2018-700468

特許第６２４５４４５号発明「アクチュエータのタクト計測装置及びセンサ信号検知装置」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

特許第６２４５４４５号の請求項１、２及び８に係る特許を取り消す。 特許第６２４５４４５号の請求項３に係る特許を維持する。

１．手続の経緯 特許第６２４５４４５号の請求項１～１２に係る特許についての出願は、平成２９年１１月２４日付けでその特許権の設定登録がされ、同年１２月１３日に特許掲載公報が発行された。その後、平成３０年６月８日に特許異議申立人堀内大祐より請求項１～３、８に対して特許異議の申立てがされ、平成３０年８月２２日付けで取消理由を通知し、期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、特許権者が応答しなかったものである。 ２．本件発明 本件特許の請求項１ないし３及び８に係る発明（以下、それぞれ、「本件特許発明１」ないし「本件特許発明３」及び「本件特許発明８」という。）は、願書に添付した特許請求の範囲の請求項１ないし３及び８に記載された次の事項により特定されるとおりものである。 「【請求項１】 アクチュエータの可動部が移動区間の一端部に位置することを検知する第１センサと、前記可動部が前記移動区間の他端部に位置することを検知する第２センサと、前記第１センサ及び前記第２センサから送信される出力信号を受信して前記可動部の動作を制御する制御部と、を備えるアクチュエータ駆動装置の前記可動部が、前記移動区間の一端部から他端部に移動するまでのタクトを計測するアクチュエータのタクト計測装置であって、 前記アクチュエータ駆動装置の外部に設けられ、前記可動部が前記移動区間の前記一端部に位置することを前記第１センサが検知するに応じて出力される第１出力信号を検知して第１検知信号を出力し、また、前記可動部が前記移動区間の前記他端部に位置することを前記第２センサが検知するに応じて出力される第２出力信号を検知して第２検知信号を出力する検知部と、 前記第１検知信号と前記第２検知信号に基づいて、前記可動部が前記移動区間の前記一端部から前記他端部に移動するタクトを計測する計測部と、を備えることを特徴とするアクチュエータのタクト計測装置。 【請求項２】 請求項１に記載のアクチュエータのタクト計測装置において、 前記検知部は、第１検知部と第２検知部を備え、 前記第１検知部は、 前記第１出力信号を検知して前記第１検知信号を出力する第１出力信号検知部と、 前記第１出力信号検知部が出力した前記第１検知信号を前記計測部に出力する第１検知信号出力部と、を備え、 前記第２検知部は、 前記第２出力信号を検知して前記第２検知信号を出力する第２出力信号検知部と、 前記第２出力信号検知部が出力した前記第２検知信号を前記計測部に出力する第２検知信号出力部と、を備えることを特徴とするアクチュエータのタクト計測装置。 【請求項３】 請求項２に記載のアクチュエータのタクト計測装置において、 前記第１検知部は、前記第１出力信号検知部を前記アクチュエータに設けられた前記第１センサに着脱可能に取り付ける第１連結部を備え、 前記第２検知部は、前記第２出力信号検知部を前記アクチュエータに設けられた前記第２センサに着脱可能に取り付ける第２連結部を備えることを特徴とするアクチュエータのタクト計測装置。 【請求項８】 センサが出力する発光信号を検知して検知信号を出力する出力信号検知部と、 前記出力信号検知部が出力した前記検知信号を外部に出力する検知信号出力部と、 前記出力信号検知部を前記センサに着脱可能に取り付ける連結部と、を備えることを特徴とするセンサ信号検知装置。」 ３．取消理由の概要 請求項１、２及び８に係る特許に対して、当審が平成３０年８月２２日付けの取消理由において特許権者に通知した取消理由の要旨は、次のとおりである。 請求項１及び２に係る発明は、甲第１号証に記載された発明及び甲第２号証に記載された技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１に係る特許は、特許第２９条第２項の規定に違反してされたものである。 請求項８に係る発明は、甲第５号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１に係る特許は、特許第２９条第２項の規定に違反してされたものである。 よって、請求項１、２及び８に係る特許は，取り消されるべきものである。 ４．引用文献の記載 （１）甲第１号証 ア．甲第１号証（国際公開第２０１１／１４８５２３号）には、図面とともに、以下の記載がある。 ａ．「［００２２］　図１に示される流体圧アクチュエータ駆動系１０は、流体圧アクチュエータとしての空気圧アクチュエータ１１を有している。空気圧アクチュエータ１１は内部にシリンダ室１２が設けられたシリンダ本体つまりアクチュエータ本体１３を有し、その内部にはピストン１４が往復動部材として直線往復動自在に組み込まれており、ピストン１４に設けられたピストンロッド１５がアクチュエータ本体１３の一方の端部から外部に突出している。ピストン１４によりシリンダ室１２は後退用の駆動室１２ａと前進用の駆動室１２ｂとに区画されている。」 ｂ．「［００２５］　ピストン１４がストローク端位置つまり後退限位置、前進限位置のいずれかの位置となったことを検出するために、ピストン１４には永久磁石２１が設けられており、アクチュエータ本体１３には永久磁石２１の磁力に感応してセンサ信号を出力する磁気センサ２２ａがピストン１４の前進限位置に対応させて設けられている。一方、ピストン１４の後退限位置に対応させて磁気センサ２２ｂがアクチュエータ本体１３に設けられている。」 ｃ．「［００２６］　上述した流体圧アクチュエータ駆動系１０が製造ライン等において実際に被搬送物を移動させるために使用されるときには、シーケンス制御用のＰＬＣ（プログラマブルロジックコントローラ）２３からの駆動信号に基づいて流路切換弁１９により流路の切換が制御される。駆動信号はソレノイド１９ａに接続された駆動信号ケーブル２０によりＰＬＣ２３から送られる。ＰＬＣ２３は、これに磁気センサ２２ａ，２２ｂから送られるセンサ信号によりピストン１４の位置を判定して流路切換弁１９のソレノイド１９ａに駆動信号を送る。これにより、ピストンロッド１５は一定の駆動パターンで自動的に往復動制御される。」 ｄ．「［００２７］　・・・（中略）・・・このように、流体圧アクチュエータ駆動系１０は、空気圧アクチュエータ１１と、これに対して流体としての圧縮空気を給排する給排流路１７ａ，１７ｂと、給排流路１７ａ，１７ｂの流量を調整する流量調整弁２４ａ，２４ｂと、流路の開閉を切り換える流路切換弁１９を有している。 ［００２８］　磁気センサ２２ａからのセンサ信号を送る信号線が設けられたセンサ信号ケーブル２７ａのコネクター２８ａは、流量調整弁２４ａ側のコネクター２９ａに装着されるようになっている。コネクター２８ａを流量調整弁２４ａ側に接続すると、コネクター２９ａの入力端子に磁気センサ２２ａの信号線が電気的に接続される。同様に、磁気センサ２２ｂからのセンサ信号を送る信号線が設けられたセンサ信号ケーブル２７ｂのコネクター２８ｂを流量調整弁２４ｂ側のコネクター２９ｂに接続すると、コネクター２９ｂの入力端子に磁気センサ２２ｂの信号線が電気的に接続される。」 ｅ．「［００３０］　実際にＰＬＣ２３の制御のもとに装置が稼動する場合には、磁気センサ２２ａ，２２ｂのセンサ信号は流量調整弁２４ａ，２４ｂを中継してＰＬＣ２３へ送られる。これに対して、作動時間設定装置を接続して流体圧アクチュエータの作動時間を設定調整するときには、作動時間設定装置のケーブルを流量調整弁２４ａ，２４ｂに接続するだけでよい。磁気センサ２２ａ，２２ｂからの信号ケーブルの接続を変更したりする必要はない。従って、流体圧アクチュエータの作動時間を初めて設定するときや、再度、設定しなおすときの接続作業は容易である。」 ｆ．「［００３７］　流量調整弁２４ａ，２４ｂには、流体圧アクチュエータ駆動系１０を立ち上げる際やメンテナンス時には、それぞれの弁開度を設定するために、作動時間設定装置３１が接続されるようになっている。作動時間設定装置３１には流量調整弁２４ａ，２４ｂを中継してそれぞれの磁気センサ２２ａ，２２ｂからセンサ信号が入力されるセンサ信号ケーブル３２ａ，３２ｂが接続されている。さらに、作動時間設定装置３１にはそれぞれの電動モータ２６ａ，２６ｂに対して駆動信号を出力する駆動信号ケーブル３３ａ，３３ｂが接続されている。 ［００３８］　センサ信号ケーブル３２ａと駆動信号ケーブル３３ａとが設けられた制御側のコネクター３４ａは、流量調整弁２４ａに設けられた駆動系のコネクター３５ａに着脱自在に装着されるようになっている。制御側のコネクター３４ａを駆動系のコネクター３５ａに装着すると、コネクター３４ａに設けられた駆動信号入力端子がコネクター３５ａに設けられた駆動信号出力端子に電気的に接続され、コネクター３４ａに設けられたセンサ信号入力端子にコネクター３５ａに設けられたセンサ信号出力端子が電気的に接続される。センサ信号ケーブル３２ｂと駆動信号ケーブル３３ｂとが設けられたコネクター３４ｂは、流量調整弁２４ｂに設けられた駆動系のコネクター３５ｂに着脱自在に装着されるようになっている。それぞれのコネクター３４ｂ，３５ｂもコネクター３４ａ，３５ａと同様の構造となっている。 ［００３９］　・・・（中略）・・・なお、作動時間設定装置３１には、上述したケーブル３２ａ，３３ａが接続されるコネクター４１ａと、ケーブル３２ｂ，３３ｂが接続されるコネクター４１ｂが設けられている。」 ｇ．「［００４０］　図６は作動時間設定装置３１の基本構成を示すブロック図であり、作動時間設定装置３１は制御信号を演算するマイクロプロセッサ（ＣＰＵ）と、制御プログラムが格納されるＲＯＭ、一時的にデータを格納するＲＡＭなどを有している。作動時間設定装置３１には、上述のように、それぞれの磁気センサ２２ａ，２２ｂからのセンサ信号ａ，ｂが送られるようになっており、これらの信号に基づいてピストン１４が後退限位置から前進限位置に実際に移動したときの実際の作動時間つまり実作動時間Ｔ１がＣＰＵにより演算される。同様に必要に応じてピストン１４が逆方向に移動したときの実作動時間Ｔ１が演算される。 ［００４１］　実作動時間Ｔ１と目標作動時間Ｔ０との時間差が演算されて、この時間差が所定の許容誤差範囲を超えているときには、それぞれの流量調整弁２４ａ，２４ｂの電動モータ２６ａ，２６ｂに対して時間差を小さくする方向に作動時間設定装置３１から駆動信号ａ，ｂが送られる。このように、作動時間設定装置３１には、実作動時間演算手段と時間差演算手段とバルブ制御手段とを構成する演算部４３が設けられ、演算部４３からはバルブ駆動部４４に対して制御信号が送られる。」 ｈ．「［００４３］　図７（Ａ）は、実作動時間Ｔ１を測定するために、ピストン１４が後退限位置となって第２の磁気センサ２２ｂがオン信号を出力している状態のもとで、流路切換弁１９を手動操作してピストン１４を前進移動させたときにおけるセンサ信号とピストン１４の作動時間との関係を示すタイムチャートである。手動操作により流路切換弁１９の切換動作を行うと、若干のタイムラグ経過後に駆動室１２ｂ内に供給される圧縮空気によりピストン１４は前進方向に移動開始する。ピストン１４がストロークＳ移動してストッパ面１３ａに当接すると、ピストン１４が停止するとともに、前進限位置に対応して設けられた第１の磁気センサ２２ａがオン信号を出力する。 ［００４４］　第２の磁気センサ２２ｂがオフしてから第１の磁気センサ２２ａがオンするまでの時間を演算することにより、ピストン１４の実作動時間Ｔ１が求められる。」 ｉ．「［００４６］　上記の手順で目標作動時間Ｔ０と実作動時間Ｔ１が、許容される誤差の範囲に設定されて調整作業が終了する。調整作業終了後は、作動時間設定装置３１は不要であるので流量調整弁２４ａ，２４ｂと作動時間設定装置３１との接続は切り離しても良い。」 イ．そうすると、これらの事項からみて、甲第１号証には、本件特許の特許請求の範囲の記載に倣って整理すると、次の発明（以下、「引用発明１」という。）が記載されている。 「空気圧アクチュエータ１１のピストン１４の前進限位置に対応させて設けられた磁気センサ２２ａと、ピストン１４の後退限位置に対応させて設けられた磁気センサ２２ｂと、磁気センサ２２ａ，２２ｂから送られるセンサ信号によりピストン１４の位置を判定して流路切換弁１９のソレノイド１９ａに駆動信号を送るＰＬＣ（プログラマブルロジックコントローラ）２３と、を有する流体圧アクチュエータ駆動系の作動時間設定装置３１であって、 それぞれの磁気センサ２２ａ，２２ｂからのセンサ信号ａ，ｂに基づいてピストン１４が後退限位置から前進限位置に実際に移動したときの実作動時間Ｔ１及びピストン１４が逆方向に移動したときの実作動時間Ｔ１を演算するＣＰＵを有する作動時間設定装置３１。」 （２）甲第２号証 ア．甲第２号証（特開２００２－３０１６３８号公報）には、図面とともに、以下の記載がある。 ａ．「【００２３】次に、図５を参照して、制御・データ蓄積セクション１０２について説明する。図５は制御・データ蓄積セクション１０２の構成を示すブロック図である。この制御・データ蓄積セクション１０２は、第１コントローラ１０３および第２コントローラ１０４からなる制御ボックス１０５と、第１コントローラ１０３と第２コントローラ１０４との間で授受される信号を取り込んで蓄積するデータ蓄積ボックス１０６とを有している。 ・・・（中略）・・・ 【００２５】制御ボックス１０５における第２コントローラ１０４は、装置本体１０１の各処理ユニットを制御するものであり、複数のＩ／Ｏボードを介してセンサーや駆動部材等と接続されている。温度や湿度等の計測データ、アラームデータ、検出データ等を第１コントローラ１０３に出力し、第１コントローラ１０３の指令およびセンサー情報等に基づいて各処理ユニットの駆動系等の要素を制御する。」 ｂ．「【００２７】また、第１コントローラ１０３および第２コントローラ１０４で授受されない信号、例えばバルブ等の駆動部材に与えられる駆動信号を検出するための複数の付加的センサー（付加的検出部）１１１が設けられており、これら付加的センサー１１１は信号線１１２を介してデータ蓄積ボックス１０６に接続されている。したがって、この付加的センサー１１１の情報をデータ蓄積ボックス１０６へ取り込んで蓄積することができる。この際の信号の取り込みは、例えば２秒以下の間隔で行うことができる。」 ｃ．「【００２９】データ蓄積ボックス１０６は、図６に示すように、第１コントローラ１０３および第２コントローラ１０４で授受される信号を取り入れる装置本体インターフェース１２１と、その信号を処理する装置本体エージェント１２２と、付加的センサー１１１からの情報を取り入れる付加的センサーインターフェース１２３と、その信号を処理する付加的センサーエージェント１２４と、装置本体エージェント１２２および付加的センサーエージェント１２４との間でデータの授受を行いさらなるデータの処理および蓄積を行う蓄積データマネージャー１２５と、データベースマネージメントソフトウェア１２６と、データ蓄積のためのデータベースを記憶するデータベース記憶部１２７と、蓄積データを記憶する蓄積データ記憶部１２８とを有する。」 ｄ．「【００３２】一方、付加的センサー１１１からの情報は例えば２秒以下のサイクルでデータ蓄積ボックス１０６へ取り込まれ蓄積される。このとき、この信号は付加的センサーインターフェイス１２３を経て付加的センサーエージェント１２４および蓄積データマネージャー１２５により処理され、同様に蓄積データ記憶部１２８に蓄積される。 ・・・（中略）・・・ 【００３４】データ蓄積ボックス１０６にサンプリングされ、蓄積されるデータとしては、以下の５つのものが代表例として例示される。 （１）温度、湿度、気圧等の計測データ （２）処理中にトラブルが生じた際に発するアラームのデータ （３）塗布処理ユニット（ＣＯＴ）等の液処理ユニットにおける処理液のディスペンスデータ （４）シリンダ等の駆動系のデータ （５）ウエハ搬送および処理ユニットの処理情報 ・・・（中略）・・・ 【００３６】また、上述のように付加的センサー１１１を用いて第１コントローラ１０３と第２コントローラ１０４との間で授受が行われないデータを検出してデータ蓄積ボックス１０６に蓄積するようにしたので、蓄積するデータをより多様にすることができ、処理の履歴の把握をより高精度で行うことができる。」 ｅ．「【００４０】以下、具体的に説明する。上述したように、ウエハＷの昇降等には、シリンダ機構、一般的にはエアシリンダ機構が用いられる。エアシリンダ機構の一般的な構成を図７を参照して説明する。エアシリンダ機構１３０は、シリンダ本体１４０と、シリンダ本体１４０内を移動し、シリンダ本体１４０に対して進出（図では上昇）および退入（下降）動作するピストン１４１とを有している。シリンダ本体１４０の下部には下部エア導入口１４２が、上部には上部エア導入口１４３が設けられ、これらにはそれぞれ下部エア配管１４４および上部エア配管１４５が接続されており、下部エア配管１４４から下部エア導入口１４２を介してシリンダ本体１４０内にエアを導入することによりピストン１４１が上昇し、上部エア配管１４５から上部エア導入口１４３を介してシリンダ本体１４０内にエアを導入することによりピストン１４１が下降するようになっている。また、下部エア配管１４４および上部エア配管には、それぞれ第１のソレノイドバルブ（ＳＯＬ１）１４８および第２のソレノイドバルブ（ＳＯＬ２）１４９が設けられており、これらの開・閉を切り替えることにより、ピストン１４１が上昇または下降される。さらに、シリンダ本体１４０には、その上部に第１の位置センサー（センサー１）１４６が、その下部に第２の位置センサー（センサー２）１４７が設けられており、それぞれ、ピストン１４１の上限および下限を検出するようになっている。 【００４１】上記第１の位置センサー（センサー１）１４６、第２の位置センサー（センサー２）１４７、第１のソレノイドバルブ（ＳＯＬ１）１４８、および第２のソレノイドバルブ（ＳＯＬ２）１４９には、それぞれ信号ライン１５０，１５１，１５２，１５３が接続されており、これら信号ラインはＩ／Ｏボード１５４に接続されている。また、Ｉ／Ｏボード１５４は第２コントローラ１０４に接続されており、第２コントローラ１０４からの制御信号がＩ／Ｏボード１５４および信号ライン１５０，１５１，１５２，１５３を介してそれぞれ第１の位置センサー（センサー１）１４６、第２の位置センサー（センサー２）１４７、第１のソレノイドバルブ（ＳＯＬ１）１４８、および第２のソレノイドバルブ（ＳＯＬ２）１４９に送られるようになっている。具体的には、第２コントローラ１０４からＩ／Ｏボード１５４を介して第１のソレノイドバルブ（ＳＯＬ１）１４８および第２のソレノイドバルブ（ＳＯＬ２）１４９のいずれかに制御信号を出力してシリンダ本体１４０のピストン１４１の移動を開始させ、第１の位置センサー（センサー１）１４６がピストン１４１の上限を検出した際、および第２の位置センサー（センサー２）１４７がピストン１４１の下限を検出した際にその検出信号をＩ／Ｏボード１５４を介して第２コントローラ１０４に出力し、その信号に基づいてエアシリンダ機構１３０のピストン１４１の移動を停止させる。 【００４２】この際に、第１の位置センサー（センサー１）１４６、第２の位置センサー（センサー２）１４７、第１のソレノイドバルブ（ＳＯＬ１）１４８、および第２のソレノイドバルブ（ＳＯＬ２）１４９の信号ライン１５０，１５１，１５２，１５３には、それぞれ検出手段である付加的センサー１１１が接続されており、第１の位置センサー（センサー１）１４６および第２の位置センサー（センサー２）１４７の検出信号ならびに第１のソレノイドバルブ（ＳＯＬ１）１４８および第２のソレノイドバルブ（ＳＯＬ２）１４９の開閉信号を付加的センサー１１１により検出してそのデータをデータ蓄積ボックス１０６に蓄積させることができる。 【００４３】実際には、図８に示すように、第１および第２のソレノイドバルブ１４８，１４９の開閉タイミングおよび第１および第２の位置センサー１４６，１４７のＯＮ／ＯＦＦタイミングを時系列的なデータとして蓄積される。すなわち、例えば、まず第１のソレノイドバルブ（ＳＯＬ１）１４８が開にされるとピストン１４１の上昇が開始され（ＵＰ　ＳＴＡＲＴ）、第１の位置センサー（センサー１）１４６が作動（ＯＮ）した時点でピストン１４１の上昇が停止する（ＵＰ　ＥＮＤ）。次に、第１のソレノイドバルブ（ＳＯＬ１）１４８が閉および第２のソレノイドバルブ（ＳＯＬ２）１４９を開にされると、ピストン１４１の下降が開始され（ＤＯＷＮ　ＳＴＡＲＴ）、第２の位置センサー（センサー２）１４７が作動（ＯＮ）した時点でピストン１４１の下降が停止する（ＤＯＷＮ　ＥＮＤ）。そして再び第１のソレノイドバルブ（ＳＯＬ１）１４８が開にされてピストン１４１の上昇が開始され（ＵＰ　ＳＴＡＲＴ）、以下同様の動作が繰り返される。 【００４４】このようにすることにより、エアシリンダ機構１３０の動作履歴を時系列的に把握することができ、エアシリンダ機構１３０の動作に係る情報を有効に利用可能な状態で蓄積することができる。このため、今まで把握することができなかった、エアシリンダ機構１３０ごとの動作タイミングのばらつき等を把握することができる。例えば、マルチモジュールの各モジュールにおけるエアシリンダ機構１３０の動作にばらつきがある場合に、情報蓄積部の情報から各シリンダ機構の動作のずれを容易に把握することができ、エアシリンダ機構１３０の調整等の管理を有効に行うことができる。また、具体的には、ホットプレートユニット（ＨＰ）の加熱プレートの上方でウエハＷをウエハ搬送装置９０のピンセット９３から昇降ピン上に受け取り、ピストン１４１を降下させてウエハＷを加熱プレート上に載置し、所定時間後に昇降ピンを上昇させてウエハＷを持ち上げ、ピンセット９３により搬出するという一連の処理において、これら情報を時系列的にデータ蓄積ボックス１０６に蓄積し、かつウエハ搬送ログと組み合わせることにより、ホットプレートユニット（ＨＰ）ごとの処理のばらつきを把握することができ、これに基づいて、ホットプレートユニット（ＨＰ）の昇降ピンの動作タイミングの微調整等が可能となる。」 （特に段落００２３～００４４及び図５～７参照） イ．そうすると、これらの事項からみて、甲第２号証には次の技術が記載されている。 「エアシリンダ機構１３０のシリンダ本体１４０の上部に設けられ、ピストン１４１の上限を検出する第１の位置センサー（センサー１）１４６と、シリンダ本体１４０の下部に設けられ、ピストン１４１の下限を検出する第２の位置センサー（センサー２）１４７と、第１のソレノイドバルブ（ＳＯＬ１）１４８および第２のソレノイドバルブ（ＳＯＬ２）１４９のいずれかに制御信号を出力してピストン１４１の移動を開始させ、第１の位置センサー（センサー１）１４６および第２の位置センサー（センサー２）１４７の検出信号に基づいてエアシリンダ機構１３０のピストン１４１の移動を停止させる第２コントローラ１０４と、を備える装置において、 第１の位置センサー（センサー１）１４６の信号ライン１５０に一の付加的センサー１１１を接続して、第１の位置センサー（センサー１）１４６の検出信号を検出し、 第２の位置センサー（センサー２）１４７の信号ライン１５１に他の付加的センサー１１１を接続して、第２の位置センサー（センサー２）１４７の検出信号を検出し、 これら付加的センサー１１１を信号線１１２を介してデータ蓄積ボックス１０６に接続し、これら付加的センサー１１１の情報をデータ蓄積ボックス１０６へ取り込んで蓄積することにより、エアシリンダ機構１３０の動作履歴を時系列的に把握する。」 （３）甲第３号証 甲第３号証（国際公開第２００９／０２１５３１号）には、図面とともに、以下の記載がある。なお、アー・ウムラウトは「ａｅ」で、ウー・ウムラウトは「Ｕｅ」「ｕｅ」で、オー・ウムラウトは「ｏｅ」で、エスツェットは「ｓｓ」で、それぞれ、代替表示している。 ａ．「Ｄｉｅ　Ｅｒｆｉｎｄｕｎｇ　ｂｅｔｒｉｆｆｔ　ｅｉｎｅ　Ｄｉａｇｎｏｓｅｅｉｎｒｉｃｈｔｕｎｇ　ｚｕｒ　Ｕｅｂｅｒｗａｃｈｕｎｇ　ｄｅｒ　Ｂｅｗｅｇｕｎｇ　ｅｉｎｅｓ　Ａｋｔｏｒｇｌｉｅｄｓ　ｄｕｒｃｈ　ｚｗｅｉ　ｍａｇｎｅｔｆｅｌｄｓｅｎｓｉｔｉｖｅ　Ｓｅｎｓｏｒｅｎ．」（明細書第１ページ第１～３行） （仮訳：本発明は、２つの磁界検知センサによってアクチュエータ部材の動きをモニターする計測装置に関する。） ｂ．「Ｄｉｅ　ｅｒｆｉｎｄｕｎｇｓｇｅｍａｅｓｓｅ　Ｄｉａｇｎｏｓｅｅｉｎｒｉｃｈｔｕｎｇ　ｍｉｓｓｔ　ｄａｓ　Ｚｅｉｔｉｎｔｅｒｖａｌｌ，ｄａｓ　ｄａｓ　Ａｋｔｏｒｇｌｉｅｄ　ｚｕｍ　Ｐａｓｓｉｅｒｅｎ　ｄｅｒ　ｂｅｉｄｅｎ　Ｓｅｎｓｏｒｅｎ　ｂｅｎｏｅｔｉｇｔ，ｕｎｄ　ｖｅｒｇｌｅｉｃｈｔ　ｅｓ　ｍｉｔ　ｅｉｎｅｍ　ｇｅｓｐｅｉｃｈｅｒｔｅｎ　Ｓｏｌｌｗｅｒｔ．Ｈｉｅｒｄｕｒｃｈ　ｋｏｅｎｎｅｎ　Ｖｅｒａｅｎｄｅｒｕｎｇｅｎ　ｄｅｓ　Ｂｅｗｅｇｕｎｇｓａｂｌａｕｆｓ　ｉｎ　ｅｉｎｆａｃｈｅｒ　Ｗｅｉｓｅ　ｅｒｋａｎｎｔ　ｗｅｒｄｅｎ　ｓｏｗｉｅ　Ｖｅｒａｅｎｄｅｒｕｎｇｅｎ　ｕｅｂｅｒ　ｄｉｅ　Ｌｅｂｅｎｓｚｅｉｔ　ｄｅｓ　ｕｅｂｅｒｗａｃｈｔｅｎ　Ｐｒｏｚｅｓｓｅｓ．Ｂｅｉ　ｄｅｒ　Ｅｒｎｅｕｅｒｕｎｇ　ｖｏｎ　Ｐｒｏｚｅｓｓｋｏｍｐｏｎｅｎｔｅｎ　ｅｒｇｉｂｔ　ｓｉｃｈ　ｅｉｎｅ　ｅｉｎｆａｃｈｅ　Ｊｕｓｔａｇｅｍｏｅｇｌｉｃｈｋｅｉｔ　ｄａｄｕｒｃｈ，ｄａｓｓ　ｓｏ　ｌａｎｇｅ　ｊｕｓｔｉｅｒｔ　ｗｉｒｄ，ｂｉｓ　ｄｉｅ　ｇｅｓｐｅｉｃｈｅｒｔｅ　Ｓｏｌｌｚｅｉｔ　ｗｉｅｄｅｒ　ｅｒｒｅｉｃｈｔ　ｗｉｒｄ．Ｄｉｅ　Ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｅｒｕｎｇ　ｄｅｒ　ｉｎ　ｆｅｓｔｅｍ　Ａｂｓｔａｎｄ　ｚｕｅｉｎａｎｄｅｒ　ａｎｇｅｏｒｄｎｅｔｅｎ　Ｓｅｎｓｏｒｅｎ　ｅｎｔｌａｎｇ　ｄｅｒ　Ｂｅｗｅｇｕｎｇｓｂａｈｎ　ｉｓｔ　ｕｎｋｏｍｐｌｉｚｉｅｒｔ，ｄａ　ｅｓ　ｌｅｄｉｇｌｉｃｈ　ａｕｆ　ｄｅｎ　ｆｅｓｔ　ｅｉｎｇｅｓｔｅｌｌｔｅｎ　Ａｂｓｔａｎｄ　ｚｗｉｓｃｈｅｎ　ｄｅｎ　Ｓｅｎｓｏｒｅｎ，ｎｉｃｈｔ　ｊｅｄｏｃｈ　ａｕｆ　ｄｉｅ　ａｂｓｏｌｕｔｅ　Ｐｏｓｉｔｉｏｎ　ｅｎｔｌａｎｇ　ｄｅｒ　Ｂｅｗｅｇｕｎｇｓｂａｈｎ　ａｎｋｏｍｍｔ．」（明細書第２ページ第３～１６行） （仮訳：本発明の計測装置は、アクチュエータ部材が２つのセンサを通過するのに必要な時間間隔を測定し、記憶された設定値と比較する。その結果、動きの変化が容易に検出され、モニターされている寿命にわたって変化が検出される。プロセス構成要素を更新する場合には、記憶された目標時間に再度到達するまで調整することにより簡単に調整ができる。軌道に沿って一定間隔となったセンサの位置決めは、センサ間の一定距離にのみ依存し、軌道に沿った絶対位置には依存しないので、簡単である。） ｃ．「Ｂｅｉ　ｄｅｍ　ｉｎ　Ｆｉｇｕｒ　１　ｄａｒｇｅｓｔｅｌｌｔｅｎ　Ａｕｓｆｕｅｈｒｕｎｇｓｂｅｉｓｐｉｅｌ　ｉｓｔ　ｅｉｎｅ　ｆｌｕｉｄｉｓｃｈｅ　Ｋｏｌｂｅｎ－　Ｚｙｌｉｎｄｅｒ－Ａｎｏｒｄｎｕｎｇ　１０　ｓｃｈｅｍａｔｉｓｃｈ　ｄａｒｇｅ－ｓｔｅｌｌｔ．Ｅｉｎ　ｉｎ　ｅｉｎｅｍ　ｆｌｕｉｄｉｓｃｈｅｎ　Ｚｙｌｉｎｄｅｒ　１１　ｖｅｒｓｃｈｉｅｂｂａｒｅｒ　Ｋｏｌｂｅｎ　１２　ｂｅｗｅｇｔ　ｓｉｃｈ　ｅｎｔｌａｎｇ　ｅｉｎｅｒ　ｌｉｎｅａｒｅｎ　Ｂｅｗｅｇｕｎｇｓｂａｈｎ　１３．Ｅｎｔｌａｎｇ　ｄｅｒ　Ｂｅｗｅｇｕｎｇｓｂａｈｎ　１３　ａｍ　Ｚｙｌｉｎｄｅｒ　１１，ｂｅｉｓｐｉｅｌｓｗｅｉｓｅ　ｉｎ　ｏｄｅｒ　ａｍ　Ｚｙｌｉｎｄｅｒｇｅｈａｅｕｓｅ，ｉｓｔ　ｅｉｎ　Ｓｅｎｓｏｒｍｏｄｕｌ　１４　ａｎｇｅｂｒａｃｈｔ，ｄａｓ　ｚｗｅｉ　ｉｎ　ｄｅｒ　Ｂｅｗｅｇｕｎｇｓｒｉｃｈｔｕｎｇ　１３　ｖｏｎｅｉｎａｎｄｅｒ　ｉｎ　ｆｅｓｔｅｍ　Ａｂｓｔａｎｄ　ａｎｇｅｏｒｄｎｅｔｅ　ｍａｇｎｅｔｆｅｌｄｓｅｎｓｉｔｉｖｅ　Ｓｅｎｓｏｒｅｎ　２０，２１　ｅｎｔｈａｅｌｔ．Ｈｉｅｒｂｅｉ　ｋａｎｎ　ｅｓ　ｓｉｃｈ　ｂｅｉｓｐｉｅｌｓｗｅｉｓｅ　ｕｍ　Ｈａｌｌ－Ｓｅｎｓｏｒｅｎ，ＭＲ－　Ｓｅｎｓｏｒｅｎ　ｏｄｅｒ　Ｓｐｕｌｅｎ　ｈａｎｄｅｌｎ．Ｂｅｉｍ　Ｐａｓｓｉｅｒｅｎ　ｅｉｎｅｓ　ａｍ　ｏｄｅｒ　ｉｍ　Ｋｏｌｂｅｎ　１２　ａｎｇｅｏｒｄｎｅｔｅｎ　Ｐｅｒｍａｎｅｎｔｍａｇｎｅｔｅｎ　２２　ｗｉｒｄ　ｉｎ　ｄｅｎ　Ｓｅｎｓｏｒｅｎ　２０，２１　ｊｅｗｅｉｌｓ　ｅｉｎ　ｅｎｔｓｐｒｅｃｈｅｎｄｅｓ　Ｓｅｎｓｏｒｓｉｇｎａｌ　ａｕｓｇｅｌｏｅｓｔ，ｗｉｅ　ｄｉｅｓ　ｂｅｉ　ｄｅｎ　ｉｍ　ｅｉｎｇａｎｇｓ　ａｎｇｅｇｅｂｅｎｅｎ　Ｓｔａｎｄ　ｄｅｒ　Ｔｅｃｈｎｉｋ　ｂｅｓｃｈｒｉｅｂｅｎｅｎ　Ｐｏｓｉｔｉｏｎｓｓｅｎｓｏｒｅｎ　ｅｎｔｓｐｒｅｃｈｅｎｄ　ｄｅｒ　Ｆａｌｌ　ｉｓｔ． Ｄｉｅ　Ｓｅｎｓｏｒｓｉｇｎａｌｅ　ｗｅｒｄｅｎ　ｅｉｎｅｒ　Ｓｅｎｄｅｅｉｎｒｉｃｈｔｕｎｇ　２３　ｉｍ　Ｓｅｎｓｏｒｍｏｄｕｌ　１９　ｚｕｇｅｆｕｅｈｒｔ　ｕｎｄ　ｄｒａｈｔｌｏｓ　ａｎ　ｅｉｎｅ　ｅｘｔｅｒｎｅ　Ａｕｓｗｅｒｔｅ－　ｕｎｄ　Ｄｉａｇｎｏｓｅｅｉｎｒｉｃｈｔｕｎｇ　２４　ｕｅｂｅｒｍｉｔｔｅｌｔ，ｄｉｅ　ｅｉｎｅ　ｅｎｔｓｐｒｅｃｈｅｎｄｅ　Ｅｍｐｆａｎｇｓｅｉｎｒｉｃｈｔｕｎｇ　２５　ｂｅｓｉｔｚｔ．」（明細書第４ページ第１３行～第５ページ第２行） （仮訳：図１に示された実施形態においては、流体ピストンシリンダ装置１０が概略的に示されている。ピストン１２、直線移動軌跡１３に沿って流体シリンダ１１の中を移動可能である。シリンダ１１の移動軌跡に沿って、例えば、シリンダハウジングの内部またはシリンダハウジングにセンサモジュール１４が装着され、センサモジュールには、お互いに移動軌跡１３の方向に一定間隔となった磁界検知センサ２０、２１が設けられている。これらは、例えば、ホールセンサ、ＭＲセンサまたはコイルとしても良い。ピストン１２に取り付けられるかその内部に組み込まれた永久磁石２２が通過するとき、上述した従来技術に記載される位置センサの場合と同様に、２つのセンサ２０、２１のうち対応するセンサにトリガ信号が送られる。 センサ信号は、センサモジュール１４における送信器２３に送られ、対応する受信器２５が設けられた外部の評価計測装置２４に無線で送られる。） ｄ．「Ｄｉｅ　Ｓｉｇｎａｌｅ　ｄｅｒ　ｂｅｉｄｅｎ　Ｓｅｎｓｏｒｅｎ　２０，２１　ｗｅｒｄｅｎ　ｅｉｎｅｒ　Ｚｅｉｔｅｒｆａｓｓｕｎｇｓｅｉｎｒｉｃｈｔｕｎｇ　２６　ｚｕｇｅｆｕｅｈｒｔ，ｉｎ　ｄｅｒ　ｄｉｅ　Ｄｉｆｆｅｒｅｎｚｚｅｉｔ　？ｔ　ｚｗｉｓｃｈｅｎ　ｄｅｍ　Ａｕｆｔｒｅｔｅｎ　ｄｅｒ　ｂｅｉｄｅｎ　Ｓｅｎｓｏｒｓｉｇｎａｌｅ　ｂｅｓｔｉｍｍｔ　ｗｉｒｄ．Ｄｉｅｓｅ　ｅｎｔｓｐｒｉｃｈｔ　ｄｅｒ　Ｌａｕｆｚｅｉｔ　ｄｅｓ　Ａｋｔｏｒｇｌｉｅｄｓ　ｖｏｎ　ｅｉｎｅｍ　Ｓｅｎｓｏｒ　２０　ｚｕｍ　ａｎｄｅｒｅｎ　Ｓｅｎｓｏｒ　２１．Ｉｎ　ｅｉｎｅｒ　ｅｌｅｋｔｒｏｎｉｓｃｈｅｎ　Ｓｐｅｉｃｈｅｒｅｉｎｒｉｃｈｔｕｎｇ　２７　ｉｓｔ　ｅｉｎｅ　Ｓｏｌｌｌａｕｆｚｅｉｔ　ｇｅｓｐｅｉｃｈｅｒｔ．Ｄｉｅｓｅ　Ｓｏｌｌｌａｕｆｚｅｉｔ　ｗｉｒｄ　ｉｎ　ｅｉｎｅｒ　Ｖｅｒｇｌｅｉｃｈｓｅｉｎｒｉｃｈｔｕｎｇ　２８　ｍｉｔ　ｄｅｒ　ｊｅｗｅｉｌｓ　ａｋｔｕｅｌｌ　ｇｅｍｅｓｓｅｎｅｎ　Ｌａｕｆｚｅｉｔ　ｖｅｒｇｌｉｃｈｅｎ．Ｗｉｒｄ　ｅｉｎｅ　ｖｏｒｇｅｇｅｂｅｎｅ　Ａｂｗｅｉｃｈｕｎｇ　ｚｗｉｓｃｈｅｎ　Ｓｏｌｌｌａｕｆｚｅｉｔ　ｕｎｄ　ａｋｔｕｅｌｌｅｒ　Ｌａｕｆｚｅｉｔ　ｕｅｂｅｒｓｃｈｒｉｔｔｅｎ，ｓｏ　ｅｒｚｅｕｇｔ　ｅｉｎｅ　ｎａｃｈｇｅｓｃｈａｌｔｅｔｅ　Ｓｃｈｗｅｌｌｗｅｒｔｓｔｕｆｅ　２９　ｅｉｎ　ｅｎｔｓｐｒｅｃｈｅｎｄｅｓ　Ｍｅｌｄｅｓｉｇｎａｌ．Ｄｉｅ　ｖｏｒｇｅｇｅｂｅｎｅ　Ａｂｗｅｉｃｈｕｎｇ　ｋａｎｎ　ｓｅｌｂｓｔｖｅｒｓｔａｅｎｄｌｉｃｈ　ａｕｃｈ　ｅｉｎｓｔｅｌｌｂａｒ　ａｕｓｇｅｂｉｌｄｅｔ　ｓｅｉｎ，ｗｏｂｅｉ　ｄｉｅ　Ｓｃｈｗｅｌｌｗｅｒｔｓｔｕｆｅ　２９　ａｕｃｈ　ｉｎ　ｄｅｒ　Ｖｅｒｇｌｅｉｃｈｓｅｉｎｒｉｃｈｔｕｎｇ　２８　ｉｎｔｅｇｒｉｅｒｔ　ｓｅｉｎ　ｋａｎｎ． Ｄｉｅ　Ｍｅｌｄｕｎｇ　ｄｅｓ　Ｕｅｂｅｒｓｃｈｒｅｉｔｅｎｓ　ｄｅｒ　ｍａｘｉｍａｌ　ｚｕｌａｅｓｓｉｇｅｎ　Ａｂｗｅｉｃｈｕｎｇ　ｅｒｆｏｌｇｔ　ｇｅｍａｅｓｓ　ｄｅｍ　Ａｕｓｆｕｅｈｒｕｎｇｓｂｅｉｓｐｉｅｌ　ｄｕｒｃｈ　ｅｉｎｅ　ｏｐｔｉｓｃｈｅ　Ｍｅｌｄｅｅｉｎｒｉｃｈｔｕｎｇ　３０，ｄｉｅ　ｂｅｉｓｐｉｅｌｓｗｅｉｓｅ　ｅｉｎｅ　Ｌｅｕｃｈｔｅ，ｗｉｅ　ｅｉｎｅ　Ｌｅｕｃｈｔｄｉｏｄｅ　ｏｄｅｒ　ｅｉｎ　Ｄｉｓｐｌａｙ，ｓｅｉｎ　ｋａｎｎ．Ａｌｔｅｒｎａｔｉｖ　ｏｄｅｒ　ｚｕｓａｅｔｚｌｉｃｈ　ｋａｎｎ　ａｕｃｈ　ｎｏｃｈ　ｅｉｎｅ　ａｋｕｓｔｉｓｃｈｅ　Ｍｅｌｄｅｅｉｎｒｉｃｈｔｕｎｇ　ｖｏｒｇｅｓｅｈｅｎ　ｓｅｉｎ．Ｗｅｉｔｅｒｈｉｎ　ｋａｎｎ　ｄａｓ　Ｍｅｌｄｅｓｉｇｎａｌ　ｕｅｂｅｒ　ｅｉｎｅ　Ｌｅｉｔｕｎｇ　３１　ｏｄｅｒ　ｄｒａｈｔｌｏｓ　ｅｉｎｅｒ　ｅｘｔｅｒｎｅｎ　Ｚｅｎｔｒａｌｅ　ｏｄｅｒ　Ｕｅｂｅｒｗａｃｈｕｎｇｓｅｉｎｒｉｃｈｔｕｎｇ　ｚｕｇｅｆｕｅｈｒｔ　ｗｅｒｄｅｎ，ｄｉｅ　ｂｅｉｓｐｉｅｌｓｗｅｉｓｅ　ａｕｃｈ　ａｎｄｅｒｅ　Ｋｏｍｐｏｎｅｎｔｅｎ　ｕｅｂｅｒｗａｃｈｔ」（明細書第５ページ第５～２７行） （仮訳：２つのセンサ２０、２１の信号は、時間検知器２６に送られ、そこで、２つのセンサ信号の発生間の時間差ｔが決定される。これは、１つのセンサ２０から他のセンサ２１へのアクチュエータ部材の通過時間に対応する。電子メモリデバイス２７には、目標走行時間が記憶される。この設定走行時間は、比較器において、現在測定された通過時間と比較される。設定走行時間と測定された通過時間との間か所定の偏差を超えたときには、下流側の閾値ステージ２９では対応するメッセージ信号を生成する。勿論、所定の偏差は調整可能に設計され、閾値ステージ２９を比較器２８に組み込むこともできる。 最大許容偏差を超えるメッセージは、例えば、発光ダイオードやディスプレイのような照明器とすることができる光表示器３０からなる実施の形態によって行われる。これに加えるか、またはこれに代えて、音響信号装置を設けることもできる。さらに、メッセージ信号は、ライン３１を介するかまたは無線で、他の構成要素をモニターする外部センタまたはモニター装置に供給することができる。） ｅ．「Ｄｉｅ　ｉｎ　Ｆｉｇｕｒ　２　ｅｒｌａｅｕｔｅｒｔｅｎ　Ｆｕｎｋｔｉｏｎｅｎ，Ｂａｕｔｅｉｌｅ　ｕｎｄ　Ｂａｕｇｒｕｐｐｅｎ　ｋｏｅｎｎｅｎ　ｅｎｔｗｅｄｅｒ　ｉｍ　Ｓｅｎｓｏｒｍｏｄｕｌ　１４　ｏｄｅｒ　ｉｎ　ｄｅｒ　Ａｕｓｗｅｒｔｅ－　ｕｎｄ　Ｄｉａｇｎｏｓｅｅｉｎｒｉｃｈｔｕｎｇ　２４　ｏｄｅｒ　ｖｅｒｔｅｉｌｔ　ｉｎ　ｂｅｉｄｅｎ　ｅｎｔｈａｌｔｅｎ　ｓｅｉｎ．Ｄｉｅ　ｕｅｂｅｒ　ｅｉｎｅ　Ｌｅｉｔｕｎｇ　ｏｄｅｒ　ｄｒａｈｔｌｏｓ　ｕｅｂｅｒｔｒａｇｅｎｅｎ　Ｓｉｇｎａｌｅ　ｋｏｅｎｎｅｎ　ｄａｈｅｒ　ｅｎｔｓｐｒｅｃｈｅｎｄ　ｅｎｔｗｅｄｅｒ　Ｓｅｎｓｏｒｓｉｇｎａｌｅ，Ｌａｕｆｚｅｉｔｓｉｇｎａｌｅ，Ｖｅｒｇｌｅｉｃｈｓｓｉｇｎａｌｅ　ｏｄｅｒ　Ｍｅｌｄｅｓｉｇｎａｌｅ　ｓｅｉｎ．Ｄｉｅ　ｊｅｗｅｉｌｓ　ｉｍ　Ｓｅｎｓｏｒｍｏｄｕｌ　１４　ｕｎｄ　ｉｎ　ｄｅｒ　Ａｕｓｗｅｒｔｅ－　ｕｎｄ　Ｄｉａｇｎｏｓｅｅｉｎｒｉｃｈｔｕｎｇ　２４　ｅｎｔｈａｌｔｅｎｅｎ　Ｋｏｍｐｏｎｅｎｔｅｎ　ｋｏｅｎｎｅｎ　ｊｅ　ｎａｃｈ　Ｕｍｆａｎｇ　ｉｎ　ｅｉｎｅｍ　Ｍｉｋｒｏｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ　ｆｕｎｋｔｉｏｎａｌ　ｉｎｔｅｇｒｉｅｒｔ　ｓｅｉｎ．」（明細書第６ページ第１４～２２行） （仮訳：図２で説明された機能、構成要素およびアセンブリは、センサモジュール１４または評価計測装置２４のいずれか一方または双方に分散配置されていても良い。有線または無線を介して送信される信号は、それに応じて、センサ信号、走行信号、比較信号またはメッセージ信号のいずれかに対応することができる。センサモジュール１４および評価計測装置２４に含まれる構成要素は、程度に応じて、マイクロコントローラ内に機能的に統合することができる。） ｆ．「Ｗｅｎｉｇｓｔｅｎｓ　ｅｉｎｅｒ　ｄｅｒ　Ｓｅｎｓｏｒｅｎ　２０，２１　ｄｅｓ　Ｓｅｎｓｏｒｍｏｄｕｌｓ　１４　ｕｎｄ／ｏｄｅｒ　ｗｅｎｉｇｓｔｅｎｓ　ｅｉｎ　Ｓｅｎｓｏｒ　ｄｅｓ　Ｓｅｎｓｏｒｍｏｄｕｌｓ　３２　ｋｏｅｎｎｅｎ　ｎｏｃｈ　ｚｕｓａｅｔｚｌｉｃｈ　ａｌｓ　Ｐｏｓｉｔｉｏｎｓｓｅｎｓｏｒｅｎ　ｚｕｒ　Ｅｒｆａｓｓｕｎｇ　ｖｏｎ　Ｋｏｌｂｅｎｐｏｓｉｔｉｏｎｅｎ，ｉｎｓｂｅｓｏｎｄｅｒｅ　ｖｏｎ　Ｅｎｄｌａｇｅｎｐｏｓｉｔｉｏｎｅｎ，ｅｉｎｇｅｓｅｔｚｔ　ｗｅｒｄｅｎ．Ｄｉｅ　ｅｎｔｓｐｒｅｃｈｅｎｄｅｎ　ｚｕｓａｅｔｚｌｉｃｈｅｎ　Ｐｏｓｉｔｉｏｎｓｓｉｇｎａｌｅ　ｋｏｅｎｎｅｎ　ｅｂｅｎｆａｌｌｓ　ｄｒａｈｔｇｅｂｕｎｄｅｎ　ｏｄｅｒ　ｄｒａｈｔｌｏｓ　ｄｅｒ　Ａｕｓｗｅｒｔｅ－　ｕｎｄ　Ｄｉａｇｎｏｓｅｅｉｎｒｉｃｈｔｕｎｇ　２４　ｏｄｅｒ　ｅｉｎｅｒ　ｅｎｔｓｐｒｅｃｈｅｎｄｅｎ　Ｓｔｅｕｅｒｅｉｎｒｉｃｈｔｕｎｇ　ｚｕｇｅｌｅｉｔｅｔ　ｗｅｒｄｅｎ．」（明細書第７ページ第１～８行） （仮訳：センサモジュール１４のセンサ２０、２１の少なくとも１つおよび／またはセンサモジュール３２の少なくとも１つのセンサは、ピストン位置、特に端部位置を検出するための位置センサとしてさらに使用することもできる。対応する追加の位置信号も、同様に、有線または無線で評価計測送致２４または対応する制御装置に送信することができる。） （４）甲第４号証 甲第４号証（欧州特許第１５５５４７２号明細書）には、図面とともに、以下の記載がある。なお、アー・ウムラウトは「ａｅ」で、ウー・ウムラウトは「ｕｅ」で、オー・ウムラウトは「ｏｅ」で、エスツェットは「ｓｓ」で、それぞれ、代替表示している。 ａ．「［００２５］　Ｆｉｇｕｒ　１　ｚｅｉｇｔ　ｅｉｎ　ｂｅｖｏｒｚｕｇｔｅｓ　Ａｕｓｆｕｅｈｒｕｎｇｓｂｅｉｓｐｉｅｌ　ｄｅｒ　ｅｒｆｉｎｄｕｎｇｓｇｅｍａｅｓｓｅｎ　Ｖｏｒｒｉｃｈｔｕｎｇ　１１　ｚｕｒ　Ｆｕｎｋｔｉｏｎｓｕｅｂｅｒｗａｃｈｕｎｇ　ｖｏｎ　ｄｅｒ　Ｆｌｕｉｄｓｔｅｕｅｒｕｎｇ　ｄｉｅｎｅｎｄｅｎ　Ｖｅｎｔｉｌｅｎ　１２，ｖｏｎ　ｄｅｎｅｎ　ｂｅｉｓｐｉｅｌｈａｆｔ　ｅｉｎ　３／２－Ｗｅｇｅｖｅｎｔｉｌ　ｄａｒｇｅｓｔｅｌｌｔ　ｉｓｔ．Ｄａｓ　Ｖｅｎｔｉｌ　１２　ｉｓｔ　ｍｉｔ　ｅｉｎｅｍ　ｚｕ　ｂｅｔａｅｔｉｇｅｎｄｅｎ　Ａｎｔｒｉｅｂｓｇｌｉｅｄ　ｂｚｗ．Ａｋｔｏｒ　ｇｅｋｏｐｐｅｌｔ　ｄａｓ　ｂｅｉｓｐｉｅｌｈａｆｔ　ｉｎ　Ｆｏｒｍ　ｅｉｎｅｓ　ｅｉｎｆａｃｈ　ｗｉｒｋｅｎｄｅｎ　Ｄｒｕｃｋｌｕｆｔｚｙｌｉｎｄｅｒｓ　１３　ｍｉｔ　Ｒｕｅｃｋｓｔｅｌｌｆｅｄｅｒ　ｄａｒｇｅｓｔｅｌｌｔ　ｉｓｔ．Ｓｅｌｂｓｔｖｅｒｓｔａｅｎｄｌｉｃｈ　ｋｏｅｎｎｅｎ　ｖｅｒｓｃｈｉｅｄｅｎｓｔｅ　Ａｒｔｅｎ　ｖｏｎ　Ａｋｔｏｒｅｎ　ｍｉｔｔｅｌｓ　ｄｅｓ　Ｖｅｎｔｉｌｓ　１２　ｂｅｔａｅｔｉｇｔ　ｗｅｒｄｅｎ． ［００２６］　Ｄａｓ　Ｖｅｎｔｉｌ　１２　ｂｅｓｉｔｚｔ　ｅｉｎ　ｅｌｅｋｔｒｉｓｃｈｅｓ　Ｂｅｔａｅｔｉｇｕｎｇｓｇｌｉｅｄ　１４　ｚｕｒ　Ｖｅｎｔｉｌｂｅｔａｅｔｉｇｕｎｇ，ｄａｓ　ｂｅｉｓｐｉｅｌｈａｆｔ　ｉｎ　Ｆｏｒｍ　ｅｉｎｅｓ　Ｅｌｅｋｔｒｏｍａｇｎｅｔｅｎ　ｄａｒｇｅｓｔｅｌｌｔ　ｉｓｔ．Ｐｒｉｎｚｉｐｉｅｌｌ　ｓｉｎｄ　ａｕｃｈ　ａｎｄｅｒｅ　Ａｒｔｅｎ　ｖｏｎ　ｅｌｅｋｔｒｉｓｃｈｅｎ　Ｂｅｔａｅｔｉｇｕｎｇｓｇｌｉｅｄｅｒｎ　ｅｉｎｓｅｔｚｂａｒ，ｂｅｉｓｐｉｅｌｓｗｅｉｓｅ　Ｐｉｅｚｏｅｌｅｍｅｎｔｅ　ｏ．ｄｇｌ．Ｄｅｒ　Ｅｌｅｋｔｒｏｍａｇｎｅｔ　ｄｉｅｎｔ　ｇｅｍａｅｓｓ　ｂｅｖｏｒｚｕｇｔｅｍ　Ａｕｓｆｕｅｈｒｕｎｇｓｂｅｉｓｐｉｅｌ　ｚｕｒ　Ｂｅｔａｅｔｉｇｕｎｇ　ｅｉｎｅｓ　Ｖｏｒｓｔｅｕｅｒｖｅｎｔｉｌｓ　１５，ｄａｓ　ｓｅｉｎｅｒｓｅｉｔｓ　ｚｕｒ　ｐｎｅｕｍａｔｉｓｃｈｅｎ　Ｂｅｔａｅｔｉｇｕｎｇ　ｄｅｓ　ｅｉｇｅｎｔｌｉｃｈｅｎ　Ｈａｕｐｔｖｅｎｔｉｌｓ　３０　ｅｉｎｇｅｓｅｔｚｔ　ｗｉｒｄ，ｂｅｉｓｐｉｅｌｓｗｅｉｓｅ　ｄｅｒａｒｔ，ｄａｓｓ　ｅｉｎ　Ａｎｔｒｉｅｂｓｋｏｌｂｅｎ　ｄｅｓ　Ｈａｕｐｔｖｅｎｔｉｌｓ　３０　ｍｉｔｔｅｌｓ　Ｄｒｕｃｋｂｅａｕｆｓｃｈｌａｇｕｎｇ　ｉｎ　ｖｅｒｓｃｈｉｅｄｅｎｅ　Ｓｃｈａｌｔｓｔｅｌｌｕｎｇｅｎ　ｇｅｂｒａｃｈｔ　ｗｅｒｄｅｎ　ｋａｎｎ，ｓｏ　ｄａｓｓ　ｄａｄｕｒｃｈ　ｖｅｒｓｃｈｉｅｄｅｎｅ　Ｖｅｎｔｉｌｋａｎａｅｌｅ　ｍｉｔｅｉｎａｎｄｅｒ　ｖｅｒｂｕｎｄｅｎ　ｏｄｅｒ　ｖｏｎｅｉｎａｎｄｅｒ　ｇｅｔｒｅｎｎｔ　ｗｅｒｄｅｎ　ｋｏｅｎｎｅｎ．Ａｕｆ　ｄｅｎ　Ａｕｆｂａｕ　ｄｅｓ　Ｖｏｒｓｔｅｕｅｒ－　ｕｎｄ　ｄｅｓ　Ｈａｕｐｔｖｅｎｔｉｌｓ　１５，３０　ｓｏｌｌ　ｉｍ　ｆｏｌｇｅｎｄｅｎ　ｎｉｃｈｔ　ｎａｅｈｅｒ　ｅｉｎｇｅｇａｎｇｅｎ　ｗｅｒｄｅｎ． ［００２７］　Ｄａｓ　ｅｌｅｋｔｒｉｓｃｈｅ　Ｂｅｔａｅｔｉｇｕｎｇｓｇｌｉｅｄ　１４　ｉｓｔ　ｍｉｔ　ｅｉｎｅｒ　Ｂｅｔｒｉｅｂｓｚｕｓｔａｎｄｓａｎｚｅｉｇｅ　１６　ｇｅｋｏｐｐｅｌｔ，ｄｉｅ　ｂｅｉｓｐｉｅｌｈａｆｔ　ａｎｈａｎｄ　ｅｉｎｅｒ　ＬＥＤ　ｄａｒｇｅｓｔｅｌｌｔ　ｉｓｔ．Ｄｉｅ　Ｂｅｔｒｉｅｂｓｚｕｓｔａｎｄｓａｎｚｅｉｇｅ　１６　ｄｉｅｎｔ　ｚｕｒ　Ａｎｚｅｉｇｅ　ｄｅｓ　ａｋｔｕｅｌｌｅｎ　Ｂｅｔｒｉｅｂｓｚｕｓｔａｎｄｅｓ　ｄｅｓ　ｅｌｅｋｔｒｉｓｃｈｅｎ　Ｂｅｔａｅｔｉｇｕｎｇｓｇｌｉｅｄｓ　１４，ｂｅｉｓｐｉｅｌｓｗｅｉｓｅ　ｉｎ　ｄｅｒ　Ｆｏｒｍ，ｄａｓ　ｂｅｉ　ｅｉｎｅｒ　Ｅｒｒｅｇｕｎｇ　ｄｅｒ　ｉｍ　Ｅｌｅｋｔｒｏｍａｇｎｅｔｅｎ　ｂｅｆｉｎｄｌｉｃｈｅｎ　Ｍａｇｎｅｔｓｐｕｌｅ　ｄｉｅ　ＬＥＤ　ａｕｆｌｅｕｃｈｔｅｔ　ｕｎｄ　ｓｏｍｉｔ　ｅｉｎｅｎ　Ｆｕｎｋｔｉｏｎｓｚｕｓｔａｎｄ　ａｎｚｅｉｇｔ，ｗａｅｈｒｅｎｄ　ｄｉｅ　ＬＥＤ　ｉｍ　ｕｎｅｒｒｅｇｔｅｎ　Ｚｕｓｔａｎｄ　ｄｅｒ　Ｍａｇｎｅｔｓｐｕｌｅ　ｄｕｎｋｅｌ　ｂｌｅｉｂｔ． ［００２８］　Ｄｉｅ　Ｖｏｒｒｉｃｈｔｕｎｇ　１１　ｚｕｒ　Ｆｕｎｋｔｉｏｎｓｕｅｂｅｒｗａｃｈｕｎｇ　ｄｅｓ　Ｖｅｎｔｉｌｓ　１２　ｕｍｆａｓｓｔ　ｅｉｎｅｎ　ｏｐｔｉｓｃｈｅｎ　Ｓｅｎｓｏｒ　１７，ｄｅｒ　ｂｅｉｓｐｉｅｌｈａｆｔ　ａｎｈａｎｄ　ｅｉｎｅｒ　Ｆｏｔｏｄｉｏｄｅ　ｄａｒｇｅｓｔｅｌｌｔ　ｉｓｔ．Ｄｉｅ　Ｆｏｔｏｄｉｏｄｅ　ｉｓｔ　ｄｅｒ　Ｂｅｔｒｉｅｂｓｚｕｓｔａｎｄｓａｎｚｅｉｇｅ　１６　ｚｕｇｅｗａｎｄｔ　ｕｎｄ　ｄｉｅｎｔ　ｚｕｒ　ｏｐｔｉｓｃｈｅｎ　Ｅｒｆａｓｓｕｎｇ　ｅｉｎｅｒ　Ｂｅｔｒｉｅｂｓｚｕｓｔａｎｄｓａｅｎｄｅｒｕｎｇ　ｄｅｓ　ｅｌｅｋｔｒｉｓｃｈｅｎ　Ｂｅｔａｅｔｉｇｕｎｇｓｇｌｉｅｄｓ　１４．Ｄｅｒ　ｏｐｔｉｓｃｈｅ　Ｓｅｎｓｏｒ　１７　ｉｓｔ　ｍｉｔ　ｅｉｎｅｒ　Ｓｉｇｎａｌｖｅｒａｒｂｅｉｔｕｎｇｓｅｉｎｒｉｃｈｔｕｎｇ　１８　ｇｅｋｏｐｐｅｌｔ，ｄｉｅ　ｉｎ　ｎａｃｈｆｏｌｇｅｎｄ　ｎａｅｈｅｒ　ｚｕ　ｓｃｈｉｌｄｅｒｎｄｅｎ　Ｗｅｉｓｅ　ｚｕｒ　Ｓｉｇｎａｌｖｅｒａｒｂｅｉｔｕｎｇ　ｄｅｒ　ｖｏｍ　ｏｐｔｉｓｃｈｅｎ　Ｓｅｎｓｏｒ　１７　ｕｅｂｅｒｍｉｔｔｅｌｔｅｎ　Ｓｉｇｎａｌｅ　ｄｉｅｎｔ．Ｄｉｅ　Ｓｉｇｎａｌｖｅｒａｒｂｅｉｔｕｎｇｓｅｉｎｒｉｃｈｔｕｎｇ　１８　ｂｅｓｉｔｚｔ　ｅｉｎｅ　Ａｎａｌｙｓｅｅｉｎｈｅｉｔ　１９　ｂｅｉｓｐｉｅｌｓｗｅｉｓｅ　ｅｉｎ　Ｄｉｓｐｌａｙ，ａｕｆ　ｄｅｒ　ｖｅｒｓｃｈｉｅｄｅｎｅ　Ｓｉｇｎａｌｅ　ｉｎ　Ｆｏｒｍ　ｖｏｎ　”Ｐｅａｋｓ”ａｎｇｅｚｅｉｇｔ　ｗｅｒｄｅｎ　ｋｏｅｎｎｅｎ． ［００２９］　Ｅｓ　ｉｓｔ　ｆｅｒｎｅｒ　ｅｉｎｅ　Ｅｒｆａｓｓｕｎｇｓｅｉｎｒｉｃｈｔｕｎｇ　２０　ｖｏｒｇｅｓｅｈｅｎ，ｄｉｅ　ａｎ　ｅｉｎｅｍ　ｄｅｎ　Ｖｅｎｔｉｌａｕｓｇａｎｇ　ｕｎｄ　ｄｅｎ　Ａｋｔｏｒ　ｖｅｒｂｉｎｄｅｎｄｅｎ　Ｄｒｕｃｋｓｃｈｌａｕｃｈ　４０　ａｎｇｅｂｒａｃｈｔ　ｉｓｔ．Ｗｉｅ　ｉｎ　Ｆｉｇｕｒ　３　ｄａｒｇｅｓｔｅｌｌｔ，ｕｍｆａｓｓｔ　ｄｉｅ　Ｅｒｆａｓｓｕｎｇｓｖｏｒｒｉｃｈｔｕｎｇ　２０　ｅｉｎｅ　Ｂｅｆｅｓｔｉｇｕｎｇｓｋｌｅｍｍｅ　２１，ｄｉｅ　ａｍ　Ｄｒｕｃｋｓｃｈｌａｕｃｈ　４０　ｂｅｆｅｓｔｉｇｔ　ｗｅｒｄｅｎ　ｋａｎｎ．Ｄｉｅ　Ｂｅｆｅｓｔｉｇｕｎｇｓｋｌｅｍｍｅ　２１　ｂｅｓｉｔｚｔ　ｉｈｒｅｒｓｅｉｔｓ　ｚｗｅｉ　Ｋｌｅｍｍｓｃｈｅｎｋｅｌ　２２ａ，２２ｂ，ｄｉｅ　ａｕｆ　ｄｅｎ　Ｄｒｕｃｋｓｃｈｌａｕｃｈ　４０　ｇｅｋｌｅｍｍｔ　ｗｅｒｄｅｎ　ｋｏｅｎｎｅｎ，ｗｏｂｅｉ　ｓｉｃｈ　ａｎ　ｅｉｎｅｍ　Ｋｌｅｍｍｓｃｈｅｎｋｅｌ　２２ｂ　ｅｉｎ　Ｂｅｓｃｈｌｅｕｎｉｇｕｎｇｓｓｅｎｓｏｒ　２３　ｂｅｆｉｎｄｅｔ，ｄｅｒ　ｅｉｎｅ　Ｄｒｕｃｋａｅｎｄｅｒｕｎｇ　ｉｍ　Ｓｃｈｌａｕｃｈ，ｄｉｅ　ｍｉｔ　ｅｉｎｅｒ　Ｄｕｒｃｈｍｅｓｓｅｒａｅｎｄｅｒｕｎｇ　ｄｅｓ　Ｓｃｈｌａｕｃｈｓ　ｅｉｎｈｅｒｇｅｈｔ，ｍｉｓｓｔ　ｕｎｄ　ｉｎ　Ｆｏｒｍ　ｅｉｎｅｓ　Ｂｅｓｃｈｌｅｕｎｉｇｕｎｇｓｓｉｇｎａｌｓ　ａｎ　ｄｉｅ　Ｓｉｇｎａｌｖｅｒａｒｂｅｉｔｕｎｇｓｅｉｎｒｉｃｈｔｕｎｇ　１８　ｕｅｂｅｒｍｉｔｔｅｌｔ．」 （仮訳：　［００２５］　図１は、バルブ１２の流体圧の上昇の機能を監視するために適用された本発明の好適な実施形態の装置１１を示しており、例えば３ポート２位置バルブが示されている。バルブ１２は、戻しばねが設けられた単動型の流体圧シリンダ１３の形態で例示された駆動部材及び／又はアクチュエータを駆動するように連結される。勿論、様々な種類のアクチュエータをバルブ１２によって作動させることができる。 ［００２６］　バルブ１２は、バルブ作動用の電気アクチュエータ１４を有し、これは電磁石の形態で例示されている。例えば、ピエゾ素子のような他の種類の電気アクチュエータを使用することも可能であり、電磁石はパイロットバルブ１５を作動させるための好ましい実施形態によって使用され、パイロットバルブはメインバルブ３０の空気圧作動のために使用され、例えばメインバルブ３０の駆動ピストンが圧力供給により異なった切換位置にすることができ、それによって異なったバルブ通路を接続したり、互いに分離したりすることができる。パイロットおよびメインバルブ１５、３０の構成については、以下に詳細に説明しない。 ［００２７］　電気アクチュエータ１４は、ＬＥＤによって例示される動作状態表示部１６に連結されている。動作状態表示部１６は、例えば、電磁石のソレノイドコイルの通電時には、電気アクチュエータが作動状態を表示してＬＥＤを点灯し、ソレノイドコイルの非通電状態ではＬＥＤは点灯しないままの状態であり、電動アクチュエータの現在の作動状態を表示する。 ［００２８］　バルブ１２の動作を監視するための装置１１は、フォトダイオードを例にして示される光センサ１７を含む。フォトダイオードは、動作状態表示部１６の状態によって変化し、電気アクチュエータ１４の作動状態の変化の光を集めるように機能する。光センサ１７は信号処理装置１８に連結されており、信号処理装置は光センサ１７からの送信信号の信号処理のために以下に説明するように機能する。信号処理装置１８は、分析ユニット１９、例えば、「ピーク」の形態で様々な信号が表示されるディスプレイを有している。 ［００２９］　さらに、検出装置２０が設けられ、検出装置はバルブ出口とアクチュエータとを接続する圧力ホース４０に取り付けられている。図２に示されるように、検出装置２０は、圧力ホース４０に締結可能な固定クランプ２１を備える。固定クランプ２１は圧力ホース４０にクランプ可能な２つのクランプ脚部２２ａ、２２ｂを有し、クランプ脚部２２ｂには、ホースの圧力変化測定する圧力センサ２３が設けられ、圧力センサはホースの直径の変化に伴う圧力を測定し、圧力信号を信号処理装置１８に送る。） ｂ．「［００３１］　Ｗｉｅ　ｉｎ　Ｆｉｇｕｒ　１　ｄａｒｇｅｓｔｅｌｌｔ　ｕｎｄ　ｉｎ　Ｆｉｇｕｒ　４　ｄｕｒｃｈ　ｄｅｎ　Ｓｃｈｒｉｔｔ　１００　ｒｅｐｒａｅｓｅｎｔｉｅｒｔ，ｉｓｔ　ｄｉｅ　ｍｉｔ　Ｄｒｕｃｋｌｕｆｔ　ｂｅａｕｆｓｃｈｌａｇｂａｒｅ　Ｋｏｌｂｅｎｋａｍｍｅｒ　２４　ｄｅｓ　Ｄｒｕｃｋｌｕｆｔｚｙｌｉｎｄｅｒｓ　１３　ｄｕｒｃｈ　Ｚｕｓａｍｍｅｎｓｃｈａｌｔｕｎｇ　ｄｅｓ　Ａｒｂｅｉｔｓａｎｓｃｈｌｕｓｓｅｓ　”Ａ”　ｍｉｔ　ｄｅｍ　Ｅｎｔｌｕｅｆｔｕｎｇｓａｎｓｃｈｌｕｓｓ　”Ｒ”　ｅｎｔｌｕｅｆｔｅｔ．Ｄｉｅ　Ｍａｇｎｅｔｓｐｕｌｅ　ｄｅｓ　Ｅｌｅｋｔｒｏｍａｇｎｅｔｅｎ　ｉｓｔ　ｉｍ　ｕｎｅｒｒｅｇｔｅｎ　Ｚｕｓｔａｎｄ．Ｄｉｅ　ＬＥＤ　ｉｓｔ　ｄｕｎｋｅｌ．Ｄｉｅ　Ｅｒｆａｓｓｕｎｇｓｅｉｎｒｉｃｈｔｕｎｇ　２０，ｉｎｓｂｅｓｏｎｄｅｒｅ　ｄｅｒｅｎ　Ｂｅｆｅｓｔｉｇｕｎｇｓｋｌｅｍｍｅ　２１　ｉｓｔ　ａｍ　Ｄｒｕｃｋｓｃｈｌａｕｃｈ　４０　ｂｅｆｅｓｔｉｇｔ．Ｄｅｒ　ｏｐｔｉｓｃｈｅ　Ｓｅｎｓｏｒ　１７　ｉｓｔ　ｂｅｉｓｐｉｅｌｓｗｅｉｓｅ　ｍｉｔ　ｅｉｎｅｍ　Ｃｌｉｐ　ｏｄｅｒ　Ｋｎｅｔｍａｓｓｅ　ｉｍ　Ｂｅｒｅｉｃｈ　ｄｅｒ　ＬＥＤ　ｆｅｓｔｇｅｌｅｇｔ．Ｇｅｍａｅｓｓ　Ｓｃｈｒｉｔｔ　１０１　ｗｉｒｄ　ｎｕｎ　ｅｉｎｅ　Ｂｅｔｒｉｅｂｓｚｕｓｔａｎｄｓａｅｎｄｅｒｕｎｇ　ｄｅｒ　Ｍａｇｎｅｔｓｐｕｌｅ　ｈｅｒｂｅｉｇｅｆｕｅｈｒｔ，ｂｅｉｓｐｉｅｌｓｗｅｉｓｅ　ｗｉｒｄ　ｄｉｅ　Ｍａｇｎｅｔｓｐｕｌｅ　ｄｅｓ　Ｅｌｅｋｔｒｏｍａｇｎｅｔｅｎ　ｍｉｔ　Ｓｔｒｏｍ　ｂｅａｕｆｓｃｈｌａｇｔ．Ｄｅｒ　Ｓｐａｎｎｕｎｇｓｖｅｒｌａｕｆ　ｄｅｒ　Ｍａｇｎｅｔｓｐｕｌｅｎｓｐａｎｎｕｎｇ　２５　ｕｅｂｅｒ　ｄｅｒ　Ｚｅｉｔ　ｉｓｔ　ｉｎ　Ｆｉｇｕｒ　３　ｂｅｉｓｐｉｅｌｈａｆｔ　ａｎｈａｎｄ　ｄｅｒ　ｇｅｓｔｒｉｃｈｅｌｔｅｎ　Ｌｉｎｉｅ　ｄａｒｇｅｓｔｅｌｌｔ．Ｂｅｉｍ　Ｅｒｒｅｇｅｎ　ｄｅｒ　Ｍａｇｎｅｔｓｐｕｌｅ　ｋｏｍｍｔ　ｅｓ　ｚｕ　ｅｉｎｅｍ　Ｓｐａｎｎｕｎｇｓｓｐｒｕｎｇ，ｄａｓ　ｈｅｉｓｓｔ　ｄｉｅ　Ｓｐａｎｎｕｎｇ　ｗｉｒｄ　ｓｃｈｌａｇａｒｔｉｇ　ｇｒｏｅｓｓｅｒ．Ｄｅｒ　Ｅｌｅｋｔｒｏｍａｇｎｅｔ　ｉｓｔ　ｍｉｔ　ｄｅｒ　ＬＥＤ　ｇｅｋｏｐｐｅｌｔ，ｓｏ　ｄａｓｓ　ｄｉｅｓｅ　ｂｅｉ　Ｅｒｒｅｇｕｎｇ　ｄｅｒ　Ｍａｇｎｅｔｓｐｕｌｅ　ａｕｆｌｅｕｃｈｔｅｔ．Ｄｅｒ　Ｓｐａｎｎｕｎｇｓｖｅｒｌａｕｆ　ｄｅｒ　ＬＥＤ－Ｓｐａｎｎｕｎｇ　２６　ｕｅｂｅｒ　ｄｅｒ　Ｚｅｉｔ　ｉｓｔ　ｉｎ　Ｆｉｇｕｒ　３　ｂｅｉｓｐｉｅｌｈａｆｔ　ｄｕｒｃｈ　ｄｉｅ　ｓｔｒｉｃｈｐｕｎｋｔｉｅｒｔｅ　Ｌｉｎｉｅ　ｄａｒｇｅｓｔｅｌｌｔ．Ｄｅｒ　Ｓｐａｎｎｕｎｇｓｓｐｒｕｎｇ　ａｎ　ｄｅｒ　ＬＥＤ　ｅｒｆｏｌｇｔ　ｉｍ　Ｗｅｓｅｎｔｌｉｃｈｅｎ　ｖｅｒｚｏｅｇｅｒｕｎｇｓｆｒｅｉ　ｇｅｇｅｎｕｅｂｅｒ　ｄｅｍ　Ｓｐａｎｎｕｎｇｓｓｐｒｕｎｇ　ａｎ　ｄｅｒ　Ｍａｇｎｅｔｓｐｕｌｅ． ［００３２］　Ｄａｓ　Ａｕｆｌｅｕｃｈｔｅｎ　ｄｅｒ　ＬＥＤ，ｄａｓ　ｄｉｅ　Ｂｅｔｒｉｅｂｓｚｕｓｔａｎｄｓａｅｎｄｅｒｕｎｇ　ｄｅｓ　Ｅｌｅｋｔｒｏｍａｇｎｅｔｅｎ　ｓｉｇｎａｌｉｓｉｅｒｔ，ｗｉｒｄ　ｕｅｂｅｒ　ｄｅｎ　ｏｐｔｉｓｃｈｅｎ　Ｓｅｎｓｏｒ　１６　ｄｅｔｅｋｔｉｅｒｔ　ｕｎｄ　ｉｎ　ｅｉｎ　Ｓｉｇｎａｌ　ｕｍｇｅｗａｎｄｅｌｔ，ｄａｓ　ｇｅｍａｅｓｓ　Ｓｃｈｒｉｔｔ　１０２　ａｎ　ｄｉｅ　Ｓｉｇｎａｌｖｅｒａｒｂｅｉｔｕｎｇｓｅｉｎｒｉｃｈｔｕｎｇ　１８　ｕｅｂｅｒｍｉｔｔｅｌｔ　ｗｉｒｄ．Ｉｎ　ｄｅｒ　Ｓｉｇｎａｌｖｅｒａｒｂｅｉｔｕｎｇｓｅｉｎｒｉｃｈｔｕｎｇ　１８　ｗｉｒｄ　ｄｉｅｓｅｓ　Ｓｉｇｎａｌ　ａｌｓ　Ｓｔａｒｔｚｅｉｔｐｕｎｋｔ　ｔ０　ｆｅｓｔｇｅｌｅｇｔ．」 （仮訳：［００３１］　図１に示され、図４のステップ１００によって表されるように、流体圧シリンダ１３のピストンチャンバ２４は、出力ポート「Ａ」を排気ポート「Ｒ」に連通させることにより、圧縮空気が排出される。電磁石のソレノイドコイルは消勢状態にある。ＬＥＤは非点灯である。検出装置２０、特にその固定クランプ２１は、圧力ホース４０に取り付けられている。光センサ１７は、例えば、ＬＥＤにクリップにより、または樹脂型の領域に固定されている。ステップ１０１によって、例えば、電磁石のソレノイドコイルへの通電で、ソレノイドコイルの動作状態の変更が行われる。時間に対するソレノイドコイルの電圧２５の電位変化が図３において一例として破線で示されている。ソレノイドコイルに通電すると、電圧ジャンプが発生し、電圧が急激に上昇する。電磁石にはＬＥＤが取り付けられており、ソレノイドコイルが通電されているときにはＬＥＤは点灯する。　ＬＥＤの電圧２６の電位変化が図３において一点鎖線により一例として示されている。ＬＥＤの電圧ジャンプはソレノイドコイルの電圧ジャンプに対して基本的には瞬間的である。 ［００３２］　電磁石の作動状態の変化を知らせるＬＥＤの照明は、光センサ１７を介して検出され、信号に変換され、信号はステップ１０２に従って信号処理装置１８に送信される。信号処理装置１８では、この信号を開始時刻ｔ０として設定する。） （５）甲第５号証 ア．甲第５号証（特開平４－１２１６９０号公報）には、図面とともに、以下の記載がある。 ａ．「［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成する手段として、本発明の時間計測装置は、作動停止等の動作状態を反映した表示灯を有する被計測対象の動作状態に関する時間を計測する時間計測装置であって、上記表示灯の近傍に配設されて、該表示灯の発光状態を検出する光検出手段と、該光検出手段の検出した発光状態から、上記被計測対象の動作状態を推定する動作状態推定手段と、上記推定した動作状態に対応して、該推定した動作状態に関する時間を計時する計時手段と、該計時した時間データを出力する時間データ出力手段とを備えることを要旨とする。」（第２ページ左上欄第４～１５行） ｂ．「［実施例］ 次に本発明の時間計測装置の一実施例を説明する。第１図は実施例の時間計測装置１の構成を示すブロック図である。 時間計測装置１は、光電センサ部３と、本体５とから構成されている。 光電センサ部３は、第１信号検出ハーネス７と第２信号検出ハーネス９とを備えている。両信号検出ハーネス７，９は、それぞれ光電センサ１１と、配線ケーブル１３と、プラグ１５とから構成されている。光電センサ１１は、図示しないフォトトランジスタを備えている。プラグ１５は、図示しないフォトトランジスタの信号を本体５に供給する。 本体５は、ジャック２１，２３と、極性切換スイッチ２５，２７と、モードスイッチ２９と、スタートスイッチ３１と、リセットスイッチ３３と、ＬＥＤ３５，３７と、ＬＣＤ３９とを備えている。・・・（中略）・・・ ジャック２１，２３は、信号検出ハーネス７，９のプラグ１５が差し込まれるものであって、光電センサ１１の信号を本体５内に導入する。」（第２ページ右上欄第１６行～左下欄第１９行） ｃ．「時間計測装置１は、第２図に一例を示す点灯消灯パターンを有する設備の動作表示灯や各種センサ又はプログラムコントローラ等の動作表示灯の点灯／消灯状態に基づいて、設備やアクチュエータ等の動作時間やサイクルタイムを計測する。」（第３ページ左上欄第１２～１６行） ｄ．「まず、第３図に示すように、生産用設備の操作卓１０１の所定の表示灯１０３に光電センサ１１を密着する。 次いで、検出感度の調整を次に示すように行なう。検出対象としての表示灯１０３の点灯消灯は、光電センサ１１によって、電気信号に変換される。この信号は、プラグ１５．ジャック２１．又は２３を経て極性切換ゲイントリマ４３又は４５に入る。」（第３ページ右上欄第１３行～左下欄第１行） そして、記載ａ、ｃ及びｄからみて、次の事項が理解できる。 ｅ．表示灯は、生産用設備の各部の動作状態を反映する。 イ．そうすると、これらの事項からみて、甲第５号証には、次の発明（以下、「引用発明２」という。）が記載されている。 「生産用設備の各部の動作状態を反映した表示灯に密着され、該表示灯の点灯消灯を電気信号に変換する光電センサ１１。」 （６）甲第６号証 ア．甲第６号証（実公昭５５－１８５７１号公報）には、図面とともに、以下の記載がある。 ａ．「実用新案登録請求の範囲 非磁性体からなるシリンダ内にて往復動するピストンに永久磁石を取付け、かつ前記シリンダの外周部に前記永久磁石の磁力によって開閉されるリードスイツチを取付けてなる流体圧シリンダにおいて、前記リードスイツチに当該リードスイツチの作動に応答して点滅する表示素子を接続してこれらリードスイツチおよび表示素子を合成樹脂にて一体的にモールドし、前記リードスイツチを前記シリンダの外周部近傍に配置するとともに前記表示素子を外部から見易い位置に配置したことを特徴とする流体圧シリンダにおけるピストン位置検知装置。」（第１ページ第１欄第１９～３０行） ｂ．「以下本考案の一実施例を図面により説明すると、第１図において符号１０は流体圧シリンダを示していて、この流体圧シリンダ１０においては、アルミ合金もしくは合成樹脂材料等の非磁性体により形成したシリンダ１１の内部にピストン１２が往復動自在に嵌装され、このピストン１２の外周部にはリング状の永久磁石１３が嵌着されている。 ピストン位置検知装置２０（以下位置検知装置２０という）はピストン１２のストローク検出位置に対応したシリンダ１１の外周部の適所に取付けられているもので、この位置検知装置２０はリードスイツチ２３に、第２図に示すように、ネオンランプ２４と抵抗２５からなる直列回路を並列に接続しこれをリードスイツチ２３と共に合成樹脂２６により一体的にモールドし、ケーシング２１の内部に収容して構成されている。この場合、リードスイツチ２３はシリンダ１１の外周近傍に位置するように、またネオンランプ２４はケーシング２１に設けた長穴２２の外側からその点滅が目視され得るように合成樹脂２６にてケーシング２１内に埋設されている。 しかして、上記のように構成した本考案装置において、流体圧シリンダ１０のピストン１２がシリンダ１１内にて摺動し所望の検出位置に到達したとき、リードスイツチ２３はピストン１２に取付げた永久磁石１３の生ずる磁束領域内に位置する。これにより、リードスイツチ２３が永久磁石１３の磁気作用に応動して作動し、ネオンランプ２４が点滅する。このため、位置検知装置２０においては、ピストン１２の位置をネオンランプ２４の点滅により容易に検出することができるとともにリードスイツチ２３の作動状態を確認できる。 なお、本実施例においては、ネオンランプ２４と抵抗２５からなる直列回路を、リードスイツチ２３に並列に接続するようにしたが、これに代えて、例えば、リードスイツチ２３に半導体発光素子を適当に接続して実施してもよい。 以上要するに本考案は、前記実施例にて示したように、流体圧シリンダ１０において非磁性体からなるシリンダ１１内にて往復動するピストン１２に永久磁石１３を取付け、一方シリンダ１１の外周部の適所に永久磁石１３の磁力によつて開閉されるリードスイツチ２３とこのリードスイツチ２３の作動に応答して点滅する表示灯２４を合成樹脂により一体的にモールドしたピストン位置検知装置２０を取付けるようにした点にその構成上の特徴があり、これによりこの種の流体圧シリンダにおけるピストン位置検出装置２０の構造を簡単に、しかも安価に形成し得るとともに、ピストン位置検出時における位置検知装置の応差を少なくし得るので検出動作が安定する。」（第１ページ第２欄第４行～第２ページ第４欄第４行） イ．そうすると、これらの事項からみて、甲第６号証には次の技術が記載されている。 「非磁性体により形成したシリンダ１１の内部にピストン１２が往復動自在に嵌装され、このピストン１２の外周部にはリング状の永久磁石１３が嵌着されている流体圧シリンダ１０のシリンダ１１の外周部の、ピストン１２のストローク検出位置に対応した適所に取付けられるピストン位置検知装置２０であって、 ピストン１２がシリンダ１１内にて摺動し前記ストローク検出位置に到達したとき、永久磁石１３の生ずる磁束領域以内に位置するリードスイッチ２３と、 リードスイッチ２３に接続され、リードスイッチ２３が永久磁石１３の磁気作用に応動して作動すると点滅するネオンランプ２４と、 を有し、 ピストン１２の位置をネオンランプ２４の点滅により検出することができるピストン位置検知装置２０。」 （７）甲第７号証 甲第７号証（特開２００２－３６５３１１号公報）には、図面とともに、以下の記載がある。 ア．「【００１３】図１（ａ）（ｂ）はアワーメータの外観斜視図を示しており、モニタ部２を構成する入力回路部３とマイコン４と表示部５とは略直方体状のケース１０内に収納されている。また、ケース１０の前面には表示部５の表示画面５ａが配置され、ケース１０の背面には入出力の端子部１１が設けられている。一方、ＣＴ部１を収納するケース２０は、軸２３を中心として回動自在に連結された上ケース２１及び下ケース２２からなり、上ケース２１及び下ケース２２の当接面には電線挿通孔２４を構成する断面半円状の凹部２５ａ，２５ｂがそれぞれ形成されている。ここで、ＣＴ部１のコアは略円環状であって、中心軸を含む平面で２分割されており、それぞれの分割体は上ケース２１及び下ケース２２内の凹部２５ａ，２５ｂの周りに配置されているので、上ケース２１と下ケース２２とを開閉することにより、ＣＴ部１のコアが閉じた磁路を形成する状態と磁路の一部が開放された状態とを切り替えることができる。また、下ケース２２の下面からはＣＴ部１の出力線２６が引き出されており、この出力線２６はケース１０の端子部１１に結線されている。」 イ．「【００１６】・・・（中略）・・・しかも、ＣＴ部１のコアは閉じた磁路を形成する状態と磁路の一部が開放された状態との間で開閉自在となっているので、磁路の一部が開放された状態でコア内に電路Ｌを挿入することができ、通電中の電路Ｌを一旦取り外すことなく、ＣＴ部１の取付作業を行うことができる。」 （８）甲第８号証 甲第８号証（特開平７－３０４８９号公報）には、図面とともに、以下の記載がある。 ア．「【００１３】・・・（中略）・・・光電変換素子としてフォトダイオードがＬＥＤとほぼ同一の平面内に、ＬＥＤから半径方向に少し離れて配置され、図２では、３個のＬＥＤから出射される光信号がフォトダイオード２１に受光される。・・・（中略）・・・ 【００１４】図３は、光電変換素子の出力波形を成形する波形成形回路である。フォトダイオード２１の出力はコンパレータ３１に入力され、その出力がコンパレータ３１の閾値より高い場合には、コンパレータは論理１を出力し、低い場合には論理０を出力する。このようにして、信号伝送装置５は、送信側で電気・光変換素子に入力されるデジタル信号の論理値に対応して２値信号を出力する。」 （９）甲第９号証 甲第９号証（特開２００４－３２０３７３号公報）には、図面とともに、以下の記載がある。 ア．「【００１６】 【発明の実施の形態】 以下、図面を参照して本発明の一実施形態に係る光電センサ装置について説明する。 図１はこの実施形態に係る光電センサ装置の要部概略構成を示すもので、１は、例えば波長６６０ｎｍのレーザ光を発光する発光ダイオード（ＬＥＤ）からなる投光器、２は上記レーザ光を、或いはその反射光を受光するフォトダイオード（ＰＤ）からなる受光器である。これらの投光器１および受光器２は、反射形の光電センサを構成するものであっても良く、或いは透過型の光電センサを構成するものであっても良い。」 イ．「【００１８】 さて受光器２は、受光した光の強度（受光量）に応じたレベルの信号を出力するものであり、その出力信号（受光レベル）は図示しない周波数選別フィルタ等を含む前置増幅回路（ヘッドアンプ）を介して増幅された後、ＡＤ変換器３を介してデジタル変換されてマイクロコンピュータ等からなる信号処理回路４に、例えば２００μＳｅｃ毎に取り込まれるようになっている。この信号処理回路４は、基本的にはメモリ５に設定された判定閾値Ｔと、前記ＡＤ変換器３から与えられる前記受光器２による受光レベルＲとを比較して前記物体検出対象領域における物体の有無を示す判定信号を出力するレベル判定器（比較器）６を備えて構成される。このレベル判定器（比較器）６による判定信号が、光電センサ装置による検出信号として外部出力される。」 （１０）甲第１０号証 甲第１０号証（特開２００９－８７６３０号公報）には、図面とともに、以下の記載がある。 ア．「【００１９】 前段の多光軸光電センサ４は投光器７と受光器８とが搬送ライン３を挟んで配置され、それら投光器７と受光器８とは同期信号線９で接続されている。後段の多光軸光電センサ５は投光器１０と受光器１１とが搬送ライン３を挟んで配置され、それら投光器１０と受光器１１とは同期信号線１２で接続されている。」 イ．「【００２０】 図２は、物体通過検知システム１の電気的な構成を機能ブロック図として示している。尚、後述するｎは任意の自然数であり、光軸数を示す。前段の多光軸光電センサ４において、投光器７は、投光側ＣＰＵ１５と、略直線状に配置された複数の例えばＬＥＤからなる投光素子１６１～１６ｎ（本発明でいう投光手段）と、駆動回路１７１～１７ｎとを備 えて構成されている。投光側ＣＰＵ１５は、マイクロコンピュータを主体として構成され、投光器７の動作全般を制御するもので、投光駆動信号を駆動回路１７１から駆動回路１７ｎまでハイレベルで順次出力することで投光素子１６１から投光素子１６ｎまでを順次投光させると共に、これら投光素子１６１～１６ｎの投光タイミングを表す同期信号を受光器８に出力する。 【００２１】 前段の多光軸光電センサ４において、受光器８は、受光側ＣＰＵ１８（本発明でいう判定手段）と、略直線状に配置された複数の例えばフォトダイオードからなる受光素子１９１～１９ｎ（本発明でいう受光手段）と、受光アンプ２０１～２０ｎと、アナログスイッチ２１１～２１ｎと、出力回路２２（本発明でいう出力手段）とを備えて構成されている。受光側ＣＰＵ１８は、マイクロコンピュータを主体として構成され、受光器８の動作全般を制御するもので、投光側ＣＰＵ１５から入力した同期信号に同期して受光駆動信号をアナログスイッチ２１１からアナログスイッチ２１ｎまでハイレベルで順次出力することで受光素子１９１～１９ｎから受光アンプ２０１～２０ｎに入力されて増幅された受光信号を所定時間だけ入力する。受光側ＣＰＵ１８が受光素子１９１～１９ｎから受光信号を入力する時間は投光器７の投光素子１６１～１６ｎが光を投じる時間よりも僅かに長く設定されている。 【００２２】 そして、受光側ＣＰＵ１８は、受光アンプ２０１～２０ｎから増幅された受光信号をアナログスイッチ２１１～２１ｎを通じて入力すると、その入力した受光信号の受光量に応じた信号レベルを閾値と比較し、受光信号の信号レベルが閾値以上であると、光軸が入光状態である旨を判定して受光判定信号をハイレベルで出力回路２２に出力し、一方、受光信号の信号レベルが閾値未満であると、光軸が遮光状態である旨を判定して受光判定信号をロウレベルで出力回路２２に出力する。出力回路２２は、受光側ＣＰＵ１８から１回のスキャン動作に対応する受光判定信号からなる受光判定信号列を入力すると、その入力した受光判定信号列をコントローラ６に出力する。」 ５．対比・判断 （１）本件特許発明１について ア．本件特許発明１と引用発明１を比較する。 引用発明１の「空気圧アクチュエータ１１」及び「ピストン１４」は、それぞれ、本件特許発明１の「アクチュエータ」及び「可動部」に相当し、引用発明１の「空気圧アクチュエータ１１のピストン１４の前進限位置」は、本件特許発明１の「移動区間の一端部」及び「前記移動区間の他端部」の一方に相当し、引用発明１の「ピストン１４の後退限位置」は、本件特許発明１の「移動区間の一端部」及び「前記移動区間の他端部」の他方に相当する。そうすると、引用発明１の「空気圧アクチュエータ１１のピストン１４の前進限位置に対応させて設けられた磁気センサ２２ａ」は、本件特許発明１の「アクチュエータの可動部が移動区間の一端部に位置することを検知する第１センサ」及び「前記可動部が前記移動区間の他端部に位置することを検知する第２センサ」の一方に相当し、引用発明１の「ピストン１４の後退限位置に対応させて設けられた磁気センサ２２ｂ」は、本件特許発明１の「アクチュエータの可動部が移動区間の一端部に位置することを検知する第１センサ」及び「前記可動部が前記移動区間の他端部に位置することを検知する第２センサ」の他方に相当する。 引用発明１は、流路切換弁１９を駆動して流路を切り換えることにより、ピストン１４を後進限位置から前進限位置に又は逆方向に移動させるものであるから、引用発明１の「磁気センサ２２ａ，２２ｂから送られるセンサ信号によりピストン１４の位置を判定して流路切換弁１９のソレノイド１９ａに駆動信号を送るＰＬＣ（プログラマブルロジックコントローラ）２３」は、本件特許発明１の「前記第１センサ及び前記第２センサから送信される出力信号を受信して前記可動部の動作を制御する制御部」に相当する。 引用発明１の「流体圧アクチュエータ駆動系」は、本件特許発明１の「アクチュエータ駆動装置」に相当する。 引用発明１の「磁気センサ２２ａ」「からのセンサ信号ａ」は、本件特許発明１の「前記可動部が前記移動区間の前記一端部に位置することを前記第１センサが検知するに応じて出力される第１出力信号」及び「前記可動部が前記移動区間の前記他端部に位置することを前記第２センサが検知するに応じて出力される第２出力信号」の一方に相当し、引用発明１の「磁気センサ」「２２ｂからのセンサ信号」「ｂ」は、本件特許発明１の「前記可動部が前記移動区間の前記一端部に位置することを前記第１センサが検知するに応じて出力される第１出力信号」及び「前記可動部が前記移動区間の前記他端部に位置することを前記第２センサが検知するに応じて出力される第２出力信号」の他方に相当する。 引用発明１の「ピストン１４が後退限位置から前進限位置に実際に移動したときの実作動時間Ｔ１」及び「ピストン１４が逆方向に移動したときの実作動時間Ｔ１」は、いずれも、本件特許発明１の「前記可動部が、前記移動区間の一端部から他端部に移動するまでのタクト」及び「前記可動部が前記移動区間の前記一端部から前記他端部に移動するタクト」に相当する。そうすると、引用発明１の「それぞれの磁気センサ２２ａ，２２ｂからのセンサ信号ａ，ｂに基づいてピストン１４が後退限位置から前進限位置に実際に移動したときの実作動時間Ｔ１及びピストン１４が逆方向に移動したときの実作動時間Ｔ１を演算するＣＰＵ」は、本件特許発明１の「前記第１検知信号と前記第２検知信号に基づいて、前記可動部が前記移動区間の前記一端部から前記他端部に移動するタクトを計測する計測部」と、少なくとも「前記可動部が前記移動区間の前記一端部から前記他端部に移動するタクトを計測する計測部」である点で一致する。 そして、引用発明１の「作動時間設定装置３１」は、前記実作動時間Ｔ１を演算するＣＰＵを有しており、該実作動時間Ｔ１を計測しているといえるから、本件特許発明１の「アクチュエータのタクト計測装置」に相当する。 さらに、本件特許発明１において、第１検知信号は、検知部が第１センサにより出力される第１出力信号を検知すると出力される信号であり、第２検知信号は、検知部が第２センサにより出力される第２出力信号を検知すると出力される信号であるから、本件特許発明１の計測部は、間接的にではあるが、前記第１出力信号と前記第２出力信号に基づいて、可動部が移動区間の一端部から他端部に移動するタクトを計測するといえる。 したがって、本件特許発明１と引用発明１は、 「アクチュエータの可動部が移動区間の一端部に位置することを検知する第１センサと、前記可動部が前記移動区間の他端部に位置することを検知する第２センサと、前記第１センサ及び前記第２センサから送信される出力信号を受信して前記可動部の動作を制御する制御部と、を備えるアクチュエータ駆動装置の前記可動部が、前記移動区間の一端部から他端部に移動するまでのタクトを計測するアクチュエータのタクト計測装置であって、 前記第１出力信号と前記第２出力信号に直接的又は間接的に基づいて、前記可動部が前記移動区間の前記一端部から前記他端部に移動するタクトを計測する計測部と、を備えるアクチュエータのタクト計測装置。」 である点（以下、「一致点１」という。）で一致し、次の点で相違する。 【相違点１】 本件特許発明１は、 アクチュエータのタクト計測装置が、前記アクチュエータ駆動装置の外部に設けられ、前記可動部が前記移動区間の前記一端部に位置することを前記第１センサが検知するに応じて出力される第１出力信号を検知して第１検知信号を出力し、また、前記可動部が前記移動区間の前記他端部に位置することを前記第２センサが検知するに応じて出力される第２出力信号を検知して第２検知信号を出力する検知部を備え、 アクチュエータのタクト計測装置の計測部が、前記第１検知信号と前記第２検知信号に基づいて、前記可動部が前記移動区間の前記一端部から前記他端部に移動するタクトを計測するのに対し、 引用発明１は、 アクチュエータのタクト計測装置（作動時間設定装置３１）が、前記検知部を備えておらず、 アクチュエータのタクト計測装置の計測部（ＣＰＵ）が、前記第１出力信号と前記第２出力信号（それぞれの磁気センサ２２ａ，２２ｂからのセンサ信号ａ，ｂ）に基づいて、前記可動部が前記移動区間の前記一端部から前記他端部に移動するタクト（ピストン１４が後退限位置から前進限位置に実際に移動したときの実作動時間Ｔ１及びピストン１４が逆方向に移動したときの実作動時間Ｔ１）を計測（演算）する点。 イ．相違点１について検討する。 甲第２号証に記載された技術の「エアシリンダ機構１３０」及び「ピストン１４１」は、それぞれ、本件特許発明１の「アクチュエータ」及び「可動部」に相当し、甲第２号証に記載された技術の「ピストン１４１の上限」は、本件特許発明１の「移動区間の一端部」及び「前記移動区間の他端部」の一方に相当し、甲第２号証に記載された技術の「ピストン１４１の下限」は、本件特許発明１の「移動区間の一端部」及び「前記移動区間の他端部」の他方に相当する。そうすると、甲第２号証に記載された技術の「エアシリンダ機構１３０のシリンダ本体１４０の上部に設けられ、ピストン１４１の上限を検出する第１の位置センサー（センサー１）１４６」は、本件特許発明１の「アクチュエータの可動部が移動区間の一端部に位置することを検知する第１センサ」及び「前記可動部が前記移動区間の他端部に位置することを検知する第２センサ」の一方に相当し、甲第２号証に記載された技術の「シリンダ本体１４０の下部に設けられ、ピストン１４１の下限を検出する第２の位置センサー（センサー２）１４７」は、本件特許発明１の「アクチュエータの可動部が移動区間の一端部に位置することを検知する第１センサ」及び「前記可動部が前記移動区間の他端部に位置することを検知する第２センサ」の他方に相当する。 甲第２号証に記載された技術は、第２コントローラ１０４がピストン１４１の移動を開始及び停止しているから、甲第２号証に記載された技術の「第１のソレノイドバルブ（ＳＯＬ１）１４８および第２のソレノイドバルブ（ＳＯＬ２）１４９のいずれかに制御信号を出力してピストン１４１の移動を開始させ、第１の位置センサー（センサー１）１４６および第２の位置センサー（センサー２）１４７の検出信号に基づいてエアシリンダ機構１３０のピストン１４１の移動を停止させる第２コントローラ１０４」は、本件特許発明１の「前記第１センサ及び前記第２センサから送信される出力信号を受信して前記可動部の動作を制御する制御部」に相当する。 そうすると、甲第２号証に記載された技術の「装置」は、本件特許発明１の「アクチュエータ駆動装置」に相当する。 さらに、甲第２号証に記載された技術の「第１の位置センサー（センサー１）１４６の検出信号」は、本件特許発明１の「前記可動部が前記移動区間の前記一端部に位置することを前記第１センサが検知するに応じて出力される第１出力信号」及び「前記可動部が前記移動区間の前記他端部に位置することを前記第２センサが検知するに応じて出力される第２出力信号」の一方に相当し、甲第２号証に記載された技術の「第２の位置センサー（センサー１）１４７の検出信号」は、本件特許発明１の「前記可動部が前記移動区間の前記一端部に位置することを前記第１センサが検知するに応じて出力される第１出力信号」及び「前記可動部が前記移動区間の前記他端部に位置することを前記第２センサが検知するに応じて出力される第２出力信号」の他方に相当する。 甲第２号証に記載された技術は、一の付加的センサー１１１が第１の位置センサー（センサー１）１４６の検出信号を検出し、他の付加的センサー１１１が第２の位置センサー（センサー２）１４７の検出信号を検出し、これら付加的センサー１１１の情報が信号線１１２を介してデータ蓄積ボックス１０６に取り込まれるものである。すなわち、甲第２号証に記載された技術において、一の付加的センサー１１１は、第１の位置センサー（センサー１）１４６の検出信号を検出するに応じて信号をデータ蓄積ボックス１０６に出力し、他の付加的センサー１１１は、第２の位置センサー（センサー２）１４７の検出信号を検出するに応じて信号をデータ蓄積ボックス１０６に出力するといえるから、甲第２号証に記載された技術の「一の付加的センサー１１１」及び「他の付加的センサー１１１」は、合わせて、本件特許発明１の「前記可動部が前記移動区間の前記一端部に位置することを前記第１センサが検知するに応じて出力される第１出力信号を検知して第１検知信号を出力し、また、前記可動部が前記移動区間の前記他端部に位置することを前記第２センサが検知するに応じて出力される第２出力信号を検知して第２検知信号を出力する検知部」に相当する。そうすると、甲第２号証に記載された技術の「第１の位置センサー（センサー１）１４６の信号ライン１５０に一の付加的センサー１１１を接続して、第１の位置センサー（センサー１）１４６の検出信号を検出し、第２の位置センサー（センサー２）１４７の信号ライン１５１に他の付加的センサー１１１を接続して、第２の位置センサー（センサー２）１４７の検出信号を検出」することは、本件特許発明１の「前記アクチュエータ駆動装置の外部に設けられ、前記可動部が前記移動区間の前記一端部に位置することを前記第１センサが検知するに応じて出力される第１出力信号を検知して第１検知信号を出力し、また、前記可動部が前記移動区間の前記他端部に位置することを前記第２センサが検知するに応じて出力される第２出力信号を検知して第２検知信号を出力する検知部」「を備える」ことと、少なくとも「可動部が移動区間の一端部に位置することを第１センサが検知するに応じて出力される第１出力信号を検知して第１検知信号を出力し、また、前記可動部が前記移動区間の他端部に位置することを第２センサが検知するに応じて出力される第２出力信号を検知して第２検知信号を出力する検知部を備える」点で一致する。 甲第２号証に記載された技術において、データ蓄積ボックス１０６は、第１の位置センサー（センサー１）１４６の検出信号を検出する一の付加的センサー１１１及び第２の位置センサー（センサー２）１４７の検出信号を検出する他の付加的センサー１１１の情報を取り込んで蓄積しており、ピストン１４１の動作を計測しているといえる。そして、本件特許発明１の「前記可動部が前記移動区間の前記一端部から前記他端部に移動するタクト」は、当該可動部の動作の一つといえる。そうすると、甲第２号証に記載された技術の「これら付加的センサー１１１の情報をデータ蓄積ボックス１０６へ取り込んで蓄積する」ことは、本件特許発明１の「前記第１検知信号と前記第２検知信号に基づいて、前記可動部が前記移動区間の前記一端部から前記他端部に移動するタクトを計測する計測部」「を備える」ことと、「第１検知信号と第２検知信号に基づいて、可動部の動作を計測する計測部を備える」で点で一致する。 してみれば、甲第２号証に記載された技術は、本件特許発明１と、少なくとも「アクチュエータの可動部が移動区間の一端部に位置することを検知する第１センサと、前記可動部が前記移動区間の他端部に位置することを検知する第２センサと、前記第１センサ及び前記第２センサから送信される出力信号を受信して前記可動部の動作を制御する制御部と、を備えるアクチュエータ駆動装置の前記可動部の動作を計測する装置であって、 前記可動部が前記移動区間の前記一端部に位置することを前記第１センサが検知するに応じて出力される第１出力信号を検知して第１検知信号を出力し、また、前記可動部が前記移動区間の前記他端部に位置することを前記第２センサが検知するに応じて出力される第２出力信号を検知して第２検知信号を出力する検知部と、 前記第１検知信号と前記第２検知信号に基づいて、前記可動部の動作を計測する計測部と、を備える装置。」点である点で一致する。 次に、引用発明１と甲第２号証に記載された技術を比較すると、両者は、「アクチュエータの可動部が移動区間の一端部に位置することを検知する第１センサと、前記可動部が前記移動区間の他端部に位置することを検知する第２センサと、前記第１センサ及び前記第２センサから送信される出力信号を受信して前記可動部の動作を制御する制御部と、を備えるアクチュエータ駆動装置の前記可動部の動作を計測する装置であって、 前記第１検知信号と前記第２検知信号に直接的又は間接的に基づいて、前記可動部の動作を計測する計測部と、を備える装置。」である点で一致しており、技術分野を一にするものである。さらに、甲第１号証には複数の実施の形態が記載されており、アクチュエータ（空気圧アクチュエータ１１）の可動部（ピストン１４）が移動区間の一端部（前進限位置又は後進限位置）から他端部（後進限位置又は前進限位置）に移動するまでのタクト（実作動時間Ｔ１）を計測するにあたり、種々の信号に基づいて、前記タクトを計測し得ることが示唆されているといえる。 そうすると、引用発明１に甲第２号証に記載された技術を適用し、引用発明において、前記可動部が前記移動区間の前記一端部に位置することを第１センサ（磁気センサ２２ａ又は磁気センサ２２ｂ）が検知するに応じて出力される第１出力信号（磁気センサ２２ａからのセンサ信号ａ又は磁気センサ２２ｂからのセンサ信号ｂ）を検知して第１検知信号を出力し、また、前記可動部が前記移動区間の前記他端部に位置することを第２センサ（磁気センサ２２ｂ又は磁気センサ２２ａ）が検知するに応じて出力される第２出力信号（磁気センサ２２ｂからのセンサ信号ｂ又は磁気センサ２２ａからのセンサ信号ａ）を検知して第２検知信号を出力する検知部を備え、計測部（ＣＰＵ）が、前記第１出力信号及び前記第２出力信号に代えて、前記第１検知信号と前記第２検知信号に基づいて、前記可動部が前記移動区間の前記一端部から前記他端部に移動するタクトを計測するようにすることは、当業者が容易になし得る事項である。 そして、甲第２号証に記載された技術を引用発明１に適用し、引用発明１に前記検知部を備えるにあたり、当然、前記検知部を備える位置を選択する必要があるが、前記検知部は前記第１センサにより出力される第１出力信号及び前記第２センサにより出力される第２出力信号を検知するものであるから、前記第１及び前記第２センサに近接してその外部に備えるようにすることは、当業者が通常発揮する創作能力の範囲内のものである。 以上のことから、引用発明１において、相違点１に係る本件特許発明１を特定する事項を備えるようにすることは、甲第２号証に記載された技術に基いて、当業者が容易になし得る事項である。 そして、本件特許発明１が奏する効果に、甲第１号証及び甲第２号証に記載された事項に基いて当業者が容易に想到し得る範囲を越えるものは見いだせない。 ウ．したがって、本件特許発明１は、引用発明１及び甲第２号証に記載された技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 （２）本件特許発明２について ア．本件特許の請求項２に係る発明（以下、「本件特許発明２」という。）は、本件特許発明１を、本件特許の請求項２に記載された事項により限定したものであり、本件特許発明２と引用発明１を比較すると、両者は、一致点１で一致し、次の点で相違する。 【相違点２】 本件特許発明２は、 アクチュエータのタクト計測装置が、前記アクチュエータ駆動装置の外部に設けられ、前記可動部が前記移動区間の前記一端部に位置することを前記第１センサが検知するに応じて出力される第１出力信号を検知して第１検知信号を出力し、また、前記可動部が前記移動区間の前記他端部に位置することを前記第２センサが検知するに応じて出力される第２出力信号を検知して第２検知信号を出力する検知部を備え、 アクチュエータのタクト計測装置の計測部が、前記第１検知信号と前記第２検知信号に基づいて、前記可動部が前記移動区間の前記一端部から前記他端部に移動するタクトを計測し、 前記検知部が、第１検知部と第２検知部を備え、前記第１検知部が、前記第１出力信号を検知して前記第１検知信号を出力する第１出力信号検知部と、前記第１出力信号検知部が出力した前記第１検知信号を前記計測部に出力する第１検知信号出力部と、を備え、前記第２検知部が、前記第２出力信号を検知して前記第２検知信号を出力する第２出力信号検知部と、前記第２出力信号検知部が出力した前記第２検知信号を前記計測部に出力する第２検知信号出力部と、を備えるのに対し、 引用発明１は、 アクチュエータのタクト計測装置（作動時間設定装置３１）が前記検知部を備えておらず、 アクチュエータのタクト計測装置の計測部（ＣＰＵ）が、前記第１出力信号と前記第２出力信号（それぞれの磁気センサ２２ａ，２２ｂからのセンサ信号ａ，ｂ）に基づいて、前記可動部が前記移動区間の前記一端部から前記他端部に移動するタクト（ピストン１４が後退限位置から前進限位置に実際に移動したときの実作動時間Ｔ１及びピストン１４が逆方向に移動したときの実作動時間Ｔ１）を計測（演算）する点。 イ．相違点２について検討する。 前記「（１）」で検討したとおり、甲第２号証に記載された技術において、一の付加的センサー１１１は、第１の位置センサー（センサー１）１４６の検出信号を検出するに応じて信号をデータ蓄積ボックス１０６に出力し、他の付加的センサー１１１は、第２の位置センサー（センサー２）１４７の検出信号を検出するに応じて信号をデータ蓄積ボックス１０６に出力するといえる。そうすると、前記「（１）」で検討したことに加え、甲第２号証に記載された技術の「一の付加的センサー１１１」は、本件特許発明２の「前記第１出力信号を検知して前記第１検知信号を出力する第１出力信号検知部と、前記第１出力信号検知部が出力した前記第１検知信号を前記計測部に出力する第１検知信号出力部と、を備え」る「第１検知部」と「前記第２出力信号を検知して前記第２検知信号を出力する第２出力信号検知部と、前記第２出力信号検知部が出力した前記第２検知信号を前記計測部に出力する第２検知信号出力部と、を備え」る「前記第２検知部」の一方に相当し、甲第２号証に記載された技術の「他の付加的センサー１１１」は、本件特許発明２の「前記第１出力信号を検知して前記第１検知信号を出力する第１出力信号検知部と、前記第１出力信号検知部が出力した前記第１検知信号を前記計測部に出力する第１検知信号出力部と、を備え」る「第１検知部」と「前記第２出力信号を検知して前記第２検知信号を出力する第２出力信号検知部と、前記第２出力信号検知部が出力した前記第２検知信号を前記計測部に出力する第２検知信号出力部と、を備え」る「前記第２検知部」の他方に相当する。 してみれば、甲第２号証に記載された技術は、本件特許発明２と、少なくとも「アクチュエータの可動部が移動区間の一端部に位置することを検知する第１センサと、前記可動部が前記移動区間の他端部に位置することを検知する第２センサと、前記第１センサ及び前記第２センサから送信される出力信号を受信して前記可動部の動作を制御する制御部と、を備えるアクチュエータ駆動装置の前記可動部の動作を計測する装置であって、 前記可動部が前記移動区間の前記一端部に位置することを前記第１センサが検知するに応じて出力される第１出力信号を検知して第１検知信号を出力し、また、前記可動部が前記移動区間の前記他端部に位置することを前記第２センサが検知するに応じて出力される第２出力信号を検知して第２検知信号を出力する検知部と、 前記第１検知信号と前記第２検知信号に基づいて、前記可動部の動作を計測する計測部と、を備え、 前記検知部は、第１検知部と第２検知部を備え、 前記第１検知部は、 前記第１出力信号を検知して前記第１検知信号を出力する第１出力信号検知部と、 前記第１出力信号検知部が出力した前記第１検知信号を前記計測部に出力する第１検知信号出力部と、を備え、 前記第２検知部は、 前記第２出力信号を検知して前記第２検知信号を出力する第２出力信号検知部と、 前記第２出力信号検知部が出力した前記第２検知信号を前記計測部に出力する第２検知信号出力部と、を備える装置。」点である点で一致する。 甲第２号証に記載された技術を引用発明１に適用することが当業者にとって容易であることは、前記「（１）」において検討したとおりであり、引用発明１において、相違点２に係る本件特許発明２を特定する事項を備えるようにすることは、甲第２号証に記載された技術に基いて、当業者が容易になし得る事項である。 そして、本件特許発明２が奏する効果に、甲第１号証及び甲第２号証に記載された事項に基いて当業者が容易に想到し得る範囲を越えるものは見いだせない。 ウ．したがって、本件特許発明２は、引用発明１及び甲第２号証に記載された技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 （３）本件特許発明３について 特許異議申立人は、本件特許発明３は、甲第２号証に記載された発明に甲第４号証、甲第５号証及び甲第８号証ないし甲第１０号証に記載されている技術を適用することにより、当業者が容易に発明をすることができたものである旨を主張している。 本件特許発明３は、アクチュエータの可動部が移動区間の一端部に位置することを第１センサが検知するに応じて出力される第１出力信号を検知して第１検知信号を出力する第１出力信号検知部を備える第１検知部が、前記第１出力信号検知部を前記第１センサに着脱可能に取り付ける第１連結部を備え、前記可動部が前記移動区間の他端部に位置することを第２センサが検知するに応じて出力される第２出力信号を検知して第２検知信号を出力する第２出力信号検知部を備える第２検知部が、前記第２出力信号検知部を前記第２センサに着脱可能に取り付ける第２連結部を備えることを、同発明を特定する事項として備えるものである。 しかしながら、甲第２号証、甲第４号証及び甲第８号証ないし甲第１０号証のいずれにも、所定の状態を検知するに応じてセンサが出力する出力信号を検知して検知信号を出力する出力信号検知部を備える検知部が、前記出力信号検知部を前記センサに着脱可能に取り付ける連結部を備えることは記載されていない。更に、後記「（４）」において検討するように、甲第５号証に記載された光電センサ１１は、発光信号を出力する部材が出力する発光信号を検知して検知信号を出力する出力信号検知部と、該出力信号検知部を前記発光信号を出力する部材に着脱可能に取り付ける連結部と、を少なくとも備えるといえるものではあるが、甲第２号証には、ピストン１４１の上限及び下限を検出する第１の位置センサー（センサー１）１４６及び第２の位置センサー（センサー２）１４７が発光信号を出力するものであるとも、前記第１の位置センサー（センサー１）１４６及び第２の位置センサー（センサー２）１４７の検出信号を検出する付加的センサー１１１が発光信号を検知するものであるとも記載されていないから、甲第２号証に記載された発明に甲第５号証に記載された技術を適用することは、当業者が容易になし得る事項ではない。 そうすると、本件特許発明３は、甲第２号証に記載された発明に甲第４号証、甲第５号証及び甲第８号証ないし甲第１０号証に記載されている技術を適用することにより、当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。 したがって、特許異議申立人が主張する特許異議申立て理由によっては、請求項３に係る特許を取り消すことはできない。 （４）本件特許発明８について ア．本件特許の請求項８に係る発明（以下、「本件特許発明８」という。）と引用発明２を比較すると、引用発明２の「表示灯の点灯消灯」は、生産用設備の各部の動作状態を反映しているから、本件特許発明８の「発光信号」に相当し、引用発明２の「生産用設備の各部の動作状態を反映した表示灯」は、本件特許発明８の「センサ」と、「発光信号を出力する部材」である点で一致する。 引用発明２の光電センサ１１は、前記表示灯の点灯消灯を電気信号に変換するものであり、前記表示灯の点灯消灯を検知して電気信号を出力するといえるから、前記表示灯の点灯消灯を検知して前記電気信号を出力する部分（以下、「部分Ａ」という。）を備えているといえる。 そうすると、引用発明２の「電気信号」は、本件特許発明８の「検知信号」に相当し、引用発明２の「生産用設備の各部の動作状態を反映した」「表示灯の点灯消灯を電気信号に変換する光電センサ１１」は、本件特許発明８の「センサが出力する発光信号を検知して検知信号を出力する出力信号検知部」「を備えることを特徴とするセンサ信号検知装置」と、「発光信号を出力する部材が出力する発光信号を検知して検知信号を出力する出力信号検知部を備える」点で一致する。 さらに、甲第５号証を参照すると、引用発明２の前記電気信号は、配線ケーブル１３及びプラグ１５を介して、時間計測装置１の本体５内に導入されるから、引用発明２の光電センサ１１は、前記電気信号を外部に出力するといえ、結果、前記電気信号を外部に出力する部分を備えているといえる。 そうすると、引用発明２の「生産用設備の各部の動作状態を反映した」「表示灯の点灯消灯を電気信号に変換する光電センサ１１」は、本件特許発明８の「前記出力信号検知部が出力した前記検知信号を外部に出力する検知信号出力部」「を備えることを特徴とするセンサ信号検知装置」と、「出力信号検知部が出力した検知信号を外部に出力する検知信号出力部を備える」点で一致する。 そして、引用発明２の光電センサ１１は、前記表示灯に密着されるものであり、当然、引用発明２は、光電センサ１１を前記表示灯に密着させるための手段を有している。引用発明２において、光電センサ１１の前記表示灯への密着は、前記表示灯の点灯消灯を検知するためであることは明らかであるから、光電センサ１１を前記表示灯に密着させるにあたり、前記部分Ａを前記表示灯に密着させることは明らかである。さらに、甲第５号証の記載からみて、引用発明２の光電センサ１１を備える時間計測装置は、生産用設備の各部の動作状態のうちの所定の動作状態に係る時間計測が必要となった場合に当該動作状態を反映した表示灯に光電センサ１１を密着させて当該動作状態に係る時間を計測するものであるから、光電センサ１１は、当該表示灯に着脱可能に密着されることは、明らかである。そうすると、引用発明２の「生産用設備の各部の動作状態を反映した表示灯に密着され」る「光電センサ１１」は、本件特許発明８の「前記出力信号検知部を前記センサに着脱可能に取り付ける連結部と、を備える」「センサ信号検知装置」と、「出力信号検知部を発光信号を出力する部材に着脱可能に取り付ける連結部を備える」点で一致する。 さらに、以上のことからみて、引用発明２の「光電センサ１１」は、本件特許発明８の「センサ信号検知装置」と、「信号検知装置」である点で一致する。 したがって、本件特許発明８と引用発明２は、 「発光信号を出力する部材が出力する発光信号を検知して検知信号を出力する出力信号検知部と、 前記出力信号検知部が出力した前記検知信号を外部に出力する検知信号出力部と、 前記出力信号検知部を前記発光信号を出力する部材に着脱可能に取り付ける連結部と、を備える信号検知装置。」 である点で一致し、次の点で相違する。 【相違点３】 発光信号を出力する部材について、本件特許発明８は、センサであるのに対し、引用発明２は、生産用設備の各部の動作状態を反映した表示灯である点。 イ．相違点３について検討する。 発光信号を出力するセンサは、例えば甲第６号証に記載されているように、一般的に慣用されており、センサを生産用設備の動作状態を検出するために使用することも慣用手段である。さらに、甲第５号証には、引用発明２の光電センサ１１を備える時間計測装置を各種センサの動作表示灯の点灯／消灯状態に基づいて時間を計測するために用いることの示唆もある（第３ページ左上欄第１２～１６行参照）。 そうすると、引用発明２をセンサが出力する発光信号に係る時間を計測するために用いることは，当業者が容易に想到し得る事項である。 したがって、引用発明２において、相違点３に係る本件特許発明８を特定する事項を備えるようにすることは、当業者が容易になし得る事項である。 そして、本件特許発明８が奏する効果に、甲第５号証に記載された事項に基いて当業者が容易に想到し得る範囲を越えるものは見いだせない。 ウ．したがって、本件特許発明８は、引用発明２に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 ６．むすび 以上のとおり、本件特許発明１及び本件特許発明２は、引用発明１及び甲第２号証に記載された技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、本件特許発明８は、引用発明２に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。よって、請求項１、２及び８に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、同法第１１３条第２号に該当するから、取り消されるべきものである。 また、本件特許発明３については、特許異議申立書に記載された特許異議申立て理由によっては、請求項３に係る特許を取り消すことはできない。更に、他に請求項３に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。