特許訂正審判
2025-390073
光検出器
- 審判番号
- 2025-390073
- 法域
- 特許
- 審判種別
- 訂正審判(訂正の審決)
- 出願番号
- 特願2021-553658
- 登録番号
- 7325067
- 請求日
- 2025年05月30日
- 審決日
- 2025年08月20日
- 公報発行日
- 2025年11月28日
- 結論
- 訂正認容
- 当事者
- 【請求人】パナソニックIPマネジメント株式会社
- 【請求人代理人】弁理士法人前田特許事務所
- 審判長/審判官
- 審判長 梶尾 誠哉
- 審判官 打出 義尚
- 審判官 小川 将之
- 分類
- P141 .852-Y (H10F)
- 条文(本文から自動抽出・参考)
- 特許法第126条第1項、特許法第126条第5項、特許法第126条第6項、特許法第126条第7項、特許法第126条第3項
- データ出所
- 審決公報(XML)
事件の表示
特許第7325067号に関する訂正審判事件について、次のとおり審決する。
結論
結 論
特許第7325067号の特許請求の範囲を本件審判請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔8~14〕について訂正することを認める。
理由
理 由
第1 手続の経緯
本件訂正審判に係る特許第7325067号(以下、「本件特許」という。)は、令和2年10月28日(優先権主張 令和元年10月30日)を国際出願日とする出願であって、令和5年8月3日に特許権の設定登録(請求項の数14)がされ、その後、令和7年6月2日に本件訂正審判の請求がされたものである。
第2 請求の趣旨
本件訂正審判の請求の趣旨は、本件特許の特許請求の範囲を本件審判請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項8~14について訂正することを求めるものである。
第3 訂正の内容
本件訂正審判の請求に係る訂正(以下、「本件訂正」という。)の内容は、次のとおりである。(下線は訂正箇所を示すために当審において付した。)
1 訂正事項1
特許請求の範囲の請求項8において、
「前記回路ウェルは、前記半導体基板に形成された第2導電型の第7半導体層と、前記第7半導体層と接する第2導電型の第8半導体層とで構成され、・・・」との記載を、
「前記回路ウェルは、前記半導体基板に形成された第1導電型の第7半導体層と、前記第7半導体層と接する第1導電型の第8半導体層とで構成され、・・・」に訂正する。
2 訂正事項2
特許請求の範囲の請求項10において、
「前記第1領域は、前記第1半導体層との接合面近傍で、隣接する前記APDと反対側に張り出して延びる第2導電型の第10半導体層をさらに有している、・・・」との記載を、
「前記第1領域は、前記第1半導体層との接合面近傍で、隣接する前記APDと反対側に張り出して延びる第1導電型の第10半導体層をさらに有している、・・・」に訂正する。
第4 当審の判断
1 一群の請求項について
訂正前の請求項8~14について、請求項9~14は、それぞれ請求項8を直接的又は間接的に引用しているものであって、訂正事項1により訂正される請求項8に連動して訂正されるものである。また、請求項11~14は、それぞれ請求項10を直接的又は間接的に引用しているものであって、訂正事項2により訂正される請求項10に連動して訂正されるものである。
したがって、訂正前の請求項8~14に対応する訂正後の請求項〔8~14〕は、特許法第126条第3項に規定する一群の請求項である。
2 訂正事項1について
(1)訂正の目的
請求人は、訂正事項1について、誤記の訂正を目的とするものであると主張するところ、「誤記の訂正」とは、本来その意であることが明細書、特許請求の範囲又は図面の記載などから明らかな内容の字句、語句に正すことをいい、訂正前の記載が当然に訂正後の記載と同一の意味を表示するものと客観的に認められるものでなければならないと解される。
したがって、以下、それを前提に検討する。(なお、訂正事項2も同じ。)
ア 本件特許の願書に最初に添付した明細書の記載
本件特許の願書に最初に添付した明細書(以下、単に「明細書」という。)には、次の記載がある。(下線は当審において付した。以下同様。)
(ア)「【0023】
図3に示すように、基板110は、第1半導体層10と第2半導体層11とで構成される。第1半導体層10は、p型の単結晶シリコン基板で、少なくとも一部がエピタキシャル成長法により形成されていてもよく、第2半導体層11は、第1半導体層10の上面に形成されたp型エピタキシャル層である。第2半導体層11のp型不純物濃度は、第1半導体層10のp型不純物濃度よりも低くなるように設定されている。
【0024】
なお、本願明細書において、各半導体層の導電型として、n型を「第1導電型」、p型を「第2導電型」と呼ぶことがある。ただし、その逆となる場合、例えば、n型を「第2導電型」と呼ぶ場合もあることに留意する必要がある。また、本願明細書において、不純物濃度とは、実効的な不純物濃度を指し、同じ領域に異なる導電型の不純物の両者が存在する場合には、その差分を指す。
【0025】
APD31は、第1半導体層10と第4半導体層21とで主に構成されている。第4半導体層21は、n型の半導体層であり、図示しないレジストマスクパターンを用いて、第1主面S1からn型不純物をイオン注入等により基板110の内部に導入することにより形成される。また、第1半導体層10と第4半導体層21との接合界面及びその近傍には、アバランシェ増倍領域33が形成される。」
(イ)「【0028】
第1領域32は、第1半導体層10と第5半導体層22とで主に構成されている。第5半導体層22は、n型の半導体層であり、第4半導体層21を形成するのと同様の方法により形成される。また、第1半導体層10と第5半導体層22との接合界面及びその近傍には、アバランシェ増倍領域34が形成される。本実施形態では、第4半導体層21と第5半導体層22とは、固体撮像素子100の製造工程中に同時に形成される例を示している。このため、第4半導体層21のn型不純物濃度と第5半導体層22のn型不純物濃度とは同じであってもよいが、必ずしも同一工程で形成する必要はなく、異なる濃度でもよい。」
(ウ)「【0128】
Nウェル26は、n型の第7半導体層24と、第7半導体層24と接するn型の第8半導体層25とで構成されており、第8半導体層25のn型不純物濃度は第7半導体層24のn型不純物濃度よりも低くなるように設定されている。また、図14及び図15から明らかなように、第1主面S1を基準として、第5半導体層22の深さと、第7半導体層24の深さとが同じになるように設定されている。また、第5半導体層22のn型不純物濃度と、第7半導体層24のn型不純物濃度とが同じになるように設定されている。また、Nウェル26にはウェル電圧V23が印加されている。」
(エ)以上によれば、本件特許の明細書には、もっぱら、第1半導体層10の導電型がp型(第2導電型)であり、第4半導体層21、第5半導体層22、第7半導体層24及び第8半導体層25の導電型がn型(第1導電型)である実施形態が記載されている。
イ 本件特許の設定登録時の特許請求の範囲の記載
本件特許の設定登録時の特許請求の範囲には、次の記載がある。
(ア)「【請求項1】
少なくとも2以上のアバランシェフォトダイオード(APD)が半導体基板に形成された光検出器であって、
平面視において、前記APDの外側に第1領域が配置され、
隣接する前記APD及び前記第1領域の間は分離領域によって分離され、
前記APDは、前記半導体基板に含まれる第2導電型の第1半導体層と、前記第1半導体層に接する第1導電型の第4半導体層とで構成され、
前記第1領域は、前記第1半導体層と、前記第1半導体層に接する第1導電型の第5半導体層とで構成され、
前記APDの前記第4半導体層には第1の電圧が印加され、前記第1領域の前記第5半導体層には第2の電圧が印加され、
前記第1の電圧は、前記第2の電圧よりも高く、
前記APDに印加される第1逆バイアスと前記第1領域に印加される第2逆バイアスとの差は、前記分離領域と前記第1領域とのポテンシャルの差分よりも小さく、
前記分離領域は、前記半導体基板の第1主面において少なくとも一部が空乏化しており、
前記分離領域には、前記分離領域に接続されるコンタクトが配置されず、また、前記分離領域の表面から内部に向かうトレンチが形成されていない、光検出器。」
(イ)「【請求項6】
前記光検出器は、さらに画素回路領域を備え、
前記画素回路領域は、回路ウェルを有しており、
前記回路ウェルと前記第1半導体層との間のブレークダウン電圧の絶対値は、前記APDのブレークダウン電圧の絶対値よりも大きい、請求項1ないし5のいずれか1項に記載の光検出器。」
(ウ)「【請求項8】
前記回路ウェルは、前記半導体基板に形成された第2導電型の第7半導体層と、前記第7半導体層と接する第2導電型の第8半導体層とで構成され、
前記第5半導体層の不純物濃度は、前記第7半導体層の不純物濃度と同じであり、
前記半導体基板の第1主面を基準として、前記第5半導体層の深さは、前記第7半導体層の深さと同じである、請求項6に記載の光検出器。」
ウ 判断
(ア)上記ア(エ)で述べたとおり、本件特許の明細書には、第4半導体層21、第5半導体層22、第7半導体層24及び第8半導体層25の導電型が、いずれもn型(第1導電型)であり、p型(第2導電型)である第1半導体層10とは異なる導電型であることが記載されているものの、第7半導体層24及び第8半導体層25が、第4半導体層21及び第5半導体層22と異なる導電型であることや、第1半導体層10と同じ導電型であることは記載されていない。
これに対し、上記イ(ア)及び(ウ)のとおり、本件特許の設定登録時の特許請求の範囲には、請求項1において「第2導電型の第1半導体層」、「第1導電型の第4半導体層」及び「第1導電型の第5半導体層」と記載され、請求項1を間接的に引用する請求項8において「第2導電型の第7半導体層」及び「第2導電型の第8半導体層」と記載されているように、「第7半導体層」及び「第8半導体層」が「第4半導体層」及び「第5半導体層」と異なる導電型であって、「第1半導体層」と同じ導電型であることが発明特定事項とされており、上述の本件特許の明細書の記載と矛盾していることが理解できる。
したがって、本件特許の明細書の記載によれば、本件特許の設定登録時の請求項8において、「第2導電型の第7半導体層」及び「第2導電型の第8半導体層」と記載されているのは誤りであって、正しくは「第1導電型の第7半導体層」及び「第1導電型の第8半導体層」であることは明らかである。
(イ)また、上記イ(イ)のとおり、本件特許の設定登録時の特許請求の範囲には、請求項6において「前記画素回路領域は、回路ウェルを有しており、前記回路ウェルと前記第1半導体層との間のブレークダウン電圧の絶対値は、前記APDのブレークダウン電圧の絶対値よりも大きい」と記載されているところ、当該記載における「ブレークダウン」が、異なる導電型をもつ2つの領域間に生じる現象であることは技術常識である。
そうすると、本件特許の設定登録時の請求項6において、「回路ウェル」と「第1半導体層」とは、異なる導電型でなければならないものである。
これに対し、上記イ(ウ)のとおり、本件特許の設定登録時の特許請求の範囲には、請求項8において「前記回路ウェルは、前記半導体基板に形成された第2導電型の第7半導体層と、前記第7半導体層と接する第2導電型の第8半導体層とで構成され」ると記載されているように、「回路ウェル」が「第2導電型」であることを特定するものであって、請求項1で特定された「第2導電型」の「第1半導体層」と同じ導電型であることを特定するものであるから、上述の技術常識と矛盾していることが理解できる。
したがって、上記イ(ア)~(ウ)の記載及び技術常識によれば、本件特許の設定登録時の請求項8において、「第2導電型の第7半導体層」及び「第2導電型の第8半導体層」と記載されているのは誤りであって、正しくは「第1導電型の第7半導体層」及び「第1導電型の第8半導体層」であることは明らかである。
(ウ)以上によれば、本件特許の設定登録時の請求項8において、「第2導電型の第7半導体層」及び「第2導電型の第8半導体層」と記載されているのは誤記であって、正しくは「第1導電型の第7半導体層」及び「第1導電型の第8半導体層」であることが明らかであり、訂正事項1は、特許請求の範囲の明らかな誤記を本来の意に正す訂正である(請求項8に連動して訂正される請求項9~14も同じ。)。
エ 小括
以上のとおり、訂正事項1は、特許法第126条第1項ただし書第2号に掲げる誤記の訂正を目的とするものである。
(2)願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であることについて
訂正事項1は、上記(1)のとおり、特許請求の範囲の明らかな誤記を本来の意に正す訂正であるから、願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものであるといえる。
よって、訂正事項1は、特許法第126条第5項の規定に適合する。
(3)実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正でないことについて
訂正事項1は、上記(1)のとおり、特許請求の範囲の明らかな誤記を本来の意に正す訂正であるから、訂正の前後で特許請求の範囲に記載された発明の拡張又は変更はなく、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
よって、訂正事項1は、特許法第126条第6項の規定に適合する。
(4)独立特許要件について
訂正事項1は、上記(1)のとおり、特許請求の範囲の明らかな誤記を本来の意に正す訂正であって、訂正事項1による訂正後の特許請求の範囲の請求項8及び請求項8を引用する請求項9~14に係る発明が、特許出願の際に独立して特許を受けることができないとする理由はない。
よって、訂正事項1は、特許法第126条第7項の規定に適合する。
(5)小括
以上のとおり、訂正事項1は、特許法第126条第1項ただし書第2号に掲げる事項を目的とするものであって、かつ、同条第5項ないし第7項の規定に適合する。
3 訂正事項2について
(1)訂正の目的
ア 本件特許の明細書の記載
本件特許の明細書には、次の記載がある。
(ア)「【0147】
図18に示すように、画素アレイ部120の最外周に位置する枠状領域32aでは、第5半導体層22と第1半導体層10との間にn型の第10半導体層27が設けられている。」
(イ)上記(ア)及び上記2(1)ア(エ)によれば、本件特許の明細書には、もっぱら、第1半導体層10がp型(第2導電型)であり、第4半導体層21、第5半導体層22、第7半導体層24、第8半導体層25及び第10半導体層27の導電型がn型(第1導電型)である実施形態が記載されている。
イ 本件特許の設定登録時の特許請求の範囲の記載
本件特許の設定登録時の特許請求の範囲には、上記2(1)イ(ア)及び(ウ)の記載に加えて、次の記載がある。
(ア)「【請求項10】
前記第1領域は、前記第1半導体層との接合面近傍で、隣接する前記APDと反対側に張り出して延びる第2導電型の第10半導体層をさらに有している、請求項1ないし9のいずれか1項に記載の光検出器。」
ウ 判断
上記ア(イ)で述べたとおり、本件特許の明細書には、第4半導体層21、第5半導体層22、第7半導体層24、第8半導体層25及び第10半導体層27の導電型が、いずれもn型(第1導電型)であり、p型(第2導電型)である第1半導体層10とは異なる導電型であることが記載されているものの、第10半導体層27が、第4半導体層21、第5半導体層22、第7半導体層24及び第8半導体層25と異なる導電型であることや、第1半導体層10と同じ導電型であることは記載されていない。
これに対し、上記イ(ア)及び上記2(1)イ(ア)のとおり、本件特許の設定登録時の特許請求の範囲には、請求項10において「第2導電型の第10半導体層」と記載されているように、「第10半導体層」が「第4半導体層」及び「第5半導体層」と異なる導電型であって、「第1半導体層」と同じ導電型であることが発明特定事項とされており、上述の本件特許の明細書の記載と矛盾していることが理解できる。
また、上記2(1)ウ(ウ)のとおり、本件特許の設定登録時の請求項8において「第2導電型の第7半導体層」及び「第2導電型の第8半導体層」と記載されているのは誤記であって、正しくは「第1導電型の第7半導体層」及び「第1導電型の第8半導体層」であることが明らかであるから、請求項10に記載された「第2導電型の第10半導体層」が「第1導電型の第7半導体層」及び「第1導電型の第8半導体層」と異なる導電型であることは、上述の本件特許の明細書の記載と矛盾していることが理解できる。
そうすると、本件特許の設定登録時の請求項10において、「第2導電型の第10半導体層」と記載されているのは誤記であって、正しくは「第1導電型の第10半導体層」であることが明らかであり、訂正事項2は、特許請求の範囲の明らかな誤記を本来の意に正す訂正である(請求項10に連動して訂正される請求項11~15も同じ。)。
エ 小括
以上によれば、訂正事項2は、特許法第126条第1項ただし書第2号に掲げる誤記の訂正を目的とするものである。
(2)願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であることについて
訂正事項2は、上記(1)のとおり、特許請求の範囲の明らかな誤記を本来の意に正す訂正であるから、願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものであるといえる。
よって、訂正事項2は、特許法第126条第5項の規定に適合する。
(3)実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正でないことについて
訂正事項2は、上記(1)のとおり、特許請求の範囲の明らかな誤記を本来の意に正す訂正であるから、訂正の前後で特許請求の範囲に記載された発明の拡張又は変更はなく、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当しない。
よって、訂正事項2は、特許法第126条第6項の規定に適合する。
(4)独立特許要件について
訂正事項2は、上記(1)のとおり、特許請求の範囲の明らかな誤記を本来の意に正す訂正であって、訂正事項2による訂正後の特許請求の範囲の請求項10及び請求項10を引用する請求項11~14に係る発明が、特許出願の際に独立して特許を受けることができないとする理由はない。
よって、訂正事項2は、特許法第126条第7項の規定に適合する。
(5)小括
以上のとおり、訂正事項2は、特許法第126条第1項ただし書第2号に掲げる事項を目的とするものであって、かつ、同条第5項ないし第7項の規定に適合する。
第5 むすび
以上の次第であるから、訂正事項1及び2に係る本件訂正は、特許法第126条第1項ただし書第2号に掲げる事項を目的とするものであって、かつ、同条第5項ないし第7項の規定に適合する。
よって、結論のとおり審決する。
審決本文(J-PlatPat)
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