2018-003316

特願２０１６－１３８４９７「支持装置、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２８年１１月　４日出願公開、特開２０１６－１８９０２７、請求項の数（８）〕について、次のとおり審決する。

【結　論】 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。

【理　由】 第１　手続の経緯 本願は、平成２５年５月１７日（パリ条約による優先権主張外国庁受理　平成２４年５月２９日・米国、平成２４年６月２９日・米国）を国際出願日とする特願２０１５－５１４４１５号の一部を平成２８年７月１３日に新たな特許出願としたものであって、その手続の経緯は次のとおりである。 平成２８年　８月１２日　　：手続補正書（以下、この手続補正書による補正を「第１次補正」という。） 平成２９年　４月１４日付け：拒絶理由通知書 平成２９年　７月１９日　　：意見書・手続補正書（以下、この手続補正書による補正を「第２次補正」という。） 平成２９年１１月　１日付け：拒絶査定（同年１１月７日謄本送達） 平成３０年　３月　７日　　：審判請求書・手続補正書（以下、この手続補正書による補正を「第３次補正」という。） 平成３０年１１月１２日付け：拒絶理由通知書（当審） 令和　元年　５月１３日　　：意見書・手続補正書（以下、この手続補正書による補正を「第４次補正」という。） 第２　原査定の拒絶の理由及び当審拒絶理由の概要 １　原査定の拒絶の理由の概要 第２次補正後の請求項１～４，６～９に係る発明は、引用文献１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 なお、第２次補正後の請求項５に係る発明は、原査定の対象とはなっていない。 ２　当審拒絶理由の概要 （１）理由１ 第４次補正前の請求項１～９に係る発明は発明の詳細な説明に記載したものではないから、本願は、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない。 （２）理由２ 第１次補正、第２次補正及び第３次補正は、願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものではないから、特許法第１７条の２第３項に規定する要件を満たしていない。 （３）理由３ 第４次補正前の請求項１～９に係る発明は明確でないから、本願は、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない。 （４）理由４ 第４次補正前の請求項１～４及び９に係る発明は、引用文献１に記載された発明及び周知技術（周知例２、周知例３）に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 （５）理由５ 第４次補正前の請求項５～８に係る発明は、引用文献１に記載された発明及び引用文献４に記載された発明並びに周知技術（周知例２、周知例３）に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 （６）理由６ 本願は分割要件を満たさないから、本願の出願日は現実の出願日である平成２５年５月１７日であると認められ、よって、引用文献５に記載された発明が特許法第２９条第１項３号の発明に該当することになる。 その上で、第４次補正前の請求項１～９に係る発明は、引用文献５に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当する。 また、第４次補正前の請求項１～９に係る発明は、引用文献５に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。 ３　引用文献等について 上記１及び２における引用文献その他の文献は、次のとおりである。 １．特開２００７－２６６５０４号公報 ２．特表２０１０－２５１７４５号公報（周知例） ３．特開２０１０－２６７９６１号公報（周知例） ４．特開２０１０－２１２７１３号公報 ５．特表２０１５－５１９７５５号公報 （以下、これらの文献を、文献番号を添えて、「引用文献１」などという。） 第３　本願発明の認定 本願の請求項１～８に係る発明（以下「本願発明１」～「本願発明８」といい、これらを総称して「本願発明」という。）は、第４次補正後の請求項１～８に記載された事項により特定される発明であり、そのうち、独立項である請求項１，４及び８に係る本願発明１，４及び８は、次のとおりである。 ［本願発明１］ 「リソグラフィ装置のための支持装置であって、 オブジェクトを支持するオブジェクトホルダと、 前記オブジェクトホルダの半径方向外側の抽出本体であって、前記オブジェクトの周縁部の下に部分的に延出する抽出本体と を備え、 前記抽出本体は、第１開口及び第２開口を有し、前記第１開口及び前記第２開口は異なるチャネルと流体連通されており、 前記第１開口は、前記第２開口の半径方向内側に配置され、かつ、前記オブジェクトと前記抽出本体との間の前記抽出本体の上面から流体を抽出するように構成され、 前記第２開口は、前記オブジェクトの縁部と前記抽出本体との間のギャップを通って流体を抽出するように構成され、 前記抽出本体は、前記抽出本体と前記オブジェクトホルダとの間の中間ギャップによって、前記オブジェクトホルダから実質的に機械的及び熱的に分離するように前記オブジェクトホルダから離間している、支持装置。」 ［本願発明４］ 「リソグラフィ装置のための支持装置であって、 オブジェクトを支持するオブジェクトホルダと、 前記オブジェクトホルダの半径方向外側の抽出本体であって、前記オブジェクトの周縁部の下に部分的に延出する抽出本体と を備え、 前記抽出本体は、第１開口及び第２開口を有し、前記第１開口及び前記第２開口は異なるチャネルと流体連通されており、 前記第１開口は、前記第２開口の半径方向内側に配置され、かつ、前記オブジェクトと前記抽出本体との間の前記抽出本体の上面から流体を抽出するように構成され、 前記第２開口は、前記オブジェクトの縁部と前記抽出本体との間のギャップを通って流体を抽出するように構成され、 前記抽出本体は、前記抽出本体と前記オブジェクトホルダとの間の中間ギャップによって、前記オブジェクトホルダから実質的に機械的及び熱的に分離するように前記オブジェクトホルダから離間しており、 前記抽出本体は、前記中間ギャップをシールするように構成されたシール材によって前記オブジェクトホルダと接続された、支持装置。」 ［本願発明８］ 「リソグラフィ装置を用いたデバイス製造方法であって、 支持装置によって基板を支持しながら、パターニングデバイスによってパターニングしたビームを前記基板上に投影することを含み、 前記支持装置は、 オブジェクトを支持するオブジェクトホルダと、 前記オブジェクトホルダの半径方向外側の抽出本体であって、前記オブジェクトの周縁部の下に部分的に延出する抽出本体と を備え、 前記抽出本体は、第１開口及び第２開口を有し、前記第１開口及び前記第２開口は異なるチャネルと流体連通されており、 前記第１開口は、前記第２開口の半径方向内側に配置され、かつ、前記オブジェクトと前記抽出本体との間の前記抽出本体の上面から液体を抽出するように構成され、 前記第２開口は、前記オブジェクトの縁部と前記抽出本体との間のギャップを通って流体を抽出するように構成され、 前記抽出本体は、前記抽出本体と前記オブジェクトホルダとの間の中間ギャップによって、前記オブジェクトホルダから実質的に機械的及び熱的に分離するように前記オブジェクトホルダから離間している、方法。」 なお、本願発明２～３は、本願発明１をさらに限定したものであり、本願発明５～７は、本願発明１又は４をさらに限定したものである。 第４　当審の判断 １　引用文献についての認定 （１）引用文献１（特開２００７－２６６５０４号公報） ア　原査定の拒絶の理由及び当審拒絶理由が引用した引用文献１には、次の記載がある（下線は、当審が付した。以下同じ。）。 （ア）【特許請求の範囲】、 「投影光学系と基板との間を液体で満たした状態で原版のパターンを前記基板に露光する露光装置であって、 基板ステージ上に保持されている前記基板と、前記基板の外周部の周辺領域とを略同一面にして前記基板の外周部に液体を保持する同面部材と、 前記同面部材を前記基板ステージ上に取り付けるための取付部材と、 を備え、 前記取付部材は、前記同面部材に生じた変形を弾性変形により吸収し、前記基板ステージに伝達される変形を低減させることを特徴とする露光装置。」（【請求項２】）、 「前記同面部材は、前記保持した液体を回収することが可能な回収機構を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。」（【請求項４】） （イ）「【技術分野】」、 「本発明は、デバイス（半導体デバイスや液晶表示デバイス等）を製造するためのリソグラフィー工程において使用される露光装置に関するものである。」（【０００１】） （ウ）「（第１実施形態）」、 「（液浸露光装置の構成）」、 「図１は本発明の第１実施形態に係る液浸型の露光装置１（以下、単に「露光装置」ともいう）の構成を示す図である。」（【００１３】）、 「露光装置１は、投影光学系３０のウエハ４０側にある最終面と、ウエハ４０との間に供給される液体（液浸液）ＬＷを介して、レチクル２０に形成された回路パターンをステップ・アンド・スキャン方式でウエハ４０に露光することが可能である。ここで、「ステップ・アンド・スキャン方式」とは、レチクル２０に対してウエハ４０を連続的に走査してレチクルパターンをウエハの露光領域に露光すると共に、１ショットの露光終了後にウエハを次の露光領域にステップ移動させて露光する方法である。」（【００１４】）、 「露光装置１は、照明装置１０、レチクル２０を載置するレチクルステージ２５、投影光学系３０、ウエハ４０を載置するウエハステージ４５を有する。また、露光装置１は、測距装置(５２、５６、５４、５８)、ステージ制御部６０、液体供給部７０、液浸制御部８０、液体回収部９０を有する。」（【００１６】）、 「照明装置１０は、照明装置１０は、光源部１２と、照明光学系１４とを有し、回路パターンが形成されたレチクル２０を照明する。」（【００１７】）、 「ウエハ４０は、図示しないウエハ搬送系により露光装置１の外部から搬送され、ウエハステージ４５により保持され、所定の位置に位置決めされる。ウエハ４０の表面にはフォトレジストが塗布されており、投影光学系３０を介した回折光の結像によりレチクル２０に形成されたパターンが露光される。尚、本発明の適用は、ウエハ４０に限定されるものではなく、例えば、液晶基板、その他の感光剤が塗布された基板を広く含むことが可能である。」（【００２４】）、 「同面部材４４は、ウエハ４０の表面とウエハ４０が保持されている周辺部の面の高さとを略同一面にするための補助部材であり、同面部材４４の厚さは、ウエハ４０と略同の高さに設定されているものとする。同面部材４４は、投影光学系３０の最終面とウエハ４０の外周部表面との間に局所的に液浸液ＬＷを保持し、ウエハ４０の外周部と同面部材４４の内周部とにより形成される領域において液膜を形成して、液浸露光を可能にする。」（【００２５】）、 「ウエハステージ４５は、ウエハステージ定盤４７に取り付けられており、ウエハステージ４５上に設けられているウエハステージ天板４１及びウエハチャック４２（図３）を介してウエハ４０を保持することが可能である。ウエハステージ４５は、ウエハ４０の上下方向（Ｚ方向）の位置やＸＹＺ軸周りの回転方向及び傾きを調整する機能を有し、ステージ制御部６０はウエハステージ４５の位置、回転、傾斜を制御することが可能である。露光時は、ステージ制御部６０により投影光学系３０の焦点面にウエハ４０の表面が常に高精度に合致するようにウエハステージ４５が制御される。」（【００２６】）（当審注：「ウエハチャックを４２（図３）介して」は、「ウエハチャック４２（図３）を介して」の誤記であると認められるので、誤記を正して認定した。）、 「同面部材４４は、ウエハステージ４５上に保持されているウエハ４０と、ウエハ４０の外周部の周辺領域とを略同一面にしてウエハ４０の外周部に液浸液ＬＷを保持する。また、同面部材４４は、ウエハと同面部材４４との隙間に入り込んだ液浸液ＬＷを回収することが可能な回収機構を有する。液浸制御部８０は、同面部材４４に設けられている回収機構の動作を制御して、液浸液ＬＷの回収を行うことも可能である。また、同面部材４４には、液浸液ＬＷにより冷却される同面部材４４の温度を制御するために、温度制御された温調液４９を循環させるための循環流路が設けられている。液浸制御部８０は、液浸液ＬＷによる冷却で同面部材４４に生じた温度低下に起因した熱変形を抑制するために、低下した温度を補償するように、不図示の温度計測ユニットの計測結果に基づいて、温調液４９の温度制御を行う。また、液浸液ＬＷによる冷却量次第では、温度計測ユニットの結果を用いずに、単に一定温度の温調液４９を循環させるだけでも十分な効果が得られる。」（【００３６】）、 「（同面部材の構造）」、 「次に、本発明の実施形態に係る同面部材４４の構造を、図２?図４の参照により説明する。図２は、ウエハ４０、同面部材４４、及びウエハステージ４５の天板４１と同面部材４４とを結合させる取付部材４３のＸＹ平面内における配置を示す図である。図３は図２の構成を側面（ＸＺ平面）から見た図であり、図４は図３の一部を拡大した図である。」（【００３８】）、 「同面部材４４には、図４に示すようにウエハ４０と同面部材４４との隙間に入り込んだ液浸液ＬＷを回収するための多孔質もしくは多数の微細孔で構成された吸引部材４８が構成されている。吸引部材４８に連通して形成されている吸引空間５０を不図示の真空ポンプなどの吸引装置で負圧に吸引することで、吸引部材４８の表面に接する液浸液ＬＷを吸引回収することが可能である。」（【００３９】） 「吸引部材４８および吸引空間５０における液浸液ＬＷの気化熱（潜熱）の影響で、同面部材４４の温度が少しでも低下するのを抑制するために、同面部材４４には温調液４９を循環させる流路が設けられている。温調液４９により同面部材４４は加熱され、温調液４ ９による加熱で、液浸液ＬＷの気化熱（潜熱）による同面部材４４の温度低下を抑制することができる。」（【００４０】）、 「温調液４９を流して同面部材４４の温調を行っても、発生する気化熱（潜熱）によっては、例えば、０．１℃レベルの温度変化が生じてしまう場合がある。発生した温度変化により、同面部材４４は構成材料の線膨張係数に応じて熱変形が生じる。従来の同面部材４４はステージ天板４１と取付部材４３を介してネジ締結等により剛に締結されている。そのため、同面部材４４に熱変形が生じると、ステージ天板４１に取付部材４３を介して熱変形による応力が伝わり、ステージ天板４１が数ナノメートルレベルで変形することが確認されている。ステージ天板４１の変形により、ウエハステージ４５の位置計測を行うための計測ミラー５４とウエハ４０との相対位置関係が変化してしまい、露光精度の悪化が予測される。」（【００４１】）、 「同面部材４４の熱変形の影響を排除するために、本実施形態では、取付部材４３を弾性部材にして同面部材４４の熱変形による応力がステージ天板４１に伝達されないように構成している。取付部材４３としては、例えば、弾性ゴムや板バネなどが好適である。」（【００４２】）、 「同面部材４４の熱変形が天板４１に伝わりにくい構成としたことで、同面部材４４の熱変形に起因するステージ天板４１の変形はサブナノメートル以下となり、露光精度を良好に保つことが可能になる。また、本実施例では、更に、同面部材４４を温調しているので、より良好に露光精度を保つことが可能になる。」（【００４３】） イ　上記アの各記載から、第１実施形態に係る液浸露光装置について、次の事実が認められる。 （ア）ステージ天板４１上にあるウエハチャック４２が、ウエハ４０を保持している。（【００２６】・図４） （イ）同面部材４４が設けられており、これは、ウエハ４０の表面とウエハ４０が保持されている周辺部の面の高さとを略同一面にするための補助部材である。同面部材４４は、その熱変形による応力がステージ天板４１に伝達されないように、ステージ天板４１に、弾性部材からなる取付部材４３を介して取り付けられている。同面部材４４の熱変形が天板４１に伝わりにくい構成としたことで、同面部材４４の熱変形に起因するステージ天板４１の変形はサブナノメートル以下となり、露光精度を良好に保つことが可能になる。（【００２５】・【００４２】・【００４３】） （ウ）同面部材４４は、回収機構を有する。回収機構は、ウエハ４０と同面部材４４との隙間に入り込んだ液浸液ＬＷを回収するための多孔質もしくは多数の微細孔で構成された吸引部材４８を含み、吸引部材４８に連通して形成されている吸引空間５０を真空ポンプなどの吸引装置で負圧に吸引することで、吸引部材４８の表面に接する液浸液ＬＷを吸引回収することが可能である。吸引部材４８は、ウエハ４０の周縁部からみて半径方向内側から半径方向外側までの範囲を占めるとともに、ウエハ４０の周縁部からみて下方向に離間している。（【００３６】・【００３９】・図４） （エ）同面部材４４は、ウエハチャック４２の半径方向外側に離間して設けられ、ウエハ４０の周縁部の下に部分的に延出している。（図４） （オ）ウエハチャック４２と同面部材４４は、リソグラフィー装置のための支持装置を構成する。（【０００１】・上記（ア）及び（イ）） ウ　上記イの認定によれば、引用文献１には、次の発明（以下「引用発明１」という。）が記載されていると認められる。 「リソグラフィー装置のための支持装置であって、 ステージ天板４１上にある、ウエハ４０を保持するウエハチャック４２と、 ステージ天板４１に、弾性部材からなる取付部材４３を介して取り付けられている同面部材４４と、 を備え、 前記同面部材４４は、ウエハチャック４２の半径方向外側に離間して設けられ、ウエハ４０の周縁部の下に部分的に延出しており、 同面部材４４は、回収機構を有し、 回収機構は、ウエハ４０と同面部材４４との隙間に入り込んだ液浸液ＬＷを回収するための多孔質もしくは多数の微細孔で構成された吸引部材４８を含み、吸引部材４８に連通して形成されている吸引空間５０を真空ポンプなどの吸引装置で負圧に吸引することで、吸引部材４８の表面に接する液浸液ＬＷを吸引回収することが可能であり、 吸引部材４８は、ウエハ４０の周縁部からみて半径方向内側から半径方向外側までの範囲を占めるとともに、ウエハ４０の周縁部からみて下方向に離間している、 支持装置。」 （２）引用文献２（特表２０１０－２５１７４５号公報） 当審拒絶理由が周知例として提示した引用文献２は、次の技術的事項を開示するものと認められる。 「基板テーブルＷＴが、基板に対して半径方向外向きの位置にあるギャップ開口１１０と基板の下にある下開口１２０とを備えていること。」（【００６９】・図１２）、 「ギャップ開口１１０は、動作時にギャップから液体を除去するものであること。」（【００６９】）、 「下開口１２０は、基板の下から液体を除去するものであること。」（【００６９】） （３）引用文献３（特開２０１０－２６７９６１号公報） 当審拒絶理由が周知例として提示した引用文献３は、次の技術的事項を開示するものと認められる。 「基板テーブルＷＴが、基板に対して半径方向外向きの位置にあるギャップ抽出導管３１と基板の下にある流体抽出開口５０とを備えていること。」（【００５７】・【００５９】・図１０）、 「ギャップ抽出導管３１は、ギャップに入った液浸液を除去するものであること。」（【００５７】）、 「流体抽出開口５０は、基板の下に漏れる液体を除去するものであること。」（【００５９】） （４）引用文献５（特表２０１５－５１９７５５号公報） 引用文献５は、本願のいわゆる親出願である特願２０１５－５１４４１５号に係る公表公報であって、その公表日は、平成２７年７月９日であると認められる。 ２　当審拒絶理由に対する判断 （１）理由１（サポート要件違反）について 理由１は、第４次補正前の各請求項に係る発明と本願明細書及び図面との対応関係が不明であることを指摘したところである。 しかしながら、第４次補正により、本願発明が、図３０及びこれに関係する記載に対応することが明らかとなった。 したがって、理由１は、解消した。 （２）理由２（新規事項追加）について ア　理由２は、その第１の理由として、第１次補正～第３次補正により、第４次補正前の各請求項に係る発明と本願明細書及び図面との対応関係が不明となったから、第１次補正～第３次補正は、新規事項を追加するものであることを指摘したところである。 しかしながら、上記（１）のとおり、第４次補正によって、本願発明が、図３０及びこれに関係する記載に対応することが明らかとなった。 したがって、第１の理由は、解消した。 イ　理由２は、その第２の理由として、第１次補正～第３次補正により、第４次補正前の請求項５（第４次補正後の請求項４が対応する。）に係る発明が、第１開口及び第２開口の存在を特定しているのみであって、所定の位置関係や機能関係を特定していないものとなったから、第１次補正～第３次補正は、新規事項を追加するものであることを指摘したところである。 しかしながら、第４次補正によって、請求項４に、第１開口及び第２開口の位置関係や機能関係が特定されることとなった。 したがって、第２の理由は、解消した。 ウ　理由２は、その第３の理由として、第１次補正～第３次補正により、第４次補正前の請求項５（第４次補正後の請求項４が対応する。）に係る発明が、「シール材」を設けるようになったから、第１次補正～第３次補正は、新規事項を追加するものであることを指摘したところである。 しかしながら、本願の願書に最初に添付された明細書、特許請求の範囲又は図面（以下「当初明細書等」という。）の図６及び図７には、シール材であるステッカ７０が中間ギャップに設けられているか否かのみが異なる実施形態が記載されていると認められる。したがって、当初明細書等では、シール材を中間ギャップに設けるか否かは、任意であったと解される。そうすると、図３０に係る実施形態においても、中間ギャップ７５が存在する以上、そこにシール材を設けることは、当業者にとって自明であるということができる。 したがって、第３の理由は、維持できない。 エ　当審拒絶理由は、その付言として、第１次補正～第３次補正により、各請求項に係る発明が、図３０における突起３０を特定しないものとなったことをもって、第１次補正～第３次補正は、新規事項追加の可能性がある旨指摘したところである。 この点、当初明細書等の【０１６２】には、図３０について、「抽出本体６５は、基板ホルダ６１から実質的に熱的に分離され、及び／又は実質的に機械的に分離されている。」旨記載されており、同【０１６３】には、「ある実施形態では、抽出本体６５は突起３０を含む。」と記載されている。そうすると、突起３０は、図３０に係る実施形態において、任意であると解される。 したがって、この点を根拠として、第１次補正～第３次補正が、新規事項を追加したものということにはならない。 オ　理由２の小括 以上のとおりであるから、当審拒絶理由の理由２は、維持できない。 （３）理由６（引用文献５に記載された発明に基づく新規性欠如又は進歩性欠如）について 事案にかんがみ、次に、理由６を判断する。 理由６は、本願が分割要件を満たさないことを前提としたものであるところ、分割要件を満たさないと判断した根拠は、理由２が存在すると判断したことにあった。 しかしながら、上記（２）のとおり、理由２は維持できない。そして、本願は、分割要件を満たすと認められる。 したがって、本願の出願日は、平成２５年５月１７日である。 しかるところ、引用文献５の公表日は、平成２７年７月９日であるから、引用文献５に記載された発明は、特許法第２９条第１項第３号の発明に該当しない。 よって、当審拒絶理由の理由６は、維持できない。 （４）理由３（明確性要件違反）について ア　当審拒絶理由は、本願発明の「チャネル」の意味が明確でない旨指摘したところである。 これに対し、請求人は、補正を行うことなく、令和元年５月１３日提出の意見書において、図３０には、オブジェクトと抽出本体の上面から流体を抽出するための通路３０１を通ったチャネル６８と、ギャップ５を通って流体を抽出するための通路６７を通ったチャネル３００とが異なることが示されているから、「チャネル」の意味は明確である旨主張する。 そこで、検討するに、本願明細書は、【０１７６】に「通路８０から通路３０１を通ってチャネル３００内に流体を吸引するように、チャネル３００は真空と連通している。」と記載するとともに、【０１７６】～【０１８０】に、チャネル３００を用いた圧力制御について記載している。また、本願明細書は、【０１７０】に「ギャップ５を通って流れる液体は、抽出本体６５の抽出開口６６、通路６７、及びチャネル６８を介して抽出することができる。」と記載するとともに、【００５４】に「チャネル６８は、基板支持装置６０の上面６９から開口６６を介して流体を抽出するように、負圧に接続されている。」と記載している。 そうすると、チャネル３００とチャネル６８は、それぞれ異なる圧力制御が可能となるように、真空ないし負圧に連通している構造であると解するのが相当である。 よって、「チャネル」の意味は明確である。上記理由は、維持できない。 イ　当審拒絶理由は、第４次補正前の各請求項の記載では、「第１開口」について、「第２開口」と同様に、「ギャップを通って流体を抽出する」ことが特定されているため、「ギャップを通って流体を抽出する」「開口」の意味が明確でなくなっている旨指摘したところである。 しかしながら、第４次補正により、「第１開口」については、「前記オブジェクトと前記抽出本体との間の前記抽出本体の上面から流体を抽出するように構成され」ていることだけが特定されることになった。 よって、上記理由は、解消した。 ウ　当審拒絶理由は、第４次補正前の各請求項の記載では、「第１開口」について、「ギャップを通って流体を抽出する」ことに加えて、「前記オブジェクトと前記オブジェクトホルダとの間の前記オブジェクトホルダの上面から流体を抽出する」ことが特定されているため、両者の相互関係が不明となっている旨指摘したところである。 しかしながら、第４次補正により、「第１開口」については、「前記オブジェクトと前記抽出本体との間の前記抽出本体の上面から流体を抽出するように構成され」ていることだけが特定されることになった。 よって、上記理由は、解消した。 エ　当審拒絶理由は、第４次補正前の請求項５の記載では、「シール材」が何を「シール」しているのかが不明である旨指摘したところである。 しかしながら、第４次補正により、「シール材」が「前記中間ギャップをシールするように構成された」ものであることが特定されることになった。 よって、上記理由は、解消した。 オ　当審拒絶理由は、第４次補正前の請求項６に記載された「ギャップ」は、用語の統一性の観点から、「中間ギャップ」と記載されるべきであるにもかかわらず、そのように記載されていないから、明確でない旨指摘したところである。 しかしながら、第４次補正により、「ギャップ」が「中間ギャップ」と補正されたので、上記理由は、解消した。 カ　なお、当審拒絶理由は、請求人に対し、「開口」を有しているのが、「オブジェクトホルダ」ではなく、「抽出本体」であるとする判断基準は、オブジェクトに最も近接した位置に存在する口部が抽出本体に備わっているかどうか、ということでよいか否か確認したところ、請求人からは特に反論がなかった。そこで、当審は、上記のとおり解することとする。 キ　理由３の小括 以上のとおりであるから、当審拒絶理由の理由３は、維持できない。 （５）理由４，５（引用文献１に記載された発明に基づく進歩性欠如）について ア　本願発明１について （ア）対比 ａ　本願発明１の「リソグラフィ装置のための支持装置であって、」との特定事項について （ａ）引用発明１の「リソグラフィー装置のための支持装置」は、本願発明１の「リソグラフィ装置のための支持装置」に相当する。 （ｂ）よって、引用発明１は、本願発明１の「リソグラフィ装置のための支持装置であって、」との特定事項を備える。 ｂ　本願発明１の「オブジェクトを支持するオブジェクトホルダと、」との特定事項について （ａ）引用発明１の「ウエハ４０」は、本願発明１の「オブジェクト」に相当する。 （ｂ）引用発明１の「ウエハ４０を保持するウエハチャック４２」は、上記（ａ）に照らせば、本願発明１の「オブジェクトを支持するオブジェクトホルダ」に相当する。 （ｃ）よって、引用発明１は、本願発明１の「オブジェクトを支持するオブジェクトホルダと、」との特定事項を備える。 ｃ　本願発明１の「前記オブジェクトホルダの半径方向外側の抽出本体であって、前記オブジェクトの周縁部の下に部分的に延出する抽出本体と」との特定事項について （ａ）引用発明１の「回収機構を有」する「同面部材４４」は、本願発明１の「抽出本体」に相当する。 （ｂ）引用発明１の「ウエハチャック４２の半径方向外側に離間して設けられ」た「同面部材４４」は、上記（ａ）に照らせば、本願発明１の「前記オブジェクトホルダの半径方向外側の抽出本体」に相当する。 （ｃ）引用発明１の「ウエハ４０の周縁部の下に部分的に延出して」いる「同面部材４４」は、上記（ａ）及び上記ｂ（ａ）に照らせば、本願発明１の「前記オブジェクトの周縁部の下に部分的に延出する抽出本体」に相当する。 （ｄ）よって、引用発明１は、本願発明１の「前記オブジェクトホルダの半径方向外側の抽出本体であって、前記オブジェクトの周縁部の下に部分的に延出する抽出本体と」との特定事項を備える。 ｄ　本願発明１の「前記抽出本体は、第１開口及び第２開口を有し、前記第１開口及び前記第２開口は異なるチャネルと流体連通されており、 前記第１開口は、前記第２開口の半径方向内側に配置され、かつ、前記オブジェクトと前記抽出本体との間の前記抽出本体の上面から流体を抽出するように構成され、 前記第２開口は、前記オブジェクトの縁部と前記抽出本体との間のギャップを通って流体を抽出するように構成され、」との特定事項について （ａ）引用発明１の「同面部材４４」（本願発明１の「抽出本体」に相当。）が備える「ウエハ４０と同面部材４４との隙間に入り込んだ液浸液ＬＷを回収するための多孔質もしくは多数の微細孔で構成された吸引部材４８」は、本願発明１でいう「開口」を有しているといえる。 また、引用発明１は、「吸引部材４８に連通して形成されている吸引空間５０を真空ポンプなどの吸引装置で負圧に吸引する」ものであるから、引用発明１の「開口」は、「吸引空間５０」と流体「連通」されており、よって、本願発明１でいう「チャネルと流体連通されて」いるものといえる。 （ｂ）したがって、本願発明１と引用発明１とは、「前記抽出本体は、」「開口」「を有し、前記」「開口」「は」「チャネルと流体連通されて」いる点で一致する。 他方で、引用発明１は、同発明における「チャネルと流体連通されて」いる「開口」が、「ウエハ４０の周縁部からみて半径方向内側から半径方向外側までの範囲を占めるとともに、ウエハ４０の周縁部からみて下方向に離間して」いる「吸引部材４８」であって、かつ、「ウエハ４０と同面部材４４との隙間に入り込んだ液浸液ＬＷを回収するための多孔質もしくは多数の微細孔で構成された」「吸引部材４８」に設けられた多数の孔であり、そして、それらの孔は、「吸引空間５０」と流体「連通」されているものであるけれども、 「第１開口及び第２開口を有し、前記第１開口及び前記第２開口は異なるチャネルと流体連通されており、 前記第１開口は、前記第２開口の半径方向内側に配置され、かつ、前記オブジェクトと前記抽出本体との間の前記抽出本体の上面から流体を抽出するように構成され、 前記第２開口は、前記オブジェクトの縁部と前記抽出本体との間のギャップを通って流体を抽出するように構成され」ていることを、明記しない。 ｅ　本願発明１の「前記抽出本体は、前記抽出本体と前記オブジェクトホルダとの間の中間ギャップによって、前記オブジェクトホルダから実質的に機械的及び熱的に分離するように前記オブジェクトホルダから離間している、」との特定事項について （ａ）引用発明１の「同面部材４４」（本願発明１の「抽出本体」に相当。）は、「ウエハチャック４２」（本願発明１の「オブジェクトホルダ」に相当。）と「離間して」いるから、引用発明１は、本願発明１の「前記抽出本体は、前記抽出本体と前記オブジェクトホルダとの間の中間ギャップによって、」「前記オブジェクトホルダから離間している、」との特定事項を備える。 （ｂ）しかし、引用発明１は、同発明における「抽出本体」の「オブジェクトホルダから」の「離間」が、本願発明１でいう「前記オブジェクトホルダから実質的に機械的及び熱的に分離するように」なっていることを、明記しない。 （イ）一致点及び相違点の認定 上記（ア）によれば、本願発明１と引用発明１とは、 「リソグラフィ装置のための支持装置であって、 オブジェクトを支持するオブジェクトホルダと、 前記オブジェクトホルダの半径方向外側の抽出本体であって、前記オブジェクトの周縁部の下に部分的に延出する抽出本体と を備え、 前記抽出本体は、開口を有し、前記開口はチャネルと流体連通されており、 前記抽出本体は、前記抽出本体と前記オブジェクトホルダとの間の中間ギャップによって、前記オブジェクトホルダから離間している、支持装置。」である点で一致し、次の点で相違する。 ［相違点１］ 「チャネルと流体連通されて」いる「開口」について、 本願発明１は、「第１開口及び第２開口を有し、前記第１開口及び前記第２開口は異なるチャネルと流体連通されており、 前記第１開口は、前記第２開口の半径方向内側に配置され、かつ、前記オブジェクトと前記抽出本体との間の前記抽出本体の上面から流体を抽出するように構成され、 前記第２開口は、前記オブジェクトの縁部と前記抽出本体との間のギャップを通って流体を抽出するように構成され」ているのに対し、 引用発明１は、「ウエハ４０の周縁部からみて半径方向内側から半径方向外側までの範囲を占めるとともに、ウエハ４０の周縁部からみて下方向に離間して」おり、かつ、「多孔質もしくは多数の微細孔で構成された」「吸引部材４８」に設けられた多数の孔であって、それらの孔は、「吸引空間５０」と流体「連通」されているものである点。 ［相違点２］ 「中間ギャップによって、前記オブジェクトホルダから離間している」ことについて、 本願発明１は、「前記オブジェクトホルダから実質的に機械的及び熱的に分離するように」なっているのに対し、 引用発明１は、そのような明記がない点。 （ウ）相違点１の判断 ａ　引用発明１の「開口」は、「多孔質もしくは多数の微細孔で構成された」「吸引部材４８」に設けられた多数の孔であるから、本願発明１でいう「第２開口」と「第２開口の半径方向内側に配置され」た「第１開口」とを備えると解する余地がある。加えて、引用発明１の「吸引部材４８」は、「ウエハ４０の周縁部からみて半径方向内側から半径方向外側までの範囲を占めるとともに、ウエハ４０の周縁部からみて下方向に離間して」おり、かつ、「ウエハ４０と同面部材４４との隙間に入り込んだ液浸液ＬＷを回収するための」ものであるから、前記「第１開口」が、「前記オブジェクトと前記抽出本体との間の前記抽出本体の上面から流体を抽出するように構成され」ているとともに、前記「第２開口」が、「前記オブジェクトの縁部と前記抽出本体との間のギャップを通って流体を抽出するように構成され」ていると解する余地もある。 しかしながら、そのように解するとしても、引用発明１の前記「第１開口」及び前記「第２開口」は、本願発明１でいう「異なるチャネルと流体連通されて」はいない。すなわち、引用発明１の前記「第１開口」及び前記「第２開口」は、いずれも「吸引空間５０」と流体「連通」されているのであり、この「吸引空間５０」は、第１開口にも第２開口にも使用されているという意味で、１つのチャネルである。よって、引用発明１の前記「第１開口」及び前記「第２開口」は、本願発明１でいう「異なるチャネルと流体連通されて」はいない。 そこで、「第１開口」及び「第２開口」が「異なるチャネルと流体連通されて」いることを示す証拠があるのかが、問題となる。 ｂ　この点、引用文献２及び引用文献３は、上記１（２）及び（３）で認定したとおり、いずれも、リソグラフィー装置の技術分野において、オブジェクトホルダが、オブジェクトに対して半径方向外向きの位置にある第２開口とオブジェクトの下にある第１開口を備える構造を開示していると認められる。 しかしながら、引用文献２及び引用文献３は、いずれも、「第１開口」及び「第２開口」が「異なるチャネル」と「流体連通されて」いることを開示しない。 したがって、引用発明１に、引用文献２ないし引用文献３に記載された技術的事項を適用できたとしても、相違点１に係る構成に至らない。 ｃ　仮に、引用文献２ないし引用文献３が、「第１開口」及び「第２開口」が「異なるチャネル」と「流体連通されて」いることを開示していたとすると、当業者は、かえって、引用発明１に、引用文献２ないし引用文献３に記載された技術的事項を適用しない。 すなわち、引用発明１の「チャネルと流体連通されて」いる「開口」は、「多孔質もしくは多数の微細孔で構成された吸引部材４８」に設けられた多数の孔であって、それらの孔は、「吸引空間５０」と流体「連通」されているものであるところ、「吸引空間５０」は、上記ａのとおり、１つのチャネルである。そして、「多孔質もしくは多数の微細孔で構成された吸引部材４８」は、「ウエハ４０の周縁部からみて半径方向内側から半径方向外側までの範囲を占める」ものであるところ、引用発明１は、そのような広い範囲を占める「吸引部材４８」を用いたからこそ、１つのチャネルと流体連通させることができたものということができる。 しかるところ、そのような、１つのチャネルで既に作用効果を奏している引用発明１において、あえて、「異なるチャネル」と「流体連通されて」いる第１開口及び第２開口を備える技術を採用する動機はない。 よって、当業者は、引用発明１に、引用文献２ないし引用文献３に記載された技術的事項を適用しないというべきである。 ｄ　このように、当業者が、引用発明１並びに引用文献２に記載された技術的事項及び引用文献３に記載された技術的事項に基づいて、相違点１に係る構成に至ることはない。 そして、引用文献４に記載された技術的事項を考慮しても、上記の判断を左右しない。 （エ）本願発明１についての小括 したがって、相違点２について判断するまでもなく、本願発明１は、引用発明１及び引用文献２～４に記載された技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 イ　本願発明２～３について 本願発明２～３は、本願発明１をさらに限定したものである。 したがって、上記アと同様の理由で、本願発明２～３は、引用発明１及び引用文献２～４に記載された技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 ウ　本願発明４について 本願発明４は、本願発明１に「前記抽出本体は、前記中間ギャップをシールするように構成されたシール材によって前記オブジェクトホルダと接続された、」との特定事項を付加したものに相当する。 そうすると、上記アと同様の理由で、本願発明４は、引用発明１及び引用文献２～４に記載された技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 エ　本願発明５～７について 本願発明５～７は、本願発明１又は４をさらに限定したものである。 したがって、上記アと同様の理由で、本願発明５～７は、引用発明１及び引用文献２～４に記載された技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 オ　本願発明８について 本願発明８は、「リソグラフィ装置を用いたデバイス製造方法」に係るものであるけれども、その特定事項である「支持装置」は、本願発明１に係る「支持装置」となっている。 したがって、上記アと同様の理由で、本願発明８は、引用発明１及び引用文献２～４に記載された技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。 カ　理由４，５についての小括 以上のとおりであるから、当審拒絶理由の理由４，５は、維持できない。 （６）当審拒絶理由に対する判断の小括 このように、当審拒絶理由は、維持できない。 ３　原査定の拒絶の理由に対する判断 原査定の拒絶の理由は、要するに、引用文献１に記載された発明のみに基づく進歩性欠如である。しかるに、上記２（５）のとおり、当審拒絶理由の理由４及び５（引用文献１に記載された発明に基づく進歩性欠如）が維持できない以上、原査定の拒絶の理由も、維持できないことに帰する。 第５　むすび 以上のとおり、当審拒絶理由及び原査定の拒絶の理由によっては、本願を拒絶することはできない。 また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり審決する。