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特許拒絶査定不服審判

2017-014068

レジスト等のウエハ周縁部からの溶解除去方法

審判番号
2017-014068
法域
特許
審判種別
拒絶査定不服審判(拒絶査定不服の審決)
出願番号
特願2015-562623外部サイト(J-PlatPat)へ移動します
請求日
2017年09月22日
審決日
2019年01月07日
公報発行日
2019年02月22日
結論
原査定取消(特許/登録すべき)
当事者
審判長/審判官
分類
P18 .121-WYF(H01L)
データ出所
審決公報(SGML)

事件の表示

特願2015-562623「レジスト等のウエハ周縁部からの溶解除去方法」拒絶査定不服審判事件〔平成27年 8月20日国際公開、WO2015/121947、請求項の数(4)〕について、次のとおり審決する。

結論

【結 論】 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。

理由

【理 由】 本願は、平成26年 2月13日の出願であって、その請求項1-4に係る発明は、平成30年10月26日付け手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項1-4に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。 そして、本願については、原査定の拒絶理由及び当審で通知した拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。 また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり審決する。

審決本文(J-PlatPat)

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2017-014068

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