特許拒絶査定不服審判
2020-006438
露光プロセスにおける露光誤差を補償するための方法
- 審判番号
- 2020-006438
- 法域
- 特許
- 審判種別
- 拒絶査定不服審判（拒絶査定不服の審決）
- 出願番号
- 特願2016-567900外部サイト（J-PlatPat）へ移動します
- 請求日
- 2020年05月13日
- 審決日
- 2021年03月30日
- 公報発行日
- 2021年05月28日
- 結論
- 原査定取消（特許/登録すべき）
- 当事者
- 【請求人】エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ．
- 【請求人代理人】稲葉 良幸
- 【請求人代理人】大貫 敏史
- 【請求人代理人】江口 昭彦
- 【請求人代理人】内藤 和彦
- 分類
- P18 .113-WYF(G03F) / P18 .121-WYF(G03F) / P18 .537-WYF(G03F)
- データ出所
- 審決公報（SGML）
事件の表示
特願２０１６－５６７９００「露光プロセスにおける露光誤差を補償するための方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２７年１２月１０日国際公開、ＷＯ２０１５／１８５２６９、平成２９年 ６月２２日国内公表、特表２０１７－５１７０３２、請求項の数（２０）〕について、次のとおり審決する。
結論
【結 論】
原査定を取り消す。
本願の発明は、特許すべきものとする。
理由
文字
【理 由】
本願は、平成２７年 ４月２４日（パリ条約による優先権主張 ２０１４年 ６月 ３日 （ＥＰ）欧州特許庁 ２０１５年 ３月２７日 （ＥＰ）欧州特許庁）の出願であって、その請求項に係る発明は、特許請求の範囲の請求項に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。
そして、本願については、原査定の拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。
また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
よって、結論のとおり審決する。
審決本文（J-PlatPat）
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2020-006438