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特許拒絶査定不服審判

2023-015084

EUV容器及びEUVコレクタのターゲット材料デブリクリーニングのためのシステム、方法、及び装置

審判番号
2023-015084
法域
特許
審判種別
拒絶査定不服審判(拒絶査定不服の審決)
出願番号
特願2021-129453
請求日
2023年09月07日
審決日
2025年08月07日
公報発行日
2026年01月30日
結論
請求不成立
当事者
  • 【請求人】エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.
  • 【請求人代理人】稲葉 良幸
  • 【請求人代理人】大貫 敏史
  • 【請求人代理人】江口 昭彦
  • 【請求人代理人】内藤 和彦
審判長/審判官
  • 審判長 藤田 年彦
  • 審判官 東松 修太郎
  • 審判官 小澤 尚由
分類
P18 .536-WZF(G03F) / P18 .537-WZF(G03F) / P18 .121-WZF(G03F) / P18 .55 -WZF(G03F)
データ出所
審決公報(XML)

事件の表示

特願2021-129453「EUV容器及びEUVコレクタのターゲット材料デブリクリーニングのためのシステム、方法、及び装置」拒絶査定不服審判事件〔令和 3年12月 2日出願公開、特開2021-184104〕について、次のとおり審決する。

結論

結 論 本件審判の請求は、成り立たない。

理由

理 由 本願は、2016年(平成28年)12月13日(パリ条約による優先権主張外国庁受理 2016年1月21日(US)アメリカ合衆国)を国際出願日とする特願2018-533873号の一部を、令和3年8月6日に特願2021-129453号として分割出願したものであって、その請求項1~5に係る発明は、令和7年2月12日に手続補正された特許請求の範囲の請求項1~5に記載された事項により特定されるとおりのものである。 これに対して、令和7年3月28日付けで拒絶理由を通知し、期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、請求人からは何らの応答もない。 そして、上記の拒絶理由は妥当なものと認められるので、本願は、この拒絶理由によって拒絶すべきものである。 よって、結論のとおり審決する。

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2023-015084

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