の構成の一例を示した図である。図１５（Ａ）において、今まで説明したように、駆動梁７０にのみ駆動源２０が設けられた共振駆動部８０が示されている。この場合は、図７乃至図１１において説明したように、１対の駆動梁７１、７２からなる駆動梁７０の上下動が、曲げ振動として１対の可動枠６１、６２からなる可動枠６０に付与される。そして、可動枠６０から１対の連結部５０に曲げ振動が伝達される際に、曲げ振動がねじれ振動に変換され、ねじれ振動により１対の支持梁４０及びミラー３１が傾動駆動される。 【００９９】 図１５（Ｂ）は、駆動梁７０及び可動枠６０に駆動源２０ａを設けた共振振動部８０ａの構成の一例を示した図である。図１５（Ｂ）において、駆動梁７０のみでなく、可動枠６０にも駆動源２０ａが備えられている。つまり、駆動源２０ａは、１対の駆動梁７１、７２に１対の駆動源２５、２６が設けられるとともに、１対の可動枠６１、６２にも各々駆動源２７、２８が設けられている。図１５（Ｂ）においては、回転軸Ｘを中心として、互いに連結されている奥側の駆動梁７１及び可動枠６１には、同極性又は同位相の電圧が印加される駆動源２５、２７が設けられている、同様に、互いに連結されている手前側の駆動梁７２及び可動枠６２には、同極性又は同位相の電圧が印加される駆動源２６、２８が設けられており、それらの極性は、駆動源２５、２７とは異なっている。つまり、図１５（Ｂ）においては、同じ側の駆動梁７０と可動梁６０には、同極性の電圧が印加されるように駆動源２０ａが配置構成されている。 【０１００】 図１５（Ｃ）は、図１５（Ｂ）とは異なる駆動梁７０及び可動枠６０に駆動源２０ｂを設けた共振振動部８０ｂの構成の一例を示した図である。図１５（Ｃ）において、駆動梁７０に設けられる駆動源２０の配置は、図１５（Ａ）、（Ｂ）と同様であるが、可動枠６０に設けられる駆動源２７、２８が、連結されている駆動梁７０の駆動源２６、２５とは逆極性となるように構成されている。つまり、回転軸Ｘを中心として、奥側の駆動梁７１の駆動源２５とこれに連結されている可動枠６１の駆動源２８は、互いに逆極性である。同様に、手前側の駆動梁７２の駆動源２６と、これに連結されている可動枠６２の駆動源２７とは、逆極性である。そして、１対の駆動源７１、７２同士の駆動源２５、２６は互 いに逆極性であり、１対の可動枠６１、６２同士の駆動源２８、２７も互いに逆極性である。 【０１３１】 図２４（Ａ）において、実施例３に係るアクチュエータは、可動部１００と、固定枠１１０とを備える。固定枠１００は、駆動中も固定状態にある外側の枠であり、可動部１１０は、固定枠１００に連結支持されている。また、可動部１００は、駆動対象物３０と、１対の支持梁４０ｂと、１対の連結部５０ｂと、１対の駆動梁７３とを備える。連結部５０ｂは、駆動梁７３に連結される駆動梁側連結部５３と、駆動梁側連結部５３と支持梁４０ｂを連結する支持梁側連結部５４とを有する。実施例３に係るアクチュエータの表面側は、総てＳｉ活性層１３で構成されている。 【０１３２】 実施例３に係るアクチュエータにおいては、駆動対象物３０に、回転軸方向に沿って延在する支持梁４０が連結されている点は、実施例１に係るアクチュエータと同様である。しかしながら、実施例３に係るアクチュエータには、可動枠６０が設けられていない点で、実施例１及び実施例２に係るアクチュエータと異なっている。 【０１３３】 実施例３に係るアクチュエータにおいては、連結部５０ｂの支持梁側連結部５４が、回転軸Ｘと直交する方向に長く延在し、駆動対象物３０の幅と同程度か、それよりも長く構成されている。そして、支持梁側連結部５４から垂直に回転軸Ｘと平行に駆動梁７３側に戻るように駆動梁側連結部５３が延在し、駆動梁７３に直接連結されている。よって、連結部５０ｂは、可動枠６０の代わりに駆動梁７３と直接連結される駆動源側連結部５３と、駆動梁側連結部５３と支持梁４０ｂとを連結する支持梁側連結部５４を含んで構成される。ここで、支持梁側連結部５４と駆動梁側連結部５３とが連結される位置は、回転軸Ｘに垂直な方向において、駆動対象物３０の端部と同じか、それよりも外側に構成されてよい。これにより、回転軸Ｘと平行に駆動対象物３０側に延びる駆動梁側連結部５３の長さを、十分に長く確保することができ、十分に応力の吸収低減を行うことが可能となる。 【０１３５】 また、駆動梁７３は、実施例１及び実施例２に係るアクチュエータの駆動源７０よりも、回転軸Ｘに平行な幅を大きくし、駆動源２０である圧電素子２１の成膜面積を大きくしている。これにより、傾角感度を更に向上させるとともに、更に高速に駆動することが可能となる。つまり、小型でありながら、十分な傾角感度を有するアクチュエータとすることができる。なお、駆動梁７３が、回転軸Ｘの両側で、異なる方向に変位する電圧が印加させる点は、実施例１及び実施例２に係るアクチュエータと同様である。 【０１３６】 更に、実施例３に係るアクチュエータは、回転軸Xの軸周りに傾動運動を行う１軸型のアクチュエータが示されている。このように、実施例３に係るアクチュエータは、１軸側アクチュエータとして構成することができる。一方、図３乃至図６において説明したように、固定枠１１０の領域に、回転軸Xと異なる軸周りに傾動駆動するアクチュエータを組み込んで２軸型のアクチュエータとしてもよい。実施例３に係るアクチュエータは、１軸型のアクチュエータにも、２軸型のアクチュエータにも適用することができる。 【０１３９】 図２５（Ａ）において、支持梁４０ｂの幅をＡとし、駆動梁側連結部５３の幅を、支持梁４０ｂの幅Ａの１／２のＡ／２に設定する。また、支持梁側連結部５４の長さをＢ、支持梁４０ｂ及び駆動梁側連結部５３の外側の端部から回転軸Ｙまでの距離をＣとする。そして、支持梁４０ｂ及び駆動梁側連結部５３の外側端部から回転軸Ｙまでの距離Ｃを可変とすることで、共振周波数を一定の３０ｋＨｚに設定する。なお、駆動梁側連結部５３は、４箇所存在するが、総て共通の値に設定する。また、連結箇所４５ａのＲ半径をＲ１＝０．１５ｍｍ、連結箇所５５ａのＲ半径をＲ２＝Ｂ／２に設定する。そして、指示梁４０ｂの幅Ａ及び支持梁側連結部５４の長さＢをパラメータとして変化させ、傾角感度と最大応力の最適値を検討した。 【０１４０】 図２５（Ｂ）は、駆動対象物３０を±１２ｄｅｇの傾角で傾動させる場合の、支持梁４０ｂの幅Ａ及び支持梁側連結部５４の長さＢの変化に対する傾角感度〔ｄｅｇ／Ｖ〕の変化特性を示した図である。図２５（Ｂ）において、Ａ＝０．１２ｍｍの場合に最も傾角感度が高く、また、０．４ｍｍ＜Ｂ＜０．６ｍｍのＢ＝０．５ｍｍ付近の値で傾角感度が最大となっている特性が示されている。 【０１５３】 また、駆動対象物３０と支持梁４０ｃとの連結箇所４６のR半径をＲ１＝Ａ／２に設定し、支持梁４０ｃと連結部５５ｂとの連結箇所５５ｂのＲ半径をＲ２＝Ｂ／２に設定する。 【０１６７】 図２９は、支持梁４１ａ、４２ａ間の距離Ａ及び支持梁側連結部５４の長さＢをパラメータとした場合の傾角感度の特性を示した図である。図２９において、横軸は支持梁側連結部５４の長さＢ〔ｍｍ〕、縦軸は傾角感度〔ｄｅｇ／Ｖ〕を示している。 【０１６８】 図２９において、Ａ、Ｂの値がともに大きい程、傾角感度は大きくなることが示されている。よって、図２７（Ｃ）において算出した、最大応力が０．５ＧＰａ以下の範囲で、傾角感度が最大となるようなＡ、Ｂの値が、最適なパラメータ設定ということになる。 （イ）引用発明 Ａ　上記図７及び図１３の記載から、「連結部５０は、途中に曲がり部を有し」ていることが見て取れる。以上の記載から、甲第１号証には、実施例１に係る発明として、以下の発明（以下「引用発明１」という。）が記載されていると認められる。 「アクチュエータを用いた光走査装置であって、 アクチュエータの共振駆動部８０は、ミラー３１と、支持梁４０と、連結部５０と、可動枠６０と、駆動梁７０と、駆動源２０とを含み、 支持梁４０は、ミラー３１を両側から支持する１対の梁であり、 支持梁４０は、ミラー３１に連結され、ミラー３１に関して対称に、回転軸Ｘに沿って、左右で１対となって設けられ、 連結部５０は、支持梁４０の先端部と可動枠６０とを連結し、可動枠６０の曲げ振動をねじれ振動に変換して支持梁４０に伝達する部分であり、 連結部５０は、支持梁４０を回転軸Ｘ方向の両側から挟むように、１対となって構成され、 可動枠６０は、支持梁４０を回転軸Ｘに直交する方向の両側から挟むように対をなしており、 １つの連結部５０は、支持梁４０と、支持梁４０の両側に存在する可動枠６０の３つの部材を連結しており、 駆動梁７０は、可動枠６０に曲げ応力を付与する駆動力発生源であり、 駆動梁７０は、回転軸Ｘと直交する方向に延在し、可動枠６０を両側から挟むように可動枠６０に連結され、１対となって設けられ、 駆動梁７０は、表面に駆動源２０が装着され、 連結部５０は、途中に曲がり部を有し、 連結部５０は、支持梁４０との連結により生じる角５５が、丸められ、同様に、連結部５０と可動枠６０の連結部分に生じる角６５及び可動枠６０と駆動梁７０の連結部分に生じる角７５を丸められ、応力を分散させている 光走査装置。」 Ｂ　また、実施例３に係る図２４Ａ及び図２５Ａの記載から、「駆動梁７３と直接連結される駆動源側連結部５３との接合部外周の湾曲形状の曲率半径は、支持梁４０ｂとを連結する支持梁側連結部５４との接合部内周の湾曲形状の曲率半径より小さい」ことが見て取れる。 よって、甲第１号証には、実施例３に係る発明として、以下の発明（以下「引用発明２」という。）が記載されていると認められる。 「アクチュエータを用いた光走査装置であって、 アクチュエータは、回転軸Xの軸周りに傾動運動を行うものであり、 アクチュエータは、可動部１００と、固定枠１１０とを備え、 固定枠１００は、駆動中も固定状態にある外側の枠であり、可動部１１０は、固定枠１００に連結支持され、可動部１００は、駆動対象物３０（ミラー３１）と、１対の支持梁４０ｂと、１対の連結部５０ｂと、１対の駆動梁７３とを備え、 連結部５０ｂは、可動枠６０の代わりに駆動梁７３と直接連結される駆動源側連結部５３と、駆動梁側連結部５３と支持梁４０ｂとを連結する支持梁側連結部５４を含んで構成され、 駆動梁７３と直接連結される駆動源側連結部５３との接合部外周の湾曲形状の曲率半径は、支持梁４０ｂとを連結する支持梁側連結部５４との接合部内周の湾曲形状の曲率半径より小さい 光走査装置。」 イ　先願 先願（特願２０１０－２８６７５８号）は、平成２２年１２月２２日の特許出願であって、平成２４年７月１２日に 出願公開（特開２０１２－１３３２４２号公報（以下「甲第２号証」という。）されたものであり、発明者は山田司であり、出願人は、ミツミ電機株式会社である。 そして、先願の願書に最初に添付された明細書、特許請求の範囲（以下「当初明細書等」という。）には、以下の事項が記載されている。 （ア）記載事項 【０００１】 本発明は、光走査装置に関し、特に、ミラー支持部を軸方向両側から捻れ梁により支持し、該捻れ梁の捻れにより前記ミラー支持部を軸周りに揺動させて駆動する光走査装置に関する。 【００２６】 図１（Ａ）、（Ｂ）において、本実施形態に係る光走査装置は、ミラー１０と、ミラー支持部２０と、捻れ梁３０と、連結梁４０と、第１の駆動梁５０と、可動枠６０と、第２の駆動梁７０と、クロストーク防止リブ８０と、固定枠９０とを備える。捻れ梁３０には、スリット３１が設けられている。また、図１（Ａ）に示すように、第１の駆動梁５０は、駆動源５１を備え、第２の駆動梁７０は、駆動源７１を備える。更に、図１（Ｂ）に示すように、ミラー支持部２０の裏面にはリブ２１が設けられ、第２の駆動梁７０の裏面には、高調波重畳防止用リブ７２が設けられている。 【００２７】 図１（Ａ）、（Ｂ）において、ミラー支持部２０の表面にミラー１０が支持され、ミラー支持部２０は、両側にある捻れ梁３０の端部に連結されている。捻れ梁３０は、揺動軸を構成し、軸方向に延在してミラー支持部２０を軸方向両側から支持している。捻れ梁３０が捻れることにより、ミラー支持部２０に支持されたミラー１０が揺動し、ミラー１０に照射された光の反射光を走査させる動作を行う。捻れ梁３０は、連結梁４０に連結支持され、第１の駆動梁５０に連結されている。第１の駆動梁５０、連結梁４０、捻れ梁３０、ミラー支持部２０及びミラー１０は、可動枠６０に取り囲まれている。第１の駆動梁５０は、可動枠６０に片側が支持され、内周側に延びて連結梁４０と連結している。第１の駆動梁５０は、捻れ梁３０とは直交する方向に、ミラー１０及びミラー支持部２０を挟むように、対をなして２つ設けられている。第１の駆動梁５０の表面には、圧電素子の薄膜が駆動源５１として形成されている。圧電素子は、印加する電圧の極性に応じて伸長した り縮小したりするので、左側の第１の駆動梁５０と右側の第１の駆動梁５０とで異なる位相の電圧を交互に印加することにより、ミラー１０の左側と右側で第１の駆動梁５０が上下反対側に交互に振動し、捻れ梁３０を揺動軸又は回転軸として、ミラー１０を軸周りに揺動させることができる。このミラー１０が捻れ梁３０の周りに揺動する方向を、以後、水平方向と呼ぶことにする。例えば、第１の駆動梁５０による水平駆動には、共振振動が用いられ、高速にミラー１０を揺動駆動してよい。また、可動枠６０の外部には、第２の駆動梁７０の一端が連結されている。第２の駆動梁７０は、第１の駆動梁５０と平行に延在する梁が、隣接する梁と端部で連結され、全体としてジグザグ状の形状を有する。そして、第２の駆動梁７０の他端は、固定枠９０の内側に連結されている。第２の駆動梁７０も、可動枠６０を左右両側から挟むように、対をなして２つ設けられている。また、第２の駆動梁７０の表面には、曲線部を含まない矩形単位毎に、圧電素子の薄膜が駆動源７１として形成されている。矩形単位毎に隣接している駆動源７１同士で、異なる極性の電圧を印加することにより、隣接する矩形梁を上下反対方向に反らせ、各矩形梁の上下動の蓄積を可動枠６０に伝達することができる。そして、水平方向と直交する方向、つまり垂直方向にミラー１０を揺動させることができる。例えば、第２の駆動梁７０による駆動力は、非共振振動により発生させてもよい。 【０１０６】 図２２は、実施形態１に係る光走査装置の第１の周波数変動防止構造を説明するための図である。図２２（Ａ）は、周波数変動防止構造を有する本実施形態に係る光走査装置の平面構成を示した図である。図２２（Ａ）において、第１の駆動梁５０の可動枠６０と接合する根元部分５２が、可動枠６０の内周壁面に垂直に連結されずに、可動枠６０の手前で丸め構造を有する湾曲形状部５３が形成され、湾曲形状部５３を介して可動枠６０に連結された構成となっている。つまり、第１の駆動梁５０の平面形状は、可動枠６０と連結梁４０とを結ぶ側辺の可動枠６０寄りで可動枠６０に達しない位置に、内側に凹んだ湾曲形状５３を有した形状となっている。 （イ）先願発明 上記図１及び図２２の記載から、「連結梁４０は、途中に曲がり部を有し、第１の駆動梁５０と連結梁４０との接合部外周の湾曲形状の曲率半径は、連結梁４０と捻れ梁３０との接合部内周の湾曲形状の曲率半径より小さい」ことが見て取れる。 以上の記載から、当初明細書等には、以下の発明（以下「先願発明」という。）が記載されていると認められる。 「光走査装置は、ミラー１０と、ミラー支持部２０と、捻れ梁３０と、連結梁４０と、第１の駆動梁５０と、可動枠６０と、第２の駆動梁７０と、クロストーク防止リブ８０と、固定枠９０とを備え、 ミラー支持部２０の表面にミラー１０が支持され、ミラー支持部２０は、両側にある捻れ梁３０の端部に連結され、 捻れ梁３０は、揺動軸を構成し、軸方向に延在してミラー支持部２０を軸方向両側から支持しており、捻れ梁３０が捻れることにより、ミラー支持部２０に支持されたミラー１０が揺動し、ミラー１０に照射された光の反射光を走査させる動作を行うものであり、 捻れ梁３０は、連結梁４０に連結支持され、第１の駆動梁５０に連結され、 連結梁４０は、途中に曲がり部を有し、 第１の駆動梁５０、連結梁４０、捻れ梁３０、ミラー支持部２０及びミラー１０は、可動枠６０に取り囲まれ、 第１の駆動梁５０は、可動枠６０に片側が支持され、内周側に延びて連結梁４０と連結し、 第１の駆動梁５０は、捻れ梁３０とは直交する方向に、ミラー１０及びミラー支持部２０を挟むように、対をなして２つ設けられており、 第１の駆動梁５０の可動枠６０と接合する根元部分５２が、湾曲形状部５３を介して可動枠６０に連結された構成となっており、 第１の駆動梁５０と連結梁４０との接合部外周の湾曲形状の曲率半径は、 連結梁４０と捻れ梁３０との接合部内周の湾曲形状の曲率半径より小さい、 光走査装置。」 （３）当審の判断 ア　（新規性）２９条１項３号及び（進歩性）２９条２項について Ａ　本件発明１ ａ　本件発明１と引用発明１との対比判断 引用発明１の「ミラー３１」は、本件発明１の「ミラー部」に相当する。 引用発明１の「アクチュエータを用いた光走査装置」は、ミラー３１を回転軸Ｘを軸に駆動するものであるから、本件発明１の「ミラー部を回動させる、光学反射素子」に相当する。 引用発明１の「支持梁４０」は、ミラー３１を両側から支持する１対の梁であり、ミラー３１に連結され、ミラー３１に関して対称に、回転軸Ｘに沿って、左右で１対となって設けられているから、引用発明１の「支持梁４０」は、本件発明１の「ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部」に相当する。 引用発明１の「連結部５０」は、支持梁４０の先端部と可動枠６０とを連結し、支持梁４０を回転軸Ｘ方向の両側から挟むように、１対となって構成されているから、引用発明１の「連結部５０」は、本件発明１の「前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部」に相当する。 引用発明１の駆動梁７０は、可動枠６０に曲げ応力を付与する駆動力発生源であり、回転軸Ｘと直交する方向に延在し、可動枠６０を両側から挟むように可動枠６０に連結され、１対となって設けられ、表面に駆動源２０が装着されているから、引用発明１の、表面に駆動源２０が装着されている１対の駆動梁７０は、本件発明１の「ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部」に相当する。 引用発明１の１対の「連結部５０」は、支持梁４０の先端部と可動枠６０とを連結していることと、本件発明１の「一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し」ていることは、共に「一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と他の部分との間に架かる一対の梁部を有し」ている点で共通する。 引用発明１において、「連結部５０は、途中に曲がり部を有し」ていることは、本件発明１の「前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し」ていることに相当する。 引用発明１の「連結部５０は、支持梁４０との連結により生じる角５５が、丸められ、同様に、連結部５０と可動枠６０の連結部分に生じる角６５及び可動枠６０と駆動梁７０の連結部分に生じる角７５を丸められ」ていることと、本件発明１の「前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく」なっていることとは、共に「前記一対の梁部はそれぞれ、前記他の部分と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく」ている点で共通する。 引用発明１の１対の「駆動梁７０は、可動枠６０に曲げ応力を付与する駆動力発生源であり、」「連結部５０は、支持梁４０の先端部と可動枠６０とを連結し、可動枠６０の曲げ振動をねじれ振動に変換して支持梁４０に伝達する」ことで、ミラー３１を回転軸Ｘで回転駆動するものであるから、引用発明１の１対の「駆動梁７０」は、本件発明１の「前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる」こととは、共に「前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる」点で共通する。 以上の相当関係から、本件発明１と引用発明１との一致点及び相違点は以下のとおりである。 （一致点１） 「ミラー部と、 前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、 前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、 前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、 を備え、前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と他の部分との間に架かる一対の梁部を有し、前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる、光学反射素子。」 （相違点１） 本件発明１は、「前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、前記一対の横梁部を支持する固定部」を備えるのに対し、引用発明１は、横梁部に相当する１対の連結部５０をその両端で連結する可動枠６０を備えている点で相違する。 （相違点２） 引用発明１の駆動梁７０は、可動枠６０に曲げ応力を付与し、連結部５０は、支持梁４０の先端部と可動枠６０とを連結し、可動枠６０の曲げ振動をねじれ振動に変換して支持梁４０に伝達するものであることを踏まえると、本件発明１の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせているのに対し、引用発明１の駆動梁７０は、連結部５０の両端を、曲げ振動する可動枠６０に連結された状態で、連結部５０に曲げ変位を生じさせている点で相違する。 （相違点３） 本件発明１は、「前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく」なっているのに対し、引用発明１は、「連結部５０は、支持梁４０との連結により生じる角５５が、丸められ、同様に、連結部５０と可動枠６０の連結部分に生じる角６５及び可動枠６０と駆動梁７０の連結部分に生じる角７５を丸められ」ており、「連結部５０と可動枠６０の連結部分に生じる角６５」は、固定部との連結部に生じる角ではなく、また、丸められた角６５と角７５の曲率半径の大小は不明である点で相違する。 相違点１について以下検討する。 甲第１号証には、発明が解決しようとする課題として、【０００８】に「 そこで、本発明は、小型化の要請に応えつつ、内部応力を十分に分散させて破断等のおそれ無く安定動作させることができるアクチュエータ及びこれを用いた光走査装置を提供することを目的とする。」と記載され、課題を解決するための手段として、【００１０】に「これにより、駆動力を付与する対象が可動枠であり、かつ可動枠から順次弾性を有する梁構造の連結部、支持梁を介してねじれ振動を伝達するため、固定枠に連結された応力の集中する箇所を無くすことができ、内部応力を複数箇所に分散することができるので、アクチュエータの耐性を高めることができる。」と記載されている。 よって、引用発明１は、駆動力を可動枠に可動枠から連結部に、連結部から支持梁へと伝達することで、内部応力を複数箇所に分散し、固定枠に連結された応力の集中する箇所を無くす発明であるから、引用発明１において、固定枠と連結部５０とを直接連結するするように代えること、つまり相違点１に係る構成を採用することは、内部応力を分散することにならず、固定枠に連結された応力の集中をもたらすことになるため、当業者が容易に採用し得ることとはいえない。 したがって、相違点２，３について検討するまでもなく、本件発明１は、引用発明１に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 ｂ　本件発明１と引用発明２との対比判断 引用発明２の「駆動対象物３０（ミラー３１）」は、本件発明１の「ミラー部」に相当する。 引用発明２の「アクチュエータを用いた光走査装置」は、ミラー３１を回転軸Xの軸周りに傾動運動ものであるから、本件発明１の「ミラー部を回動させる、光学反射素子」に相当する。 引用発明２の「１対の支持梁４０ｂ」、「１対の連結部５０ｂ」、「１対の駆動梁７３」、「固定枠１００」は、それぞれ本件発明１の「前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部」、「前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部」、「前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部」、「固定部」に相当する。 引用発明２において、「固定枠１００は、駆動中も固定状態にある外側の枠であり、可動部１１０は、固定枠１００に連結支持され、可動部１００は、駆動対象物３０（ミラー３１）と、１対の支持梁４０ｂと、１対の連結部５０ｂと、１対の駆動梁７３とを備え、」ている。ここで、駆動対象物３０（ミラー３１）と、１対の支持梁４０ｂと、１対の連結部５０ｂと、１対の駆動梁７３とを備える可動部１００は、固定枠１００に連結支持されているから、ミラー３１から固定枠１００までの連結支持の関係は、ミラー３１、支持梁４０ｂ、連結部５０ｂ、駆動梁７３、固定枠１００の順の連結支持の関係である。 この連結支持の関係を踏まえると、引用発明２の「連結部５０ｂは、可動枠６０の代わりに駆動梁７３と直接連結される駆動源側連結部５３と、駆動梁側連結部５３と支持梁４０ｂとを連結する支持梁側連結部５４を含んで構成され」ていることと、本件発明１の「前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し」ていることは、共に「前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と他の部分との間に架かる一対の梁部を有し」ている点で共通する。 引用発明２の「駆動梁７３と直接連結される駆動源側連結部５３との接合部外周の湾曲形状の曲率半径は、支持梁４０ｂとを連結する支持梁側連結部５４との接合部内周の湾曲形状の曲率半径より小さい」ことと、本件発明１の「前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく」なっていることとは、共に「前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し前記一対の梁部はそれぞれ、前記他の部分と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく」ている点で共通する。 引用発明２において、「連結部５０ｂは、可動枠６０の代わりに駆動梁７３と直接連結される駆動源側連結部５３と、駆動梁側連結部５３と支持梁４０ｂとを連結する支持梁側連結部５４を含んで構成され」ているから、「１対の駆動梁７３」は、「１対の連結部５０ｂ」を直接駆動し、ミラー３１を回転軸Xの軸周りに傾動運動を行うものである。 よって、引用発明２の「１対の駆動梁７３」は、本件発明１の「前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる」こととは、共に「前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる」点で共通する。 以上の相当関係から、本件発明１と引用発明２との一致点及び相違点は以下のとおりである。 （一致点２） 「ミラー部と、 前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、 前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、 前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、 固定部と、を備え、前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と他の部分との間に架かる一対の梁部を有し、前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し前記一対の梁部はそれぞれ、前記他の部分と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる、光学反射素子。」 （相違点４） 固定部が、本件発明１は、「前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、前記一対の横梁部を支持する」のに対し、引用発明２の「固定枠１００は、」は、「１対の駆動梁７３」を介して「１対の連結部５０ｂ」を支持している点で相違する。 （相違点５） 引用発明２の、「１対の駆動梁７３」は、「１対の連結部５０ｂ」を直接駆動し、ミラー３１を回転軸Xの軸周りに傾動運動を行うものであることを踏まえると、本件発明１の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせているのに対し、引用発明２は、「連結部５０ｂ」の両端を、曲げ振動する駆動梁７３に連結された状態で曲げ変位を生じさせている点で本件発明１と相違する。 （相違点６） 本件発明１は、「前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく」なっているのに対し、引用発明１は、「駆動梁７３と直接連結される駆動源側連結部５３との接合部外周の湾曲形状の曲率半径は、支持梁４０ｂとを連結する支持梁側連結部５４との接合部内周の湾曲形状の曲率半径より小さい」ものであり、「駆動梁７３と直接連結される駆動源側連結部５３との接合部外周の湾曲形状」は、固定枠１００との連結部に生じる湾曲形状ではない点で相違する。 相違点４について以下検討する。 引用発明２は、引用発明１において、可動枠６０を省いた構成を有するものである。 そして、甲第１号証には、【０１３４】に「このように、回転軸Ｘと垂直に延在する支持梁側連結部５４の長さを大きくし、支持梁側連結部５４と駆動梁７３とを駆動梁側連結部５３で連結し、可動枠６０を省くような構成としてもよい。この場合、駆動梁７３で発生させられる傾動力は、連結部５０ｂの駆動梁側連結部５３に直接的に伝達される。駆動梁側連結部５３は、駆動梁７３の傾動力を支持梁側連結部５４に伝達することができるとともに、応力を低減させる梁構造となっているので、応力分散を適切に行うことができる。また、可動枠６０を省くことにより、より小型で省スペースのアクチュエータを構成することができる。」との記載がある。 引用発明２の「固定枠１００は、」は、「１対の駆動梁７３」を介して「１対の連結部５０ｂ」を支持しているところ、引用発明２において、固定枠１００と連結部５０ｂとを直接連結するするように代えることは、内部応力を分散することにならず、固定枠に連結された応力の集中をもたらすことになるため、当業者が容易に採用し得ることとはいえない。 したがって、相違点５、６について検討するまでもなく、本件発明１は、引用発明２に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 Ｂ　本件発明２、３、５、７、９、１０ ａ　本件発明２、３、５、７、９、１０と引用発明１との対比判断 本件発明２、３、５、７、９、１０は、本件発明１の全ての構成を備えるものであるから、上記「Ａ」「ａ」で検討したのと同様の理由により、本件発明２、３、５、７、９、１０は、引用発明１に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 ｂ　本件発明２、３、５、７、９、１０と引用発明２との対比判断 本件発明２、３、５、７、９、１０は、本件発明２の全ての構成を備えるものであるから、上記「Ａ」「ｂ」で検討したのと同様の理由により、本件発明２、３、５、７、９、１０は、引用発明２に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 Ｃ　本件発明１１ ａ　本件発明１１と引用発明１との対比判断 本件発明１１は、本件発明１において「一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し」ている特定がされてない発明に相当する。 してみると、「一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し」ている点は、引用発明１も有していることから、本件発明１１と引用発明１との対比において、相違点とはならないが、相違点１ないし３と同じ相違点がある。 そして、相違点１についての判断は、上記のとおりであり、引用発明１において、相違点１に係る構成を採用することは、当業者が容易に採用し得ることとはいえない。 したがって、他の相違点について検討するまでもなく、本件発明１１は、引用発明１に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 ｂ　本件発明１１と引用発明２との対比判断 本件発明１１は、本件発明１において「一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し」ている特定がされてない発明に相当する。 してみると、「一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し」ている点は、引用発明２も有していることから、本件発明１１と引用発明２との対比において、相違点とはならないが、相違点４ないし６と同じ相違点がある。 そして、相違点４についての判断は、上記のとおりであり、引用発明２において、相違点４に係る構成を採用することは、当業者が容易に採用し得ることとはいえない。 したがって、他の相違点について検討するまでもなく、本件発明１１は、引用発明２に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 Ｄ　小括（（新規性）２９条１項３号及び（進歩性）２９条２項について） 上記ＡないしＣのとおり、本件発明１ないし１１は、引用発明１又は引用発明２に基づいて当業者が容易に発明することができたものとはいえないから、本件発明１ないし１１に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反するものではない。 また、上記ＡないしＣのとおり、本件発明１ないし１１は、引用発明１又は引用発明２との対比において、相違点を有するものであるから、本件発明１ないし１１は、引用発明１であるとはいえず、また引用発明２であるともいえない。よって、本件発明１ないし１１に係る特許は、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反するものではない。。 イ　（拡大先願）２９条の２について Ａ　本件発明１と先願発明との対比判断 先願発明において、「ミラー支持部２０の表面にミラー１０が支持され」ており、先願発明の「ミラー支持部２０及びミラー１０」は、本件発明１の「ミラー部」に相当する。 先願発明において、「捻れ梁３０は、揺動軸を構成し、軸方向に延在してミラー支持部２０を軸方向両側から支持して」いるから、先願発明の「捻れ梁３０」は、本件発明１の「前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部」に相当する。 先願発明において、「捻れ梁３０は、連結梁４０に連結支持され、第１の駆動梁５０に連結され、」「第１の駆動梁５０は、可動枠６０に片側が支持され、内周側に延びて連結梁４０と連結し、」「捻れ梁３０とは直交する方向に、ミラー１０及びミラー支持部２０を挟むように、対をなして２つ設けられて」いる配置関係になっている。 この配置関係を踏まえると、先願発明の、捻れ梁３０とは直交する方向に対をなして２つ設けられている第１の駆動梁５０に連結している「連結梁４０」は、本件発明１の「前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部」に相当する。 先願発明において、前記配置関係及び「捻れ梁３０は、揺動軸を構成し、軸方向に延在してミラー支持部２０を軸方向両側から支持しており、捻れ梁３０が捻れることにより、ミラー支持部２０に支持されたミラー１０が揺動し、ミラー１０に照射された光の反射光を走査させる動作を行うものであ」ることを踏まえると、先願発明の対をなして２つ設けられている「第１の駆動梁５０」は、本件発明１の「前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部」に相当する。 先願発明において、対をなして２つ設けられている「捻れ梁３０は、連結梁４０に連結支持され、第１の駆動梁５０に連結され」ており、「第１の駆動梁５０は、捻れ梁３０とは直交する方向に、ミラー１０及びミラー支持部２０を挟むように、対をなして２つ設けられて」いるから、それぞれの捻れ梁３０に連結する連結梁４０の両端は、対をなして２つ設けられている第１の駆動梁５０に連結されている。よって、先願発明の「第１の駆動梁５０」と、本件発明１の「前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、前記一対の横梁部を支持する固定部」とは、共に、「前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、前記一対の横梁部を支持する他の部分」である点で共通する。 先願発明の「連結梁４０」は、「軸方向に延在してミラー支持部２０を軸方向両側から支持して」いる「捻れ梁３０」と、対をなして２つ設けられている「第１の駆動梁５０」とを連結している梁を有しているから、先願発明の「連結梁４０」は、本件発明１の「前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記固定部との間に架かる一対の梁部を有し」ている構成とは、共に「前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と前記他の部分との間に架かる一対の梁部を有し」ている点で共通する。 先願発明において、「連結梁４０は、途中に曲がり部を有し」ていることは、本件発明１の「前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し」ていることに相当する。 先願発明において、「第１の駆動梁５０と連結梁４０との接合部外周の湾曲形状の曲率半径は、連結梁４０と捻れ梁３０との接合部内周の湾曲形状の曲率半径より小さい」ことと、本件発明１の「前記一対の梁部はそれぞれ、前記固定部と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さ」いこととは、共に、「前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、前記一対の梁部はそれぞれ、前記他の部分と続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さ」い点で共通する。 先願発明の、「対をなして２つ設けられて」いる「第１の駆動梁５０」が駆動し、「捻れ梁３０が捻れることにより、ミラー支持部２０に支持されたミラー１０が揺動し、ミラー１０に照射された光の反射光を走査させる動作を行う」「光走査装置」は、本件発明１の「前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる、光学反射素子」とは、共に「前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる、光学反射素子」に相当する。 （一致点３） 「ミラー部と、 前記ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続され、第１軸に沿って伸びる一対の縦梁部と、 前記縦梁部に接続され、前記第１軸と直交する第２軸に沿って伸びる部分を有する一対の横梁部と、 前記ミラー部を、前記第１軸を中心軸として、回動させる複数の駆動部と、 前記一対の横梁部のそれぞれの両端に連結され、前記一対の横梁部を支持する他の部分と、を備え、 前記一対の横梁部はそれぞれ、前記縦梁部に接続された部分と他の部分との間に架かる一対の梁部を有し、 前記一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し、 前記一対の梁部はそれぞれ、前記他の部分と接続される部分における外周の曲率半径が、前記縦梁部と接続される部分における内周の曲率半径よりも小さく、 前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて、前記ミラー部を回動させる、光学反射素子。」 （相違点７） 一対の横梁部を支持する他の部分が、本件発明１では、「固定部」であるのに対し、先願発明では、「第１の駆動梁５０」である点で相違し、その相違によって、外周の曲率半径を有する箇所である他の部分も同様に相違する。 （相違点８） 本件発明１は、「前記複数の駆動部は、前記一対の横梁部のそれぞれの両端を前記固定部に固定した状態で、前記一対の横梁部のそれぞれに曲げ変位を生じさせて」いるのに対し、先願発明は、「対をなして２つ設けられて」いる「第１の駆動梁５０」は、「連結梁４０」の両端を振動する「第１の駆動梁５０」に連結した状態で、「連結梁４０」のそれぞれに曲げ変位を生じさせている点で相違する。 Ｂ　本件発明２、３、５、７、９、１０と先願発明との対比判断 本件発明２、３、５、７、９、１０は、本件発明１の全ての構成を備えるものである。そして、上記「Ａ」で検討したとおり、本件発明１と先願発明とは相違点を有するものであるから、本件発明２、３、５、７、９、１０は、先願発明と同一ではない。 Ｃ　本件発明１１と先願発明との対比判断 本件発明１１は、本件発明において「一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し」ている特定がされてない発明に相当する。 そして、「一対の梁部のそれぞれは湾曲形状を有し」ている点は、先願発明も有していることから、本件発明１１と先願発明との対比において、相違点にはならないが、相違点７、８と同じ相違点がある。 よって、本件発明１１は、先願発明と同一ではない。 Ｄ　小括（（拡大先願）２９条の２について ） 上記ＡないしＣのとおり、本件発明１ないし１１は、先願発明と同一ではないから、本件発明１ないし１１に係る特許は、特許法第２９条の２の規定に違反するものではない。 ６　むすび 以上のとおりであるから、取消理由通知に記載した取消理由によっては、本件請求項１、２、３、５、７、９、１０、１１に係る特許を取り消すことはできない。 また、他に本件請求項１、２、３、５、７、９、１０、１１に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。