特許拒絶査定不服審判
2018-014692
変調装置およびそれを使用する荷電粒子マルチ小ビームリソグラフィシステム
- 審判番号
- 2018-014692
- 法域
- 特許
- 審判種別
- 拒絶査定不服審判(拒絶査定不服の審決)
- 出願番号
- 特願2016-234215外部サイト(J-PlatPat)へ移動します
- 請求日
- 2018年11月05日
- 審決日
- 2020年07月15日
- 公報発行日
- 2020年08月28日
- 結論
- 原査定取消(特許/登録すべき)
- 当事者
- 【請求人】エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.
- 【請求人代理人】稲葉 良幸
- 【請求人代理人】大貫 敏史
- 【請求人代理人】江口 昭彦
- 【請求人代理人】内藤 和彦
- 分類
- P18 .113-WYF(H01L) / P18 .121-WYF(H01L) / P18 .537-WYF(H01L)
- データ出所
- 審決公報(SGML)
事件の表示
特願2016-234215「変調装置およびそれを使用する荷電粒子マルチ小ビームリソグラフィシステム」拒絶査定不服審判事件〔平成29年 3月23日出願公開、特開2017- 59849、請求項の数(16)〕について、次のとおり審決する。
結論
【結 論】
原査定を取り消す。
本願の発明は、特許すべきものとする。
理由
【理 由】
本願は、平成28年12月 1日(遡及出願平成23年10月26日パリ条約による優先権主張 2011年 4月26日 (US)アメリカ合衆国 2011年 4月20日 (US)アメリカ合衆国 2010年10月26日 (US)アメリカ合衆国)の出願であって、その請求項に係る発明は、特許請求の範囲の請求項に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。
そして、本願については、原査定の拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。
また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
よって、結論のとおり審決する。
審決本文(J-PlatPat)
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2018-014692