特許拒絶査定不服審判
2021-017842
基板の特性を測定する方法、検査装置、リソグラフィシステム、及びデバイス製造方法
- 審判番号
- 2021-017842
- 法域
- 特許
- 審判種別
- 拒絶査定不服審判（拒絶査定不服の審決）
- 出願番号
- 特願2019-525776外部サイト（J-PlatPat）へ移動します
- 請求日
- 2021年12月23日
- 審決日
- 2022年12月07日
- 公報発行日
- 2023年01月27日
- 結論
- 原査定取消（特許/登録すべき）
- 当事者
- 【請求人】エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ．
- 【請求人代理人】稲葉 良幸
- 【請求人代理人】大貫 敏史
- 【請求人代理人】江口 昭彦
- 【請求人代理人】内藤 和彦
- 分類
- P18 .536-WYF(H01L) / P18 .537-WYF(H01L)
- データ出所
- 審決公報（XML）
事件の表示
特願２０１９－５２５７７６「基板の特性を測定する方法、検査装置、リソグラフィシステム、及びデバイス製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成３０年 ６月２１日国際公開、ＷＯ２０１８／１０８５２７、令和 ２年 ５月２１日国内公表、特表２０２０－５１５０２８、請求項の数（１３）〕について、次のとおり審決する。
結論
結 論
原査定を取り消す。
本願の発明は、特許すべきものとする。
理由
文字
理 由
本願は、平成２９年１１月２９日（パリ条約による優先権主張 ２０１６年１２月１６日 （ＥＰ）欧州特許庁）を国際出願日とする出願であって、その請求項１－１３に係る発明は、令和４年１１月１日の手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１－１３に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。
そして、本願については、原査定の拒絶理由および令和４年８月１日付け拒絶理由通知書で指摘した拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。
また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
よって、結論のとおり審決する。
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2021-017842