2022-701111

特許第７０６８２６１号発明「クリーンルーム装置および空気循環ユニット」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第７０６８２６１号の明細書、特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正明細書、特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１－４〕、〔５－７〕について訂正することを認める。 特許第７０６８２６１号の請求項１ないし７に係る特許を維持する。

理 由 第１ 手続の経緯 特許７０６８２６１号（以下「本件特許」という。）の請求項１～７に係る特許についての出願は、平成２８年５月３１日に出願した特願２０１６－１０８６６３号の一部を令和１年１２月１９日に新たな特許出願としたものであって、令和４年５月６日にその特許権の設定登録がされ、令和４年５月１６日に特許掲載公報が発行された。本件特許異議の申立ての経緯は、次のとおりである。 令和４年１１月１４日 ：特許異議申立人新日本空調株式会社（以下「 申立人」という。）による請求項１～７に係 る特許に対する特許異議の申立て 令和５年 ２月 ３日付け：取消理由通知書 同年 ４月１０日 ：特許権者による訂正請求書及び意見書の提出 同年 ５月１６日 ：申立人による意見書の提出 第２ 訂正の適否についての判断 令和５年４月１０日に提出された訂正請求書による訂正（以下「本件訂正」という。）は、以下のとおりである（下線は訂正箇所を示すため当審で付したものである。）。 １ 訂正の内容 １－１ 一群の請求項１～４に係る訂正 （１）訂正事項１ 特許請求の範囲の請求項１に記載された 「天井、床および側壁で区画されたクリーンルームの前記床から所定の高さまで形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム装置であって、」を、 「天井、床および側壁で区画されたクリーンルームの前記床から所定の高さまで形成される空調領域を非層流方式で清浄に保つクリーンルーム装置であって、 前記空調領域には機器が存在し、前記機器が存在する前記空調領域に非層流方式で給気が行われ、前記空調領域において前記機器の熱的影響による上昇流により汚染物質がクリーンルーム内において前記空調領域よりも上方に搬送され、」に訂正する。 （請求項１の記載を引用する請求項３、４も同様に訂正する）。 （２）訂正事項２ 特許請求の範囲の請求項１に記載された 「前記クリーンルーム内の空気を循環させる空気循環ユニットを備え、」を、 「前記クリーンルーム内の前記空調領域に非層流方式で給気を行い、前記空調領域の空気を循環させる空気循環ユニットを備え、」に訂正する （請求項１の記載を引用する請求項３、４も同様に訂正する）。 （３）訂正事項３ 特許請求の範囲の請求項１に記載された 「前記空気循環ユニットの高さは前記空調領域の高さよりも高く、前記空気循環ユニットの下部は給気口を有し且つ前記空調領域内に位置するように形成され、前記空気循環ユニットの上部は吸気口を有し且つ前記クリーンルーム内において前記空調領域よりも上方の空間に突出するように形成され、前記吸気口は前記空気循環ユニットの上面に設けられ、」を、 「前記空気循環ユニットの高さは前記空調領域の高さよりも高く、前記空気循環ユニットの下部は給気口を有し且つ前記空調領域内に位置するように形成され、前記空気循環ユニットの上部は吸気口を有し且つ前記クリーンルーム内において非層流方式で空調される前記空調領域よりも上方の空間に突出するように形成され、前記吸気口は前記空気循環ユニットの上面に設けられ、」に訂正する。 （請求項１の記載を引用する請求項３、４も同様に訂正する）。 （４）訂正事項４ 特許請求の範囲の請求項２に記載された 「天井、床および側壁で区画されたクリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム装置であって、」を、 「天井、床および側壁で区画されたクリーンルームの下部に形成される空調領域を非層流方式で清浄に保つクリーンルーム装置であって、 前記空調領域には機器が存在し、前記機器が存在する前記空調領域に非層流方式で給気が行われ、前記空調領域において前記機器の熱的影響による上昇流により汚染物質がクリーンルーム内において前記空調領域よりも上方に搬送され、」に訂正する。 （請求項２の記載を引用する請求項３、４も同様に訂正する）。 （５）訂正事項５ 特許請求の範囲の請求項２に記載された 「前記クリーンルーム内の空気を循環させる空気循環ユニットを備え、」を、 「前記クリーンルーム内の前記空調領域に非層流方式で給気を行い、前記空調領域の空気を循環させる空気循環ユニットを備え、」に訂正する。 （請求項２の記載を引用する請求項３、４も同様に訂正する）。 （６）訂正事項６ 特許請求の範囲の請求項２に記載された 「前記空気循環ユニットの前面において床から所定高さまでの領域に分布して配置されて、横向きに給気する複数の前記給気口が設けられ、」を、 「前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、横向きに給気する複数の前記給気口が設けられ、」に訂正する（請求項２の記載を引用する請求項３、４も同様に訂正する）。 １－２ 一群の請求項５～７に係る訂正 （７）訂正事項７ 特許請求の範囲の請求項５に記載された 「クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム内の床上に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる空気循環ユニットであって、」を、 「天井、床および側壁で区画されたクリーンルームの下部に形成される空調領域を非層流方式で清浄に保ち、前記空調領域には機器が存在し、前記機器が存在する前記空調領域に非層流方式で給気が行われ、前記空調領域において前記機器の熱的影響による上昇流により汚染物質がクリーンルーム内において前記空調領域よりも上方に搬送されるクリーンルーム装置において、前記クリーンルーム内の床上に前記クリーンルームの側壁に沿って配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる空気循環ユニットであって、」に訂正する。 （請求項５の記載を引用する請求項６、７も同様に訂正する）。 （８）訂正事項８ 特許請求の範囲の請求項５に記載された 「清浄空気が、前記給気ダクト、前記清浄空気の給気口を経て前記クリーンルームにおいて、前記空調領域よりも上方に供給され、前記空気循環ユニットは、前記吸気口からのみで前記給気ダクトを介さずに空気を吸い込むことを特徴とする、空気循環ユニット。」を、 「清浄空気が、前記給気ダクト、前記清浄空気の給気口を経て前記クリーンルームにおいて、前記空調領域よりも上方に供給され、前記空気循環ユニットは、前記吸気口からのみで前記給気ダクトを介さずに前記吸気口の真上に位置する天井の給気口から供給される清浄空気と前記クリーンルーム内の空気を吸い込み、前記クリーンルーム内の前記空調領域に非層流方式で給気を行い、前記空調領域の空気を循環させることを特徴とする、空気循環ユニット。」に訂正する。 （請求項５の記載を引用する請求項６、７も同様に訂正する）。 １－３ 明細書の訂正 （９）訂正事項９ 明細書の段落【０００９】に記載された 「この目的を達成するために、本発明によれば、天井、床および側壁で区画されたクリーンルームの前記床から所定の高さまで形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム装置であって、前記クリーンルーム内の空気を循環させる空気循環ユニットを備え、前記空気循環ユニットの高さは前記空調領域の高さよりも高く、前記空気循環ユニットの下部は給気口を有し且つ前記空調領域内に位置するように形成され、前記空気循環ユニットの上部は吸気口を有し且つ前記クリーンルーム内において前記空調領域よりも上方の空間に突出するように形成され、前記吸気口は前記空気循環ユニットの上面に設けられ、前記空気循環ユニットの内部には、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え、前記空気循環ユニットは、前記吸気口が、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置のみで空気を吸い込み、前記複数の給気口が、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気するように前記クリーンルーム内の前記側壁に沿って前記床上に配置され、前記クリーンルーム外に前記空気循環ユニットに清浄空気を供給するための給気ダクトが設けられ、前記クリーンルーム内には前記給気ダクトがなく、前記空気循環ユニットには前記給気ダクトが直接接続されず、クリーンルームの天井には、清浄空気の給気口が設けられ、清浄空気が、前記給気ダクト、前記清浄空気の給気口を経て前記クリーンルームにおいて、前記空調領域よりも上方に供給され、前記空気循環ユニットは、前記吸気口からのみで前記給気ダクトを介さずに空気を吸い込むことを特徴とする、クリーンルーム装置が提供される。 また本発明によれば、天井、床および側壁で区画されたクリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム装置であって、前記クリーンルーム内の空気を循環させる空気循環ユニットを備え、前記空気循環ユニットの内部には、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて給気口に向けて送風するファンを備え、前記空気循環ユニットの前面において床から所定高さまでの領域に分布して配置されて、横向きに給気する複数の前記給気口が設けられ、前記空気循環ユニットの上面に前記空調領域よりも上方の位置のみで空気を吸い込む前記吸気口が設けられ、前記空気循環ユニットは前記クリーンルーム内の前記側壁に沿って前記床上に配置され、前記クリーンルームの床から所定の高さまで空調領域が形成され、前記クリーンルーム外に前記空気循環ユニットに清浄空気を供給するための給気ダクトが設けられ、前記クリーンルーム内には前記給気ダクトがなく、前記空気循環ユニットには前記給気ダクトが直接接続されず、クリーンルームの天井には、清浄空気の給気口が設けられ、清浄空気が、前記給気ダクト、前記清浄空気の給気口を経て前記クリーンルームにおいて、前記空調領域よりも上方に供給され、前記空気循環ユニットは、前記吸気口からのみで前記給気ダクトを介さずに空気を吸い込むことを特徴とする、クリーンルーム装置が提供される。」を、 「この目的を達成するために、本発明によれば、天井、床および側壁で区画されたクリーンルームの前記床から所定の高さまで形成される空調領域を非層流方式で清浄に保つクリーンルーム装置であって、前記空調領域には機器が存在し、前記機器が存在する前記空調領域に非層流方式で給気が行われ、前記空調領域において前記機器の熱的影響による上昇流により汚染物質がクリーンルーム内において前記空調領域よりも上方に搬送され、前記クリーンルーム内の前記空調領域に非層流方式で給気を行い、前記空調領域の空気を循環させる空気循環ユニットを備え、前記空気循環ユニットの高さは前記空調領域の高さよりも高く、前記空気循環ユニットの下部は給気口を有し且つ前記空調領域内に位置するように形成され、前記空気循環ユニットの上部は吸気口を有し且つ前記クリーンルーム内において非層流方式で空調される前記空調領域よりも上方の空間に突出するように形成され、前記吸気口は前記空気循環ユニットの上面に設けられ、前記空気循環ユニットの内部には、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え、前記空気循環ユニットは、前記吸気口が、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置のみで空気を吸い込み、前記複数の給気口が、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気するように前記クリーンルーム内の前記側壁に沿って前記床上に配置され、前記クリーンルーム外に前記空気循環ユニットに清浄空気を供給するための給気ダクトが設けられ、前記クリーンルーム内には前記給気ダクトがなく、前記空気循環ユニットには前記給気ダクトが直接接続されず、クリーンルームの天井には、清浄空気の給気口が設けられ、清浄空気が、前記給気ダクト、前記清浄空気の給気口を経て前記クリーンルームにおいて、前記空調領域よりも上方に供給され、前記空気循環ユニットは、前記吸気口からのみで前記給気ダクトを介さずに空気を吸い込むことを特徴とする、クリーンルーム装置が提供される。 また本発明によれば、天井、床および側壁で区画されたクリーンルームの下部に形成される空調領域を非層流方式で清浄に保つクリーンルーム装置であって、前記空調領域には機器が存在し、前記機器が存在する前記空調領域に非層流方式で給気が行われ、前記空調領域において前記機器の熱的影響による上昇流により汚染物質がクリーンルーム内において前記空調領域よりも上方に搬送され、前記クリーンルーム内の前記空調領域に非層流方式で給気を行い、前記空調領域の空気を循環させる空気循環ユニットを備え、前記空気循環ユニットの内部には、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて給気口に向けて送風するファンを備え、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、横向きに給気する複数の前記給気口が設けられ、前記空気循環ユニットの上面に前記空調領域よりも上方の位置のみで空気を吸い込む前記吸気口が設けられ、前記空気循環ユニットは前記クリーンルーム内の前記側壁に沿って前記床上に配置され、前記クリーンルームの床から所定の高さまで空調領域が形成され、前記クリーンルーム外に前記空気循環ユニットに清浄空気を供給するための給気ダクトが設けられ、前記クリーンルーム内には前記給気ダクトがなく、前記空気循環ユニットには前記給気ダクトが直接接続されず、クリーンルームの天井には、清浄空気の給気口が設けられ、清浄空気が、前記給気ダクト、前記清浄空気の給気口を経て前記クリーンルームにおいて、前記空調領域よりも上方に供給され、前記空気循環ユニットは、前記吸気口からのみで前記給気ダクトを介さずに空気を吸い込むことを特徴とする、クリーンルーム装置が提供される。」に訂正する。 （１０）訂正事項１０ 明細書の段落【００１１】に記載された 「また、本発明によれば、クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム内の床上に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる空気循環ユニットであって、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置のみで空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、前記吸気口は前記空気循環ユニットの上面に設けられ、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを内部に備え、前記クリーンルーム外に前記空気循環ユニットに清浄空気を供給するための給気ダクトが設けられ、前記クリーンルーム内には前記給気ダクトがなく、前記空気循環ユニットには前記給気ダクトが直接接続されず、クリーンルームの天井には、清浄空気の給気口が設けられ、清浄空気が、前記給気ダクト、前記清浄空気の給気口を経て前記クリーンルームにおいて、前記空調領域よりも上方に供給され、前記空気循環ユニットは、前記吸気口からのみで前記給気ダクトを介さずに空気を吸い込むことを特徴とする、空気循環ユニットが提供される。」を、 「また、本発明によれば、天井、床および側壁で区画されたクリーンルームの下部に形成される空調領域を非層流方式で清浄に保ち、前記空調領域には機器が存在し、前記機器が存在する前記空調領域に非層流方式で給気が行われ、前記空調領域において前記機器の熱的影響による上昇流により汚染物質がクリーンルーム内において前記空調領域よりも上方に搬送されるクリーンルーム装置において、前記クリーンルーム内の床上に前記クリーンルームの側壁に沿って配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる空気循環ユニットであって、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置のみで空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、前記吸気口は前記空気循環ユニットの上面に設けられ、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを内部に備え、前記クリーンルーム外に前記空気循環ユニットに清浄空気を供給するための給気ダクトが設けられ、前記クリーンルーム内には前記給気ダクトがなく、前記空気循環ユニットには前記給気ダクトが直接接続されず、クリーンルームの天井には、清浄空気の給気口が設けられ、清浄空気が、前記給気ダクト、前記清浄空気の給気口を経て前記クリーンルームにおいて、前記空調領域よりも上方に供給され、前記空気循環ユニットは、前記吸気口からのみで前記給気ダクトを介さずに前記吸気口の真上に位置する天井の給気口から供給される清浄空気と前記クリーンルーム内の空気を吸い込み、前記クリーンルーム内の空調領域に非層流方式で給気を行い、前記空調領域の空気を循環させることを特徴とする、空気循環ユニットが提供される。」に訂正する。 ２ 訂正の適否について ２－１ 一群の請求項１～４に係る訂正について （１）訂正事項１ ア 訂正の目的について 訂正事項１は、クリーンルーム装置が、「非層流方式」で空調領域を清浄に保つことを限定するとともに、空調領域に関して「前記空調領域には機器が存在し、前記機器が存在する前記空調領域に非層流方式で給気が行われ、前記空調領域において前記機器の熱的影響による上昇流により汚染物質がクリーンルーム内において前記空調領域よりも上方に搬送され、」と限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 イ 新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張又は変更について 訂正事項１に関して、本件特許の明細書の段落【００１５】には、「このクリーンルーム装置１は、気流によってクリーンルーム１０内の空気を混合・希釈させる非層流方式（コンベンショナル方式）である。」と記載され、段落【００１６】には、「クリーンルーム１０内の下部には、半導体の製造などを行うために清浄に保たれた空調領域１１が形成されている。空調領域１１は、床１０ｂから所定の高さまでの領域であり、空調領域１１には、半導体製造装置などの各種の機器１２が存在している。」と記載され、段落【００４４】には、「また、空調領域１１において機器１２や人間などの周りに生じた浮遊粒子ａなどの汚染物質は、機器１２や人間などの熱的影響によってやがて加熱され、緩やかに上昇する。その上昇流により、空調領域１１に生じた浮遊粒子ａなどの汚染物質は、クリーンルーム１０内において空調領域１１よりも上方に搬送される。」と記載されている。 したがって、訂正事項１は、本件特許の明細書の段落【００１５】、【００１６】、【００４４】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面（以下「願書に添付した明細書等」という。）に記載した事項の範囲内においてしたものである。 そして、訂正事項１は、特許請求の範囲を減縮するものであり、カテゴリーや対象を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 よって、訂正事項１は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （２）訂正事項２ ア 訂正の目的について 訂正事項２は、空気循環ユニットが、「前記空調領域に非層流方式で給気を行い、前記空調領域」の空気を循環させることを限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 イ 新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張又は変更について 訂正事項２に関して、本件特許の明細書の段落【００１５】には、「このクリーンルーム装置１は、気流によってクリーンルーム１０内の空気を混合・希釈させる非層流方式（コンベンショナル方式）である。」と記載され、段落【００１６】には、「クリーンルーム１０内の下部には、半導体の製造などを行うために清浄に保たれた空調領域１１が形成されている。」と記載されており、クリーンルーム装置１を構成する空気循環ユニットもクリーンルーム内の空調領域に非層流方式で給気を行うことは明らかである。 したがって、訂正事項２は、本件特許の明細書の段落【００１５】、【００１６】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 そして、訂正事項２は、特許請求の範囲を減縮するものであり、カテゴリーや対象を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 よって、訂正事項２は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （３）訂正事項３ ア 訂正の目的について 訂正事項３は、クリーンルーム内における空調領域が「非層流方式で空調される」ことを限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 イ 新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張又は変更について 訂正事項３に関して、本件特許の明細書の段落【００１５】には、「このクリーンルーム装置１は、気流によってクリーンルーム１０内の空気を混合・希釈させる非層流方式（コンベンショナル方式）である。」と記載されており、クリーンルーム内における空調領域が非層流方式で空調されることは明らかである。 したがって、訂正事項３は、本件特許の明細書の段落【００１５】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 そして、訂正事項３は、特許請求の範囲を減縮するものであり、カテゴリーや対象を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 よって、訂正事項３は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （４）訂正事項４ ア 訂正の目的について 訂正事項４は、クリーンルーム装置が、「非層流方式」で空調領域を清浄に保つことを限定するとともに、空調領域に関して「前記空調領域には機器が存在し、前記機器が存在する前記空調領域に非層流方式で給気が行われ、前記空調領域において前記機器の熱的影響による上昇流により汚染物質がクリーンルーム内において前記空調領域よりも上方に搬送され、」と限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 イ 新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張又は変更について 訂正事項４に関して、本件特許の明細書の段落【００１５】には、「このクリーンルーム装置１は、気流によってクリーンルーム１０内の空気を混合・希釈させる非層流方式（コンベンショナル方式）である。」と記載され、段落【００１６】には、「クリーンルーム１０内の下部には、半導体の製造などを行うために清浄に保たれた空調領域１１が形成されている。空調領域１１は、床１０ｂから所定の高さまでの領域であり、空調領域１１には、半導体製造装置などの各種の機器１２が存在している。」と記載され、段落【００４４】には、「また、空調領域１１において機器１２や人間などの周りに生じた浮遊粒子ａなどの汚染物質は、機器１２や人間などの熱的影響によってやがて加熱され、緩やかに上昇する。その上昇流により、空調領域１１に生じた浮遊粒子ａなどの汚染物質は、クリーンルーム１０内において空調領域１１よりも上方に搬送される。」と記載されている。 したがって、訂正事項４は、本件特許の明細書の段落【００１５】、【００１６】、【００４４】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 そして、訂正事項４は、特許請求の範囲を減縮するものであり、カテゴリーや対象を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 よって、訂正事項４は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （５）訂正事項５ ア 訂正の目的について 訂正事項５は、空気循環ユニットが、「前記空調領域に非層流方式で給気を行い、前記空調領域」の空気を循環させることを限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 イ 新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張又は変更について 訂正事項５に関して、本件特許の明細書の段落【００１５】には、「このクリーンルーム装置１は、気流によってクリーンルーム１０内の空気を混合・希釈させる非層流方式（コンベンショナル方式）である。」と記載され、段落【００１６】には、「クリーンルーム１０内の下部には、半導体の製造などを行うために清浄に保たれた空調領域１１が形成されている。」と記載されており、クリーンルーム装置１を構成する空気循環ユニットもクリーンルーム内の空調領域に非層流方式で給気を行うことは明らかである。 したがって、訂正事項５は、本件特許の明細書の段落【００１５】、【００１６】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 そして、訂正事項５は、特許請求の範囲を減縮するものであり、カテゴリーや対象を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 よって、訂正事項５は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （６）訂正事項６ ア 訂正の目的について 訂正事項６は、複数の給気口が、「前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置され」ることを限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 イ 新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張又は変更について 訂正事項６に関して、本件特許の明細書の段落【００２４】には、「一方、複数の給気口３２は、空気循環ユニット３０の前面において、クリーンルーム１０の床１０ｂから空調領域１１とほぼ同じ高さまでの領域に全体に分布して配置されている。」と記載されている。 したがって、訂正事項６は、本件特許の明細書の段落【００２４】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 そして、訂正事項６は、特許請求の範囲を減縮するものであり、カテゴリーや対象を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 よって、訂正事項６は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （７）一群の請求項について 訂正前の請求項１、３、４について、請求項３、４は、直接的又は間接的に請求項１を引用しているのであって、訂正事項１～３によって記載が訂正される請求項１に連動して訂正されるものである。また、訂正前の請求項２～４について、請求項３、４は、直接的又は間接的に請求項２を引用しているのであって、訂正事項４～６によって記載が訂正される請求項２に連動して訂正されるものである。したがって、訂正前の請求項１～４に対応する訂正後の請求項１～４は、特許法第１２０条の５第４項に規定する一群の請求項である。 ２－２ 一群の請求項５～７に係る訂正について （８）訂正事項７ ア 訂正の目的について 訂正事項７は、クリーンルーム装置が、「天井、床および側壁で区画された」クリーンルームの下部に形成される空調領域を「非層流方式」で清浄に保つことを限定するとともに、「前記空調領域には機器が存在し、前記機器が存在する前記空調領域に非層流方式で給気が行われ、前記空調領域において前記機器の熱的影響による上昇流により汚染物質がクリーンルーム内において前記空調領域よりも上方に搬送される」と限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 イ 新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張又は変更について 訂正事項７に関して、本件特許の明細書の段落【００１５】には、「このクリーンルーム装置１は、気流によってクリーンルーム１０内の空気を混合・希釈させる非層流方式（コンベンショナル方式）である。」と記載され、段落【００１６】には、「クリーンルーム１０の内部は、天井１０ａ、床（床スラブ）１０ｂ及び側壁１０ｃで区画された閉鎖空間になっている。かかるクリーンルーム１０は、例えば半導体の製造分野などにおいて広く利用される。クリーンルーム１０内の下部には、半導体の製造などを行うために清浄に保たれた空調領域１１が形成されている。空調領域１１は、床１０ｂから所定の高さまでの領域であり、空調領域１１には、半導体製造装置などの各種の機器１２が存在している。」と記載され、段落【００４４】には、「また、空調領域１１において機器１２や人間などの周りに生じた浮遊粒子ａなどの汚染物質は、機器１２や人間などの熱的影響によってやがて加熱され、緩やかに上昇する。その上昇流により、空調領域１１に生じた浮遊粒子ａなどの汚染物質は、クリーンルーム１０内において空調領域１１よりも上方に搬送される。」と記載されている。 したがって、訂正事項７は、本件特許の明細書の段落【００１５】、【００１６】、【００４４】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面（以下「願書に添付した明細書等」という。）に記載した事項の範囲内においてしたものである。 そして、訂正事項７は、特許請求の範囲を減縮するものであり、カテゴリーや対象を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 よって、訂正事項７は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （９）訂正事項８ ア 訂正の目的について 訂正事項８は、空気循環ユニットが、「前記吸気口の真上に位置する天井の給気口から供給される清浄空気と前記クリーンルーム内の空気を吸い込み、前記クリーンルーム内の前記空調領域に非層流方式で給気を行い、前記空調領域の空気を循環させる」ことを限定するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。 イ 新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張又は変更について 訂正事項８に関して、本件特許の明細書の段落【００１５】には、「このクリーンルーム装置１は、気流によってクリーンルーム１０内の空気を混合・希釈させる非層流方式（コンベンショナル方式）である。」と記載され、段落【００１８】には、「クリーンルーム１０の天井１０ａには、清浄空気ＣＡの給気口２０が設けられている。清浄空気ＣＡの給気口２０は、後述する空気循環ユニット３０の真上に位置している。」と記載され、段落【００３９】には、「すなわち、空気循環ユニット３０に設けられたファン３７の動力により、クリーンルーム１０内における空調領域１１よりも上方の空気が、給気口２０から空気循環ユニット３０の真上位置に供給された清浄空気ＣＡと一緒に、吸気口３１から空気循環ユニット３０の内部に吸い込まれる。」と記載されている。 したがって、訂正事項８は、本件特許の明細書の段落【００１５】、【００１８】、【００３９】の記載に基づくものであるから、願書に添付した明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。 そして、訂正事項８は、特許請求の範囲を減縮するものであり、カテゴリーや対象を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 よって、訂正事項８は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 （１０）一群の請求項について 訂正前の請求項５～７について、請求項６、７は、直接的又は間接的に請求項５を引用しているのであって、訂正事項７、８によって記載が訂正される請求項５に連動して訂正されるものである。したがって、訂正前の請求項５～７に対応する訂正後の請求項５～７は、特許法第１２０条の５第４項に規定する一群の請求項である。 ２－３ 明細書の訂正について （１１）訂正事項９ ア 訂正の目的について 訂正事項９は、上記訂正事項１～６に係る訂正にともない、特許請求の範囲の記載と願書に添付した明細書との整合を図るため、願書に添付した明細書の段落【０００９】の記載を訂正するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。 イ 新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張又は変更について 訂正事項９は、上記訂正事項１～６と同様に、願書に添付した明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 よって、訂正事項８は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 ウ 一群の請求項との関係について 訂正事項９によって訂正された明細書の段落【０００９】は、訂正後の請求項１に対応する記載になっている。 そして、上記２－１で述べたように、訂正前の請求項１～４に対応する訂正後の請求項１～４は、特許法第１２０条の５第４項に規定する「一群の請求項」である。したがって、訂正後の請求項１～４が、訂正事項９による明細書の訂正と関係する請求項である。 よって、訂正事項９は、明細書の訂正と関係する請求項を含む一群の請求項の全てについて行うものであるから、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第４項に適合するものである。 （１２）訂正事項１０ ア 訂正の目的について 訂正事項１０は、上記訂正事項７、８に係る訂正にともない、特許請求の範囲の記載と願書に添付した明細書との整合を図るため、願書に添付した明細書の段落【００１１】の記載を訂正するものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第３号に規定する明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。 イ 新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張又は変更について 訂正事項１０は、上記訂正事項７、８と同様に、願書に添付した明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 よって、訂正事項１０は、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第５項及び第６項に適合するものである。 ウ 一群の請求項との関係について 訂正事項１０によって訂正された明細書の段落【００１１】は、訂正後の請求項５に対応する記載になっている。 そして、上記２－２で述べたように、訂正前の請求項５～７に対応する訂正後の請求項５～７は、特許法第１２０条の５第４項に規定する「一群の請求項」である。したがって、訂正後の請求項５～７が、訂正事項１０による明細書の訂正と関係する請求項である。 よって、訂正事項１０は、明細書の訂正と関係する請求項を含む一群の請求項の全てについて行うものであるから、特許法第１２０条の５第９項で準用する特許法第１２６条第４項に適合するものである。 ３ 小活 したがって、本件訂正の訂正事項１～１０は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号又は第３号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第４項～第６項に適合するから、特許請求の範囲及び明細書を、訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲、訂正明細書のとおり、訂正後の請求項〔１－４〕、〔５－７〕について訂正することを認める。 第３ 訂正後の本件発明 本件訂正により訂正された請求項１～７に係る発明（以下「本件発明１」～「本件発明７」ということがある。）は、次のとおりのものである。 「【請求項１】 天井、床および側壁で区画されたクリーンルームの前記床から所定の高さまで形成される空調領域を非層流方式で清浄に保つクリーンルーム装置であって、 前記空調領域には機器が存在し、前記機器が存在する前記空調領域に非層流方式で給気が行われ、前記空調領域において前記機器の熱的影響による上昇流により汚染物質がクリーンルーム内において前記空調領域よりも上方に搬送され、 前記クリーンルーム内の前記空調領域に非層流方式で給気を行い、前記空調領域の空気を循環させる空気循環ユニットを備え、 前記空気循環ユニットの高さは前記空調領域の高さよりも高く、前記空気循環ユニットの下部は給気口を有し且つ前記空調領域内に位置するように形成され、前記空気循環ユニットの上部は吸気口を有し且つ前記クリーンルーム内において非層流方式で空調される前記空調領域よりも上方の空間に突出するように形成され、前記吸気口は前記空気循環ユニットの上面に設けられ、 前記空気循環ユニットの内部には、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え、 前記空気循環ユニットは、前記吸気口が、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置のみで空気を吸い込み、前記複数の給気口が、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気するように前記クリーンルーム内の前記側壁に沿って前記床上に配置され、 前記クリーンルーム外に前記空気循環ユニットに清浄空気を供給するための給気ダクトが設けられ、前記クリーンルーム内には前記給気ダクトがなく、前記空気循環ユニットには前記給気ダクトが直接接続されず、 クリーンルームの天井には、清浄空気の給気口が設けられ、 清浄空気が、前記給気ダクト、前記清浄空気の給気口を経て前記クリーンルームにおいて、前記空調領域よりも上方に供給され、前記空気循環ユニットは、前記吸気口からのみで前記給気ダクトを介さずに空気を吸い込むことを特徴とする、クリーンルーム装置。 【請求項２】 天井、床および側壁で区画されたクリーンルームの下部に形成される空調領域を非層流方式で清浄に保つクリーンルーム装置であって、 前記空調領域には機器が存在し、前記機器が存在する前記空調領域に非層流方式で給気が行われ、前記空調領域において前記機器の熱的影響による上昇気流により汚染物質がクリーンルーム内において前記空調領域よりも上方に搬送され、 前記クリーンルーム内の前記空調領域に非層流方式で給気を行い、前記空調領域の空気を循環させる空気循環ユニットを備え、 前記空気循環ユニットの内部には、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて給気口に向けて送風するファンを備え、 前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、横向きに給気する複数の前記給気口が設けられ、 前記空気循環ユニットの上面に前記空調領域よりも上方の位置のみで空気を吸い込む前記吸気口が設けられ、 前記空気循環ユニットは前記クリーンルーム内の前記側壁に沿って前記床上に配置され、 前記クリーンルームの床から所定の高さまで空調領域が形成され、 前記クリーンルーム外に前記空気循環ユニットに清浄空気を供給するための給気ダクトが設けられ、前記クリーンルーム内には前記給気ダクトがなく、前記空気循環ユニットには前記給気ダクトが直接接続されず、 クリーンルームの天井には、清浄空気の給気口が設けられ、 清浄空気が、前記給気ダクト、前記清浄空気の給気口を経て前記クリーンルームにおいて、前記空調領域よりも上方に供給され、前記空気循環ユニットは、前記吸気口からのみで前記給気ダクトを介さずに空気を吸い込むことを特徴とする、クリーンルーム装置。 【請求項３】 前記複数の給気口には、前記空調領域に向けて横向きに給気される空気に対して旋回成分を与えるフィンが設けられていることを特徴とする、請求項１または２に記載のクリーンルーム装置。 【請求項４】 前記冷却器および高性能フィルタは、前記複数の給気口の内側全体を覆う位置に配置されていることを特徴とする、請求項１～３の何れか一項に記載のクリーンルーム装置。 【請求項５】 天井、床および側壁で区画されたクリーンルームの下部に形成される空調領域を非層流方式で清浄に保ち、前記空調領域には機器が存在し、前記機器が存在する前記空調領域に非層流方式で給気が行われ、前記空調領域において前記機器の熱的影響による上昇流により汚染物質がクリーンルーム内において前記空調領域よりも上方に搬送されるクリーンルーム装置において、前記クリーンルーム内の床上に前記クリーンルームの側壁に沿って配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる空気循環ユニットであって、 前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置のみで空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、前記吸気口は前記空気循環ユニットの上面に設けられ、 冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを内部に備え、 前記クリーンルーム外に前記空気循環ユニットに清浄空気を供給するための給気ダクトが設けられ、前記クリーンルーム内には前記給気ダクトがなく、前記空気循環ユニットには前記給気ダクトが直接接続されず、 クリーンルームの天井には、清浄空気の給気口が設けられ、 清浄空気が、前記給気ダクト、前記清浄空気の給気口を経て前記クリーンルームにおいて、前記空鯛領域よりも上方に供給され、前記空気循環ユニットは、前記吸気口からのみで前記給気ダクトを介さずに前記吸気口の真上に位置する天井の給気口から供給される清浄空気と前記クリーンルーム内の空気を吸い込み、前記クリーンルーム内の前記空調領域に非層流方式で給気を行い、前記空調領域の空気を循環させることを特徴とする、空気循環ユニット。 【請求項６】 前記複数の給気口には、前記空調領域に向けて横向きに給気される空気に対して旋回成分を与えるフィンが設けられていることを特徴とする、請求項５に記載の空気循環ユニット。 【請求項７】 前記冷却器および高性能フィルタは、前記複数の給気口の内側全体を覆う位置に配置されていることを特徴とする、請求項５または６に記載の空気循環ユニット。」 第４ 取消理由通知に記載した取消理由について 当審が令和５年２月３日付けの取消理由通知に記載した取消理由は、次のとおりである。なお、取消理由通知に記載した取消理由は、特許異議申立書に記載した特許異議申立理由と同様のものである。 １ （新規事項）請求項２～４に係る特許は、令和３年１２月６日付け手続補正書による補正（以下「本件補正」という。）が願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面（以下「当初明細書等」という。）に記載した事項の範囲内においてしたものではないから、特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たしていない補正をした特許出願に対してされたものである。 ２ （明確性）請求項２～４に係る特許は、特許請求の範囲の記載が下記の点で、不備があるため、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。 ３ （進歩性）本件特許の請求項１～７に係る発明は、本件特許の出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、本件特許の請求項１～７に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。 記 甲第１号証：特開２０００－２９１９８９号公報 甲第２号証：特開平８－１０５６４１号公報 甲第３号証：特許５３６１１４０号公報 甲第４号証：実願昭６０－１３１２０７号（実開昭６２－３８５３３号公 報）のマイクロフィルム （以下、甲第１号証～甲第４号証を「甲１」～「甲４」という。） ・理由１（新規事項）について 本件補正により補正された請求項２の「前記空気循環ユニットの前面において床から所定高さまでの領域に分布して配置されて、横向きに給気する複数の前記給気口が設けられ、」との記載は、当初明細書等に記載したものではない。 請求項２を直接的又は間接的に引用する請求項３～４も同様である。 ・理由２（明確性）について 請求項２においては、給気口は、「所定高さ」までの領域に配置され、空調領域は、「所定の高さ」まで形成されることとなり、空調領域に対して給気口をどのように配置するのかが明確でない。さらに、「所定の高さ」と「所定高さ」が同じ高さを意味するのか否かについても明確でない。 請求項２を直接的又は間接的に引用する請求項３～４も同様である。 ・理由３（進歩性）について （１）本件発明１、３、５、６は、甲１発明及び甲２、３に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 （２）本件発明２は、甲１発明及び甲２に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 （３）本件発明４、７は、甲１発明及び甲２～４に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 第５ 当審の判断 １ 特許法第１７条の２第３項（新規事項）について 訂正事項６に係る訂正により、特許請求の範囲の請求項２に記載された「前記空気循環ユニットの前面において床から所定高さまでの領域に分布して配置されて、横向きに給気する複数の前記給気口が設けられ、」は、「前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、横向きに給気する複数の前記給気口が設けられ、」に訂正された。 そして、訂正事項６の「前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、横向きに給気する複数の前記給気口が設けられ」る点は、当初明細書等の段落【００２４】に記載されているから、本件特許の請求項２に係る発明は、当初明細書等に記載した範囲内のものとなった。 よって、請求項２に係る発明、及び請求項２を直接的又は間接的に引用する請求項３～４に係る発明は、特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たすものである。 ２ 特許法第３６条第６項第２号（明確性）について 訂正事項６に係る訂正により、「前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、横向きに給気する複数の前記給気口が設けられ、」と特定されたため、「所定の高さ」が「前記空調領域と向かい合う高さ」であること、及び、給気口を空調領域に対してどのように配置するのかが明確となった。 よって、請求項２に係る発明、及び請求項２を直接的又は間接的に引用する請求項３～４に係る発明は、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たすものである。 ３ 特許法第２９条第２項（進歩性）について （１）甲各号証の記載 ア 甲１ 甲１には、以下の事項が記載されている（下線は、当審にて付したものである。また、「・・・」は、記載の省略を意味する。）。 (ア)「【０００５】本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、暖房時や温風を吹き出す場合に小風量、低速で給気しても、室に対して好適な空調を実施することができる空調設備、並びに空調方法を提供して前記問題の解決を図ることをその目的としていてる。」 (イ)「【００１５】請求項５の空調設備は、外気調和機が実質的に外気の湿度の調整を行うように構成されると共に、前記流路中に高性能フィルタを設けたことを特徴としている。かかる構成によって、顕熱交換器は、温度調整のみに専従することができるから高い精度で給気の温湿度制御が行える。そして高性能フィルタを有しているので、クリーンルームに適した設備を容易に構成できる。 ・・・ 【００１７】 【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の好ましい実施の形態について説明する。図１は、本発明を適用した室としての高さ１３．４ｍの高天井、大空間の機械組立工場の室Ｒを平面からみた様子を示し、図２はその縦断面を概略的に示している。 【００１８】室Ｒは、その３つの側面が壁体１、２、３で囲まれ、残りの側面は製品搬入出口４を形成している。壁体１、２、３は基本的に同一の構成を有し、本実施の形態では間仕り切壁５が建て込まれて壁体の内壁を構成している。なおこの間仕切り壁５には公知のプラスターボード２枚貼の壁パネルを用いることができる。そして壁体１、２、３のいずれも図２に示したように、内壁を構成する間仕切り壁５と外壁６とによって、その内部に流路としての調和空気の循環路７が形成されている。なおこの循環路７の上面は後述のダクト１６接続のための開口を残してパネル材７ａで塞がれている。また間仕切り壁５は柱８と面一に建て込まれ、室Ｒのデッドスペースを有効利用している。 【００１９】室Ｒの外部、例えば上部には、外気調和機１１が設置されている。この外気調和機１１は、冷却コイル１２、加熱コイル１３、加湿器１４、送風機１５を備えており、導入した外気ＯＡに対して、実質的に湿度の調整を行うように構成されている。そしてそのようにして湿度調整された空気は、ダクト１６を通じて前記循環路７に供給されるようになっている。なおこの外気調和機１１には、起動運転時のエネルギ効率を向上させるため、天井部に設けた取り入れ口１７から室Ｒの還気が適宜導入されるようになっている。また、例えば天井部における他の位置には、外気処理風量に相当する量を排気するための排気口１８が設けられている。 【００２０】本実施の形態において室Ｒの空調対象域Ｓの高さＨは５ｍに設定されており、したがって、給気口２１は、高さＨより低い位置で床面Ｆの近傍であって、給気口２１の上端が３．２ｍとなる位置に設定されている。また本実施の形態では、図１に示すように、対向する壁体１、３にあっては、１スパン、すなわち柱８、８の間につき、１つの単位間仕切り壁５が配置され、かつ１スパンおきに交互に循環路７を形成するように構成されている。すなわち、壁体１においては、壁体１ｂ、１ｄにのみ循環路７と給気口２１とが形成され、壁体３においては壁体３ｃ、３ｅにのみ循環路７と給気口２１とが形成されている。」 (ウ)「【００２４】循環路７を有する壁体、例えば壁体１ｂ、１ｄ、２ａ～２ｄ、３ｃ、３ｅの内側の各間仕り切壁５における所定の高さ、すなわち空調対象域Ｓよりも高い位置には、室Ｒからの還気ＲＡを取り入れて循環路７に導入するための還気取り入れ口３１が形成されている。この還気取り入れ口３１には、循環ファンとして有圧扇３２が設けられており、吸い込んだ還気ＲＡを循環路７内に送風するようになっている。さらにこの有圧扇３２には逆流防止のためのチャッキダンパ（図示せず）が押し込み側、すなわち循環路７側に取り付けられている。 【００２５】本実施の形態では、空調対象域Ｓの温度成層が崩れることを避けるべく、前記有圧扇３２は、高さ１０ｍの位置に取り付けられており、また風速３．８ｍ／ｓで還気ＲＡを吸い込むように設定されている。なお有圧扇３２については、冷房負荷減少時にその台数制御を行いつつ、温度成層の高さを一定に維持できるようにその計裝システムを構成すれば、空気搬送動力を低減でき、さらなる省エネルギ効果が期待できる。 【００２６】そして各循環路７における給気口２１の上流側であって、前記還気取り入れ口３１の下流側には、顕熱交換器４１が配置されている。この顕熱交換器４１は、室Ｒ内の温度と空気の湿度を検知して結露を生じないよう冷水流量を二方弁で制御する公知のもので、例えば高砂熱学工業株式会社の製品「ドライコイル（登録商標）」が好適に利用できる。前記したように外気調和機１１は送風機１５の他に冷却コイル１２、加熱コイル１３、加湿器１４を備えているが、減湿処理は、冷却コイル１２が担い、加湿は加熱コイル１３＋加湿器１４が担っており、室Ｒ内を所定温度に制御することは、この顕熱交換器４１によって行われている。 【００２７】本実施の形態にかかる空調設備は以上のように構成されており、例えば室Ｒの冷房運転を実施する場合には、図４に示したように、給気口２１のモータダンパ２４の羽根Ｂ1～Ｂ16は、例えば全て水平位置に制御されて、すなわち吹き出し方向が水平となるように制御されて全て開の状態にされる。そして外気調和機１１によって水分量が制御された処理済みの外気は、循環路７へと送られ、室Ｒからの還気ＲＡと循環路７内で混合され、その後顕熱交換器４１で所定の温度に制御された後、給気口２１から室Ｒに給気される。」 (エ)「【００３１】本発明をクリーンルームに応用する場合には、例えば顕熱交換器４１の下流側に高性能フィルタ４２、例えばＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタなどを取り付ける。この際の載置の方法やシールの方法は公知の方法を用いることができるのでその具体的な説明は省略する。そのように高性能フィルタを介装させると、給気口２１から吹き出される給気ＳＡは、冷房時には清浄空気の水平層流となって室Ｒ内をクリーン化する。一方暖房時には床Ｆから天井面に向かって清浄空気が上昇することになるが、床面を防塵塗装するなどの対策を講じることで、塵埃の巻き上げ現象を防止できる。したがって、クリーンルームにおける暖房運転であっても支障がない。」 （オ）「【図２】 ［図：0001403659000001.jpg］ 」 （カ）段落【００１５】には、「高性能フィルタを有しているので、クリーンルームに適した設備を容易に構成できる」ことが記載されており、段落【００３１】には、「クリーンルームに応用する場合には、例えば顕熱交換器４１の下流側に高性能フィルタ４２」「を取り付ける」ことが記載されているから、図２には、顕熱交換器４１の下流側に高性能フィルタ４２を取り付けたクリーンルームが示されているといえる。 そして、図２のクリーンルームは、天井、床Ｆおよび外壁６により区画されていることが把握でき、段落【００１７】の「高さ１３．４ｍの高天井、大空間の機械組立工場の室Ｒ」との記載、段落【００２０】の「室Ｒの空調対象域Ｓの高さＨは５ｍに設定されており」との記載を踏まえると、甲１には、天井、床および側壁で区画され、高さ１３．４ｍの高天井のクリーンルームの前記床から５ｍに設定された空調対象域Ｓを清浄空気によりクリーン化する空調設備が記載されているといえる。 （キ）段落【００１８】には、「内壁を構成する間仕切り壁５と外壁６とによって、その内部に流路としての調和空気の循環路７が形成され」、「循環路７の上面は」「パネル材７ａで塞がれている」ことが記載されており、この間仕切り壁５と外壁６と上面がパネル材７ａで塞がれた構造を有し、内部に循環路７が形成されたものを、循環ユニットということができる。 以上を踏まえると、図２には、クリーンルーム内の空調対象域Ｓに給気を行い、空調対象域Ｓの空気を循環させる循環ユニットが示されているといえる。 （ク）図２には、循環ユニットを構成する間仕切り壁５の高さが、空調対象域Ｓの高さよりも高いことが示されている。また、段落【００２０】には、「空調対象域Ｓの高さＨは５ｍに設定されており、したがって、給気口２１は、高さＨより低い位置で床面Ｆの近傍であって、給気口２１の上端が３．２ｍとなる位置に設定されている。」と記載され、段落【００２４】には、「各間仕り切壁５における所定の高さ、すなわち空調対象域Ｓよりも高い位置には、室Ｒからの還気ＲＡを取り入れて循環路７に導入するための還気取り入れ口３１が形成されている。この還気取り入れ口３１には、循環ファンとして有圧扇３２が設けられており、吸い込んだ還気ＲＡを循環路７内に送風するようになっている。」と記載されている。 よって、甲１には、循環ユニットの高さは空調対象域Ｓよりも高く、循環ユニットの下部は給気口２１を有し且つ空調対象域Ｓ内に位置するように形成され、循環ユニットの上部は還気取り入れ口３１を有し且つクリーンルーム内において空調対象域Ｓよりも上方の空間に突出するように形成され、還気取り入れ口３１は、循環ユニットを構成する間仕り切壁５における所定の高さに設けられることが記載されているといえる。 （ケ）段落【００２４】には、「空調対象域Ｓよりも高い位置には、室Ｒからの還気ＲＡを取り入れて循環路７に導入するための還気取り入れ口３１が形成されている。この還気取り入れ口３１には、循環ファンとして有圧扇３２が設けられており、吸い込んだ還気ＲＡを循環路７内に送風するようになっている。」と記載され、段落【００２７】には、「外気調和機１１によって水分量が制御された処理済みの外気は、循環路７へと送られ、室Ｒからの還気ＲＡと循環路７内で混合され、その後顕熱交換器４１で所定の温度に制御された後、給気口２１から室Ｒに給気される。」と記載され、段落【００３１】には、「本発明をクリーンルームに応用する場合には、例えば顕熱交換器４１の下流側に高性能フィルタ４２、例えばＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタなどを取り付ける」と記載されている。 よって、甲１には、循環ユニットの内部には、顕熱交換器４１および高性能フィルタ４２と、クリーンルーム内の空気を前記還気取り入れ口３１から吸い込み、顕熱交換器４１および高性能フィルタ４２を通過させて前記給気口２１に向けて送風する有圧扇３２を備えることが記載されているといえる。 （コ）段落【００２４】には、「各間仕り切壁５における所定の高さ、すなわち空調対象域Ｓよりも高い位置には、室Ｒからの還気ＲＡを取り入れて循環路７に導入するための還気取り入れ口３１が形成されている。」と記載されているから、還気取り入れ口３１が空気を吸い込むのは、空調対象域Ｓよりも上方の位置のみといえる。 また、段落【００２０】には、「空調対象域Ｓの高さＨは５ｍに設定されており、したがって、給気口２１は、高さＨより低い位置で床面Ｆの近傍であって、給気口２１の上端が３．２ｍとなる位置に設定されている。・・・壁体１においては、壁体１ｂ、１ｄにのみ循環路７と給気口２１とが形成され」と記載され、図２には、給気口２１が、空調対象域Ｓに向けて横向きに給気するように前記クリーンルーム内の外壁６に沿って床上に配置される点が示されている。 よって、甲１には、循環ユニットは、還気取り入れ口３１がクリーンルームの内部であって空調対象域Ｓよりも上方の位置のみで空気を吸い込み、複数の給気口２１が、循環ユニットを構成する間仕り切壁５に配置され、給気口２１の上端が３．２ｍとなる位置に設定されて、空調対象域Ｓに向けて横向きに給気するようにクリーンルーム内の外壁６に沿って床上に配置される点が記載されているといえる。 （サ）段落【００１８】には、「循環路７の上面は後述のダクト１６接続のための開口を残してパネル材７ａで塞がれている」ことが記載されており、段落【００１９】には、「室Ｒの外部、例えば上部には、外気調和機１１が設置されている。この外気調和機１１は、冷却コイル１２、加熱コイル１３、加湿器１４、送風機１５を備えており、導入した外気ＯＡに対して、実質的に湿度の調整を行うように構成されている。そしてそのようにして湿度調整された空気は、ダクト１６を通じて前記循環路７に供給されるようになっている。」と記載されている。 よって、甲１には、クリーンルーム外に湿度調整を行う外気調和機１１を設置し、循環ユニットに湿度調整された空気を供給するためのダクト１６が設けられ、循環ユニットを構成するパネル材７ａにダクト１６が接続され、湿度調整された空気が、ダクト１６を通じて循環路７に供給される、空調設備が記載されているといえる。 以上の事項を総合すると、甲１には、以下の発明（以下「甲１発明」という。）が記載されていると認められる。 「天井、床および側壁で区画され、高さ１３．４ｍの高天井のクリーンルームの前記床から５ｍに設定された空調対象域Ｓを清浄空気によりクリーン化する空調設備であって、 クリーンルーム内の空調対象域Ｓに給気を行い、空調対象域Ｓの空気を循環させる循環ユニットを備え、 循環ユニットの高さは空調対象域Ｓよりも高く、循環ユニットの下部は給気口２１を有し且つ空調対象域Ｓ内に位置するように形成され、循環ユニットの上部は還気取り入れ口３１を有し且つクリーンルーム内において空調対象域Ｓよりも上方の空間に突出するように形成され、還気取り入れ口３１は、循環ユニットを構成する間仕り切壁５における所定の高さに設けられ、 循環ユニットの内部には、顕熱交換器４１および高性能フィルタ４２と、クリーンルーム内の空気を前記還気取り入れ口３１から吸い込み、顕熱交換器４１および高性能フィルタ４２を通過させて前記給気口２１に向けて送風する有圧扇３２を備え、 循環ユニットは、還気取り入れ口３１がクリーンルームの内部であって空調対象域Ｓよりも上方の位置のみで空気を吸い込み、複数の給気口２１が、循環ユニットを構成する間仕り切壁５に配置され、給気口２１の上端が３．２ｍとなる位置に設定されて、空調対象域Ｓに向けて横向きに給気するようにクリーンルーム内の外壁６に沿って床上に配置され、 クリーンルーム外に湿度調整を行う外気調和機１１を設置し、循環ユニットに湿度調整された空気を供給するためのダクト１６が設けられ、循環ユニットを構成するパネル材７ａにダクト１６が接続され、湿度調整された空気が、ダクト１６を通じて循環路７に供給される、空調設備。」 イ 甲２ 甲２には、以下の事項が記載されている。 (ア)「【０００６】本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、周縁雰囲気が例えばクリーンルームのような清浄雰囲気ではないエリアであっても、前記した要清浄雰囲気部品等を、例えば前記搬送システムを用いて搬送することができるクリーンな搬送通路を容易に形成できるクリーン搬送通路を提供して、叙上の問題の解決を図ることを目的とするものである。」 (イ)「【００２２】 【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明すれば、まず図１、図２、図３は夫々本実施例にかかるクリーン搬送通路に用いたファンフィルタユニット１の概観、平面、縦断面を示しており、このファンフィルタユニット１は、下面の開口部を吹出し口２とする略直方体のアルミ製のケーシング３内下部に、前記吹出し口２を覆うように水平方向に収納されたＵＬＰＡフィルタ４を有している。 【００２３】ケーシング３の上部には天板５が設けられており、この天板５のほぼ中央部には、円形に開口された吸込口６が形成されている。またケーシング３内の上部空間内には、２つの吐出口１１、１２を有する多翼型のファン１３が設けられており、このファン１３のファンランナ１４を駆動させるファンモータ１５は、前記吸込口６の中心に位置するように、４つの支持片１６によって天板５に支持されている。このファンモータ１５は、例えばインバータによる周波数制御によってその出力が制御されて、ファン１３の回転速度が無段階で調節自在である。 【００２４】ケーシング３の内部には、さらに前記ファン１３を囲むファンケーシング２１が設けられており、さらにこのファンケーシング２１の底部と前出ＵＬＰＡフィルタ４との間の空間には、気流の流路を形成するガイド板２２が水平に設けられている。なおこのガイド板２２、及びケーシング３内の側壁の表面には、吸音材２３が設けられている。そして前記流路の吹出し側には、拡散板２４が設けられている。 【００２５】前記構成にかかるファンフィルタユニット１は、図４、図５に示したように、クリーン搬送通路３１における収納空間３２内に設置される。詳述すれば、このクリーン搬送通路３１は、上部に収納空間３２、下部に搬送空間３３が形成されている。」 (ウ)「【００２９】前記天板３４には、給気ダクト４１と還気ダクト４２が設けられ、給気ダクト４１は、別設の中央空調機（図示せず）からの空調空気を収納空間３２内に給気し、還気ダクト４１は、収納空間３２からの還気を、前記中央空調機へと排気させる。なおこれら給気、排気は、前記中央空調機のファンが担っている。給気ダクト４１から給気される空調空気は、ファンフィルタユニット１が発生する熱負荷、搬送空間３３内に位置する後述の搬送機器の発生する熱負荷、及び周囲環境から、天板３４等のパネルを通して入ってくる熱負荷等に見合うように空気調和され、所定温度、所定湿度に保たれている。なお前記中央空調機は、より小型化し、所定の台数をクリーン搬送通路が納まるエリアに、適宜の間隔で設置してもよい。」 (エ) 「【００３９】そして搬送空間３３自体の雰囲気については、アイリッドパネル５６によって垂直層流が確保されているので、常にダウン・フローによる清浄雰囲気が確保され、また静圧も周囲より高くなって周囲環境からは全く隔離されているので、搬送対象物であるキャリアＣや、搬送機器５４にコンタミネーションが発生することはない。」 「【図４】 ［図：0001403659000002.jpg］ 」 （オ）図４から、クリーン搬送通路３１の収納空間３２内には、吸気ダクト４１がなく、ファンフィルタユニット１には、前記吸気ダクト４１が直接接続されていないことが把握できる。 以上を総合すると、甲２には、次の事項（以下「甲２に記載された事項」という。）が記載されていると認められる。 「上部に収納空間３２、下部に搬送空間３３が形成されたクリーン搬送通路３１であって、 ファンフィルタユニット１のケーシング３の上部に吸込口６が設けられ、ケーシング３内下部にはＵＬＰＡフィルタ４を有しており、 収納空間３２内には、吸気ダクト４１がなく、ファンフィルタユニット１には、前記吸気ダクト４１が直接接続されず、 搬送空間３３は、清浄化雰囲気が確保され、 天板３４には、給気ダクト４１が設けられ、給気ダクト４１は、中央空調機からの空調空気を収納空間３２内に給気するクリーン搬送通路３１。」 ウ 甲３ 甲３には、以下の事項が記載されている。 （ア）「【０００７】 本発明の目的は、少ない換気回数で作業域の清浄度を確保し、かつ作業域温度差を小さくできる非層流方式のクリーンルーム装置を提供することにある。」 （イ）「【００１２】 クリーンルーム１０の内部は、天井１０ａ、床１０ｂ及び側壁１０ｃで区画された閉鎖空間になっている。かかるクリーンルーム１０は、例えば半導体の製造分野などにおいて広く利用される。クリーンルーム１０内の下部には、半導体の製造などを行うための作業域１１が形成されている。作業域１１は、床から２ｍ程度の高さまでの領域であり、作業域１１には、各種作業を行うために人間１２が存在している。本発明においては、この作業域１１における空気中の浮遊粒子ａが所定の濃度以下の清浄度となるように管理されている。」 （ウ）「【００２９】 一方、クリーンルーム１０内の作業域１１には、発熱体としての人間１１などが存在しているので、作業域１１内に供給されて人間１１やその他の発熱機器類などに熱的に接触した清浄空気ＳＡは、やがて加熱され、緩やかに上昇する。その上昇流により、作業域１１において人間１１の周りに生じた浮遊粒子ａなどの汚染物質をクリーンルーム１０内において作業域１１の上方に搬送することができる。」 エ 甲４ 甲４には、以下の事項が記載されている。 「又、クリーンユニット（１０）は上記室外機（７）に配管接続された蒸発器（９）と、この蒸発器（９）の風下側に設けられた水はね防止板（９Ａ）と、例えば０．５ミクロン以上の塵埃又は細菌を濾過するヘパフィルタ（１２）と、蒸発器（１１）とヘパフィルタ（１２）の下面を覆う露受皿（１３）と、蒸発器（９）、ヘパフィルタ（１２）及び水はね防止板（９Ａ）を覆い取付ボルト（１４Ａ）、（１４Ａ）にて天井ダクト（５）に固定された箱体（１４）とから構成され、この箱体（１４）には吸込口（１５）、及び吹出口（１６）が夫々形成されている。」（明細書第６頁第４～１３行） （２）対比・判断 ア 本件発明１について （ア）甲１発明の「空調対象域Ｓ」、「空調設備」は、それぞれ、本件発明１の「空調領域」、「クリーンルーム装置」に相当する。そして、甲１発明には、空調領域を「非層流方式で」清浄に保つことが明示されていない。 よって、甲１発明の「天井、床および側壁で区画され、高さ１３．４ｍの高天井のクリーンルームの前記床から５ｍに設定された空調対象域Ｓを清浄空気によりクリーン化する空調設備」は、本件発明１の「天井、床および側壁で区画されたクリーンルームの前記床から所定の高さまで形成される空調領域を」「清浄に保つクリーンルーム装置」に相当する。 （イ）甲１発明の「循環ユニット」は、本件発明１の「空気循環ユニット」に相当する。そして、甲１発明には、循環ユニットは空調対象域Ｓに「非層流方式で」給気を行う点が明示されていない。 よって、甲１発明の「クリーンルーム内の空調対象域Ｓに給気を行い、空調対象域Ｓの空気を循環させる循環ユニット」は、本件発明１の「前記クリーンルーム内の前記空調領域に」「給気を行い、前記空調領域の空気を循環させる空気循環ユニット」に相当する。 （ウ）甲１発明の「給気口２１」、「還気取り入れ口３１」は、それぞれ、本件発明１の「給気口」、「吸気口」に相当する。そして、甲１発明には、「非層流方式で」空調される点が明示されていない。 よって、甲１発明の「循環ユニットの高さは空調対象域Ｓよりも高く、循環ユニットの下部は給気口２１を有し且つ空調対象域Ｓ内に位置するように形成され、循環ユニットの上部は還気取り入れ口３１を有し且つクリーンルーム内において空調対象域Ｓよりも上方の空間に突出するように形成され」る点は、本件発明１の「前記空気循環ユニットの高さは前記空調領域の高さよりも高く、前記空気循環ユニットの下部は給気口を有し且つ前記空調領域内に位置するように形成され、前記空気循環ユニットの上部は吸気口を有し且つ前記クリーンルーム内において」「空調される前記空調領域よりも上方の空間に突出するように形成され」る点に相当する。 （エ）甲１発明の「顕熱交換器４１」、「高性能フィルタ４２」、「有圧扇３２」は、それぞれ、本件発明１の「冷却器」、「高性能フィルタ」、「ファン」に相当する。 よって、甲１発明の「循環ユニットの内部には、顕熱交換器４１および高性能フィルタ４２と、クリーンルーム内の空気を前記還気取り入れ口３１から吸い込み、顕熱交換器４１および高性能フィルタ４２を通過させて前記給気口２１に向けて送風する有圧扇３２を備え」る点は、本件発明１の「前記空気循環ユニットの内部には、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え」る点に相当する。 （オ）甲１発明の「給気口２１」は、上端が３．２ｍとなる位置に設定されており、床から５ｍに設定された空調対象域Ｓと向かい合う高さまでの領域に分布して配置されたものではない。 よって、甲１発明の「循環ユニットは、還気取り入れ口３１がクリーンルームの内部であって空調対象域Ｓよりも上方の位置のみで空気を吸い込み、複数の給気口２１が、循環ユニットを構成する間仕り切壁５に配置され、給気口２１の上端が３．２ｍとなる位置に設定されて、空調対象域Ｓに向けて横向きに給気するようにクリーンルーム内の外壁６に沿って床上に配置され」る点と、 本件発明１の「前記空気循環ユニットは、前記吸気口が、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置のみで空気を吸い込み、前記複数の給気口が、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気するように前記クリーンルーム内の前記側壁に沿って前記床上に配置され」る点とは、 「前記空気循環ユニットは、前記吸気口が、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置のみで空気を吸い込み、前記複数の給気口が、前記空気循環ユニットの前面において配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気するように前記クリーンルーム内の前記側壁に沿って前記床上に配置され」るという限りにおいて一致する。 そうすると、本件発明１と甲１発明とは、 「天井、床および側壁で区画されたクリーンルームの前記床から所定の高さまで形成される空調領域を清浄に保つクリーンルーム装置であって、 前記クリーンルーム内の前記空調領域に給気を行い、前記空調領域の空気を循環させる空気循環ユニットを備え、 前記空気循環ユニットの高さは前記空調領域の高さよりも高く、前記空気循環ユニットの下部は給気口を有し且つ前記空調領域内に位置するように形成され、前記空気循環ユニットの上部は吸気口を有し且つ前記クリーンルーム内において空調される前記空調領域よりも上方の空間に突出するように形成され、 前記空気循環ユニットの内部には、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備え、 前記空気循環ユニットは、前記吸気口が、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置のみで空気を吸い込み、前記複数の給気口が、前記空気循環ユニットの前面において配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気するように前記クリーンルーム内の前記側壁に沿って前記床上に配置され、 前記クリーンルーム外に給気ダクトが設けられたクリーンルーム装置。」 である点で一致し、以下の点で相違する。 ［相違点１］ 本件発明１は、空調領域を「非層流方式で」清浄に保ち、空調領域に「非層流方式で」給気を行い、「非層流方式で」空調されるのに対し、甲１発明は、そのような方式について明示されていない点。 ［相違点２］ 本件発明１は、「前記空調領域には機器が存在し、前記機器が存在する前記空調領域に非層流方式で給気が行われ、前記空調領域において前記機器の熱的影響による上昇流により汚染物質がクリーンルーム内において前記空調領域よりも上方に搬送され」るのに対し、甲１発明は、そのように特定されていない点。 ［相違点３］ 本件発明１は、「前記吸気口は前記空気循環ユニットの上面に設けられ」るのに対し、甲１発明は、「還気取り入れ口３１は、循環ユニットを構成する間仕り切壁５における所定の高さに設けられ」る点。 ［相違点４］ 「前記複数の給気口」の配置に関して、本件発明１は、「前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置され」るのに対し、甲１発明は、「床から５ｍに設定された空調対象域Ｓ」に対して、「前記給気口２１の上端が３．２ｍとなる位置に設定され」る点。 ［相違点５］ 本件発明１は、「前記クリーンルーム外に前記空気循環ユニットに清浄空気を供給するための給気ダクトが設けられ、前記クリーンルーム内には前記給気ダクトがなく、前記空気循環ユニットには前記給気ダクトが直接接続されず、 クリーンルームの天井には、清浄空気の給気口が設けられ、 清浄空気が、前記給気ダクト、前記清浄空気の給気口を経て前記クリーンルームにおいて、前記空調領域よりも上方に供給され、前記空気循環ユニットは、前記吸気口からのみで前記給気ダクトを介さずに空気を吸い込む」のに対し、 甲１発明は、「クリーンルーム外に湿度調整を行う外気調和機１１を設置し、循環ユニットに湿度調整された空気を供給するためのダクト１６が設けられ、循環ユニットを構成するパネル材７ａにダクト１６が接続され、湿度調整された空気が、ダクト１６を通じて循環路７に供給される」点。 事案に鑑み、まず、相違点５について検討する。 本件発明１のクリーンルームの天井の給気口から供給される「清浄空気」に関して、本件の特許明細書には、以下のとおり記載されている。 「【００１８】・・・これにより、外調機２１内において、外気ＯＡは先ず粗フィルタ２３を通過して予備的に濾過された後、冷却器２４で室内温度より低温に冷却され、更に、高性能フィルタ２６によって浮遊粒子が除去されて清浄空気ＣＡにされる。高性能フィルタ２６は例えばＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ等で構成される。こうして外調機２１内で処理されて作られた低温の清浄空気ＣＡが、給気ダクト２２、給気口２０を経てクリーンルーム１０において、空調領域１１よりも上方に供給されるようになっている。」 すなわち、本件発明１の「清浄空気」は、本件の特許明細書の記載を参酌すると、高性能フィルタによって浮遊流離が除去された空気であると解される。 一方、甲１発明のクリーンルーム外のダクト１６から供給される空気は、「湿度調整された空気」であって「清浄空気」ではない。また、甲１発明は、湿度調整された空気が、ダクト１６を通じて循環路７に供給されるものであり、循環ユニットの内部には高性能フィルタ４２があるため、ダクト１６から清浄空気を供給する必要がない。 また、甲２に記載された事項において、収納空間３２内に給気ダクト４１によって供給される空気は、「空調空気」であって「清浄空気」ではない。そして、甲２に記載された事項において、ファンフィルタユニット１は、ＵＬＰＡフィルタ４を有しており、搬送空間３３は、清浄雰囲気が確保されているから、搬送を行わない収納空間３２に清浄空気を供給する必要がない。 したがって、甲１発明及び甲２に記載された事項のいずれにおいても、清浄空気をクリーンルームの上方から供給し、空気循環ユニットが給気ダクトを介さずに空気を吸い込むように構成した点が開示されておらず、甲１発明の「湿度調整された空気」、及び甲２に記載された事項の「空調空気」を「清浄空気」とする動機付けもない。 さらに、甲３には、非層流方式のクリーンルーム装置が記載されているものの、上記の「清浄空気をクリーンルームの上方から供給し、空気循環ユニットが給気ダクトを介さずに空気を吸い込むように構成した点」を開示するものではない。 よって、他の相違点について検討するまでもなく、本件発明１は、甲１発明及び甲２、３に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 イ 本件発明２について 本件発明２と甲１発明とを対比すると、少なくとも以下の相違点で相違する。 ［相違点６］ 本件発明２は、「前記クリーンルーム外に前記空気循環ユニットに清浄空気を供給するための給気ダクトが設けられ、前記クリーンルーム内には前記給気ダクトがなく、前記空気循環ユニットには前記給気ダクトが直接接続されず、 クリーンルームの天井には、清浄空気の給気口が設けられ、 清浄空気が、前記給気ダクト、前記清浄空気の給気口を経て前記クリーンルームにおいて、前記空調領域よりも上方に供給され、前記空気循環ユニットは、前記吸気口からのみで前記給気ダクトを介さずに空気を吸い込む」のに対し、 甲１発明は、「クリーンルーム外に湿度調整を行う外気調和機１１を設置し、循環ユニットに湿度調整された空気を供給するためのダクト１６が設けられ、循環ユニットを構成するパネル材７ａにダクト１６が接続され、湿度調整された空気が、ダクト１６を通じて循環路７に供給される」点。 上記相違点６について検討する。 上記相違点６は、上記（２）アで検討した相違点５と同様のものであるから、上記（２）アと同様の理由により、本件発明２は、甲１発明及び甲２、３に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 ウ 本件発明３について 本件発明３は、本件発明１又は本件発明２を引用するものであるから、上記（２）ア又はイと同様の理由により、甲１発明及び甲２、３に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 エ 本件発明４について 本件発明４は、本件発明１又は本件発明２を引用するものであるから、上記（２）ア又はイと同様の理由により、甲１発明及び甲２、３に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではなく、甲４に記載された事項を考慮しても、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 オ 本件発明５について 本件発明５と甲１発明とを対比すると、少なくとも以下の相違点で相違する。 ［相違点７］ 本件発明５は、「クリーンルームの天井には、清浄空気の給気口が設けられ、 清浄空気が、前記給気ダクト、前記清浄空気の給気口を経て前記クリーンルームにおいて、前記空鯛領域よりも上方に供給され、前記空気循環ユニットは、前記吸気口からのみで前記給気ダクトを介さずに前記吸気口の真上に位置する天井の給気口から供給される清浄空気と前記クリーンルーム内の空気を吸い込み、前記クリーンルーム内の前記空調領域に非層流方式で給気を行い、前記空調領域の空気を循環させる」「空気循環ユニット」であるのに対し、 甲１発明は、「クリーンルーム外に湿度調整を行う外気調和機１１を設置し、循環ユニットに湿度調整された空気を供給するためのダクト１６が設けられ、循環ユニットを構成するパネル材７ａにダクト１６が接続され、湿度調整された空気が、ダクト１６を通じて循環路７に供給される」「空調設備」である点。 上記相違点７について検討する。 上記相違点７は、上記（２）アで検討した相違点５を含むものであるから、上記（２）アと同様の理由により、本件発明５は、甲１発明及び甲２、３に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 カ 本件発明６について 本件発明６は、本件発明５を引用するものであるから、上記（２）オと同様の理由により、甲１発明及び甲２、３に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 キ 本件発明７について 本件発明７は、本件発明５を引用するものであるから、上記（２）オと同様の理由により、甲１発明及び甲２、３に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではなく、甲４に記載された事項を考慮しても、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 （３）申立人の主張について 申立人は、令和５年５月１６日付けの意見書において、「甲２では、前記給気ダクトから供給される空気は、空調空気でありフィルタによって清浄化が図られた空気かどうかについて明確な記載はないが、“ウィキペディア(Wikipedia) "によれば、「空気調和とは、人間の快滴性の向上目的や、生産、管理、貯蔵といった物品を扱う上での産業目的で、ある場所の空気の温度や湿度、清浄度、気流などを調整することである。」と定義され、“空気調和設備計画設計の実務の知識空気調和・衛生工学会編平成29年3月25日改訂4版”によれば、「空気調和とは、対象とする室内全体もしくは特定の場所における空気の温度、湿度、清浄度などを、人体あるいは物品や装置などに適した環境になるように、処理・調整するプロセスをいう。」と定義されているものであるから、甲２における「中央空調機による空気調和」には、清浄度に関する事項をも含む概念であると解釈する」と主張する（第４ページ第１１～２１行）。 しかしながら、上記（２）アで検討したとおり、本件の特許明細書の記載を参酌すると、本件発明１の「清浄空気」は、高性能フィルタによって浮遊流離が除去された空気であると解されものであるから、“ウィキペディア(Wikipedia) "に、空気調和と清浄度との関係が記載されていたとしても、甲２に記載された「中央空調機からの空調空気」は、本件発明１で特定される「清浄空気」であるとはいえない。 したがって、申立人の主張は、採用できない。 （４）小括 以上のとおり、本件発明１～７は、甲１発明及び甲２～４に記載された事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 第６ むすび 以上のとおりであるから、取消理由通知に記載した取消理由及び特許異議申立書に記載した特許異議申立理由によっては、本件請求項１～７に係る特許を取り消すことはできない。 また、他に本件請求項１～７に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。