2024-002434

特願２０２２－５０７６０１「ＣＭＰ温度制御のための装置および方法」拒絶査定不服審判事件〔２０２１年（令和３年）２月１８日国際公開、ＷＯ２０２１／０３０２９５、令和４年１０月１８日国内公表、特表２０２２－５４４３７５〕について、次のとおり審決する。

結 論 本件審判の請求は、成り立たない。

理 由 第１ 手続の経緯 本願は、２０２０年（令和２年）８月１０日（パリ条約による優先権主張 外国庁受理２０１９年８月１３日 （ＵＳ）アメリカ合衆国）を国際出願日とする出願であって、その手続の経緯の概略は以下のとおりである。 １ 令和４年 ２月 ７日 国内書面の提出 ２ 令和４年 ３月３１日 翻訳文の提出 ３ 令和５年 ４月 ４日付け 拒絶の理由（以下「拒絶理由」という。）の通知 ４ 令和５年 ７月 ５日 意見書及び手続補正書の提出 ５ 令和５年１０月 ３日付け 拒絶をすべき旨の査定（以下「拒絶査定」という。） ６ 令和６年 ２月１３日 拒絶査定不服審判の請求書及び手続補正書の提出 第２ 令和６年２月１３日の手続補正についての補正の却下の決定 ［補正の却下の決定の結論］ 令和６年２月１３日提出の手続補正書によりされた手続補正（以下「本件補正」という。）を却下する。 ［理由］ １ 本件補正について （１）本件補正後の特許請求の範囲の請求項８の記載 本件補正により、本願の特許請求の範囲の請求項８の記載は、次のとおり補正がされた。（下線部は補正箇所である。） 「ガス源からのガスを先細末広ノズルまで送達することと、 液体源に結合される入口と、前記先細末広ノズルのスロートに前記先細末広ノズルの側壁から離れて位置付けられた出口と、を有し、前記先細末広ノズルの前記側壁を貫通して延びるインジェクタを通して、前記液体源からの液体を前記先細末広ノズルのスロート内へ注入することと、 前記ガスを前記先細末広ノズルに流すことによって前記ガスを冷却することと、 前記冷却されたガスを研磨パッド上へと方向付けることと、 を含む、化学機械研磨システムの温度制御方法。」 （２）本件補正前の特許請求の範囲 本件補正前の、令和５年７月５日提出の手続補正書により補正をした特許請求の範囲の請求項８の記載は次のとおりである。 「ガス源からのガスを先細末広ノズルまで送達することと、 液体源に結合される入口と、前記先細末広ノズルのスロートに位置付けられた出口と、を有するインジェクタを通して、前記液体源からの液体を前記先細末広ノズルのスロート内へ注入することと、 前記ガスを前記先細末広ノズルに流すことによって前記ガスを冷却することと、 前記冷却されたガスを研磨パッド上へと方向付けることと、 を含む、化学機械研磨システムの温度制御方法。」 ２ 本件補正の目的について （１）本件補正の目的の要件 本件補正は、特許法第１７条の２第１項第４号に掲げる拒絶査定不服審判の請求と同時にした補正であって、特許請求の範囲についての本件補正は、同条第５項の規定により、同項第１～４号に掲げる事項を目的とするものに限られる。 （２）請求項８に関する本件補正の内容 これに対して、請求項８に関する本件補正は、補正前の請求項８に記載した発明を特定するために必要な事項である「液体源に結合される入口と、前記先細末広ノズルのスロートに位置付けられた出口と、を有するインジェクタ」について、次のア～イの事項を限定するものである。 ア 先細末広ノズルのスロートに位置付けられた出口について、「先細末広ノズルの側壁から離れて」位置付けられたものであること。 イ 「前記先細末広ノズルの前記側壁を貫通して延びる」こと。 そして、本件補正前の請求項８に記載された発明と本件補正後の請求項８に記載された発明は、いずれも、産業上の利用分野が、化学機械研磨（ＣＭＰ）、より具体的には化学機械研磨中の温度制御に関するもの（本願明細書の段落０００１）であり、解決しようとする課題が、化学機械研磨システムにおける研磨パッドの温度を迅速かつ効率的に制御することを実現するもの（本願明細書の段落０００２～００１８）であって同一である。 （３）まとめ よって、請求項８に関する本件補正は、特許法第１７条の２第５項第２号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 ３ 独立特許要件 （１）請求項８に関する本件補正への独立特許要件の適用について 上記２のとおり、請求項８に関する本件補正は、その目的が上記２のとおり特許法第１７条の２第５項第２号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものであるから、同条第６項の規定により特許法第１２６条第７項の規定が準用される。 したがって、本件補正後の請求項８に記載されている事項により特定される発明（以下「本願補正発明８」という。）は、特許出願の際独立して特許を受けることができるものできるものでなければならないため、以下、その独立特許要件について検討する。 （２）本願補正発明８ 上記１（１）に記載された事項により特定されるとおりのものである。 （３）引用文献 引用文献は次のとおりである。 引用文献１：特開２０１３－９９８１４号公報 引用文献３：特開２００７－７３６１５号公報 引用文献４：特開２００８－２７０６２７号公報 （４）引用文献１の記載内容について ア 引用文献１の書誌事項 引用文献１は、本願の優先日前に頒布され、原査定でも引用文献１として引用した文献である。 特開２０１３－９９８１４号公報（平成２５年５月２３日出願公開） イ 引用文献１の記載事項（下線は、当審にて付した。） （ア）発明の詳細な説明 「【技術分野】 【０００１】 本発明の実施形態は、研磨方法及び研磨装置に関する。 【背景技術】 【０００２】 ＬＳＩデバイス等の製造工程で薄膜や基板表面を平坦化する際、化学機械的研磨法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｌａｎａｒｉｚａｔｉｏｎ法＝ＣＭＰ法）が実用化されている。ＬＳＩデバイスの微細化と低コスト化に伴い、デバイス表面をより平坦、低欠陥かつ安価に加工するＣＭＰ技術が求められている。 ・・・ 【０００４】 上記の問題に対し、より平坦性がよく、低欠陥かつ高生産性のＣＭＰ技術として、ＣＭＰ温度制御が知られている。従来のＣＭＰ温度制御では、ＣＭＰ中の研磨パッド表面に向かって空気を噴出させ、パッドの表面および表面のスラリーを冷却していた。しかし、この方法はエアブローによるスラリーの気化熱を利用した冷却であり、冷却能力が不十分であった。 ・・・ 【発明の概要】 【発明が解決しようとする課題】 【０００８】 本発明は、研磨パッドやスラリーの冷却、及び研磨パッド表面のドレッシングを効率良く行うことができる研磨方法及び研磨装置を提供することを目的とする。 【課題を解決するための手段】 【０００９】 本実施形態によれば、研磨方法は、回転させた研磨パッドに、回転させた基板を押し当て、前記研磨パッド上にスラリーを供給する工程と、前記研磨パッドの表面温度を測定する工程と、前記表面温度が所定温度以上になった場合に、前記研磨パッドに向かって、狭窄部を有するノズルから過冷却液滴を含むジェット流を噴出させる工程と、を備える。 ・・・ 【発明を実施するための形態】 【００１１】 本発明の実施形態の説明に先立ち、発明者らが本発明をなすに至った経緯について説明する。図１はＣＭＰ処理中の研磨パッドの表面温度の時間変化の一例を示している。図１に示すように、研磨テーブルやウェーハの回転を開始し、研磨処理を始めると、回転速度の上昇に伴い摩擦熱により表面温度が徐々に上昇する。例えば、表面温度は、研磨開始時の約２０℃から、２０秒後には約４０℃まで上昇する。その後、６０秒後には、表面温度は６０℃程度まで上昇する。研磨時に使用されるスラリーは、例えばＣｕ ＣＭＰスラリーの場合には錯体形成剤や酸化剤を含んでいる。これら錯体形成剤や酸化剤は、５０℃～６０℃の高温域で分解し、スラリーが劣化する。スラリーが劣化すると、ウェーハ表面の平坦性が低下するため、表面温度が高温域に達する前に速やかに冷却し、スラリーの研磨性能に好適な４０℃程度に表面温度を維持することが求められる。 【００１２】 以下の実施形態においては、上記のような課題を解決することができる。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。 【００１３】 図２に本発明の実施形態に係る研磨装置の概略構成を示す。研磨装置１は、被研磨体保持手段であるトップリング１１と、研磨テーブル１２と、スラリー（研磨剤）を供給する供給ノズル１４と、ラバルノズル１５とを備えている。 ・・・ 【００１５】 研磨テーブル１２は、トップリング１１の下方に配置されており、上面には研磨パッド１３が貼付されている。研磨テーブル１２は図示しない駆動機構により回転可能になっている。 【００１６】 供給ノズル（供給部）１４は、研磨テーブル１２の上方に設けられており、研磨パッド１３上にスラリーを供給する。 【００１７】 ラバルノズル１５は、過冷却液滴を含むジェット流を研磨パッド１３上に噴出し、研磨パッド１３の表面を冷却する。ラバルノズル１５は、図３に示すように、円筒形のノズルの途中部分にスロート部（狭窄部）が設けられた構造のノズルである。ラバルノズル１５を用いることで、液体を微粒化すると同時に断熱膨張による急冷効果により、氷粒子を含む固液二層の噴霧粒子群を形成することができる。 【００１８】 例えば、図３に示すように、コンプレッサ３１により圧縮された空気が除湿器３２で除湿され、エアタンク３３に貯気される。このエアタンク３３内の空気を、減圧弁により所定圧力に調整し、バルブを開放することにより、圧縮空気がラバルノズル１５に導入される。この圧縮空気は、圧力３００ｋＰａ以上、流量２００ＮＬ／ｍｉｎ以上が好ましい。また、ラバルノズル１５のスロート部の近傍に、少量の室温の水が供給される。例えば、バルブ３４により、水の流量は１００ｍｌ／ｍｉｎ以下に調整される。水は純水であることが好ましい。 【００１９】 ラバルノズル１５に供給される圧縮空気や水の流量は、図２に示すジェット流制御部２１により制御することができる。 【００２０】 ラバルノズル１５に供給された水は、高圧エアのジェット流により、多数の微小液滴となる。ラバルノズル１５は、スロート部より下流側においてノズル径が広がっているため、断熱膨張により微小な水滴が過冷却まで冷やされる。この過冷却液滴が研磨パッド１３上に到達すると凍結し、その融解熱と、さらには高圧エアによる気化熱によって、研磨パッド１３表面やスラリーを効率的に冷却することができる。 【００２１】 図２に示すように、研磨装置１は研磨パッド１３の表面温度を測定する温度センサ１６を備えている。温度センサ１６は例えば赤外放射温度計である。ジェット流制御部２１は、温度センサ１６の測定結果を取得し、研磨パッド１３の表面温度に基づいてラバルノズル１５からの過冷却液滴の噴出を制御する。 【００２２】 次に、このような研磨装置１を用いて被研磨体を研磨する方法を図４に示すフローチャートを用いて説明する。 【００２３】 （ステップＳ１０１）トップリング１１に被研磨体であるウェーハＷが保持される。 （ステップＳ１０２）駆動機構によりトップリング１１及び研磨テーブル１２を回転させる。また、トップリング１１を下方に降下させて、ウェーハＷを研磨パッド１３に一定の荷重で押し当てる。この状態で、供給ノズル１４からスラリーを研磨パッド１３上に供給することにより研磨が行われる。 （ステップＳ１０３）温度センサ１６を用いて研磨パッド１３の表面温度を測定する。表面温度は摩擦熱や意図的に付加した熱源により徐々に上昇する。表面温度が所定温度以上になった場合はステップＳ１０４へ進む。 ここで、所定温度とは、例えばスラリーが劣化する温度（スラリーに含まれる錯体形成剤や酸化剤等が熱分解する温度）であり、これはスラリーの成分によって変わる。 （ステップＳ１０４）ジェット流制御部２１がラバルノズル１５から研磨パッド１３へ過冷却液滴を噴出させる。 （ステップＳ１０５）研磨パッド１３の表面温度が所定温度未満まで下がった場合はステップＳ１０６へ進み、下がらなかった場合はステップＳ１０７へ進む。 （ステップＳ１０６）ジェット流制御部２１が、研磨パッド１３の表面温度が所定温度以上にならないよう、ラバルノズル１５に供給される高圧エアの流量を調整する。また、このとき、ジェット流制御部２１は、表面温度が下がり過ぎないように、ラバルノズル１５に供給される高圧エアの流量を調整する。温度が低過ぎるとスラリーの研磨性能が低下するためである。従って、ジェット流制御部２１は、研磨パッド１３の表面温度が所定範囲に収まるように、ラバルノズル１５に供給される高圧エアの流量を調整する。 （ステップＳ１０７）ジェット流制御部２１が、研磨パッド１３の表面温度が所定温度未満になるよう、ラバルノズル１５に供給される高圧エアの流量を大きくする。高圧エアの流量を大きくすることで、ラバルノズル１５から噴出される過冷却液滴の温度は低下する。 【００２４】 このように、本実施形態によれば、研磨パッド１３の表面温度が所定温度以上になった際に、研磨パッド１３に過冷却液滴を噴出することで、その融解熱と、高圧エアによる気化熱によって、研磨パッド１３表面やスラリーを迅速に冷却することができる。過冷却液滴を用いた冷却は、従来のエアブロー方式（スラリー気化熱のみによる冷却）と比較して、冷却速度が約６倍（冷却に要する時間が約１／６）であった。 【００２５】 従って、本実施形態に係る研磨方法及び研磨装置により、研磨パッドやスラリーの冷却を効率良く行うことができる。 【００２６】 上記実施形態では、研磨パッド１３の表面温度が所定温度以上となったときに過冷却液滴の噴出を行っていたが、トップリング１１及び研磨テーブル１２の回転速度と、研磨パッド１３の表面温度の経時変化との関係を予め調べておき、表面温度が所定温度まで上昇する時間が経過したか否かによって、過冷却液滴の噴出を行ってもよい。 【００２７】 図５に、研磨装置１のラバルノズル１５の配置例を示す。ラバルノズル１５は、研磨テーブル１２の中心から外周方向に向かって直線状に複数配置される。また、ラバルノズル１５は、トップリング１１の研磨テーブル１２回転方向下流側に隣接して設けることが好ましい。この領域は、研磨直後の領域であり、研磨パッド１３表面やスラリーが最も温度の高い領域となるためである。」 （イ）図面 【図１】 ［図：0001427435000001.jpg］ 【図２】 ［図：0001427435000002.jpg］ 【図３】 ［図：0001427435000003.jpg］ 【図４】 ［図：0001427435000004.jpg］ 【図５】 ［図：0001427435000005.jpg］ ウ 引用文献１の記載事項の整理 （ア）段落０００１、０００２、０００４、０００８～０００９、００１１、００２５の記載からみて、引用文献1には、化学機械的研磨法の温度制御方法について、記載されている。 （イ）段落００１８、図３の記載からみて、上記（ア）の温度制御方法においては、エアタンク３３からの空気がラバルノズル１５に導入される。 （ウ）段落００１７～００１８，図３の記載からみて水がラバルノズル１５のスロート部の近傍に供給される。 （エ）段落０００９、００１７、００２０、００２３、図２～４の記載からみて、エアタンク３３からラバルノズル１５に導入された空気は、ラバルノズル１５を用いることによって急冷される。 （オ）段落０００９、００２０、００２３～００２４、図２～４の記載からみて、上記（エ）の急冷された空気は、研磨パッド上へと噴出される。 エ 引用文献１記載の発明 上記イ～ウより、引用文献１には、次の発明（以下「引用発明１」という。）が、記載されている 「エアタンク３３からの空気をラバルノズル１５に導入することと、 水を前記ラバルノズル１５のスロート部の近傍へ供給することと、 前記空気を前記ラバルノズル１５を用いることによって前記空気を急冷することと、 前記急冷された空気を研磨パッド１３上へと噴出させることと、 を含む、化学機械的研磨法による温度制御方法。」 （５）引用文献３の記載内容について ア 引用文献３の書誌事項 引用文献３は、本願の優先日前に頒布され、原査定でも引用文献３として引用した文献である。 特開２００７－７３６１５号公報（平成１９年３月２２日出願公開） イ 引用文献３の記載事項（下線は、当審にて付した。） （ア）発明の詳細な説明 「【００１９】 図１を参照して、本発明の第１の実施の形態に係る洗浄ノズル１０について説明する。 洗浄ノズル１０のノズル本体１８は、管内径が最小となる断面円形のスロート部（喉部）１１と、スロート部１１の上流側にあって流れ方向に縮径されたコンバージェント部１２と、スロート部１１の下流側にあって流れ方向に拡径されたダイバージェント部１３とによって形成されるラバールノズル１４を有している。なお、ラバールノズル１４は、スロート部１１の直径を、例えば、３～１０ｍｍとし、コンバージェント部１２及びダイバージェント部１３を、供給される圧縮気体が適切に断熱膨張されて低温に冷却されるような形状に、特性曲線法で設計（解析）し、求められた形状に加工して製作される。 【００２０】 ノズル本体１８には、ラバールノズル１４の上流側に、図示しない圧縮気体供給機構から２～１０気圧（例えば、５気圧）に加圧された圧縮気体Ａの一例である圧縮空気１５が供給される圧縮気体供給部１６が設けられている。また、ラバールノズル１４のダイバージェント部１３の下流側に、流れ方向に徐々に拡径する加速冷却部１７が設けられている。通常、パイプ内に供給された流体は、パイプの内側壁面付近（境界層領域）で速度が低下するが、同径のパイプでは、パイプの出口付近で速度低下を起こす境界層領域が広がり、パイプの中心以外では流体の速度が低下する。しかしながら、加速冷却部１７は、この境界層領域を考慮して流れ方向に徐々に拡径し、圧縮空気１５とノズル本体１８の内側壁面２３とによって形成される境界層領域において圧縮空気１５の速度低下の影響を抑えるので、ノズル本体１８の出口（噴射口１９）付近でも広範囲で高速の流れを十分に確保できるようになっている。 【００２１】 ここで、ノズル本体１８は、圧縮気体供給部１６、ラバールノズル１４、及び加速冷却部１７によって構成されている。また、圧縮気体供給部１６、ラバールノズル１４、及び加速冷却部１７は、例えば、テフロン（登録商標）樹脂でそれぞれ形成され、一体化されている。なお、ノズル本体１８は、一体形成して製造してもよい。スロート部１１の中心からノズル本体１８の下流側端部の噴射口１９までの距離は、例えば、１００～３００ｍｍとなって、圧縮空気１５を十分に加速することができる。 【００２２】 圧縮空気１５は、スロート部１１で音速となるように、圧縮気体供給機構で圧力が調整された後、圧縮気体供給部１６に送られている。なお、圧縮空気１５は、圧縮気体供給部１６から亜音速（例えば、５０ｍ／ｓｅｃ程度）でコンバージェント部１２に供給されている。圧縮空気１５は、コンバージェント部１２で加速され、スロート部１１で音速（３３０ｍ／ｓｅｃ程度）となり、ダイバージェント部１３で更に加速され、例えば、４００～５００ｍ／ｓｅｃ程度（例えば、５００ｍ／ｓｅｃ）の超音速となっている。なお、圧縮空気１５は、ダイバージェント部１３で、加速されて超音速となると共に、図２に示すように、温度が、およそ－６０～－１１０℃程度（本実施の形態では、およそ－１１０℃）となる。 【００２３】 また、圧縮気体供給機構には、図示しない温度及び湿度調整部が設けられ、圧縮気体供給部１６に供給される圧縮空気１５の温度を、例えば０～４０℃（例えば、常温）に、湿度を例えば、露点温度換算で－２０～０℃（例えば、－１０℃）に調整している。また、スロート部１１の上流側には整流板１９ａが設けられ、圧縮空気１５の流れが揃えられて圧力損失が少なくなり、圧縮空気１５がスムーズにスロート部１１に供給される。 【００２４】 また、洗浄ノズル１０は、管状のノズル本体１８内に供給される圧縮空気１５の流れと同方向に洗浄液（例えば、純水）２０を吐出する洗浄液供給管２１を備えている。ここで、洗浄液２０の温度を、－５～３０℃（例えば、２５℃）に調整している。洗浄液供給管２１の吐出口２２は、スロート部１１の近傍かつノズル本体１８の内側壁面２３から離れた位置、例えば、スロート部１１の中心から上流方向及び下流方向にぞれぞれスロート部１１の直径の５倍（例えば、１倍）の長さの範囲以内である吐出口配置位置（図中、２点鎖線で示す）２４内に配置されている。 【００２５】 ここで、洗浄ノズル１０は、圧縮気体供給部１６に供給された圧縮空気１５をコンバージェント部１２、スロート部１１、及びダイバージェント部１３を介して、超音速かつ低温の流れとし、圧縮空気１５中に吐出した洗浄液２０を、圧縮空気１５の高速の流れによって液滴３０とし、更に液滴３０が冷却されて微細な氷粒子３１及び過冷却液滴（０℃以下に冷却された液滴）３２のいずれか一方又は双方からなる洗浄材３３を生成させ、この洗浄材３３をノズル本体１８の噴射口１９から洗浄対象物（例えば、シリコンウエハ等）３５に噴射して衝突させ、洗浄対象物３５表面の汚染物質３６を除去する図示しない洗浄装置に組み込まれて使用される。」 （イ） 図面 「【図１】 ［図：0001427435000006.jpg］ 」 ウ 引用文献３に記載された技術的事項 上記イより、引用文献３には、次の技術的事項（以下「引用文献３記載の技術的事項」という。〔 〕内に引用文献３における根拠箇所を併記した。）が記載されている。 「コンバージェント部１２に供給された圧縮空気１５、及びスロート部１１に吐出された洗浄液２０を断熱膨張させて冷却し〔段落００１９、００２２、００２４〕、ダイバージェント部１３でおよそ－６０～－１１０℃程度となる圧縮空気１５、及び洗浄液が冷却されて生成された氷粒子３１及び過冷却液滴３２の一方又は双方を噴射するのに使用される〔段落００２２、００２５〕ラバールノズル１４において、前記スロート部１１への液体を吐出する洗浄液供給管２１を、前記スロート部１１の近傍かつノズル本体１８の内側壁面２３から離れた位置に配置された吐出口２２を有し、前記ノズル本体１８の外側から洗浄液２０を供給する構成とする〔段落００２４、図１〕こと。」 （６）引用文献４の記載内容について ア 引用文献４の書誌事項 引用文献４は、本願の優先日前に頒布され、原査定でも引用文献４として引用した文献である。 特開２００８－２７０６２７号公報（平成２０年１１月６日出願公開） イ 引用文献４の記載事項（下線は、当審にて付した。） （ア）発明の詳細な説明 「【００１９】 次に、図３を参照して、作動流体供給部１６の配管系の構成を説明する。図３において、作動流体供給部１６には、洗浄水供給源２２およびエア供給源２１から、洗浄液として使用される水および噴射媒体として使用される圧縮空気がそれぞれ供給される。アイスブラストノズル１５に洗浄水と圧縮空気を供給する配管系について説明する。エア供給源２１に接続されたエア供給管２１ａは、レギュレータ２３、フィルタ２４、冷凍式エアドライヤ２５、および開閉バルブ２７を介してアイスブラストノズル１５に接続されている。開閉バルブ２７を開閉制御することにより、アイスブラストノズル１５に供給される圧縮空気がオンオフ制御される。 【００２０】 レギュレータ２３はエア供給配管２１ａに供給される圧縮空気の圧力を調整し、フィルタ２４は共給される圧縮空気の異物を濾過して除去する。冷凍式エアドライヤ２５は圧縮空気を冷却することにより水分を凍結させて除去する。エア供給配管２１ａに接続された温度センサ２６は、供給される圧縮空気の温度を検出する。レギュレータ２３を操作することにより、アイスブラストノズル１５に供給される圧力を所定の圧力に設定することができる。 【００２１】 洗浄水供給源２２に接続された洗浄水供給配管２２ａは定量吐出型のポンプ２８に接続されており、ポンプ２８は供給された洗浄水を定量吐出する。吐出された洗浄水は、吐出水配管２８ａを介して冷却ユニット３２に送給される。吐出水配管２８ａには、流量センサ２９、逆止弁３０、フィルタ３１が介設されている。流量センサ２９は吐出水配管２８ａを流れる洗浄液の流量を検出する。逆止弁３０は洗浄液の逆流を防止し、フィルタ３１は洗浄液中の異物を濾過して除去する。 【００２２】 冷却ユニット３２には冷媒循環部３３によって冷却される不凍液などの冷媒が循環しており、吐出水配管２８ａから送給された洗浄液は、冷却ユニット３２内を通過することによって所定の設定温度（本実施の形態においては、約５℃）に冷却され、この状態で冷水供給配管３２ａを介してアイスブラストノズル１５に供給される。このとき、流量センサ２９の検出結果に基づいて制御部（図示省略）によってポンプ２８の駆動を制御することにより、アイスブラストノズル１５には常に予め設定された規定流量の冷水が供給される。 【００２３】 次に図４を参照して、アイスブラストノズル１５の構造およびアイスブラストノズル１５による洗浄媒体２０の噴射態様について説明する。図４（ａ）に示すように、アイスブラストノズル１５は、円筒形状のノズル本体部１５ａを主体としており、ノズル本体部１５ａには長手方向に貫通して内部流路孔１７が形成されている。内部流路孔１７の上流側は、エア供給配管２１ａが接続されて圧縮空気（矢印ｃ）が導入される導入部１７ａとなっている。導入部１７ａの下流側には、内部流路孔１７の流路径が流れ方向に沿って絞られた縮径部１７ｂ、流路径が最も小さく絞られた喉部１７ｃ、流路径が拡大する拡径部１７ｄおよび流路径が漸増する加速冷却部１７ｅが圧縮空気の流れ方向に順次設けられている。 【００２４】 すなわち、上述構成のアイスブラストノズル１５は、縮径部１７ｂ、喉部１７ｃおよび拡径部１７ｄを有するラバールノズルを形成している。縮径部１７ｂ、喉部１７ｃおよび拡径部１７ｄの形状は、供給される圧縮空気が断熱膨張により低温に冷却されるように設定される。喉部１７ｃの上流側には、洗浄液を圧縮空気の流れと同方向に導入する液滴供給管１８が設けられており、冷水供給配管３２ａから予め設定された規定量で供給される冷却された洗浄水は、液滴供給管１８の先端部から微細な液滴１９の状態で下流側へ放出される。 【００２５】 導入部１７ａに０．２Ｍｐａ～１ＭＰａ程度の圧力で供給された圧縮空気の流れは、縮径部１７ｂによって加速され（矢印ｄ）、音速程度の流速で喉部１７ｃを通過する。そして拡径部１７ｄを通過して拡径部１７ｄ内に移動することにより圧力が低下してさらに加速され（矢印ｅ）、断熱膨張により－１１０℃程度まで温度が低下する。そして液滴供給管１８の先端部から流出して圧縮空気の流れによって微粒化した液滴１９は、温度が低下した圧縮空気によって急激に冷却され、液滴１９が凍結した凍結粒子２０ａおよび液滴１９が過冷却のまま液滴の状態で存在する液滴２０ｂの双方またはどちらか一方が生成される。ここでは凍結粒子２０ａおよび液滴２０ｂを含む固液２相の噴霧粒子群を形成させるようにしている。そしてこのような固液２相の噴霧粒子群を含む圧縮空気の流れである洗浄媒体２０は、徐々に拡径する加速冷却部１７ｅ内で加速されながら下流側へ高速で流動し（矢印ｆ）、アイスブラストノズル１５の先端部から噴射される。」 （イ）図面 「【図３】 ［図：0001427435000007.jpg］ 【図４】 ［図：0001427435000008.jpg］ 」 ウ 引用文献４に記載された技術的事項 上記イより、引用文献４には、次の技術的事項（以下「引用文献４記載の技術的事項」という。〔 〕内に引用文献４における根拠箇所を併記した。）が記載されている。 「導入部１７ａに供給された圧縮空気、及び喉部１７ｃに供給された洗浄液を断熱膨張させて冷却し〔段落００２４～００２５〕、断熱膨張でおよそ－１１０℃程度まで温度が低下した圧縮空気１５、及び洗浄液が冷却されることで生成した凍結粒子２０ａと過冷却の状態で存在する液滴１９の双方またはどちらか一方を噴射するのに使用される〔段落００２５〕アイスブラストノズル１５において、喉部１７ｃに洗浄液を供給する液滴供給管１８を、洗浄水供給源２２に接続され、喉部１７ｃの上流側かつノズル本体部１５ａの長手方向に貫通して形成された内部流路孔１７に位置する先端部と、を有し、前記ノズル本体部１５ａの外側から洗浄液を供給する構成とする〔段落００２１～００２３、図３、図４（ａ）〕こと。」 （７）本願補正発明８と引用発明１の対比 ア 引用発明１の「エアタンク３３」は本願補正発明８の「ガス源」に相当し、同様に「空気」は「ガス」に、「ラバルノズル１５」は「先細末広ノズル」にそれぞれ相当し、そして、引用発明１の「ラバルノズル１５に導入する」は本願補正発明８の「先細末広ノズルまで送達する」に相当する。 イ 引用発明１の「水」は本願補正発明８の「液体」に相当し、同様に「供給する」は「注入する」に相当する。 そして、引用発明１の「水を前記ラバルノズル１５のスロート部の近傍へ供給すること」と本願補正発明８の「液体源に結合される入口と、前記先細末広ノズルのスロートに前記先細末広ノズルの側壁から離れて位置付けられた出口と、を有し、前記先細末広ノズルの前記側壁を貫通して延びるインジェクタを通して、前記液体源からの液体を前記先細末広ノズルのスロート内へ注入すること」を対比すると、両者は「液体を前記先細末広ノズルのスロート内へ注入すること」という点に限り一致する。 ウ 引用発明１の「ラバルノズル１５を用いることによって」は本願補正発明８の「先細末広ノズルに流すことによって」に相当し、同様に「急冷する」は「冷却する」に相当する。 エ 引用発明１の「急冷された空気を研磨パッド１３上へと噴出させること」は本願補正発明８の「冷却されたガスを研磨パッド上へと方向付けること」に相当する。 オ 引用発明１の「化学機械的研磨法による温度制御方法」は本願補正発明８の「化学機械研磨システムの温度制御方法」に相当する。 （８）本願補正発明８と引用発明１の一致点及び相違点 したがって、本願補正発明８と引用発明１は、次のアの点で一致し、イの点で相違する。 ア 一致点 ガス源からのガスを先細末広ノズルまで送達することと、 液体を前記先細末広ノズルのスロート内へ注入することと、 前記ガスを前記先細末広ノズルに流すことによって前記ガスを冷却することと、 前記冷却されたガスを研磨パッド上へと方向付けることと、 を含む、化学機械研磨システムの温度制御方法。 イ 相違点 液体を先細末広ノズルのスロート内へ注入することについて、本願補正発明８が「液体源に結合される入口と、前記先細末広ノズルのスロートに前記先細末広ノズルの側壁から離れて位置付けられた出口と、を有し、前記先細末広ノズルの前記側壁を貫通して延びるインジェクタを通して」行うのに対して、引用発明１は、液体を注入する手段（インジェクタ）の具体的な構造が明らかでない点。 （９）相違点の検討 ア ラバルノズルに関する周知技術について （ア）周知技術を例示する引用文献３記載の技術的事項について 上記（５）ウの引用文献３記載の技術的事項の「コンバージェント部１２に供給された圧縮空気１５、及びスロート部１１に吐出された洗浄液２０を断熱膨張させて冷却し、ダイバージェント部１３でおよそ－６０～－１１０℃程度となる圧縮空気１５、及び洗浄液が冷却されて生成された氷粒子３１及び過冷却液滴３２の一方又は双方を噴射するのに使用されるラバールノズル１４」は、「入口に供給された気体とスロート部に供給された液体を断熱膨張させて冷却し、低温化した気体、及び液体が低温化された氷粒や過冷却液滴を噴射する」機能を備えたラバルノズルである。 そして、引用文献３記載の技術的事項における「前記ノズル本体１８の外側から洗浄液２０を供給する」点は、図１の図示内容も考慮すれば、洗浄液を供給する洗浄液供給管２１について、その入口が何らかの液体源に結合されており、かつ、洗浄液供給管２１はノズル本体１８の内側壁面２３を貫通して延びるものとして理解される。 したがって、引用文献３記載の技術的事項の「前記スロート部１１への液体を吐出する洗浄液供給管２１を、前記スロート部１１の近傍かつノズル本体１８の内側壁面２３から離れた位置に配置された吐出口２２を有し、前記ノズル本体１８の外側から洗浄液２０を供給する構成とすること」は、「前記スロート部１１への液体を吐出する洗浄液供給管２１を、液体源に結合される入口と、前記スロート部１１の近傍かつノズル本体１８の内側壁面２３から離れた位置に配置された吐出口２２と、を有し、前記ノズル本体１８の前記内側壁面２３を貫通して延びる構成とすること」であるといえ、相違点の内容に沿って換言すると「液体の供給管（スロート部１１への液体を吐出する洗浄液供給管２１）を、液体源に結合される入口と、ラバルノズルのスロートに前記ラバルノズルの側壁から離れて位置付けられた出口（スロート部１１の近傍かつノズル本体１８の内側壁面２３から離れた位置に配置された吐出口２２）と、を有し、前記ラバルノズルの前記側壁（前記ノズル本体１８の前記内側壁面２３）を貫通して延びる構成とすること」であるといえる。 （イ）周知技術を例示する引用文献４記載の技術的事項について 上記（６）ウの引用文献４記載の技術的事項の「導入部１７ａに供給された圧縮空気、及び喉部１７ｃに供給された洗浄液を断熱膨張させて冷却し、断熱膨張でおよそ－１１０℃程度まで温度が低下した圧縮空気１５、及び洗浄液が冷却されることで生成した凍結粒子２０ａと過冷却の状態で存在する液滴１９の双方またはどちらか一方を噴射するのに使用されるアイスブラストノズル１５」は、「入口に供給された気体とスロート部に供給された液体を断熱膨張させて冷却し、低温化した気体、及び液体が低温化された氷粒や過冷却液滴を噴射する」機能を備えたラバルノズルである。 そして、引用文献４記載の技術的事項における洗浄液を供給する液滴供給管１８について、図４（ａ）の図示内容も考慮すれば、「洗浄水供給源２２に接続され」ることは「入口が洗浄水供給源２２に接続され」ることと理解され、同様に「前記ノズル本体部１５ａの外側から洗浄液を供給する構成とする」は「ノズル本体部１５ａを貫通して延びる」ものとして理解される。 したがって、引用文献４記載の技術的事項の「喉部１７ｃに洗浄液を供給する液滴供給管１８を、洗浄水供給源２２に接続され、喉部１７ｃの上流側かつノズル本体部１５ａの長手方向に貫通して形成された内部流路孔１７に先端部を有し、前記ノズル本体部１５ａの外側から洗浄液を供給する構成とすること」は、「喉部１７ｃに洗浄液を供給する液滴供給管１８を、洗浄水供給源２２に結合される入口と、喉部１７ｃの上流側かつノズル本体部１５ａの長手方向に貫通して形成された内部流路孔１７に位置する先端部と、を有し、前記ノズル本体部１５ａを貫通して延びる構成とすること」であるといえ、相違点の内容に沿って換言すると、「液体の供給管（喉部１７ｃに洗浄液を供給する液滴供給管１８）を、液体源（洗浄水供給源２２）に結合される入口と、ラバルノズルのスロートに前記ラバルノズルの側壁から離れて位置付けられた出口（喉部１７ｃの上流側かつノズル本体部１５ａの長手方向に貫通して形成された内部流路孔１７に位置する先端部）と、を有し、前記ラバルノズルの前記側壁（ノズル本体部１５ａ）を貫通して延びる構成とすること」であるといえる。 （ウ）周知技術の認定 そうすると、引用文献３記載の技術的事項、及び引用文献４記載の技術的事項は、いずれも、「入口に供給された気体とスロート部に供給された液体を断熱膨張させて冷却し、低温化した気体、及び液体が低温化された氷粒や過冷却液滴を噴射する」のに用いられるラバルノズルにおいて、「液体の供給管を、液体源に結合される入口と、ラバルノズルのスロートに前記ラバルノズルの側壁から離れて位置付けられた出口と、を有し、前記ラバルノズルの前記側壁を貫通して延びる構成とすること」を内容としており、このように用いられるラバルノズルにおいて、当該構成は周知技術であると認められる。 イ 引用発明１への周知技術の適用 引用発明１の「急冷された空気を研磨パッド１３上へと噴出させること」は、引用文献１の段落００１７～００２０の記載からみて、ラバルノズル１５が、断熱膨張による急冷効果により、氷粒子及び過冷却液滴を含む圧縮空気のジェット流を研磨パッド１３上に噴出させるものであるが、ラバルノズル１５は、上記ア（ウ）の周知技術に係るラバルノズルと機能が共通するものである。また、引用文献１、引用文献３及び引用文献４は、いずれも半導体デバイスの製造に関するものであり、引用発明１と当該周知技術は技術分野も共通するといえる。 そして、当該周知技術は上記相違点におけるインジェクタの構成に相当すると認められるところ、引用発明１で用いられるラバルノズル１５による水の供給態様（引用文献１の図３にスロートの近傍への水の供給を調整するバルブ３４を含む矢印線として図示されたものを参照。）を具体化するために、同じ機能を有するラバルノズルにおける上記周知技術である液体の供給管の配置を採用することは、化学機械研磨中の温度制御を効率的に行うために選択し得た設計的事項であり、圧縮空気に液体をスロート部近傍で液体を供給するという観点からも格別の困難性は存在しない。 したがって、本願補正発明８は、引用発明１及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである さらに、本願補正発明８は、引用発明１と同様に、断熱膨張により冷却されたガスと、凍結された液体の融解潜熱を利用して冷却を行うもの（本願の明細書の段落００７４、引用文献１の段落００２０を参照。）であり、化学機械研磨中の温度制御を効率的に行うことに対して、上記相違点により、引用発明１と比較して特異な効果、あるいは格別の効果を奏する旨の事情も認められない。 （１０）請求の理由（審判請求書）における請求人の主張 ア 請求人の主張内容 （ア）本願補正発明８が引用文献に開示されていないことについて 請求人は、請求の理由の「３－４．本願発明と引用発明の対比」において、引用文献３及び引用文献４の液体の供給管がノズルのスロート部よりも上流で側壁を貫通して中央にも延び、９０度折れ曲がってラバーノズルのスロート部まで長い距離にわたって延びる構成により、洗浄液が供給管を流れる間、上流から流れる気体の温度の影響を受けるため、所望の温度で洗浄液をスロート部に届けることが困難となる問題がある一方で、本願補正発明８は、引用文献１～５には開示されない「液体源に結合される入口と、前記先細末広ノズルのスロートに前記先細末広ノズルの側壁から離れて位置付けられた出口と、を有し、前記先細末広ノズルの前記側壁を貫通して延びるインジェクタを通して、前記液体源からの液体を前記先細末広ノズルのスロート内へ注入すること」という特徴を備えることを指摘する。 （イ）本願補正発明８の効果について そして、本願の請求項１に関する「インジェクタを通って流れる液体は、先細末広ノズルのスロートの側壁を貫通して出口まで延びるため、上流側から流れるクーラントガスの温度の影響を受けることなく、スロートの側壁から離れたインジェクタの出口に届けられるため、所望の温度の液体を均一にクーラントガスに分散させることができる効果」があり、これにより、「研磨面を均一に冷却することができる効果」があることは、本願補正発明８においても同様であることを主張する。 イ 上記アの主張の検討 これに対して、上記の本願補正発明８の「液体源に結合される入口と、前記先細末広ノズルのスロートに前記先細末広ノズルの側壁から離れて位置付けられた出口と、を有し、前記先細末広ノズルの前記側壁を貫通して延びるインジェクタを通して、前記液体源からの液体を前記先細末広ノズルのスロート内へ注入すること」については、上記（９）でも検討したとおり、引用文献３及び引用文献４記載の技術的事項も備えており、本願の図３、引用文献３の図１、引用文献４の図４（ａ）を参酌しても、いずれも、液体の供給手段のインジェクタの出口がノズルの側壁から離れて位置付けられ、ノズルの側壁を貫通して９０度折れ曲がってスロートに延びているものが図示され、本願補正発明8と引用文献３及び引用文献４記載の技術的事項がこの点で相違しないことが明らかである。 また、上記ア（ア）の「引用文献３及び引用文献４の液体の供給管がノズルのスロート部よりも上流で側壁を貫通して中央にも延び、９０度折れ曲がってラバーノズルのスロート部まで長い距離にわたって延びる構成により、洗浄液が供給管を流れる間、上流から流れる気体の温度の影響」、及び上記ア（イ）の「インジェクタを通って流れる液体は、先細末広ノズルのスロートの側壁を貫通して出口まで延びるため、上流側から流れるクーラントガスの温度の影響を受けることなく、スロートの側壁から離れたインジェクタの出口に届けられるため、所望の温度の液体を均一にクーラントガスに分散させることができる効果」は、本願補正発明８のインジェクタが貫通するノズルの側壁の部位がスロートであり、引用文献３及び引用文献４に記載されたものがスロートより上流であることを前提として主張されているが、本願補正発明８に関して、インジェクタが貫通するノズルの側壁の部位がスロートに限定されていることはないから、当該主張は請求項８の記載に基づいたものとはいえない。 また、上流側から流れるクーラントガスの温度が液体に及ぼす影響について一応みても、その具体的な内容や根拠が明細書には記載がなく、技術常識から明らかともいえないし、むしろ、本願明細書の段落００７２に、インジェクタはノズルの先細区画２０２内、スロート２０４内、末広区画２０６内、末広区画２０６の直後のいずれの位置に水滴を注入しても良いことが記載されていることを踏まえれば、本願補正発明８と引用文献３～４記載のものとの差違を推認させる根拠になるとはいえない。 以上のとおりであるから、請求人の主張は採用することができない。 （１１）本願補正発明８の進歩性 したがって、本願補正発明８は、引用発明１、及び引用文献３及び引用文献４に例示される周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 （１２）本件補正の独立特許要件についてのまとめ 上記（１１）より、本願補正発明８は、特許出願の際独立して特許を受けることができないものであり、特許法第１７条の２第６項において準用する同法１２６条７項の規定に違反するものである。 ４ 本件補正についてのむすび 上記３のとおりであるから、本件補正は、請求項８に関し、特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 よって、上記補正の却下の決定の結論のとおり決定する。 第３ 本願発明について １ 本願発明 本件補正は、上記第２のとおり却下されたので、本願の請求項１～１４に係る発明は、令和５年７月５日提出の手続補正書により補正をした特許請求の範囲の請求項１～１４に記載した事項により特定されるとおりのものであり、そのうち、請求項８に係る発明（以下「本願発明８」という。）は、前記第２［理由］１（２）に記載した事項により特定されるとおりのものである。 ２ 原査定の拒絶理由 原査定の理由となった拒絶理由は、本願の請求項１～１４に係る発明を対象とするものであるところ、そのうち請求項８に係る発明に対する拒絶理由は以下のとおりである。 （進歩性）この出願の請求項８に係る発明は、引用発明１、及び引用文献３～引用文献５に例示される周知技術に基いて、本願の優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 ３ 引用文献 原査定の拒絶理由で引用された文献は、前記第２の［理由］３（３）と同じものに引用文献５を加えた、次のとおりのものである。 引用文献１：特開２０１３－９９８１４号公報 引用文献３：特開２００７－７３６１５号公報 引用文献４：特開２００８－２７０６２７号公報 引用文献５：特開２０１８－１７８９号公報 そして、引用文献１、引用文献３、及び引用文献４の記載事項は、前記第２の［理由］３（４）～（６）に記載したとおりである。 また、引用文献５の記載事項は省略する。上記２における「引用文献３～引用文献５に例示される周知技術」は、上記第２で検討したラバルノズルに関する周知技術であって、必ずしも引用文献５を例示しなくとも、上記第２（９）アのとおり、引用文献３及び４の例示で認定できるものである。 ４ 対比・判断 本願発明８は、本願補正発明８を特定するために必要な事項である「液体源に結合される入口と、前記先細末広ノズルのスロートに前記先細末広ノズルの側壁から離れて位置付けられた出口と、を有し、前記先細末広ノズルの前記側壁を貫通して延びるインジェクタ」に関し、「先細末広ノズルの側壁から離れて」という限定事項、及び「前記先細末広ノズルの前記側壁を貫通して延びる」という限定事項を省いたものである。 そうすると、本願発明８の発明特定事項を全て含み、さらに他の事項を付加したものに相当する本願補正発明８が、前記第２の［理由］３（２）～（１１）に記載したとおり、引用発明１、及び引用文献３及び引用文献４に例示される周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明８も、同様に、引用発明１、及び引用文献３及び引用文献４に例示される周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 ５ 本願発明８の進歩性について 上記４のとおり、本願発明８は、引用発明１、及び引用文献３及び引用文献４に例示される周知技術により当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 第５ むすび 第４のとおり、本願発明８は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。 よって、結論のとおり審決する。