2016-701056

特許第５９１９７４５号発明「真空ポンプ」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

【結　論】 特許第５９１９７４５号の請求項１ないし５に係る特許を維持する。

【理　由】 １．手続の経緯 特許第５９１９７４５号の請求項１～５に係る特許についての出願は、平成２３年１１月１５日に特許出願され、平成２８年４月２２日にその特許権の設定登録がされ、その後、その特許に対し、特許異議申立人プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハーにより特許異議の申立てがされたものである。 ２．本件発明 特許第５９１９７４５号の請求項１～５の特許に係る発明は、それぞれ、その特許請求の範囲の請求項１～５に記載された事項により特定されるとおりのものである。 ３．申立理由の概要 特許異議申立人は、証拠として、以下（１）～（１６）に示す甲第１～１６号証を提出し、請求項１、４、５の特許に係る発明は、甲第１～１１、１５～１６号証より、特許法第２９条第１項第１号又は第２号に規定された発明に該当し、請求項１、４、５に係る特許は、特許法第２９条第１項の規定に違反してされたものであるから、取り消すべきものであり、請求項１～５に係る特許は、甲第１～１６号証より、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるから、取り消すべきものであると主張している（異議申立書「４．（５）」（第２０頁）等参照。）。 （１）甲第１号証：ターボ分子ポンプＨｉＰａｃｅ３００（品番ＰＭＰ　０３　９９０）図面 （２）甲第２号証：ターボ分子ポンプＨｉＰａｃｅ３００（品番ＰＭＰ　０３　９９０）部品表 （３）甲第３号証：ボールベアリング（品番ＰＭ　１４３　０３１）図面 （４）甲第４号証：浮動リング（品番ＰＭ　０５３　６９０）図面 （５）甲第５号証：浮動リング（品番ＰＭ　１０３　１４６）図面 （６）甲第６号証：浮動リング（品番ＰＭ　０９３　９９８）図面 （７）甲第７号証：ＨｉＰａｃｅ３００の納品書及び請求書１（Ｎｏ．４５９８１２、Ｎｏ．５６２９２４） （８）甲第８号証：ＨｉＰａｃｅ３００の納品書及び請求書２（Ｎｏ．４６４７１４、Ｎｏ．５６７７５３） （９）甲第９号証：ＨｉＰａｃｅ３００の納品書及び請求書３（Ｎｏ．４７１７３９、Ｎｏ．５７５１０９） （１０）甲第１０号証：ＨｉＰａｃｅ３００の納品書及び請求書４（Ｎｏ．４７３８１０、Ｎｏ．５７７０２９） （１１）甲第１１号証：宣誓供述書 （１２）甲第１２号証：特開２００８－１２１８８９号公報 （１３）甲第１３号証：特表２００８－５４２６２８号公報 （１４）甲第１４号証：特開２００６－５７６５３号公報 （１５）甲第１５号証：浮動リングの計測結果 （１６）甲第１６号証：浮動リング（品番ＰＭ　１０３　０９２）図面 ４．判断 （１）請求項１に対する特許法第２９条第１項について 甲第１～１１、１５～１６号証は、ターボ分子ポンプＨｉＰａｃｅ３００に関する証拠である。 甲第１１号証には、（ａ）ターボ分子ポンプＨｉＰａｃｅ３００が２０１１年以前には、製造、販売、納入されていたこと、（ｂ）制振リング（ＰＭ　０５３　６９０Ａ）は組み付けに先立ち７２時間オイル中に置かれ、内直径が拡大すること、（ｃ）組み付け状態ではターボ分子ポンプＨｉＰａｃｅ３００の内部において、ボールベアリング（ＰＭ　１４０　０３１）の外輪と制振リング（ＰＭ　０５３　６９０Ａ）との間に隙間が残されること、（ｄ）ターボ分子ポンプＨｉＰａｃｅ３００の運転中にこの隙間はオイルで充填され、ごく軽微な振動は、隙間内にあるオイルだけを押し退け、それよりも強い振動は弾性制振リングによって減衰されること、等が宣誓供述されている。 しかし、甲第１１号証に示された上記供述事項（ａ）～（ｄ）のうち供述事項（ｂ）～（ｄ）については、これらの供述事項を裏付ける他の客観的な証拠が示されておらず、供述事項（ｂ）～（ｄ）が本件特許出願前に公然に知られていた又は公然に実施されていた事項であると認めることはできない。 仮に、供述事項（ｂ）のように、制振リング（ＰＭ　０５３　６９０Ａ）は組み付けに先立ち７２時間オイル中に置かれ、内直径を拡大させることが行われていたとしても、ターボ分子ポンプＨｉＰａｃｅ３００内で制振リング（ＰＭ　０５３　６９０Ａ）が配置される部分（ベアリングハウジング６０）の内径寸法が示されていないから、ターボ分子ポンプＨｉＰａｃｅ３００のベアリングハウジング６０内にボールベアリング（ＰＭ　１４０　０３１）と制振リング（ＰＭ　０５３　６９０Ａ）が配置されたとき、制振リング（ＰＭ　０５３　６９０Ａ）の外周がベアリングハウジング６０によって径方向内側に向かって押され、その結果、制振リング（ＰＭ　０５３　６９０Ａ）の内直径が小さくなり、上記隙間が消失する可能性を排除することができない。したがって、供述事項（ｃ）をそのとおりに認めることはできない。 仮に、供述事項（ｃ）のように、組み付け状態ではターボ分子ポンプＨｉＰａｃｅ３００の内部において、ボールベアリング（ＰＭ　１４０　０３１）の外輪と制振リング（ＰＭ　０５３　６９０Ａ）との間に隙間が残されるものであったとしても、組み付け後のこの隙間にオイルを充填することは、甲第１１号証以外の各証拠には示されておらず、また、仮に、オイルを充填するものであったとしても、その充填するオイルが制振リング（ＰＭ　０５３　６９０Ａ）の内直径を拡大させる作用のあるＴＬ０１１（甲第１５号証参照）又はその同等品であることが提出された各証拠には示されておらず、また、ターボ分子ポンプＨｉＰａｃｅ３００の運転中継続的にこの隙間をオイルで充填したものとするためには、オイルが充填される空間からオイルが漏れ出ないようにするためにシールを設ける、又は、漏れ出たオイルに相当する量のオイルを継続的に補充する等の対策を講じる必要があることが技術常識であるところ、提出された各証拠にはそのような対策を講じることについて示されていない。そうすると、供述事項（ｄ）をそのとおりに認めることはできない。 そうすると、甲第１～１１、１５～１６号証から把握されるターボ分子ポンプＨｉＰａｃｅ３００は、仮に、２０１１年以前に、製造、販売、納入されていたものであったとしても、請求項１に係る発明における、 「前記弾性部材は、隙間を介して前記外輪の外周を囲むように設けられたリング状の弾性部材であって、 少なくとも前記隙間にオイルまたはグリスが注入されており、 前記外輪が径方向へ振動すると隙間に注入されているオイルまたはグリスのみがダンパとして作用し、前記外輪の径方向への振動が大きい際にはオイルまたはグリスに加えて前記弾性部材もダンパとして機能する」 との構成を有していたものと認めることはできない。 したがって、請求項１に係る発明は、本件特許出願前に公然に知られた発明、又は、公然に実施された発明であるとは言えない。 （２）請求項１に対する特許法第２９条第２項について （２－１）甲第１～１１、１５～１６号証について 上記（１）に示したとおり、甲第１～１１、１５～１６号証から把握される発明は、仮に、２０１１年以前に、製造、販売、納入されていたものであったとしても、請求項１に係る発明における、 「前記弾性部材は、隙間を介して前記外輪の外周を囲むように設けられたリング状の弾性部材であって、 少なくとも前記隙間にオイルまたはグリスが注入されており、 前記外輪が径方向へ振動すると隙間に注入されているオイルまたはグリスのみがダンパとして作用し、前記外輪の径方向への振動が大きい際にはオイルまたはグリスに加えて前記弾性部材もダンパとして機能する」 との構成を有していたものと認めることはできない。 （２－２）甲第１２号証について 本件特許出願前に公開された刊行物である甲第１２号証には、転がり軸受の外輪２０をラジアル遊動リング１９で遊動可能に支持したターボ分子真空ポンプが記載されている（段落００１６、図２等参照）。しかし、図２にラジアル遊動リング１９と外輪２０が接している状態が記載されているように、甲第１２号証には、ラジアル遊動リング１９と外輪２０との間に隙間が存在することは記載されていない。 （２－３）甲第１３号証について 本件特許出願前に公開された刊行物である甲第１３号証には、転がり軸受６４を半径方向と軸線方向の両方に支持するための弾性支持体８０を備えるターボ分子真空ポンプであって、当該弾性支持体８０に設けられた複数のスロット８２内に潤滑剤が供給される、ターボ分子真空ポンプが記載されている（段落００２６、００３３、図４、５等参照）。しかし、図５に転がり軸受６４と弾性支持体８０が接している状態が記載されているように、甲第１３号証には、転がり軸受６４と弾性支持体８０の間に隙間を設けることは記載されていない。 （２－４）甲第１４号証について 本件特許出願前に公開された刊行物である甲第１４号証には、転がり軸受のアウターレース１４をハウジング１５に設けられた格納孔１６において弾性的に支持するばね１７が記載されており、格納孔１６とアウターレース１４の外周壁が作る空間１８に、潤滑油あるいは潤滑グリースが供給されることが記載されている（段落００１８～００２２、図１～３等参照）。アウターレース１４の外周壁とばね１７の弾性梁２２の間に隙間が存在するものの、アウターレース１４の外周壁とばね１７はスリット２１の部分で接しており（段落００２０、図１等参照）、アウターレース１４が径方向へ振動した場合、常に潤滑油とばね１７がダンパとして機能するものであると言える。また、甲第１４号証には、転がり軸受をどのような機器に適用するかについては記載されていない。 （２－５）判断 上記（２－１）～（２－３）に示したとおり、甲第１～１１、１５～１６号証から把握される発明、甲第１２号証に記載された発明は、甲第１３号証に記載された発明は、いずれも、ボールベアリングの外輪と弾性部材の間に隙間を有するものではない。 また、上記（２－４）に示したとおり、甲第１４号証には、アウターレース１４の外周壁とばね１７の弾性梁２２の間に隙間が存在するものが記載されているものの、アウターレース１４の外周壁とばね１７はスリット２１の部分で接しており（段落００２０、図１等参照）、アウターレース１４が径方向へ振動した場合、常に潤滑油とばね１７の両方がダンパとして機能するものであると言える。そうすると、甲第１４号証に記載された隙間は、請求項１に係る発明における「前記外輪が径方向へ振動すると隙間に注入されているオイルまたはグリスのみがダンパとして作用」するものであるとは言えない。 したがって、甲第１～１１、１５～１６号証から把握される発明、甲第１２号証に記載された発明、甲第１３号証に記載された発明に対し、甲第１４号証に記載されたばね１７の構成を適用して隙間を設けたとしても、その隙間は請求項１に係る発明における「前記外輪が径方向へ振動すると隙間に注入されているオイルまたはグリスのみがダンパとして作用」するものとはならないから、本願の請求項１に係る発明とすることはできない。 また、他に、甲第１～１１、１５～１６号証から把握される発明、甲第１２号証に記載された発明、甲第１３号証に記載された発明において、ボールベアリングの外輪と弾性部材の間に隙間を設けるようにすることが容易であるとする証拠は無い。 したがって、甲第１～１１、１５～１６号証から把握される発明、甲第１２号証に記載された発明、甲第１３号証に記載された発明、及び、甲第１４号証に記載された発明に基づいて、本願の請求項１に係る発明を想到することが容易であると言うことはできない。 なお、異議申立人は、異議申立書の「４．（４）カ．（ｂ）」（第１７頁）において、甲第１３号証の弾性支持体８０の中に形成されているスロット８２を、弾性支持体８０のどこに形成するかは当業者が適宜選択し得る設計的事項である旨の主張をしており、仮にスロット８２を弾性支持体８０の内周側外部に移動して形成すれば、請求項１に係る発明のように、ボールベアリングの外輪と弾性部材の間に隙間が存在する構成となり得るが、甲第１３号証の「弾性支持部材８０は、弾性支持体８０の複数の一体の可撓性部材８４を構成する複数のスロット８２を含む。各可撓性部材８４は、弾性支持体８０の内側環状部分８６と弾性支持体８０の外側環状部分８８との間に配置される。」（段落００２６）との記載を踏まえれば、上記スロット８２を弾性支持体８０の外部に移動させることは想定し得ないから、異議申立人の主張は採用できない。 （３）請求項２～３に係る発明について 請求項２～３に係る発明は、請求項１に係る発明をさらに減縮したものであるから、上記（２）に示した請求項１に係る発明についての判断と同様の理由により、甲第１～１１、１５～１６号証から把握される発明、甲第１２号証に記載された発明、甲第１３号証に記載された発明、及び、甲第１４号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に想到し得たものではない。 （４）請求項４に係る発明について 請求項４に係る発明は、請求項１に係る発明をさらに減縮したものであるから、上記（１）及び（２）に示した請求項１に係る発明についての判断と同様の理由により、本件特許出願前に公然に知られた発明又は公然に実施された発明であるとは言えず、また、甲第１～１１、１５～１６号証から把握される発明、甲第１２号証に記載された発明、甲第１３号証に記載された発明、及び、甲第１４号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に想到し得たものではない。 （５）請求項５に係る発明について 請求項５に係る発明は、請求項１に係る発明から「永久磁石式磁気軸受」との構成を省いた以外は、請求項１に係る発明と同一である。 そうすると、上記（１）及び（２）に示した請求項１に係る発明についての判断と同様の理由が成り立つ。 したがって、請求項５に係る発明は、本件特許出願前に公然に知られた発明又は公然に実施された発明であるとは言えず、また、甲第１～１１、１５～１６号証から把握される発明、甲第１２号証に記載された発明、甲第１３号証に記載された発明、及び、甲第１４号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に想到し得たものではない。 ５．むすび したがって、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、請求項１～５に係る特許を取り消すことはできない。 また、他に請求項１～５に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。