2020-002137

特願２０１６－１５４２１３「プローバ」拒絶査定不服審判事件〔平成３０年　２月　８日出願公開，特開２０１８－　２２８１３〕について，次のとおり審決する。

【結　論】 本件審判の請求は，成り立たない。

【理　由】 第１　手続の経緯 本願は，平成２８年８月５日の特許出願であって，その手続の経緯は以下のとおりである。 令和　元年　５月１４日　　：手続補正書 令和　元年　９月　６日付け：拒絶理由通知書 令和　元年１１月　７日　　：意見書，手続補正書 令和　元年１１月１５日付け：拒絶査定 令和　２年　２月１７日　　：審判請求書 第２　本願発明 本願の請求項１，２に係る発明（以下「本願発明１」，「本願発明２」という。）は，次のとおりのものである。 「【請求項１】 搬送エリアとメンテナンスエリアとの間に配置された複数の測定部であって，ウエハ上に形成された半導体素子の検査の際に用いられる被メンテナンス装置と，前記被メンテナンス装置を前記メンテナンスエリア側に引き出す引出機構と，を備えた複数の測定部と， 前記測定部と一定距離隔てて設けられ，搬送物を収納する搬送物収納部と， 前記搬送物を前記搬送物収納部から取り出して，前記搬送物を搬送先の前記測定部内に搬送する搬送ユニットと，を備え， 前記被メンテナンス装置の引出方向と前記搬送物の搬送方向とが同じ方向であり， 前記被メンテナンス装置は，テストヘッドであるプローバ。 【請求項２】 前記搬送物はウエハないしはプローブカードである請求項１に記載のプローバ。」 第３　原査定の拒絶の理由 拒絶査定の理由である，令和元年９月６日付け拒絶理由通知の理由は，概略，次のとおりのものである。 理由３（進歩性）この出願の請求項１，２に係る発明は，その出願前に日本国内又は外国において，頒布された下記の刊行物１，２に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて，その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。 ＜引用文献等一覧＞ １．特開２０１５－８８５５５号公報 ２．特開２０１５－１３０４２２号公報 第４　引用文献の記載及び引用発明 １　引用文献１の記載 引用文献１には，以下の事項が記載されている。 「【請求項６】 車輪を有して移動自在な台車基部と，ウエハ検査装置に多段積みで配置されるテストヘッドを収容するケースと，前記台車基部から立設されて前記ケースを昇降させるリフト機構と，該リフト機構及び前記ケースの間に介在し，前記ケースを前記リフト機構に対して水平に移動させる水平位置調整機構とを備える整備用台車を用いるウエハ検査装置の整備方法であって， 前記整備用台車全体を移動させ， 前記台車基部の位置を固定した後，整備を行う前記テストヘッドが存在する位置まで前記ケースを昇降させ， 前記ケースの位置を固定した後，前記水平位置調整機構を用いて前記ケースを，前記整備を行うテストヘッドに正対させることを特徴とするウエハ検査装置の整備方法。」 「【技術分野】 【０００１】 本発明は，複数のテストヘッドを有するウエハ検査装置の整備用台車及びウエハ検査装置の整備方法に関する。 【背景技術】 【０００２】 多数の半導体デバイスが形成された半導体ウエハ（以下，単に「ウエハ」という。）において各半導体デバイスの電気的特性検査を行うために，ウエハ検査装置としてのプローバが用いられている。プローバはウエハと対向するプローブカードを備え，プローブカードは複数の柱状接触端子であるコンタクトプローブを有する（例えば，特許文献１参照。）。このプローバでは，プローブカードの各コンタクトプローブが半導体デバイスにおける電極パッドや半田バンプに接続された半導体デバイスへ検査信号を流すことによって半導体デバイスの電気回路の導通状態等を検査する。 【０００３】 プローブカードの各コンタクトプローブへは検査回路であるメインボードを搭載したテストヘッドから検査信号が流されるが，近年，ウエハの検査効率を向上するために，それぞれにプローブカードが装着された複数のテストヘッドを備え，搬送ステージによって一のテストヘッドへウエハを搬送中に他のテストヘッドでウエハの半導体デバイスを検査可能なウエハ検査装置が開発されている。このウエハ検査装置では，フットプリント削減の観点から複数のテストヘッドを収容するセルが多段積みで配置される。 【０００４】 各テストヘッドのメインボードは一種の消耗品であるために定期的に交換する必要があるが，メインボードを交換するためにはテストヘッドをウエハ検査装置から整備用台車の上に引き出す必要がある。」 「【００１８】 図１は，本実施の形態に係る整備用台車が適用されるウエハ検査装置の構成を概略的に示す斜視図である。 【００１９】 図１において，ウエハ検査装置１０は，複数の検査室（セル）１１が多段，例えば，４段に配置されたセルタワー１２と，該セルタワー１２に隣接して配置され，搬送機構（図示しない）を内蔵してウエハの各セル１１への搬出入を行うローダ１３とを備える。セルタワー１２及びローダ１３はそれぞれ直方体状を呈し，高さは，例えば，２．４ｍである。 【００２０】 ウエハ検査装置１０では，セルタワー１２におけるローダ１３との隣接面の反対側（以下，「外側」という。）には作業者が各セル１１の整備作業を行うことが可能な空間が確保され，後述する整備用台車２７が配置される。」 「【００２６】 ところで，テストヘッド１５の重量は約７０ｋｇｆであり，作業者の力だけでは取り扱いが困難であるため，テストヘッド１５は，セル１１内において当該テストヘッド１５の長手方向（以下，単に「長手方向」という。）に沿って配置されるスライドレール（図示しない）によってフランジ１７を介して支持され，スライドレールの上面に設けられた複数のボール台座によって長手方向に引きだし可能に構成される。」 「 」 「 」 上記摘記に照らして，図１から，引用文献１には以下の技術的事項を見て取ることができる。 ・ウエハ検査装置１０は， 検査室（セル）１１が，「上下方向」に４段，前記上下方向及びテストヘッド１５が引きだされる方向である「長手方向」のそれぞれに直交する「幅方向」に６列の多段多列に配置された，直方体状を呈するセルタワー１２と， 前記セルタワー１２の，前記長手方向であって，作業者が各セル１１の整備作業を行うことが可能な整備用台車２７が配置される空間に面する外側とは反対側の面に隣接して配置される，搬送機構を内蔵してウエハの各セル１１への搬出入を行う，直方体状を呈するローダ１３と， を備えること。 ２　引用発明 したがって，引用文献１には，以下の発明が記載されている。（以下「引用発明」という。） 「検査室（セル）１１を，「上下方向」（以下，単に「上下方向」という。）に４段，前記上下方向及びテストヘッド１５が引きだされる方向である「長手方向」（以下，単に「長手方向」という。）のそれぞれに直交する「幅方向」（以下，単に「幅方向」という。）に６列の多段多列に配置した，直方体状を呈するセルタワー１２と， 前記セルタワー１２の，前記長手方向であって，作業者が各セル１１の整備作業を行うことが可能な整備用台車２７が配置される空間に面する外側とは反対側の面に隣接して配置される，搬送機構を内蔵してウエハの各セル１１への搬出入を行う，直方体状を呈するローダ１３と， を備える，多数の半導体デバイスが形成された半導体ウエハにおいて各半導体デバイスの電気的特性検査を行うための，ウエハ検査装置１０としてのプローバであって， 前記テストヘッドには，プローブカードのコンタクトプローブへ検査信号を流してウエハの半導体デバイスを検査するメインボードが搭載されており， 前記メインボードは一種の消耗品であるために定期的に交換する必要があるため，メインボードを交換するためにテストヘッドをウエハ検査装置から整備用台車の上に引き出す必要があり， 前記テストヘッド１５は，セル１１内において当該テストヘッド１５の長手方向に沿って配置されるスライドレールによってフランジ１７を介して支持され，スライドレールの上面に設けられた複数のボール台座によって長手方向に引きだし可能に構成される， ウエハ検査装置１０としてのプローバ。」 ３　引用文献２の記載 引用文献２には，以下の事項が記載されている。 「【００２４】 図１及び図２において，ウエハ検査装置１０は検査室１１を備え，該検査室１１は，ウエハの半導体デバイスの電気的特性の検査を行う検査領域１２と，検査室１１に対するウエハや後述するプローブカード１８の搬出入を行う搬出入領域１３と，検査領域１２及び搬出入領域１３の間に設けられた搬送領域１４とを有する。 【００２５】 検査領域１２には複数のウエハ検査用インターフェースとしてのテスタ１５が配置され，各テスタ１５は水平に配列された複数のテスタからなるテスタ列を構成し，各テスタ１５の下部にはプローブカード１８が装着される。 【００２６】 搬出入領域１３は複数の収容空間１６に区画され，各収容空間１６には複数のウエハを収容する容器，例えば，ＦＯＵＰを受け入れるポート１６ａ，プローブカード１８が搬入され且つ搬出されるローダ１６ｃやウエハ検査装置１０の各構成要素の動作を制御するコントローラ１６ｄが配置される。 【００２７】 搬送領域１４には移動自在な搬送ロボット１７（搬送装置）が配置される。搬送ロボット１７は，搬出入領域１３のポート１６ａからウエハを受け取って各テスタ１５へ搬送し，また，半導体デバイスの電気的特性の検査が終了したウエハを各テスタ１５からポート１６ａへ搬送する。さらには，搬送ロボット１７は各テスタ１５から品種の交換やメンテナンスを必要とするプローブカード１８を搬出入領域１３のローダ１６ｃへ搬送し，また，新規やメンテナンス済みのプローブカード１８をローダ１６ｃから各テスタ１５へ搬送する。 【００２８】 このウエハ検査装置１０では，各テスタ１５が搬送されたウエハの半導体デバイスの電気的特性の検査を行うが，搬送ロボット１７が一のテスタ１５へ向けてウエハを搬送している間に，他のテスタ１５は他のウエハの半導体デバイスの電気的特性の検査を行うことができるので，ウエハの検査効率を向上することができる。」 「 」 「 」 「 」 上記摘記に照らして，上記図面から，引用文献２には以下の技術的事項を見て取ることができる。 ・ウエハの半導体デバイスの電気的特性の検査を行う検査領域１２と， 検査室１１に対するウエハや後述するプローブカード１８の搬出入を行う搬出入領域１３と， 検査領域１２及び搬出入領域１３の間に設けられた搬送領域１４と， を有するウエハ検査装置１０の検査室１１の構造であって， 前記検査領域１２には，ウエハ検査用インターフェースとしてのテスタ１５が，上下方向に３段，前記上下方向と直交する幅方向に６列の多段多列に配置されており， 前記検査領域１２の前記上下方向及び前記幅方向のそれぞれに直交する方向（以下「長手方向」という。）に隣接して，前記搬送領域１４が配置され， 前記搬出入領域１３には，ウエハを収容する容器，例えば，ＦＯＵＰを受け入れるポート１６ａが配置され， 前記搬送領域１４には移動自在な搬送ロボット１７（搬送装置）が配置され，搬送ロボット１７は，搬出入領域１３のポート１６ａからウエハを受け取って各テスタ１５へ搬送する， ウエハ検査装置１０の検査室１１の構造。 第５　対比 本願発明１と引用発明を対比すると，以下のとおりとなる。 引用発明のウエハ検査装置１０において，「ローダ１３」が位置する領域は，搬送機構を内蔵してウエハの各セル１１への搬出入を行うための領域であるから，本願発明１の「搬送エリア」を含むといえる。 また，引用発明のウエハ検査装置１０において，「整備用台車２７が配置される空間」は，作業者が各セル１１の整備作業を行うことが可能な領域であるから，本願発明１の「メンテナンスエリア」に相当する。 さらに，引用発明の「テストヘッド１５」は，ウエハの半導体デバイスを検査するものであって，ウエハ検査装置から整備用台車の上に引き出し，消耗品であるメインボードを定期的に交換，すなわちメンテナンスをする必要があるものであるから，本願発明１の「ウエハ上に形成された半導体素子の検査の際に用いられる被メンテナンス装置」に相当する。 そして，引用発明のテストヘッド１５が備える，各検査室（セル）１１内において当該テストヘッド１５の長手方向に沿って配置されるスライドレールによってフランジ１７を介して支持し，スライドレールの上面に設けられた複数のボール台座によって長手方向に引きだし可能とする機構は，本願発明１の「複数の測定部」が備える「前記被メンテナンス装置を前記メンテナンスエリア側に引き出す引出機構」に相当する。 してみれば，引用発明の，前記ローダ１３と整備用台車２７が配置される前記空間との間に，多段多列に配置された検査室（セル）１１は，本願発明１の「搬送エリアとメンテナンスエリアとの間に配置された複数の測定部」に相当する。 したがって，引用発明の「ウエハ検査装置１０としてのプローバ」は，以下の相違点を除いて，本願発明１の「プローバ」に対応するものである。 本願発明１と引用発明は，以下の構成において一致する。 「搬送エリアとメンテナンスエリアとの間に配置された複数の測定部であって，ウエハ上に形成された半導体素子の検査の際に用いられる被メンテナンス装置と，前記被メンテナンス装置を前記メンテナンスエリア側に引き出す引出機構と，を備えた複数の測定部と， を備え， 前記被メンテナンス装置は，テストヘッドであるプローバ。」 本願発明１と引用発明は，以下の点で相違する。 相違点 本願発明１は，「前記測定部と一定距離隔てて設けられ，搬送物を収納する搬送物収納部と，前記搬送物を前記搬送物収納部から取り出して，前記搬送物を搬送先の前記測定部内に搬送する搬送ユニットと，を備え，前記被メンテナンス装置の引出方向と前記搬送物の搬送方向とが同じ方向であ」るという構成を備えるのに対して，引用発明は，「前記セルタワー１２の，前記長手方向であって，作業者が各セル１１の整備作業を行うことが可能な整備用台車２７が配置される空間に面する外側とは反対側の面に隣接して配置される，搬送機構を内蔵してウエハの各セル１１への搬出入を行う，直方体状を呈するローダ１３」を備えるという構成が特定されているものの，「ローダ１３」の具体的な構造が特定されていない点。 第６　判断 引用文献２に記載されたウエハ検査装置の「テスタ１５」，「搬出入領域１３のポート１６ａ」，「『搬出入領域１３のポート１６ａからウエハを受け取って各テスタ１５へ搬送する』『搬送ロボット１７（搬送装置）』」は，それぞれ，本願発明１の「測定部」，「搬送物収納部」，「前記搬送物を前記搬送物収納部から取り出して，前記搬送物を搬送先の前記測定部内に搬送する搬送ユニット」に相当する。 そして，引用文献２に記載されたウエハ検査装置の「テスタ１５」と「搬出入領域１３のポート１６ａ」との間には，「搬送ロボット１７（搬送装置）」が配置された搬送領域１４が存在することから，前記「搬出入領域１３のポート１６ａ」が，前記「テスタ１５」と一定距離隔てて設けられていることは明らかである。 してみれば，引用文献２には，測定部と一定距離隔てて設けられ，搬送物を収納する搬送物収納部と，前記搬送物を前記搬送物収納部から取り出して，前記搬送物を搬送先の前記測定部内に搬送する搬送ユニットと，を備えたウエハ検査装置の構造が開示されている。 さらに，引用文献２に記載された検査装置では，「テスタ１５」が，上下方向に３段，前記上下方向と直交する幅方向に６列の多段多列に配置されていることから，前記「テスタ１５」にウエハを搬送する場合に，前記上下方向，あるいは前記上下方向と直交する幅方向からウエハを搬送すると，隣接する他のテスタ１５の存在が邪魔となることは明らかである。 したがって，引用文献２に記載された検査装置においては，「テスタ１５」へのウエハの搬送は，前記上下方向及び前記幅方向のそれぞれに直交する「長手方向」に沿って行われているものと解することが，技術常識に照らして，自然かつ合理的と認められる。 また，仮に，引用文献２の記載からは，「テスタ１５」へのウエハの搬送が，前記上下方向及び前記幅方向のそれぞれに直交する「長手方向」に沿って行われているものと，直ちに解することができないとしても，引用文献２に記載された検査装置においては，「テスタ１５」が配置される「検査領域１２」と，搬送ロボット１７（搬送装置）が配置される「搬送領域１４」とが，前記「長手方向」に沿って隣接することから，ウエハの搬送が，前記隣接する方向である「長手方向」に沿って行われるようにすることは，当業者が当然になし得たことである。 もとより，引用発明と，引用文献２に記載された検査装置とは，いずれも，ウエハの検査装置である点で技術分野を共通するものであることから，引用発明と引用文献２に接した当業者であれば，引用発明において，具体的な構造が特定されていない「ローダ１３」の構造として，引用文献２の開示されるウエハ検査装置の具体的な構造を採用することには動機付けが存在するということができる。 そして，引用発明に引用文献２に記載された構造を採用した場合に，引用発明のテストヘッド１５が引きだされる「長手方向」と，引用文献２に記載されたウエハ検査装置の「長手方向」とは，同じ方向といえる。 したがって，引用発明に引用文献２に記載された技術的事項を適用することで，引用発明の「ローダ１３」の具体的な構造として，「前記測定部と一定距離隔てて設けられ，搬送物を収納する搬送物収納部と，前記搬送物を前記搬送物収納部から取り出して，前記搬送物を搬送先の前記測定部内に搬送する搬送ユニットと，を備え，前記被メンテナンス装置の引出方向と前記搬送物の搬送方向とが同じ方向であ」るという構造を採用すること，すなわち，上記相違点に係る本願発明１の構成を採用することは当業者が容易になし得たことである。 なお，請求人は，審判請求書において，「（ウ）そして，本願発明１は，上記相違点に係る構成として「前記被メンテナンス装置の引出方向と前記搬送物の搬送方向とが同じ方向」である構成を備えたことにより，高精度が求められる被メンテナンス装置の位置決めの際に考慮しなくてはならないアッベ誤差を抑制できるという，当業者が予測し得ない格別の効果を奏するものである。」と主張する。 しかしながら，上記のとおり，引用発明において，被メンテナンス装置の引出方向と前記搬送物の搬送方向とを同じ方向とすることは，当業者であれば当然に考えることであるところ，請求人の主張する「アッベ誤差の抑制」は，被メンテナンス装置の引出方向と前記搬送物の搬送方向とが同じ方向となることで，その位置関係から直ちに生じるものであるから，その効果を格別のものと認めることはできない。 しかも，「アッベの原理」は技術常識であり，他方，本願の発明の詳細な説明には，「被メンテナンス装置の引出方向と前記搬送物の搬送方向とが同じ方向であ」ることで，誤差が顕著に小さくなったという具体的な測定結果は示されていないから，「前記被メンテナンス装置の引出方向と前記搬送物の搬送方向とが同じ方向」である構成を備えたことにより，当業者が予測し得ない格別の効果が奏されるとする請求人の主張を採用することはできない。 第７　むすび 以上のとおり，本願発明１は，引用文献１に記載された発明及び引用文献２に記載された技術に基づいて，その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。 したがって，他の請求項に係る発明について検討するまでもなく，本願は拒絶すべきものである。 よって，結論のとおり審決する。