2026-700147

特許第７７２８１７７号発明「磁石アクチュエータを備えた振動絶縁システムおよび磁石アクチュエータ」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第７７２８１７７号の請求項１～２１に係る特許を維持する。

理 由 第１ 手続の経緯 特許第７７２８１７７号（以下「本件特許」という。）の請求項１～２１に係る特許についての出願は、２０２０年（令和２年）３月１８日（パリ条約による優先権主張外国庁受理 ２０１９年３月１９日、（ＥＰ）欧州特許庁）を国際出願日とする出願であって、令和７年８月１４日に特許権の設定登録がされ、同年８月２２日に特許掲載公報が発行された。 その後、令和８年２月１９日に特許異議申立人弁理士法人ＲＹＵＫＡ国際特許事務所（以下「申立人」という。）により、本件特許の請求項１～２１に係る特許に対して特許異議の申立てがされたものである。 第２ 本件発明 本件特許の請求項１～２１に係る発明（以下「本件発明１」～「本件発明２１」といい、まとめて「本件発明」という。）は、その特許請求の範囲の請求項１～２１に記載された事項により特定されるとおりのものであり、そのうち本件発明１及び１２は次のとおりである。 「【請求項１】 振動絶縁システムであって、振動絶縁されて支承された荷重部分を含んでおり、前記振動絶縁システムが、コントローラを介して制御される少なくとも１つの磁石アクチュエータを含んでおり、該磁石アクチュエータが、前記振動絶縁されて支承された荷重部分に作用し、振動を減じるために反力を発生させる、振動絶縁システムにおいて、 前記磁石アクチュエータが、磁気シールドと、対峙する磁石を備えた磁石キャリアと、前記磁石の間に配置された、少なくとも１つのコイルを備えたコイルキャリアと、を含んでおり、 前記磁気シールドが、１つの壁のみに開口を備えたケーシングとして形成されており、該開口から前記コイルキャリアが突出し、 前記磁石アクチュエータが、対峙する少なくとも２つの磁石対をさらに含んでおり、前記少なくとも２つの磁石対が、互いに対して離間しており、該磁石対の間に、前記コイルの巻線が延びており、 前記コイルの巻線が延びている方向において隣接する前記少なくとも２つの磁石対の極が、交互に逆向きであることを特徴とする、振動絶縁システム。」 「【請求項１２】 請求項１から１１までのいずれか１項記載の振動絶縁システム用の磁石アクチュエータであって、対峙する磁石を備えた磁石キャリアと、前記磁石の間に配置された、少なくとも１つのコイルを備えたコイルキャリアとを含んでおり、前記磁石アクチュエータが、磁気シールドを含んでおり、前記磁気シールドが、１つの壁のみに開口を備えたケーシングとして形成されており、該開口から前記コイルキャリアが突出し、前記磁石アクチュエータが、対峙する少なくとも２つの磁石対をさらに含んでおり、前記少なくとも２つの磁石対が、互いに対して離間しており、該磁石対の間に、前記コイルの巻線が延びており、前記コイルの巻線が延びている方向において隣接する前記少なくとも２つの磁石対の極が、交互に逆向きである、磁石アクチュエータ。」 第３ 特許異議申立理由の概要 申立人が主張する申立理由は、概略、以下のとおりである。 ・申立理由（進歩性） 本件発明１～２１は、甲第１号証記載の発明、甲第２～６号証記載の技術的事項に基いて当業者が容易に発明することができたものであり、本件特許の請求項１～２１に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるから、同法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。 （証拠方法） 甲第１号証：特開平８―３１２７１５号公報 甲第２号証：特開２００５―２０９７０９号公報 甲第３号証：平成１９年２月２４日時点の「円筒型ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）｜サーボソリューションサイトＳｅｒｖｏ．ｊｐ」と題する青山特殊鋼株式会社のウェブページのウェブアーカイブをプリントアウトした書面 （https://web.archive.org/web/20070224133906/https://www.servo.jp/products/Circular_VCM.html） 甲第４号証：特開２００４―２５７４２４号公報 甲第５号証：特開２０１０―８４８１４号公報 甲第６号証：特開平８―８４６７号公報 上記甲第１号証～甲第６号証は、申立人が特許異議申立書に添付して提出した証拠であり、以下、甲第１号証～甲第６号証をそれぞれ「甲１」～「甲６」という。 第４ 甲各号証の記載 １ 甲１について （１）甲１の記載 甲１には、次の記載がある（下線は、当審が付したもの。以下同様。）。 「【０００１】 【産業上の利用分野】本発明は、防振装置に関し、特に露光用ＸＹステージを搭載してなる半導体製造装置の一構成ユニットとして好適に使用される防振装置、特に、空気バネをアクチュエータとした能動的除振装置とボイスコイルモータ（以下、ＶＣＭと略記する）をアクチュエータとした能動的除振装置とを複合的に使用した防振装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】除振台上には振動を嫌う機器群が搭載される。例えば、光学顕微鏡や露光用ＸＹステージなどである。特に、露光用ＸＹステージの場合には、適切かつ迅速な露光が行われるべく、外部から伝達する振動を極力排除した除振台上に同ステージは搭載されねばならない。なぜならば、露光は露光用ＸＹステージが完全停止の状態で行われなければならないからである。さらに、露光用ＸＹステージは、ステップ＆リピートという間欠運転を動作モードとして持ち、繰り返しのステップ振動を自身が発生しこれが除振台の揺れを惹起せしめることにも注意せねばならない。この種の振動が整定しきれないで残留する場合にも、露光動作に入ることは不可能である。したがって、除振台には、外部振動に対する除振と、搭載された機器自身の運動に起因した強制振動の制振性能とをバランスよく実現することが求められている。」 「【０００５】まず、図３を用い、空気バネをアクチュエータとする能動的除振装置の構成とその動作を説明する。同図において、１は空気バネ２へ動作流体の空気を給気・排気するサーボバルブ、３は除振台４の鉛直方向変位を計測する位置センサ、５は予圧用機械バネ、６は空気バネ２と予圧用機械バネ５および図示しない機構全体の粘性を表現する粘性要素である。これらの構成部品から組み合わされる機構は空気バネ式支持脚１５と呼ばれる。次に、空気バネ式支持脚１５に対するフィードバック装置７Ａの構成とその動作を説明する。まず、加速度センサ８の出力は、適切な増幅度と時定数とを有するローパスフィルタないしバンドパスフィルタ９を介してサーボバルブ１の弁開閉用の電圧電流変換器１０の前段に負帰還させている。この加速度フィードバックループにより機構の安定化が図られている。すなわち、ダンピングが付与されるのである。さらに、位置センサ３の出力は変位増幅器１１を通って比較回路１２の入力となっている。ここでは、空気バネ式支持脚１５が接する地面に対する目標位置と等価な目標電圧１３と比較されて偏差信号ｅとなる。この偏差信号ｅはＰＩ補償器１４を通って電圧電流変換器１０を励磁する。すると、サーボバルブ１の弁開閉によって空気バネ２内の圧力が調整されて除振台４は目標電圧１３で指定した所望の位置に定常偏差なく保持可能となる。ここで、Ｐは比例、Ｉは積分動作をそれぞれ意味する。空気バネ２をアクチュエータとした空気バネ式支持脚１５は、除振台４の上に大重量物を搭載できる能力を持つ。しかし、空気バネ式支持脚１５とフィードバック装置７Ａとからなる能動的除振装置に対して高速応答を期待することはできなかった。 【０００６】次に、永久磁石と巻線コイルとからなるボイスコイルモータ（以下、ＶＣＭと略記する）をアクチュエータとする能動的除振装置の構成とその動作を説明する。加速度センサの出力信号を積分器に通して速度信号に変換し、この信号でＶＣＭを駆動する電力増幅器を励磁し、結果としてダンピングのみ支持する除振台に与えることがフィードバック装置７Ｖの基本構成になる。図４がＶＣＭをアクチュエータとする能動的除振装置の構成である。同図において、１６は加速度センサ８の出力信号を受けてオフセットと高周波の雑音を除去するための適切な前置フィルタ、１７は前置フィルタ１６の出力信号を速度の次元へと変換するための積分器、１８はＶＣＭ１９を駆動するための電力増幅器、２０はＶＣＭ式支持脚である。なお、積分器１７は必要に応じて疑似積分器としてもよい。ＶＣＭをアクチュエータとする能動的除振装置では、俊敏なる応答性を有することが特徴である。しかし、大重量物を位置決めする支持のためには定常的な電流を巻線コイルに通電しておかねばならないので発熱問題を引き起こし不利である。通常、発生した振動のみにＶＣＭが応動するように制御ループが構成される。 【０００７】最後に、平板型リニアモータの一例であるＶＣＭ１９の構造を図５に示す。同図において、２１は永久磁石、２２は巻線コイル、２３は巻線コイル２２の支持枠、２４は永久磁石２１を固定する固定枠である。支持枠２３を堅固に固定して巻線コイル２２に電流を通電したときには永久磁石２１を含めた固定枠２４が、固定枠２４を堅固に固定して巻線コイル２２に電流を通電したときには巻線コイル２２を含めた支持枠２３がそれぞれ駆動力を得る。」 「【００１４】本発明の目的は、このような従来技術の課題に鑑み、より低コストで調整の容易な防振装置を提供することにある。また、ＶＣＭに発生する逆起電力に基づいてダンピングを付与する際の上述の特性劣化を改善することにある。」 「【００１７】また、別の側面からみれば、本発明の防振装置は、除振台の振動を抑圧するためのボイスコイルモータと、このボイスコイルモータに発生する逆起電力を検出する逆起電力検出手段とを備え、この逆起電力に基づいて前記除振台の振動を抑圧すべく前記ボイスコイルモータを駆動する防振装置において、前記除振台が設置された床の振動を計測する加速度センサを備え、この加速度センサの出力にも基づいて前記ボイスコイルモータを駆動するものであることを特徴とする。」 「【００２０】 【実施例】本発明の一実施例に係る複合防振装置の構成を図１に示す。同図において、共通または対応する部分には同一符号を付けて、その部分の詳細な説明は省略する。さて、２６は床の振動を検出するための第２の加速度センサ、２７は第２の加速度センサ２６の出力を電気信号に変換してオフセットや高周波雑音を除去するためのフィルタ、２８は床振動フィードフォワード補償器でありこの出力はＶＣＭ１９を駆動する電力増幅器１８の前段に負帰還されている。これらのループはフィードフォワード装置７ＦＦと呼ばれる。２９は逆起電力検出回路である。従来のフィードバック装置７Ｖに対して２９が新たに付加されたフィードバック装置７Ｖ′を構成している。逆起電力検出回路２９の出力信号は電力増幅器１８の前段に負帰還されているが、ここではＶＣＭ１９のコイル両端電圧と、検出抵抗ｒの電圧降下によって感知したコイル電流とを入力信号としてコイルに発生する逆起電力が検出される。なお、空気バネをアクチュエータとする能動的除振装置とＶＣＭをアクチュエータとする能動的除振装置とを単純に併合してなる複合防振装置（図６）の場合は、前者の装置におけるローパスフィルタないしバンドパスフィルタ９を通る信号のループと、後者の装置そのものであるメインループは、共に閉ループに対するダンピング付与の機能を持つ。よって、複合防振装置（図６）のダンピングを調整するループは二重となり、コストアップを招くのみならず調整作業も煩雑となる。ゆえに、図１では空気バネをアクチュエータとして有する能動的除振装置において、本来備えていた加速度のフィードバックループを除去したフィードバック装置７Ａ′を構成する。」 「【００４５】さらに、除振台へのダンピング付与をＶＣＭの逆起電力によるフィードバックのみに頼る場合は、除振台の振動を検出する加速度センサが不要となるばかりか、その加速度センサの出力に適切な補償を掛けてＶＣＭを駆動する制御ループをも除去することができる。したがってコスト低減に寄与するところ大の効果がある。 【図面の簡単な説明】 【図１】 本発明の一実施例に係る複合防振装置の構成を示す図である。 【図２】 本発明の第二の実施例に係る複合防振装置の構成を示す図である。 【図３】 空気バネをアクチュエータとする能動的除振装置の構成を示す図である。 【図４】 ＶＣＭをアクチュエータとする能動的除振装置の構成を示す図である。 【図５】 ＶＣＭの一構造を示す図である。 【図６】 能動的除振装置を単純に併合した複合防振装置を示す図である。 【図７】 逆起電力検出の原理説明図である。 【図８】 複合防振装置の制御ブロック図である。」 「【図１】 ［図：0001439234000001.jpg］ 」 「【図５】 ［図：0001439234000002.jpg］ 」 （２）甲１に記載された発明 「本発明の一実施例に係る複合防振装置の構成を図１に示す。同図において、共通または対応する部分には同一符号を付けて、その部分の詳細な説明は省略する。」（【００２０】）の記載を踏まえれば、上記（１）から甲１の図１の「複合防振装置」について、次のことがいえる。 ア 複合防振装置は、半導体製造装置の一構成ユニットとして好適に使用される（【０００１】）。 イ 除振台４は、空気バネで能動的除振を行いつつ位置を保持される（【０００５】）。除振台４には、光学顕微鏡や露光用ＸＹステージなどの機器群が搭載される（【０００２】）。 ウ ボイスコイルモータ１９は、フィードフォワード装置７ＦＦにより制御される（【００２０】）。ボイスコイルモータ１９は除振台４の振動を抑圧する（【００１７】）ものであるが、その振動抑圧のために、ボイスコイルモータ１９が除振台４に力を作用させていることは、自明である。 エ ボイスコイルモータ１９は、永久磁石２１、永久磁石が固定された固定枠２４、巻線コイル２２を備えた支持枠２３を有している（【０００７】）。図５は「ＶＣＭの一構造を示す図」（【００４５】）であるが、断面図なのか、側面図なのか不明である。しかしながら、ボイスコイルモータ１９が「平板型リニアモータ」（【０００７】）であるところ、平板型のリニアモータに関する技術常識（下記４参照）を踏まえれば、図５から次のことがいえる。 ・ボイスコイルモータ１９は、互いに対向して対をなす永久磁石２１の組が固定された一対の固定枠２４と、互いに対向して対をなす永久磁石２１の間に配置された巻線コイル２２を備えた支持枠２３を有している。 ・互いに対向して対をなす永久磁石２１の組が２組あり、これらの互いに対向して対をなす永久磁石２１の組のそれぞれは、他の組に対して間隔をあけて隣接するように固定されている。 ・巻線コイル２２は、互いに対向して対をなす永久磁石２１の２組が間隔をあけて隣接する方向に沿って所定の幅を有する。 ・互いに対向して対をなす永久磁石２１の組のそれぞれ磁力線の向きが、他の組の磁力線の向きに対して反対向きである。 以上のことから、甲１には、次の「複合防振装置」に係る発明（以下「甲１発明１」という。）が記載されているといえる。 ［甲１発明１］ 「 半導体製造装置の一構成ユニットとして好適に使用される複合防振装置であって、空気バネで能動的除震を行いつつ位置を保持された、光学顕微鏡や露光用ＸＹステージなどの機器群が搭載される除振台４と、フィードフォワード装置７ＦＦにより制御されるボイスコイルモータ１９とを有し、前記ボイスコイルモータ１９が除振台４の振動を抑圧するための力を作用させるよう構成された複合防振装置において、 前記ボイスコイルモータ１９は、平板型リニアモータであり、互いに対向して対をなす永久磁石２１の組が固定された一対の固定枠２４と、互いに対向して対をなす永久磁石２１の間に配置された巻線コイル２２を備えた支持枠２３を有しており、 前記互いに対向して対をなす永久磁石２１の組が２組あり、前記互いに対向して対をなす永久磁石２１の組のそれぞれは、他の組に対して間隔をあけて隣接するように固定されており、 前記巻線コイル２２は、前記互いに対向して対をなす永久磁石２１の２組が間隔をあけて隣接する方向に所定の幅を有し、 前記互いに対向して対をなす永久磁石２１の組のそれぞれは、磁力線の向きが他の組の磁力線の向きに対して反対向きである、複合防振装置。」 また、甲１には、次の甲１発明１の「複合防振装置」に用いられる「ボイスコイルモータ１９」に係る発明（以下「甲１発明２」という。）が記載されているといえる。 ［甲１発明２］ 「 甲１発明１の複合防振装置に用いるボイスコイルモータ１９であって、 平板型リニアモータであり、 互いに対向して対をなす永久磁石２１の組が固定された一対の固定枠２４と、互いに対向して対をなす永久磁石２１の間に配置された巻線コイル２２を備えた支持枠２３を有しており、 前記互いに対向して対をなす永久磁石２１の組が２組あり、前記互いに対向して対をなす永久磁石２１の組のそれぞれは、他の組に対して間隔をあけて隣接するように固定されており、 前記巻線コイル２２は、前記互いに対向して対をなす永久磁石２１の２組が間隔をあけて隣接する方向に沿って所定の幅を有し、 前記互いに対向して対をなす永久磁石２１の組のそれぞれは、磁力線の向きは他の組の磁力線の向きに対して反対向きである、ボイスコイルモータ１９。」 ２ 甲２について （１）甲２の記載 甲２には、次の記載がある。 「【背景技術】 【０００２】 半導体装置の製造においては、マスク上に形成された各種パターンを光でウエハ上に縮小転写するリソグラフィ技術が利用されている。このリソグラフィ技術で用いるマスクのパターンには極めて高い精度が要求され、これを作製するのに電子ビーム露光装置が使用されている。又、マスクを用いることなしにウエハ上に直接パターンを描画する場合も電子ビーム露光装置が使用されている。」 「【０００３】 電子ビーム露光装置には、ビームをスポット状にして使用するポイントビーム型、サイズ可変の矩形断面にして使用する可変矩形ビーム型等の装置があるが、どの構成も一般的には電子ビームを発生させる電子銃部と、そこより発せられたビームを試料上に導くための電子光学系と、電子ビームに対して全面に亘って試料を走査するためのステージ系及び電子ビームを試料面上に高精度に位置決めしていくための対物偏向器を有している。」 「【０００６】 更に、ステージは、真空チャンバに設置され、且つ、電子ビームの位置決めに影響を与える磁場変動を引き起こしてはならないという拘束があったため、従来はステージは平面方向に動きさえすれば良く、例えば、転がりガイドやボールネジアクチュエータといった接触型の限られた機構要素で構成されていた。 【０００７】 又、接触型では潤滑の問題や発塵等の問題も生じる。その対応技術として、特許文献１で開示されているような非接触アクチュエータを用いた非接触ステージ装置がある。従来例１を図１０に示す。」 「【発明が解決しようとする課題】 【００１４】 しかしながら、今後、ウエハ大口径化が求められるリソグラフィにおいて、装置のストロークが増大する。従来例１においては、ＸＹ方向に大きく動くことができない。更に、全ての自重を非接触アクチュエータで浮上支持することに関して、電磁石で実施すると定常電流が増え、発熱が大きくなることによる精度向上が困難で且つ漏れ磁束が大きい。又、永久磁石吸引で実施すると、発熱は生じないが、漏れ磁束は解決できない。 【００１５】 本発明は上記問題に鑑みてなされたもので、その目的とする処は、大ストローク化にも対応でき、且つ、漏れ磁場含む磁場変動の少なくて発熱の少ないために特に電子ビーム露光装置に搭載する上で最適なステージ装置を提供することにある。」 「【００２６】 ４はトップステージ３１０を載置し、光軸（Ｚ軸）と直交するＸＹ方向に長ストローク移動可能なＸＹスライダであり、基準となるステージベース１上を滑らかに動くことができる。４０１はステージベース１を搭載し支持するベースホルダである。ベースホルダは床４００に設置したエアマウント４４０で３箇所若しくは４箇所で支持されており、エアマウントは、ベースホルダやステージベース等の全搭載荷重を支えると共に、ＸＹスライダ４が移動することによる偏荷重も支えている。」 「【００２８】 更に、ベースホルダには床４００に設置した電磁石ユニット４３４ｍにより、エアマウントによる支持力と並列に電磁力が作用する。本実施の形態においては、ｚ方向に電磁力が発生する電磁石ユニット４３４ｍが３箇所配置され、ベースホルダにｚ及びθｘ，θｙ方向に駆動することができる。電磁石ユニット４３４ｍにおいて、固定子であるＥコア４３４ＥＭは固定フレーム４３０に、可動子であるＩコア４３４Ｉはベースホルダに固定されている。Ｅコア４３４ＥＭとＩコア４３４Ｉの機械的な隙間は相当量開いており、ベースホルダのｚ方向ストロークは１ｍｍ程度とることは可能である。 【００２９】 更に、Ｅコア及びＩコアを覆うように磁性体のシールドが固定フレームに固定されており、真空試料室内に漏れる磁束は非常に少ない。又、縮小電子光学系１００からは一定量の磁場が磁気シールドルーム３００’内に漏れてきており（レンズ漏れ磁場）、Ｅコア及びＩコアを覆う磁性体のシールドが光学系１００近傍にあると、このレンズ漏れ磁場を更に引っ張ってきてしまい、例えば、ＸＹステージに僅かな磁性体（本実施の形態では、可動子２４ｍ）があると、移動を伴うことにより磁場分布が変化し、結果的に磁場変動を起こしてしまうが、本実施の形態においては、磁性体はＸＹステージの下方にあるので、このレンズ漏れ磁場を引っ張ってくることがなく、実質問題とはならない。」 「【００３４】 ４３４’は電磁石４３４ｍ及びアンプを含む特性である。Ｚｒは指令値であり、Ｚはｚ干渉計の出力値である。指令値に対して、エアマウントコントローラ（Ｍコントローラ）によりサーボアンプへの入力信号が決定され、指令値に近づくようベースホルダが駆動される。又、一般には、エアマウントの特性４４０’は遅い応答であり、指令値のフィードフォワード信号を電磁石コントローラ（Ｅコントローラ）に与え、駆動する瞬間だけ電磁石コイルに通電し、電磁力をベースホルダに作用させることにより素早い駆動を実現している。」 「【００４８】 図４に本発明で使用しているリニアモータをｘスライダ３のリニアモータ３４を例に説明する。 【００４９】 ３４は前述したように可動子３４ｍ、固定子３４ｓより構成されており、可動子３４ｍは可動磁石１３４ｍａｇ、磁気シールド１３４ｓｈより構成されていて、固定子３４はコイル列１３４ａ，１３４ｂ，１３４ｃ，…がストローク方向に配置され、且つ、それぞれのコイルは２層になっている。真空試料室内にて、コイル列をむき出しにしないようにジャケット１３４ｊがコイル列を覆っている。可動磁石１３４ｍａｇはｙ方向着磁磁石間にｘ方向着磁磁石を交互に挟んでコイル空間の磁束分布を正弦波に近い状態を作っている。」 「【図面の簡単な説明】 【００８３】 【図１】本発明の実施の形態１を示す図である。 ・・・（略）・・・」（摘記にあたり、当審合議体により、【図２】～【図１６】の説明を削除し、「・・・（略）・・・」と表示した。） 「【図１】 ［図：0001439234000003.jpg］ 」 （２）甲２記載の技術的事項 上記（１）から甲２記載の「電磁石ユニット４３４」について次のことがいえる。 ア 電磁石ユニット４３４ｍは、半導体装置の製造に使用される電子ビーム露光装置に搭載する上で最適なステージ装置に用いられる（【０００２】、【００１４】）。 イ 電磁石ユニット４３４ｍは、固定フレーム４３０に固定された固定子であるＥコア４３４ＥＭと、ベースホルダに固定された可動子であるＩコア４３４Ｉとを有する（【００２８】）。 ウ 電磁石ユニット４３４ｍは、固定フレームに固定され、Ｅコア４３４ＥＭ及びＩコア４３４Ｉを覆う磁性体のシールドを有する（【００２９】）。「ｘスライダ３のリニアモータ３４」が有する磁気シールドを「磁気シールド１３４ｓｈ」（【００４８】、【００４９】）と「ｓｈ」を付して称していることに鑑みれば、図１において符号「４３４ｓｈ」として示されたものが、電磁石ユニット４３４ｍの磁性体のシールドであるといえる。 以上のことから、甲２には次の技術的事項が記載されていると認められる。 ［甲２記載の技術的事項］ 「 半導体装置の製造に使用される電子ビーム露光装置に搭載する上で最適なステージ装置に用いる電磁石ユニット４３４ｍであって、 固定フレーム４３０に固定された固定子であるＥコア４３４ＥＭと、 ベースホルダに固定された可動子であるＩコア４３４Ｉと、 固定フレームに固定され、Ｅコア４３４ＥＭ及びＩコア４３４Ｉを覆う磁性体のシールド４３４ｓｈとを有する、 電磁石ユニット４３４ｍ。」 ３ 甲３について （１）甲３の記載 甲３には、次の記載がある。 ア 「 ［図：0001439234000004.jpg］ 」 （１頁目上段） イ 「 ［図：0001439234000005.jpg］ 」 （１頁目中段） （２）甲３記載の技術的事項 上記（１）から甲３記載の「円筒型ボイスコイルモータ」について次のことがいえる。 ア 上記（１）イの「主な用途」の記載から、円筒型ボイスコイルモータは、アクティブ制振、加振器に用いられるものといえる。また、上記（１）アの「メリット」の記載から、円筒型ボイスコイルモータは、磁気漏洩が少ないといえる。 イ 上記（１）イの「構成例」おいて示された図から、円筒型ボイスコイルモータが、円筒状のアウターヨーク（鉄）と、当該アウターヨークに固定された磁石（ＮＥＯＭＡＸ）と、円筒状のコイルボビン（非磁性）と、当該コイルボビンに取り付けられたコイルと、前記アウターヨークの開放端に設けられた板状部とを有する点が看て取れる。 また、同図より、板状部の開口部に磁石（ＮＥＯＭＡＸ）の端部が露出し、当該板状部の開口部からコイルボビンが、当該コイルボビンに取り付けられたコイルとともに突出する点が看て取れる。 以上から、甲３には次の技術的事項が記載されていると認められる。 ［甲３記載の技術的事項］ 「 アクティブ制振、加振器に用いられる、磁気漏洩が少ない、円筒型ボイスコイルモータであって、 円筒状のアウターヨーク（鉄）と、当該アウターヨークに固定された磁石（ＮＥＯＭＡＸ）と、 円筒状のコイルボビン（非磁性）と、当該コイルボビンの取り付けられたコイルと、 前記アウターヨークの開放端に設けられた板状部とを有し、 当該板状部の開口部に前記磁石（ＮＥＯＭＡＸ）の端部が露出し、当該板状部の開口部から前記コイルボビンが、前記コイルボビンに取り付けられたコイルとともに突出する、円筒型ボイスコイルモータ。」 ４ 甲４について 甲４には、次の記載がある。 「【００１８】（微動リニアモータの構成） 図３にＹ微動リニアモータ５００及びＺ微動リニアモータ６００の構造の詳細を示す。Ｚ微動リニアモータ６００はＺヨーク固定板６０１と、Ｚヨーク固定板６０１を挟むように設けられた２枚のＺヨーク６０２が設けられている。各々のＺヨーク６０２には、ｙ方向（Ｚヨークの厚さ方向）に着磁される２極の永久磁石（Ｚ磁石）６０３が設けられており、この永久磁石６０３と、Ｚコイル６０４とは所定の間隔をもって非接触で対面した状態に構成されている。扁平トラック形状のＺコイル６０４はＺコイル枠６０５によって支持されている。 【００１９】 Ｚヨーク固定板６０１は載置台２００側に固定され、Ｚコイル枠６０５はベース板１００側に固定される。Ｚコイル６０４に電流を流すことでコイルとＺ磁石６０３との間にＺ方向のＺローレンツ力６１０が発生するようになっている。 【００２０】 一方、Ｙリニアモータ５００は２個のＹヨーク固定板５０１を有し、このＹヨーク固定板５０１にＹヨーク５０２が設けられている。Ｙヨーク５０２には、ｘ方向（Ｙヨークの厚さ方向）に着磁される２極の永久磁石（Ｙ磁石）５０３が設けられており、この永久磁石５０３（Ｙ磁石）と、Ｙコイル５０４とは非接触で対面した状態に構成されている。扁平トラック形状のＹコイル５０４は、Ｙコイル枠５０５によって支持されている。Ｙヨーク固定板５０１は載置台２００側に固定され、Ｙコイル枠５０５はベース板１００側に固定される。Ｙコイル５０４に電流を流すことでコイルとＹ磁石５０３との間にＹ方向のＹローレンツ力５１０が発生するようになっている。」 「【図３】 ［図：0001439234000006.jpg］ 」 ５ 甲５について 甲５には、シールドケース１８が、軟鉄、パーマロイ等の電磁シールド材料で構成されている点（【００３０】）が記載されている。 ６ 甲６について 甲６には、磁気遮蔽が、パーマロイ、ミューメタル等の高透磁率料を使用して行われる点（【０００２】）が記載されている。 第５ 当審の判断 １ 本件発明１について （１）対比 本件発明１と甲１発明１とを対比する。 ア 後者の「複合防振装置」は前者の「振動絶縁システム」に相当する。 イ 後者の「光学顕微鏡や露光用ＸＹステージなどの機器群が搭載される除振台４」又は「除振台４」が前者の「荷重部分」に相当し、後者の「除振台４」が「空気バネで能動的除振を行いつつ位置を保持され」ることが、前者の「荷重部分」が「振動絶縁されて支承され」ることに相当する。 また、後者の「フィードフォワード装置７ＦＦ」及び「ボイスコイルモータ１９」はそれぞれ、前者の「コントローラ」及び「少なくとも１つの磁石アクチュエータ」に相当し、後者の「ボイスコイルモータ１９」が「フィードフォワード装置７ＦＦにより制御される」ことは、前者の「少なくとも１つの磁石アクチュエータ」が「コントローラを介して制御される」ことに相当する。 そして、後者の「複合防振装置」が除振台４とボイスコイルモータ１９を「有」することは、前者の「振動絶縁システム」が荷重部分と少なくとも１つの磁石アクチュエータを「含」むことに相当する。 ウ 後者において、「除振台４」が「空気バネで能動的除振を行いつつ位置を保持され」るとともに、「前記ボイスコイルモータ１９が除振台４の振動を抑圧するための力を作用させるよう構成され」ることが、前者の「該磁石アクチュエータが、前記振動絶縁されて支承された荷重部分に作用し、振動を減じるために反力を発生させる」ことに相当する。 エ 後者の「永久磁石２１」は前者の「磁石」に相当し、後者の「永久磁石２１」が「互いに対向して対をなす」ことは前者の「磁石」が「対峙する」ことに相当する。加えて、後者の「永久磁石２１の組が固定された」という事項は前者の「磁石を備えた」という事項に相当し、後者の「固定枠２４」が前者の「磁石キャリア」に相当する。 また、後者の「互いに対向して対をなす永久磁石２１の間に配置された」という事項は前者の「前記磁石の間に配置された」という事項に相当し、後者の「巻線コイル２２」及び「支持枠２３」はそれぞれ、前者の「少なくとも１つのコイル」及び「コイルキャリア」に相当する。 そして、後者の「前記ボイスコイルモータ１９」が固定枠２４と支持枠２３を「有」することは、前者の「前記磁石アクチュエータ」が磁石キャリアとコイルキャリアを「含」むことに相当する。 オ 後者の「前記互いに対向して対をなす永久磁石２１の組」は前者の「対峙する」「磁石対」に相当するし、後者の「前記ボイスコイルモータ１９」が「有」する「互いに対向して対をなす永久磁石２１の組」が「２組」あることは、前者の「前記磁石アクチュエータが、対峙する少なくとも２つの磁石対をさらに含んで」いることに相当する。加えて、後者の「前記互いに対向して対をなす永久磁石２１の組のそれぞれは、他の組に対して間隔をあけて隣接するように固定されて」いることが、前者の「前記少なくとも２つの磁石対が、互いに対して離間して」いることに相当する。 次に、後者の「巻線コイル２２」が「互いに対向して対をなす永久磁石２１の間に配置され」ることが、前者の「該磁石対の間に、前記コイルの巻線が延び」ることに相当する。 加えて、後者においては、「前記巻線コイル２２は、前記互いに対向して対をなす永久磁石２１の２組が間隔をあけて隣接する方向に沿って所定の幅を有」するが、巻線コイル２２が当該方向に沿って「所定の幅を有する」ということは、その「所定の幅を有する」部分に着目すれば、前記巻線コイル２２の一部分が当該幅を有する方向に沿って「延びている」ということもできる。すなわち、後者は、「前記互いに対向して対をなす永久磁石２１の組それぞれは、他の組に対して間隔をあけて隣接するように固定されており」、その「前記互いに対向して対をなす永久磁石２１の２組が間隔をあけて隣接する方向」に「前記巻線コイル２２」の一部分が幅を有する方向に「延びている」といえ、これを「前記巻線コイル２２」から見て表現すれば、「前記巻線コイル２２」の一部分が、幅を有する方向に「延びて」おり、この方向に沿って「前記互いに対向して対をなす永久磁石２１の２組が間隔をあけて隣接する」しているということができる。そうすると、後者の「前記互いに対向して対をなす永久磁石２１の組のそれぞれは、他の組に対して間隔をあけて隣接するように固定されており」、「前記巻線コイル２２は、前記互いに対向して対をなす永久磁石２１の２組が間隔をあけて隣接する方向に沿って所定の幅を有」するという事項は、前者の「前記コイルの巻線が延びている方向において」「２つの磁石対」が「隣接する」という事項に相当する。 そして、後者の「前記互いに対向して対をなす永久磁石２１の組のそれぞれは、磁力線の向きが他の組の磁力線の向きに対して反対向きである」ことは、前者の「前記少なくとも２つの磁石対の極が、交互に逆向きであること」に相当する。 以上より、本件発明１と甲１発明１とは、次の一致点で一致し、次の相違点１で相違する。 ［一致点］ 振動絶縁システムであって、振動絶縁されて支承された荷重部分を含んでおり、前記振動絶縁システムが、コントローラを介して制御される少なくとも１つの磁石アクチュエータを含んでおり、 該磁石アクチュエータが、前記振動絶縁されて支承された荷重部分に作用し、振動を減じるために反力を発生させる、振動絶縁システムにおいて、 前記磁石アクチュエータが、対峙する磁石を備えた磁石キャリアと、前記磁石の間に配置された、少なくとも１つのコイルを備えたコイルキャリアと、を含んでおり、 前記磁石アクチュエータが、対峙する少なくとも２つの磁石対をさらに含んでおり、前記少なくとも２つの磁石対が、互いに対して離間しており、該磁石対の間に、前記コイルの巻線が延びており、 前記コイルの巻線が延びている方向において隣接する前記少なくとも２つの磁石対の極が、交互に逆向きである、振動絶縁システム。 ［相違点１］ 本件発明１は、磁石アクチュエータが「磁気シールド」を含んでおり、「前記磁気シールドが、１つの壁のみに開口を備えたケーシングとして形成されており、該開口から前記コイルキャリアが突出し」ているのに対し、甲１発明１は、そのような構成を有しているか明らかでない点。 （２）判断 上記相違点１について検討する。 甲２記載の技術的事項の「磁性体のシールド４３４ｓｈ」について、甲２においては、図１中で符号「４３４ｓｈ」として磁性体のシールドが示されているにすぎず、その図１も模式図であり、Ｉコア４３４Ｉ及び磁性体のシールド４３４ｓｈの形状及び構造を十分に示したものとはいえない。よって、甲２に、本件発明１の「前記磁気シールドが、１つの壁のみに開口を備えたケーシングとして形成」されるという事項に相当する技術的事項が記載されていると認定することはできない。 仮に、甲２に本件発明１の「前記磁気シールドが、１つの壁のみに開口を備えたケーシングとして形成」されるという事項に相当する技術的事項が記載されているとしても、甲２記載の技術的事項の電磁石ユニット４３４ｍが「磁性体のシールド４３４ｓｈ」を有している理由は、電磁石ユニット４３４ｍが「電子ビーム露光装置に搭載する上で最適なステージ装置」に用いられるものであり、かかる電子ビーム露光装置においては、「電子ビームの位置決めに影響を与える磁場変動を引き起こしてはならない」（甲２【０００６】）という課題があるからである。これに対し、甲１発明１は「光学顕微鏡や露光用ＸＹステージなどの機器群」を備えているが、この機器は電子ビームを使用するものとはいえない。したがって、甲１発明１のボイスコイルモータ１９と甲２記載の技術的事項の電磁石ユニット４３４ｍは、半導体製造装置に用いられる磁力で作動するアクチュエータである点で共通するとはいえ、甲１発明１の除振台４に搭載される光学顕微鏡や露光用ＸＹステージなどの機器が電子ビームを使用するものとはいえないから、甲１発明１は電子ビームの位置決めに影響を与える磁場変動を引き起こしてはならないという課題を有しておらず、甲１発明１のボイスコイルモータ１９に甲２記載の技術的事項のような磁気シールドを適用する動機付けがあるとはいえない。 加えて、甲２記載の技術的事項の電磁石ユニット４３４ｍは甲１発明１のボイスコイルモータ１９と同様の「平板型」のリニアモータであるのか否かも明らかでない。また、「電磁石ユニット４３４ｍ」は、その名が示すとおり、「電磁石」を備えるのであって、永久磁石を備えたもの、さらに言えば、甲２記載の技術的事項の「電磁石ユニット４３４ｍ」が、互いに対向して対をなす永久磁石の組と、その間に配置されたコイル支持部材とを有するもの、とは認められない。このような甲１発明の「ボイスコイルモータ１９」と甲２記載の技術的事項の「電磁石ユニット４３４ｍ」のアクチュエータとしての基本的な構成の違いに照らせば、甲１発明１のボイスコイルモータ１９に甲２記載の技術的事項のような磁気シールドを適用する動機付けがあるとはいえない。 よって、甲１発明１において、甲２記載の技術的事項から、上記相違点１に係る本件発明１の構成に想到することは、当業者が容易になし得たことではない。 また、甲３記載の技術的事項の「円筒型ボイスコイルモータ」は「磁気漏洩が少ない」ものであるが、この作用効果がいかなる構成によりもたらされているのか明らかではない。甲３記載の技術的事項は、「円筒状のアウターヨーク（鉄）」と「前記アウターヨークの開放端に設けられた板状部」とを有し、この板状部に「開口」を設け、「当該板状部の開口部から当該コイルボビンの取り付けられたコイルが突出する」という構成（以下、この一連の構成を「アウターヨークと板状部に係る構成」という。）を有するが、「当該板状部分の開口部に前記磁石（ＮＥＯＭＡＸ）の端部が露出」していること、「板状部の開口部からコイルボビンが、当該コイルボビンに取り付けたられたコイルとともに突出する」ことに鑑みれば、甲３記載の技術的事項の上記アウターヨークと板状部に係る構成が、「磁気漏洩が少ない」という作用効果をもたらしているとも認められない。 仮に、甲３記載の技術的事項の上記アウターヨークと板状部に係る構成が、磁気漏洩を少なくするという作用効果を奏するものだとしても、甲１発明１に磁気漏洩を少なくしたいという課題は認められないから、甲１発明１のボイスコイルモータ１９に甲３記載の技術的事項の上記アウターヨークと板状部に係る構成を適用する動機付けはない。 また、甲３記載の技術的事項の上記アウターヨークと板状部に係る構成が、磁気漏洩を少なくするという作用効果を奏するものであるか否かは措くとしても、甲１発明１のボイスコイルモータ１９は「平板型」であるのに対し、甲３記載の技術的事項の「円筒型ボイスコイルモータ」は円筒型であって、そもそも両者の間で構造が大きく異なることに照らせば、甲１発明１に甲３記載の技術的事項の上記アウターヨークと板状部に係る構成を適用する動機付けがあるとはいえない。 よって、甲１発明１において、甲３記載の技術的事項から、上記相違点１に係る本件発明１の構成に想到することは、当業者が容易になし得たことではない。 その他、甲４～甲６は、１つの壁のみに開口を備えたケーシングとして形成された磁気シールドを開示するものではない。 さらに、１つの壁のみに開口を備えたケーシングとして形成された磁気シールドが周知技術であるという証拠は示されていないし、甲１発明１のボイスコイルモータ１９の平板型のリニアモータにかかる磁気シールドを設けることが設計的事項の範疇であるといえるような証拠も示されていない。 以上のことから、甲１発明１において、甲２～６記載の技術的事項から、上記相違点１に係る本件発明１の構成に想到することは、当業者が容易になし得たことではない。 （３）申立人の主張について 申立人は、甲２記載の技術的事項に関し、「漏れ磁場を含む磁場変動を低減するために、磁気アクチュエータが１つの壁のみに開口を備えたケーシングとして形成されている磁気シールドを含む点、および該開口から可動子が突出している点は甲第２号証（特に図１）に記載されている（以下、「甲２記載事項」という。）。この点については、特許出願人も、令和７年６月４日提出の意見書において「図１等には、１つの壁のみに開口を備えたケーシングとして形成されている磁気シールドを有する電磁石ユニット４３４ｍが示されている」と認めている。そして、甲第２号証に記載されたものは電子ビーム露光装置などを搭載するステージ装置に用いられるものであり、甲１発明と技術分野を一にするものであることから、甲２記載事項を甲１発明に適用することは、容易に想到し得るものである。」（申立書（４）ウ「（ア）本件特許発明１と甲１発明との対比」）と主張する。 しかしながら、上記（２）で述べたとおり、甲１発明１に甲２記載の技術的事項を適用する動機付けがあるとはいえず、この申立人の主張は採用できない。 また、申立人は、甲３記載の技術的事項に関し、「磁気漏洩を低減するために、磁気アクチュエータが１つの壁のみに開口を備えたケーシングとして形成されている磁気シールドを含む点、および該開口から可動子が突出している点は甲第３号証（特に構成例の図）にも記載されている（以下、「甲３記載事項」という。）。そして、甲第３号証に記載されたものはアクティブ制振に用いられるものであり、甲１発明と技術分野を一にするものであることから、甲３記載事項を甲１発明に適用することは、容易に想到し得るものである。」と主張する。 しかしながら、上記（２）で述べたとおり、甲１記載の発明に甲３記載の技術的事項を適用する動機付けがあるとはいえないから、この申立人の主張も採用できない。 （４）本件発明１のまとめ 以上のとおりであるから、本件発明１は、甲１発明１、甲２～６記載の技術的事項に基いて、当業者が容易に発明することができたものではない。 ２ 本件発明２～１１について 本件発明２～１１は、請求項１の記載を直接的又は間接的に引用した「振動絶縁システム」に係る発明であるところ、本件発明２～１１と甲１発明１とは、少なくとも上記相違点１で相違する。 そうすると、上記１（２）～（４）と同様に、本件発明２～１１は、甲１発明１、甲２～６記載の技術的事項に基いて、当業者が容易に発明することができたものではない。 ３ 本件発明１２について （１）対比 本件発明１２と甲１発明２とを対比する。 甲１発明２の「ボイスコイルモータ１９」は、本件発明１２の「磁石アクチュエータ」に相当し、甲１発明２の「甲１発明１の複合防振装置」と「請求項１から１１までのいずれか１項記載の振動絶縁システム」とは、「振動絶縁システム」である限りで一致する。そうすると、甲１発明２における「甲１発明１の複合防振装置に用いるボイスコイルモータ１９」という事項と、本件発明１の「請求項１から１１までのいずれか１項記載の振動絶縁システム用の磁石アクチュエータ」という事項とは、「振動絶縁システム用の磁石アクチュエータ」である限りで一致する。 そして、甲１発明２の「甲１発明１の複合防振装置に用いるボイスコイルモータ１９であって」という発明事項以外の発明特定事項と、本件発明１２の「請求項１から１１までのいずれか１項記載の振動絶縁システム用の磁石アクチュエータであって」という発明事項以外の発明特定事項とを対比すると、両者の発明特定事項の間には、上記１（１）エ、オと同様の相当関係がいえる。 そうすると、本件発明１２と甲１発明２とは次の点の一致点で一致し、次の相違点２及び３で相違する。 ［一致点］ 「振動絶縁システム用の磁石アクチュエータであって、対峙する磁石を備えた磁石キャリアと、前記磁石の間に配置された、少なくとも１つのコイルを備えたコイルキャリアとを含んでおり、 前記磁石アクチュエータが、対峙する少なくとも２つの磁石対をさらに含んでおり、前記少なくとも２つの磁石対が、互いに対して離間しており、該磁石対の間に、前記コイルの巻線が延びており、 前記コイルの巻線が延びている方向において隣接する前記少なくとも２つの磁石対の極が、交互に逆向きである、磁石アクチュエータ。」 ［相違点２］ 「振動絶縁システム」について、本件発明１２は、これが「請求項１から１１までのいずれか１項記載の振動絶縁システム」であるのに対して、甲１発明２は、「甲１発明１の複合防振装置」である点。 ［相違点３］ 本件発明１２は、「磁気シールド」を含んでおり、「前記磁気シールドが、１つの壁のみに開口を備えたケーシングとして形成されており、該開口から前記コイルキャリアが突出し」ているのに対し、甲１発明２は、そのような構成を有するか明らかでない点。 （２）判断 事案に鑑み、相違点３について検討する。 甲１発明２のボイスコイルモータ１９の用途は「甲１発明１の複合防振装置」であり、この「複合防振装置」は、「半導体製造装置の一構成ユニットとして好適に使用される複合防振装置」であり、ボイスコイルモータ１９は、「空気バネで能動的除振を行いつつ位置を保持された、光学顕微鏡や露光用ＸＹステージなどの機器群が搭載される除振台４」に対して「振動を抑圧するための力を作用させるよう」に用いられるものである。甲１発明２のかかる用途を前提とすれば、甲１発明２に磁場変動を引き起こしてはならないという課題や、磁気漏洩を少なくしたいという課題があるとは認められない。 そうすると、上記１（２）と同様に、甲１発明２において、甲２～６記載の技術的事項から、上記相違点３に係る本件発明１２の構成に想到することは、当業者が容易になし得たことではない。 したがって、その他の相違点について検討するまでもなく、本件発明１２は、甲１発明２、甲２～６記載の技術的事項に基いて、当業者が容易に発明することができたものではない。 ４ 本件発明１３～１８について 本件発明１３～１８は、請求項１２の記載を直接的又は間接的に引用した「磁気アクチュエータ」に係る発明であるところ、本件発明１３～１８と甲１発明２とは、少なくとも上記相違点３で相違する。 そうすると、上記３（２）と同様に、本件発明１３～１８は、甲１発明２、甲２～６記載の技術的事項に基いて、当業者が容易に発明することができたものではない。 ５ 本件発明１９～２１について 本件発明１９～２１は、請求項１の記載を直接的又は間接的に引用した「振動絶縁システム」と、請求項１２の記載を直接的又は間接的に引用した「磁気アクチュエータ」とを含む、「光学装置」に係る発明であるところ、本件発明１９～２１と甲１記載の発明とは、少なくとも上記相違点１～３で相違する。 そうすると、上記１（２）～（４）、及び３（２）と同様に、本件発明１９～２１は、甲１発明２、甲２～６記載の技術的事項に基いて、当業者が容易に発明することができたものではない。 第６ むすび 以上のとおり、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、本件特許の請求項１～２１に係る特許を取り消すことはできない。 また、他に本件特許の請求項１～２１に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。