審決検索MVP
← 検索一覧に戻る
特許拒絶査定不服審判

2017-005644

ダブルレンズ構造とその製造方法

審判番号
2017-005644
法域
特許
審判種別
拒絶査定不服審判(拒絶査定不服の審決)
出願番号
特願2014-225880外部サイト(J-PlatPat)へ移動します
請求日
2017年04月20日
審決日
2018年01月29日
公報発行日
2018年03月30日
結論
原査定取消(特許/登録すべき)
当事者
審判長/審判官
分類
P18 .113-WY (H01L) / P18 .121-WY (H01L) / P18 .537-WY (H01L)
条文(本文から自動抽出・参考)
特許法第29条第2項、特許法第36条第6項第2号、特許法第29条第1項第3号
データ出所
審決公報(SGML)

事件の表示

特願2014-225880「ダブルレンズ構造とその製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成28年 3月17日出願公開,特開2016- 36004,請求項の数(7)〕について,次のとおり審決する。

結論

【結 論】 原査定を取り消す。 本願の発明は,特許すべきものとする。

理由

【理 由】 理 由 第1 手続の経緯 本願は,平成26年11月6日を出願日(パリ条約による優先権主張, 2014年7月31日,米国)とする出願であって,その手続の経緯は以下のとおりである。 平成26年11月 6日 審査請求 平成28年 3月28日 拒絶理由通知 平成28年 7月 1日 意見書・補正書 平成28年12月26日 拒絶査定(以下,「原査定」という。) 平成29年 4月20日 審判請求・補正書 平成29年 8月24日 拒絶理由通知(以下,「当審拒絶理由通知1」という。) 平成29年10月27日 意見書・補正書 平成29年11月29日 拒絶理由通知(以下,「当審拒絶理由通知2」という。) 平成29年12月 7日 意見書・補正書 第2 原査定の概要 原査定の概要は次のとおりである。なお,「第2」における「引用文献1ないし6」は,後記「第5」以降の「原審引用文献1ないし6」に対応する。 (進歩性)この出願の下記の請求項に係る発明は,その出願前に日本国内又は外国において,頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて,その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから,特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができない。 ●理由2(進歩性)について ・請求項 1 ・引用文献等 1-3 先に通知した引用文献1には,「ダブルレンズ構造であって,第一屈折率を有する第1レンズ層でなる第一レンズ構造4,および,第二屈折率を有するマイクロレンズ層でなり,且つ,前記第一レンズ構造上に設置される第二レンズ構造3,を有し,入射光が,第二レンズ構造に進入して,第一レンズ構造を通過し,前記第1レンズ層の前記第一屈折率が,前記マイクロレンズ層の前記第二屈折率より大きいダブルレンズ構造。」が記載されている(特に段落[0015]-[0051],[図1]-[図2]を参照されたい。)。 イメージセンサにおいて,層内レンズと,前記層内レンズよりも,入射光が入射する側に設置されるマイクロレンズを有するダブルレンズ構造において,前記層内レンズがカラーフィルターの機能を有すること,また,当該構成により,光電変換部とマイクロレンズの間の距離を低減でき,混色を低減し,感度を向上できることは,周知技術にすぎず(例えば,引用文献2の段落[0050]-[0051],[図9]等の記載,引用文献3の段落[0021]-[0044],[図1]-[図3]等の記載を参照されたい。),混色を低減し,感度を向上するために,引用文献1に記載されたダブルレンズ構造に,前記周知技術を採用して,本願の請求項1に係る発明のダブルレンズ構造とすることに,別段,困難性は見いだせない。 出願人は,平成28年7月1日付け意見書において,「引用文献2(本査定における引用文献1に相当する。)の図2に示されるように,引用文献2はカラーフィルター6が薄膜レンズ3とマイクロレンズ4の下に設置されていることのみを示すものです。引用文献2は,薄膜レンズ3又はマイクロレンズ4がカラーフィルターでもあることを開示していません。また,引用文献2は,カラーフィルター6と,薄膜レンズ3と,マイクロレンズ4と,の屈折率との関係を記載していません。従って,引用文献2は,本願請求項1記載の発明の・・・ことを開示及び示唆するものではありません。・・・よって,本願の請求項1は新規性を有し,引用文献1(本査定における引用文献6に相当する。)に記載された発明に,引用文献2に記載された発明を適用しても,本願の請求項1に係る発明の構成とすることは,当業者が容易になし得ることではありません。」と主張しているが,本願の請求項1に係る発明の進歩性については,上述のとおりである。 よって,本願の請求項1に係る発明は,引用文献1-3に基づいて,当業者が容易に発明することができたものであるから,依然として,特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができない。 ・請求項 2-3 ・引用文献等 1-3 引用文献1には,前記ダブルレンズ構造は,前記第一屈折率は,前記第二屈折率より大きく,前記第一レンズ構造は第一凸状面を有し,前記第二レンズ構造は,前記第一レンズ構造の前記第一凸状面上に設置される第二凸状面を有し,および,前記入射光は,前記第二凸状面から第二レンズ構造に進入し,前記第二レンズ構造は,さらに,前記第二凸状面と反対側に第三凸状面を有し,前記マイクロレンズ層の前記第三凸状面は,前記第一レンズ構造の前記第一凸状面と同じ面(共形)で形成され,接触し,および,前記第一レンズ構造は,さらに,前記第一凸状面と反対側に平坦な表面を有することが記載されている(特に前記記載箇所を参照されたい。)。 よって,本願の請求項2-3に係る発明は,引用文献1-3に基づいて,当業者が容易に発明することができたものであるから,依然として,特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができない。 ・請求項 4-5 ・引用文献等 1-4 ・備考 2つの物質が接触する境界において,1つの物質のもう一方の物質に対する,境界面の凹凸形状と,屈折率の大小との,組合せを,同時に入れ替えることで,レンズとしての,集光又は拡散としての機能は変化しないことは技術常識であり(例示するまでもないが,例えば,先に通知した引用文献4には,ダブルレンズ構造において,光が入射する側のマイクロレンズ15よりも屈折率の小さい凸形状の層内レンズ14と,前記マイクロレンズ15よりも屈折率の高い凹形状の層内レンズ34とが,同じ機能,作用を有することが記載されている(特に段落[0017]-[0064],[図1]-[図8]等の記載を参照されたい。)引用文献1に記載されたダブルレンズ構造において,本願の請求項4-5に係る発明のダブルレンズ構造とすることは,当業者が格別の創意工夫を要することなく容易に想到し得たものである。 よって,本願の請求項4-5に係る発明は,引用文献1-4に基づいて,当業者が容易に発明することができたものであるから,依然として,特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができない。 ・請求項 6 ・引用文献等 1-5 ・備考 先に通知した引用文献5には,イメージセンサにおいて,カラーフィルター層7と同一平面上に設置され,前記カラーフィルター層を複数のゾーンに分割するグリッド形状の隔壁9(仕切り)を有し,前記グリッド形状の仕切りは,前記カラーフィルター層の前記第一屈折率より低い第三屈折率を有し,前記グリッド形状の仕切りの高さは,前記カラーフィルター層より高く,および,前記グリッド形状の仕切りの幅は,0.05μm~0.2μmであり,当該構成により,混色を抑制できることが記載されている(特に段落[0010],[0018]-[0045],[0089],[図1]を参照されたい。)。 引用文献1と引用文献5は,イメージセンサという共通の技術分野に属しており,混色を抑制するために,引用文献1に記載されたダブルレンズ構造に,引用文献5に記載された発明を適用して,本願の請求項6に係る発明のダブルレンズ構造とすることは,当業者が容易になし得ることである。また,前記グリッド状の仕切りの幅を,0.1μm~0.3μmとすることに,顕著性を有する有利な効果は認められない。 よって,本願の請求項6に係る発明は,引用文献1-5に基づいて,当業者が容易に発明することができたものであるから,依然として,特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができない。 ・請求項 7-9 ・引用文献等 1-3,6 ・備考 先に通知した引用文献6には,「第一屈折率を有するカラーフィルター層511,512,513を基板上に形成する工程と,第一ハードマスクR12を,前記カラーフィルター層上に形成し,前記第一ハードマスクが凸状を有する工程と,前記第一ハードマスクを用いることにより,前記カラーフィルター層をエッチングして,第一凸状面を有する第一レンズ構造を形成する工程と,第二屈折率を有するマイクロレンズ材料層520を,前記第一レンズ構造に形成する工程と,第二ハードマスクR13を,前記マイクロレンズ材料層上に形成し,前記第二ハードマスクが凸状を有する工程と,前記第二ハードマスクを用いることにより,前記マイクロレンズ材料層をエッチングして,第二凸状面を有する第二レンズ構造を形成する工程と,を有し,前記第一ハードマスクを用いることにより,前記カラーフィルター層をエッチングして,前記第一レンズ構造を形成する前記工程後,前記第一ハードマスクの厚さは,カラーフィルター層より薄く,前記カラーフィルター層の下部はエッチングされず,前記第一レンズ構造の隣接ゾーンの下部が互いに接続され,前記第二ハードマスクの厚さは,前記マイクロレンズ材料層より薄く,前記第二ハードマスクを用いることにより,前記マイクロレンズ材料層をエッチングして,前記第二レンズ構造を形成する前記工程の後,前記マイクロレンズ材料層の下部はエッチングされず,前記第二レンズ構造の隣接ゾーンの下部が互いに接続されるダブルレンズ構造の製造方法。」が記載されている(特に段落[0057]-[0074],[図8]-[図11]を参照されたい。)。また,引用文献6には,「ダブルレンズ構造の下層のレンズの形成方法として,第一ハードマスクR1を用いることにより,レンズ層510をエッチングして,レンズ構造を形成する工程の後,レンズ層の下部がエッチングされ,前記レンズ構造の隣接ゾーンの下部が互いに分離されるダブルレンズ構造の製造方法。」が記載されている(特に段落[0040]-[0044],[図4]を参照されたい。)。そして,前記レンズ構造を形成する工程において,前記第一ハードマスクの厚さを,前記レンズ層の厚さに等しくすることは,当業者が適宜選択できる設計的事項にすぎない。 引用文献1-3の記載内容については,前記請求項1の備考を参照されたい。 引用文献1と引用文献6は,イメージセンサという共通の技術分野に属しており,引用文献1に記載されたダブルレンズ構造の製造方法に,引用文献6に記載された発明,及び,引用文献2-3の周知技術を適用して,本願の請求項7-9に係る発明のダブルレンズ構造の製造方法とすることは,当業者が容易になし得ることである。 よって,本願の請求項7-9に係る発明は,引用文献1-3,6に基づいて,当業者が容易に発明することができたものであるから,依然として,特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができない。 ・請求項 10-14 ・引用文献等 1-3,5-6 ・備考 引用文献6には,「第三屈折率を有するマイクロレンズ材料層を,下層のレンズ構造上にコーティングする工程と,第二ハードマスクを,前記マイクロレンズ材料層に形成し,前記第二ハードマスクが凸状を有する工程と,前記第二ハードマスクを用いることにより,前記マイクロレンズ材料層をエッチングして,第一凸状面を有する第二レンズ構造を形成する工程とを有し,カラーフィルター層を形成する工程は,コーティングプロセス,露光プロセス,および,現像プロセスを有するダブルレンズ構造の製造方法。」が記載されている(特に前記記載箇所を参照されたい。)。 引用文献5には,「基板3上に,第一屈折率を有する層間絶縁膜53及び保護膜57(分割材料層)を形成する工程と,第一グリッド形状のレジスト59(ハードマスク)を,前記分割材料層上に形成する工程と,前記第一グリッド形状のハードマスクを用いることにより,前記分割材料層をエッチングして,複数の開口を有するグリッド形状の仕切りを形成する工程と,第二屈折率を有するカラーフィルター層225を,前記グリッド形状の仕切りの前記開口中に形成して,第一凹状面を有する第一レンズ構造を形成する工程と,第一凸状面を有する第二レンズ構造を形成する工程と,を有し,前記分割材料層の前記第一屈折率は,前記カラーフィルター層の前記第二屈折率より低く,前記グリッド形状の仕切りの上部にコートされる前記カラーフィルター層の一部が除去されるイメージセンサの製造方法。」が記載されている(特に段落[0018]-[0045],[0061]-[0070],[図2]-[図4],[図6]-[図7]を参照されたい。)。 引用文献1,5-6は,イメージセンサという共通の技術分野に属しており,引用文献1に記載されたダブルレンズ構造の製造方法に,引用文献5-6に記載された製造方法,及び,引用文献2-3の周知技術を適用して,本願の請求項10-12に係る発明のダブルレンズ構造の製造方法とすることは,当業者が容易になし得ることである。 本願の請求項13-14に係る発明について,前記第二レンズ構造を形成する前記工程の後,前記第二ハードマスクの厚さを,前記マイクロレンズ材料層と等しくし,前記グリッド形状の仕切りの前記上部にコートされる前記マイクロレンズ材料層の一部を除去して,前記グリッド形状の仕切りを露出させることは,当業者が適宜選択できる設計的事項にすぎず,また,前記第二レンズ構造を形成する前記工程の後,前記第二ハードマスクの厚さを,前記マイクロレンズ材料層より薄くし,前記グリッド形状の仕切りの上部にコートされる前記マイクロレンズ材料層の一部を,前記グリッド形状の仕切りで残留させることは,当業者が適宜選択できる設計的事項にすぎない。 よって,本願の請求項10-14に係る発明は,引用文献1-3,5-6に基づいて,当業者が容易に発明することができたものであるから,依然として,特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができない。 <引用文献等一覧> 1.特開2000-357786号公報 2.特開2005-057024号公報 3.特開2008-058794号公報 4.特開2012-204354号公報 5.特開2012-227476号公報 6.特開2003-209230号公報 第3 当審拒絶理由の概要 1 当審拒絶理由通知1の概要 当審拒絶理由通知1の概要は以下のとおりである。なお,「第3」における「引用文献1ないし4」は,後記「第5」以降の「当審引用文献1ないし4」に対応する。 (新規性)この出願の下記の請求項に係る発明は,その出願前に日本国内又は外国において,頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明であるから,特許法第29条第1項第3号に該当し,特許を受けることができない。 (進歩性)この出願の下記の請求項に係る発明は,その出願前に日本国内又は外国において,頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて,その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから,特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができない。 (明確性)本件出願は,特許請求の範囲の記載が下記の点で不備のため,特許法第36条第6項第2号に規定する要件を満たしていない。 ・理由 (新規性),(進歩性) ・請求項 1,2 ・引用文献 1 ・備考 引用文献1の,特に【0015】,【0024】,【0025】及び図1には「カラーフィルタを兼ねた屈折率1.52以上のカラーレンズ12(請求項1において「第1レンズ構造」に相当)と,屈折率1.47以下である転写レンズ13(請求項1において「第2のレンズ構造」に相当)を備えた2つのレンズから構成されるレンズ構造(請求項1において「ダブルレンズ構造」に相当)を有し,入射光が,前記転写レンズ13に進入して,前記カラーレンズ12を通過し,カラーレンズの屈折率が転写レンズの屈折率よりも大きく,互いに接触する転写レンズの面13とカラーレンズ12とは,面接触を形成する形状を有し,カラーレンズ12の構造は,上面に凸状面(請求項1において「第一凸状面に相当)を有し,転写レンズ13は前記カラーレンズの凸状面上に設置される凸状面(請求項1において「第二凸状面」に相当)を有し,入射光は,転写レンズ13の凸状面から進入する2つのレンズから構成されるレンズ構造。」が開示されている。 また,転写レンズ13は,上面の凸状面と反対側の下面に凹状面(請求項2において「第三凸状面」に相当するが,後記請求項2に対する明確性の点に留意)を有し,転写レンズ13の下面の凹状面は,カラーレンズ12の上面の凸状面と共形で形成され,接触し,カラーレンズ12の下面は,平坦な表面である。 したがって,請求項1,2に係る発明は,引用文献1に記載された発明,または,仮に相違点があるとしても当該相違点は,当業者が引用文献1に記載された発明に基づいて,容易に想到し得たものと認められる。 ・理由 (進歩性) ・請求項 3,4 ・引用文献 1,2 ・備考 請求項3に係る発明と引用文献1の特に【0015】,【0024】,【0025】及び図1に記載された発明とを比較すると以下の点で相違する。 相違点 請求項3に係る発明では,第一レンズ構造の第一屈折率は,第二レンズ構造の第二屈折率より低く,かつ第一レンズ構造は凹状面を有するのに対して,引用文献1に記載された発明では,カラーレンズ(請求項3において「第一レンズ構造」に相当)の屈折率は,転写レンズ(請求項3において「第二のレンズ構造」に相当)の屈折率より大きく,カラーレンズは凸状面を有する点。 以下,上記相違点について検討する。 一般に,光学分野において,2つのレンズを組み合わせて集光する際に,一方のレンズを凸レンズから凹レンズに変更し,その際2つのレンズの屈折率の相対的な大小関係を変更することで同様な集光特性が実現できることは引用文献2の,特に,【0024】-【0038】,【0055】-【0057】,図2,6に記載された第1実施形態と第2実施形態の関係,引用文献3の,特に,【0053】-【0066】及び図4-12に記載された第1実施形態とその変形例の関係,及び引用文献4の,特に【0032】-【0035】及び図5の記載から周知技術と認められる。 したがって,引用文献1に記載された発明において,上記周知技術に配慮し,凸レンズのカラーレンズ14を凹レンズに変更し,その際転写レンズの屈折率より小さい屈折率へ変更する事は,当業者が容易に想到し得た事項と認められる。 ・理由(新規性),(進歩性) ・請求項 6-8 ・引用文献 1 ・備考 引用文献1の,特に,【0045】-【0056】及び図2,3には,「カラーフィルタ23を半導体基板20上に形成する工程と,熱フローレンズ25をカラーフィルタ上に形成し,熱フローレンズ25(請求項6において「第一のハードマスク」に相当)が凸状を有する工程と,熱フローレンズ25を用いることにより,カラーフィルタをエッチングして,上面に凸状面を有するカラーレンズ26(請求項6において「第一レンズ構造」に相当)を形成する工程と,エッチング制御層28(請求項6において「マイクロレンズ材料層」に相当)をカラーレンズ26上に直接接触して形成する工程と,熱フローレンズ29(請求項6において「第二ハードマスク」に相当)をエッチング制御層28上に形成し,熱フローレンズ29が上面に凸状を有する工程と,前記熱フローレンズ29を用いることにより,前記エッチング制御層28をエッチングして,上面に凸状面(請求項6において「第二凸状面に相当)を有する転写レンズ30(請求項6において「第二レンズ構造」に相当)を形成する工程と,を有し,カラーフィルタ23の基材は,屈折率1.54のアクリル樹脂に有機顔料を加えたものであり,その屈折率は約1.6前後であって,転写レンズの基材である含フッ素アクリル樹脂の屈折率1.45より大きく,互いに接触するカラーレンズ26の面と転写レンズ30の面は,面接触する形状を有する2つのレンズから構成されるレンズ構造(請求項6において「ダブルレンズ構造」に相当)の製造方法。」 が開示されている。 また,引用文献1の段落【0052】には,「なお,図3(a)では,隣接するカラーレンズ26間のギャップにカラーフィルターを残さない構成を示しているが,カラーフィルターを若干残しても良い」と記載されており,当該記載から,カラーフィルタをエッチングして,カラーレンズを構成する際,カラーフィルタの下部はエッチングされず,カラーレンズ26(請求項7において「第一レンズ構造」に相当)の隣接部分が互いに接続する様に形成し得ることが開示されている(特に,請求項7)。 さらに,引用文献1の図3には,下部が互いに接続されている転写レンズ30(請求項8において「第二レンズ構造」に相当)が開示されている(特に,請求項8)。 したがって,請求項6-8に係る発明は,引用文献1に記載された発明,または,仮に相違点があるとしても,当該相違点は当業者が引用文献1に記載された発明に基づいて容易に想到し得たもの,と認められる。 ・理由 3 ・請求項 2 ・備考 請求項2において「第二レンズ構造は,さらに,前記第二凸状面と反対側に第三凸状面を有し」と記載されているが,第二レンズ構造において前記第二凸状面と反対側の面は「凹状面」であり,当該記載は,第二レンズの構造の表現として不明確である(図1参照)。 ・理由 3 ・請求項 4 ・備考 請求項4において「第二レンズ構造は,さらに,前記第一凸状面と反対側に第二凹状面を有し」と記載されているが,第二レンズ構造において前記第一凸状面と反対側の面は「凸状面」であり,当該記載は,第二レンズの構造の表現として不明確である(図3参照)。 引 用 文 献 等 一 覧 1.特開2006-190904号公報 2.特開2012-204354号公報 3.特開2010-2450号公報 4.特開2009-88450号公報 2 当審拒絶理由通知2の概要 当審拒絶理由通知2の概要は以下のとおりである。 (明確性)本件出願は,特許請求の範囲の記載が下記の点で不備のため,特許法第36条第6項第2号に規定する要件を満たしていない。 ・請求項 2 ・備考 請求項2において「前記第二レンズ構造は,さらに,前記第一凸状面と反対側に第二凸状面を有し,前記第二レンズ構造の前記第二凹状面は,」という記載の下線部は,前記に対応する記載がなく,対応関係が明確でない。(「前記第二凹状面」は,「前記第二凸状面」の誤記と認められる。) 第4 本願発明 本願請求項1ないし7に係る発明(以下,「本願発明1」ないし「本願発明7」という。)は,平成29年12月7日付けの手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項1ないし7に記載された事項により特定される発明であり,本願発明1ないし本願発明7は以下のとおりの発明である。 「【請求項1】 ダブルレンズ構造であって, 第一屈折率を有するカラーフィルター層でなる第一レンズ構造, 第二屈折率を有するマイクロレンズ層でなり,且つ,前記第一レンズ構造上に直接に接触して設置される第二レンズ構造,および 前記カラーフィルター層と同一平面上に設置され,前記カラーフィルター層を複数のゾーンに分割するグリッド形状の仕切り,を有し 互いに接触する前記第一レンズ構造の面と前記第二レンズ構造の面は,前記第一レンズ構造と前記第二レンズ構造との間に面接触を形成する形状を有し, 前記カラーフィルター層の前記第一屈折率は,前記マイクロレンズ層の前記第二屈折率より低く,前記カラーフィルター層でなる前記第一レンズ構造は第一凹状面を有し,および,前記マイクロレンズ層でなる前記第二レンズ構造は,前記第一レンズ構造の前記第一凹状面上に設置される第一凸状面を有し,および,入射光は,前記第一凸状面から第二レンズ構造に進入し, 前記グリッド形状の仕切りは,前記カラーフィルター層の前記第一屈折率より低い第三屈折率を有し,前記グリッド形状の仕切りの高さは,前記第一凹状面の下部で,前記カラーフィルター層の厚さより高く,および,前記グリッド形状の仕切りの幅は,0.1μm~0.3μmであることを特徴とするダブルレンズ構造。 【請求項2】 前記第二レンズ構造は,さらに,前記第一凸状面と反対側に第二凸状面を有し,前記第二レンズ構造の前記第二凸状面は,前記第一レンズ構造の前記第一凹状面と共形で形成され,接触し,および,前記第一レンズ構造は,さらに,前記第一凹状面と反対側に平坦な表面を有することを特徴とする請求項1に記載のダブルレンズ構造。 【請求項3】 基板上に,第一屈折率を有する分割材料層を形成する工程と, 第一グリッド形状のハードマスクを,前記分割材料層上に形成する工程と, 前記第一グリッド形状のハードマスクを用いることにより,前記分割材料層をエッチングして,複数の開口を有するグリッド形状の仕切りを形成する工程と, 第二屈折率を有するカラーフィルター層を,前記グリッド形状の仕切りの前記開口中に形成して,第一凹状面を有する第一レンズ構造を形成する工程と, 第三屈折率を有するマイクロレンズ材料層を,前記第一レンズ構造上にコーティングする工程と, 第二ハードマスクを,前記マイクロレンズ材料層に形成し,前記第二ハードマスクが凸状を有する工程と, 前記第二ハードマスクを用いることにより,前記マイクロレンズ材料層をエッチングして,第一凸状面を有する第二レンズ構造を形成する工程と,を有し, 前記分割材料層の前記第一屈折率は,前記カラーフィルター層の前記第二屈折率より低く,前記カラーフィルター層の前記第二屈折率は,前記マイクロレンズ材料層の前記第三屈折率より低く, 互いに接触する前記第一レンズ構造の面と前記第二レンズ構造の面は,前記第一レンズ構造と前記第二レンズ構造との間に面接触を形成する形状を有することを特徴とするダブルレンズ構造の製造方法。 【請求項4】 前記グリッド形状の仕切りの前記開口中に,前記カラーフィルター層を形成する前記工程は,コーティングプロセス,露光プロセス,および,現像プロセスを有し,前記現像プロセス後,前記グリッド形状の仕切りの上部にコートされる前記カラーフィルター層の一部が除去されることを特徴とする請求項3に記載の方法。 【請求項5】 前記グリッド形状の仕切りの前記開口中の前記カラーフィルター層は,前記コーティングプロセスにより,皿状形状を有することを特徴とする請求項4に記載の方法。 【請求項6】 前記第二ハードマスクを用いることにより,前記マイクロレンズ材料層をエッチングして,前記第二レンズ構造を形成する前記工程の後,前記第二ハードマスクの厚さは,前記マイクロレンズ材料層と等しく,前記グリッド形状の仕切りの上部にコートされる前記マイクロレンズ材料層の一部が除去されて,前記グリッド形状の仕切りを形成することを特徴とする請求項3に記載の方法。 【請求項7】 前記第二ハードマスクを用いることにより,前記マイクロレンズ材料層をエッチングして,前記第二レンズ構造を形成する前記工程の後,前記第二ハードマスクの厚さは,前記マイクロレンズ材料層より薄く,前記グリッド形状の仕切りの上部にコートされる前記マイクロレンズ材料層の一部が,前記グリッド形状の仕切りで残留することを特徴とする請求項3に記載の方法。」 第5 引用文献,引用発明等 1 原審の引用文献1について 原審で引用された特開2000-357786号公報(以下,「原審引用文献1」という。)には,図面とともに次の事項が記載されている。(下線部は,当審で追加した。以下,同じ。) ア 「【0001】 【発明の属する技術分野】本発明は,マイクロレンズと,そのマイクロレンズ上に封止樹脂とを備えた固体撮像装置に関するものである。」 イ 「【0019】さらにその上に,カラーフィルター層6と,第2の平坦化層5とが配置されている。そして,その第2の平坦化層5の上に,各フォトダイオード14に対応するようにマイクロレンズ4が形成されている。マイクロレンズ4上には,薄膜レンズ3が形成され,薄膜レンズ3の上方にカバーガラス1が設けられ,薄膜レンズ3とカバーガラス1との間に,封止樹脂2が充填されている。」 ウ 「【0045】薄膜レンズ3の屈折率n2は,マイクロレンズ4の屈折率n3および封止樹脂2の屈折率n1よりも小さければよい。例えばマイクロレンズ4の屈折率n3および封止樹脂2の屈折率n1がともに1.56近傍であれば,薄膜レンズ3の屈折率n2を,1.36以上1.50以下とするのが好ましい。」 エ 図1,2には,以下の事項が記載されていると認められる。 「上部に凸状面を有するマイクロレンズ4上に形成された上部に凸状面を有する膜レンズ3のレンズ構造。」 前記アないしエの記載から,原審引用文献1には次の技術的事項が記載されていると認められる。 「上部に凸状面を有するマイクロレンズ4上に形成された上部に凸状面を有する薄膜レンズ3のレンズ構造において,薄膜レンズ3の屈折率n2は,マイクロレンズ4の屈折率n3よりも小さいレンズ構造。」 2 原審の引用文献2について 原審で引用された特開2005-57024号公報(以下,「原審引用文献2」という。)には,図面とともに次の事項が記載されている。 ア 「【技術分野】 【0001】 本発明は,半導体基板上に形成された複数の受光素子の各々にマイクロレンズを有する固体撮像装置及びその製造方法に関する。」 イ 「【0018】 同図において固体撮像装置は,シリコン半導体基板10上に形成されたフォトダイオード1の上に,BPSG(ホウ素リンシリケートガラス)等を材料とする平坦化された透明な絶縁膜(保護膜)2と,上に凸形状の高屈折率(n=1.5~2.0)の層内レンズ3と,アクリル系の透明樹脂を材料とする層内レンズ平坦膜4と,染料又は顔料を含有したカラーレジストを材料とするカラーフィルタ5と,アクリル系の透明樹脂を材料とする透明膜6と,マイクロレンズ(又はトップレンズと呼ぶ)7と,平坦化膜8とを積層して形成しており,次の2点により射出瞳距離の短縮化を可能にする。すなわち,(1)マイクロレンズ7上に平坦化膜8を有し,(2)層内レンズ3,カラーフィルタ5およびマイクロレンズ7の位置が受光面の端部に近づくにつれて中心部よりにずれた位置に配置している。なお,1つのフォトダイオード1を含む個々のセルのサイズは例えば縦横それぞれ約3μmあるいはそれ以下であり,フォトダイオード1からマイクロレンズ7の下までの距離は約3μm~5μm程度である。」 ウ 「【0050】 (実施の形態3) <固体撮像装置の構成> 図9は,本発明の実施の形態3における固体撮像装置の断面図である。同図の構成は,図1の構成と比較して,カラーフィルタ5が削除された点と,層内レンズ3の代わりに層内レンズ3aを有する点とが異なっている。以下,同じ点は説明を省略して異なる点を中心に説明する。 【0051】 層内レンズ3aは,透明ではなくカラーフィルタを兼用している点で層内レンズ3とは異なっている。 この構成によれば,実施の形態1と同様に短射出瞳化を可能にしながらもシェーディングを抑えることができることに加えて,層内レンズ3aがカラーフィルタを兼用しているので,カラーフィルター層の厚みの分だけ固体撮像装置をより薄膜化することができる。例えば,実施の形態1における固体撮像装置がフォトダイオード1からマイクロレンズ7下までの距離が3.0~5.5μmである場合に,実施の形態3における固体撮像装置は2.0~4.5μmに薄膜化できる。その結果,隣接するフォトダイオードとの間でカラーフィルター通過光が混色することを低減することができ,画質を向上させることができる。さらに,実施の形態3における固体撮像装置は,実施の形態2における固体撮像装置と比較して,カラーフィルタである層内レンズ3aとフォトダイオード1との距離が短いので,さらに混色を低減することができる。」 エ 図9には,以下の内容が記載されていると認められる。 「上部に凸状面を有する層内レンズ3a上に形成された上部に凸状面を有するマイクロレンズ7のレンズ構造。」 前記アないしエの記載から,原審引用文献2には以下の技術的事項が記載されていると認められる。 「カラーフィルタを兼用している上部に凸状面を有する層内レンズ3a上に形成された上部に凸状面を有するマイクロレンズ7のレンズ構造。」 3 原審の引用文献3について 原審で引用された特開2008-58794号公報(以下,「原審引用文献3」という。)には,図面とともに次の事項が記載されている。 ア 「【技術分野】 【0001】 本発明は,カラーフィルタ用材料,カラーフィルタ,その製造方法,これを用いた固体撮像素子およびその製造方法に関する。」 イ 「【0021】 (実施の形態1) 図1は,本発明の実施の形態1のカラーフィルタを用いた固体撮像素子の断面図,図2は固体撮像素子の平面模式図である(図1は,図2のA-A線断面模式図)。 【0022】 この固体撮像素子は,カラーフィルタ用材料を,各色の顔料と,粒子サイズ10から30nm,屈折率1.9,真比重5.78の酸化チタン超微粒子(石原産業株式会社製TTO-51(A))とを,有機ポリマーに分散し,固形分中の酸化チタン超微粒子が25vol%となるように調整し,これを,光電変換部30及び電荷転送部40上を覆うパッシベーション膜71上に塗布形成し,カラーフィルタ機能を備えた層内下凸レンズ73,層内上凸レンズ74としたものである。ここでは青色フィルタとしては,Pigment Blue(PB)15:6と,Pigment Violet(PV)23を,緑色フィルタとしてPigment Green(PG)36と,Pigment Yellow(PY)150を,赤色フィルタとして,Pigment Red(PR)254と,Pigment Yellow(PY)139をそれぞれ含有させ,層内レンズにカラーフィルタ機能を持たせたことを特徴とするものである。」 前記ア,イの記載から,原審引用文献3には次の技術的事項が記載されていると認められる。 「カラーフィルタ機能を持たせた層内下凸レンズ73,層内上凸レンズ74のレンズ構造。」 4 原審の引用文献4について 原審で引用された特開2012-204354号公報(以下,「原審引用文献4」という。)は,当審拒絶理由通知1の引用文献2と同一文献であるから,記載事項等については,後記8を参照のこと。 5 原審の引用文献5について 原審で引用された特開2012-227476号公報(以下,「原審引用文献5」という。)には,図面とともに次の事項が記載されている。 ア 「【技術分野】 【0001】 本発明は,固体撮像装置およびその製造方法に関し,特にカラーフィルタ間に隔壁を用いた固体撮像装置およびその製造方法に関する。」 イ 「【0021】 配線層5上の画像領域においては,各画素部に対応して複数のカラーフィルタ7が形成され,各画素部間に対応して隔壁9が形成されている。カラーフィルタ7と隔壁9上には,各画素部に対応してマイクロレンズ11が形成されている。」 ウ 「【0027】 (中略) (4)隔壁 隔壁9は,マイクロレンズ11やカラーフィルタ7から入射した光が,隣の画素部に入射するのを防止する。 【0028】 隔壁9は,平面視において,カラーフィルタ7に相当する部分が開口する格子状(網の目状)をしている。なお,図1の断面図では,各隔壁9は独立したように見える。 隔壁9の断面形状は,ここでは,全体として台形状をしている。ここでの台形状は,半導体基板3側の底辺がマイクロレンズ11側の上辺より長い形状である。つまり,半導体基板3から離れるに従って幅が細くなる形状をしている。 【0029】 隔壁9は,カラーフィルタ7を構成する材料よりも屈折率が低い材料で構成されている。このため,カラーフィルタ7内を斜め方向に進行する光は,隔壁9の表面に達した際に反射する。この際,隔壁9は半導体基板3から離れるに従って幅が細くなる形状をしているため,反射した光がフォトダイオードPD側へと向かう。」 前記アないしウの記載から,原審引用文献5には以下の技術的事項が記載されていると認められる。 「画像領域においては,各画素部に対応して複数のカラーフィルタ7が形成され,各画素部間に対応して隔壁9が形成され,マイクロレンズ11やカラーフィルタ7から入射した光が,隣の画素部に入射するのを防止し,平面視において,カラーフィルタ7に相当する部分が開口する格子状(網の目状)をしており,カラーフィルタ7を構成する材料よりも屈折率が低い材料で構成されているカラーフィルタ間の隔壁9およびその製造方法。」 6 原審の引用文献6について 原審で引用された特開2003-209230号公報(以下,「原審引用文献6」という。)には,図面とともに次の事項が記載されている。 ア 「【0001】 【発明の属する技術分野】本発明は,例えば,集光効率の向上のためのオンチップマイクロレンズを有する固体撮像装置およびその製造方法に関する。」 イ 「【0039】平坦化膜40上には,第1マイクロレンズ51が形成され,当該第1マイクロレンズ51上には,第2マイクロレンズ52が形成されている。第1マイクロレンズ51は,第2マイクロレンズ52より低い屈折率を有する材料により構成され,例えば屈折率が1.5程度のBPSG(Borophosphosilicate glass)膜で形成されている。第2マイクロレンズ52は,比較的屈折率の高い有機材料,例えばポリイミド樹脂で形成され,このポリイミド樹脂の光に対する屈折率データは図3に示すようなものであり,当該屈折率は通常のレンズ材として用いられる有機材料の約1.6よりも高く1.8程度ある。また,第2マイクロレンズ52は,顔料が分散されて着色されており,カラーフィルタの機能も持つ。」 ウ 「【0057】第2実施形態 第1実施形態では,最上層の第2マイクロレンズ52に色素を含有するポリイミド樹脂を採用して,カラーフィルタの機能を兼用する例について説明したが,本実施形態では,第1マイクロレンズ51に顔料を分散させた着色樹脂を用いてカラーフィルタの機能を兼用する。 【0058】そのため,本実施形態においては,第1マイクロレンズは,例えば屈折率が1.6程度のノボラック系樹脂やアクリル系樹脂に顔料を分散させた着色樹脂を使用する。なお,平坦化膜40より下層の構成については第1実施形態と同様である。」 前記アないしウの記載から,原審引用文献6には次の技術的事項が記載されていると認められる。 「第1マイクロレンズ51が形成され,当該第1マイクロレンズ51上には,第2マイクロレンズ52が形成され,第1マイクロレンズ51は,第2マイクロレンズ52より低い屈折率を有する材料により構成されカラーフィルタの機能を兼用し屈折率が1.6程度,第2マイクロレンズ52は,屈折率は1.8程度であるオンチップマイクロレンズおよびその製造方法。」 7 当審の引用文献1について (1)当審の引用文献1に記載された事項 当審拒絶理由通知1で引用された特開2006-190904号公報(以下,「当審引用文献1」という。)には,図面とともに次の事項が記載されている。 ア 「【技術分野】 【0001】 本発明は,C-MOSやCCD等の受光素子に代表される固体撮像素子に係り,特に,固体撮像素子上に形成されるマイクロレンズに関する。 (中略) 【0005】 マイクロレンズをドライエッチング技術にて転写,加工することにより形成する技術は,特許文献1以外に特許文献2に詳細な記載がある(以下,このドライエッチング技術によるマイクロレンズを転写レンズと呼び,また,この加工方法を転写方式と略称する)。転写レンズの形成は,光電変換素子上のカラーフィルターや平坦化膜を含む構成を薄くすることが出来るとともに,熱フローレンズよりもマイクロレンズの開口率を上げることが出来るため,撮像素子特性を向上させ得るという特長を有する。」 イ 「【0015】 このような固体撮像素子では,受光素子の上方に,カラーフィルターを兼ねたカラーレンズを配置しているため,レンズを受光素子に近づけることが出来,その結果,均一な表示画面を得ることが出来る。また,カラーレンズのみを配置する場合には,斜めの入射光に対する色分離が劣化するが,カラーレンズの上に,更に曲率半径の異なる転写レンズを配置しているため,転写レンズにより光を最大限集光することが出来,即ち,開口率を100%に近づけることが出来る。その結果,感度の良好な撮像素子を得ることが出来る。」 ウ 「【0024】 図1は,本発明の一実施形態に係る固体撮像素子を示す部分断面図である。この固体撮像素子は,図1に示すように,所定のピッチで2次元的に配置されたCCDやCMOS等の受光素子11を備える半導体基板10上に,受光素子11の上方の凹部を埋めるように,カラーレンズ12,及び転写レンズ13を設けることにより構成されている。 【0025】 図1に示す固体撮像素子において,転写レンズ13の曲率半径は,カラーレンズ12の曲率半径と異なっていて,特に,カラーレンズ12の曲率半径より大きく,例えば,転写レンズ13の曲率半径は0.5~10μmであり,カラーレンズ12の曲率半径は0.3~6μmであるのが好ましい。ただし,これらの曲率半径は,CCDやCMOSなどの半導体素子の種別,画素サイズの相違,又はフォトダイオードの深さ(位置)によって大きく異なる。また,転写レンズ13の屈折率はカラーレンズ12の屈折率より小さく,例えば,転写レンズ13の屈折率は1.47以下であり,カラーレンズ12の屈折率は1.52以上であるのが好ましい。」 エ 図1には,以下の内容が記載されていると認められる。 「カラーレンズ12と,カラーレンズ上に直接に面接触した転写レンズ13を備えた2つのレンズから構成されるレンズ構造を有し, カラーレンズ12の構造は,上面に凸状面を有し,転写レンズ13は前記カラーレンズ12の凸状面上に設置される凸状面を有し,入射光は,転写レンズ13の凸状面から進入するカラーレンズと転写レンズから構成されるレンズ構造。」 (2)当審引用発明 前記(1)アないしエの記載から,当審引用文献1には次の発明(以下,「当審引用発明」という。)が記載されていると認められる。 「カラーフィルタを兼ねた屈折率1.52以上のカラーレンズと,カラーレンズ上に直接に面接触した屈折率1.47以下である転写レンズを備えた2つのレンズから構成されるレンズ構造を有し, カラーレンズの構造は,上面に凸状面を有し,転写レンズは前記カラーレンズの凸状面上に設置される凸状面を有し,入射光は,転写レンズの凸状面から進入するカラーレンズと転写レンズから構成されるレンズ構造。」 8 当審の引用文献2について 当審拒絶理由通知1で引用された特開2012-204354号公報(以下,「当審引用文献2」という。)には,図面とともに次の事項が記載されている。なお,本文献は,原審引用文献4と同一の文献である。 ア 「【0001】 本発明は,固体撮像装置,固体撮像装置の製造方法及び電子機器に関する。」 イ 「【0025】 本実施形態の固体撮像装置1は,基板11と,基板11の表面側に形成された配線層10と,基板11の裏面側に形成された絶縁膜12と,カラーフィルタ13と,マイクロレンズ15と,層内レンズ14とを備える。 (中略) 【0032】 層内レンズ14は,マイクロレンズ15とカラーフィルタ13との間に形成される凸レンズである。層内レンズ14の屈折率n2は,マイクロレンズ15の屈折率n1より小さい(n1>n2)。層内レンズ14は,後述するようにマイクロレンズ15が集光した光を発散させる。」 ウ 「【0055】 (第2実施形態) 次に,図6~図8を用いて本発明の第2実施形態に係る固体撮像装置3について説明する。本実施形態に係る固体撮像装置3は層内レンズ34が凹レンズである点を除き,図2に示す固体撮像装置1と同じ構成を有するため,同一符号を付し重ねての説明を省略する。 【0056】 図6は,固体撮像装置3の断面図である。固体撮像装置3は,カラーフィルタ13とマイクロレンズ15との間に形成された層内レンズ34を有する。」 前記アないしウの記載から,当審引用文献2には以下の技術的事項が記載されていると認められる。 「カラーフィルタ13と,マイクロレンズ15と,層内レンズ14とを備え層内レンズ14は凸レンズであり,層内レンズ14の屈折率n2は,マイクロレンズ15の屈折率n1より小さい(n1>n2)レンズ構造において,凸レンズである層内レンズ14を凹レンズである層内レンズ34に置き換える技術。」 9 当審の引用文献3について 当審拒絶理由通知1で引用された特開2010-2450号公報(以下,「当審引用文献3」という。)には,図面とともに次の事項が記載されている。 ア 「【技術分野】 【0001】 本発明は,例えば液晶装置等に用いられるマイクロレンズ基板,並びに該マイクロレンズ基板を備える電気光学装置,及び該電気光学装置を備えた,例えば液晶プロジェクタ等の電子機器の技術分野に関する。」 イ 「【0062】 図6に示すように,マイクロレンズ基板200における集光レンズ面310及び拡散レンズ面320は,その形状を逆向きに(即ち,図5に示すものを凸レンズとするならば,凹レンズのように)形成されてもよい。但し,この場合の第1の層210,第2の層220及び第3の層230の屈折率の関係は,図5に示した場合から変化する。具体的には,第1の層210の屈折率n1は,第2の層の屈折率n2より高くされる。また,第3の層230の屈折率n3も,第2の層の屈折率n2より高くされる。よって,例えば図に示すように,n1=1.5,n2=1.2,n3=1.5となるような材料で各層を形成するようにすればよい。 【0063】 マイクロレンズ基板200に入射した光は,凸レンズを介して屈折率が低い方から高い方へ入射する場合には集光され,凸レンズを介して屈折率が高い方から低い方へ入射する場合には拡散される。また,凹レンズを介して屈折率が低い方から高い方へ入射する場合には拡散され,凹レンズを介して屈折率が高い方から低い方へ入射する場合には集光される。 【0064】 図7及び図8において,上述した関係を利用すれば,凸レンズ及び凹レンズを組み合わせて使用することもできる。(以下,省略)」 前記ア,イの記載から,当審引用文献3には以下の技術的事項が記載されていると認められる。 「マイクロレンズ基板200に入射した光は,凸レンズを介して屈折率が低い方から高い方へ入射する場合には集光され,凸レンズを介して屈折率が高い方から低い方へ入射する場合には拡散されるという関係と,凹レンズを介して屈折率が低い方から高い方へ入射する場合には拡散され,凹レンズを介して屈折率が高い方から低い方へ入射する場合には集光されるという関係を利用して,集光レンズ面310及び拡散レンズ面320について凸レンズ及び凹レンズを組み合わせて使用するレンズの組み合わせ技術。」 10 当審の引用文献4について 当審拒絶理由通知1で引用された特開2009-88450号公報(以下,「当審引用文献4」という。)には,図面とともに次の事項が記載されている。 ア 「【技術分野】 【0001】 「本発明は,光電変換装置の導光部に関する。」 イ 「【0035】 次に,図6を用いて,レンズ501と導光部505との平面的な大小関係について説明する。図6には,光電変換素子の受光面103,光電変換素子を含む画素601,レンズ501及び導光部505の平面図が示されている。ここで,導光部505の上面あるいは底面に比べてレンズ501の底面が大きくなっている。このような構造によって,導光部505にて集光された光の損失なくレンズ501にて集光することが可能となる。ここで,レンズ501は,導光部505に比べて高い屈折率の材料からなり,凸レンズとなっている。しかし,レンズ501の屈折率が導光部505の屈折率に比べて低い場合には,凹レンズにしてもよく,材料及び形状は適宜,設計可能である。」 前記ア,イの記載から,当審引用文献4には以下の技術的事項が記載されていると認められる。 「レンズ501は,導光部505に比べて高い屈折率の材料からなり凸レンズとするか,レンズ501の屈折率が導光部505の屈折率に比べて低い場合に凹レンズにするかは,材料及び形状により適宜,設計可能な導光部の関連技術。」 第6 判断 1 本願発明1について (1)本願発明1と当審引用発明の対比 ア 当審引用発明の「カラーフィルターを兼ねた,屈折率1.52以上のカラーレンズ」は,本願発明1の「第一屈折率を有するカラーフィルタ層でなる第一レンズ構造」に相当する。 イ 当審引用発明の「カラーレンズ上に直接に面接触した屈折率1.47以下である転写レンズ」は,前記第5の7(1)アから「マイクロレンズ」の一種であるから,本願発明1の「第二屈折率を有するマイクロレンズ層でなり,且つ,前記第一レンズ構造上に直接に接触して設置される第二レンズ構造」に相当する。 ウ 当審引用発明の「転写レンズの面」と「カラーレンズの面」の関係は,「直接に面接触」していることから,本願発明1の「互いに接触する第一レンズ構造の面と第二レンズ構造の面は,前記第一レンズ構造と前記第二レンズ構造との間に面接触を形成する形状を有し」という点を満たす。 エ 当審引用発明の「カラーレンズ」と「転写レンズ」は,「カラーレンズ」上に「転写レンズ」が二重になって形成されていることから,本願発明1の「ダブルレンズ構造」に相当する。 そうすると,本願発明1と当審引用発明は以下のオの点で一致し,以下のカの点で相違する。 オ 一致点 ダブルレンズ構造であって, 第一屈折率を有するカラーフィルター層でなる第一レンズ構造, 第二屈折率を有するマイクロレンズ層でなり,且つ,前記第一レンズ構造上に直接に接触して設置される第二レンズ構造,を有し 互いに接触する前記第一レンズ構造の面と前記第二レンズ構造の面は,前記第一レンズ構造と前記第二レンズ構造との間に面接触を形成する形状を有することを特徴とするダブルレンズ構造。 カ 相違点 相違点(1) 本願発明1では,カラーフィルター層と同一平面上に設置され,前記カラーフィルター層を複数のゾーンに分割するグリッド形状の仕切りを有し,前記グリッド形状の仕切りは,前記カラーフィルター層の第一屈折率より低い第三屈折率を有し,前記グリッド形状の仕切りの高さは,第一凹状面の下部で,前記カラーフィルター層の厚さより高く,および,前記グリッド形状の仕切りの幅は,0.1μm~0.3μmであるのに対して,当審引用発明では,グリッド形状の仕切りを有しない点。 相違点(2) 本願発明1では,カラーフィルター層の第一屈折率は,マイクロレンズ層の第二屈折率より低く,カラーフィルター層でなる第一レンズ構造は第一凹状面を有し,前記マイクロレンズ層でなる第二レンズ構造は,前記第一レンズ構造の前記第一凹状面上に設置される第一凸状面を有し,入射光は,前記第一凸状面から第二レンズ構造に進入するのに対して,当審引用発明では,カラーレンズの屈折率は1.52以上で,転写レンズの屈折率1.47以下よりも高く,カラーレンズは上面に凸状面を有する点。 (2)相違点についての判断 以下,相違点(2)について検討する。 相違点(2)における第一レンズ構造と第二レンズ構造の形状及び屈折率の関係については,当審引用文献2ないし4には記載されておらず,示唆もされていない。 また,本願発明1は,相違点(2)を有することにより,第一レンズ構造と第二レンズ構造の形状と屈折率の設計にしたがって,ダブルレンズ構造の集光効率が改善され,ソリッドステートイメージセンサーの感度が向上し,単一レンズ構造でなり,且つ,平坦な表面を有するカラーフィルター層上に設置されるマイクロレンズアレイと比較すると,実施形態によるダブルレンズ構造は,集光効率が大幅に向上している,という有利な効果を奏する(本願明細書【0037】参照)。 したがって,他の相違点について判断するまでもなく,本願発明1は,当審引用文献1に記載された発明ではなく,また,当業者が当審引用文献1ないし4に記載された事項に基づいて容易に発明をすることができたとはいえない。 2 本願発明2について (1)明確性について 本願発明2は,平成29年12月7日付けの手続補正により補正前の「第二レンズ構造の前記第二凹状面」を補正後の「第二レンズ構造の前記第二凸状面」と補正することによって,対応関係が明確となり,当審拒絶理由通知2の明確性に関する拒絶理由は解消した。 (2)新規性,進歩性について 本願発明2は,本願発明1を引用し,本願発明1の発明特定事項を全て含み,さらに他の発明特定事項を付加したものに相当するから,本願発明1が,当審引用文献1に記載された発明ではなく,また,当審引用文献1ないし4に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない以上,本願発明2も,当審引用文献1に記載された発明ではなく,また,当審引用文献1ないし4に記載された事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとは認められない。 第7 原査定についての判断 平成29年10月27日付けの補正により,本願発明1については,「前記カラーフィルタ層の前記第一屈折率は,前記マイクロレンズ層の前記第二屈折率より低く,前記カラーフィルター層でなる前記第一レンズ構造は第一凹状面を有し,および,前記マイクロレンズ層でなる前記第二レンズ構造は,前記第一レンズ構造の前記第一凹状面上に設置される第一凸状面を有し,および,入射光は,前記第一凸状面から第二レンズ構造に進入し,」という技術的事項を有するものとなった。当該技術的事項は,原審引用文献1ないし6には記載されておらず,示唆もされていない。また,各原審引用文献には,当該技術的事項の一部の構成が開示されているものの,当該技術的事項の全ての要素を必要とする動機付けが欠けている。さらに,本願優先日前における周知技術でもない。 したがって,本願発明1は,原審引用文献1ないし6に記載された事項に基づいて,当業者が容易に発明できたものではない。 本願発明2は本願発明1を引用し,本願発明1の内容を全て含み,さらに他の発明特定事項を付加したものに相当するから,本願発明1が原審引用文献1ないし6に記載された事項に基づいて当業者が容易に発明できたものではない以上,本願発明2は,原審引用文献1ないし6に記載された事項に基づいて,当業者が容易に発明できたものではない。 本願発明3については,「第二屈折率を有するカラーフィルター層を,前記グリッド形状の仕切りの前記開口中に形成して,第一凹状面を有する第一レンズ構造を形成する工程」を有し,かつ「カラーフィルター層の第二屈折率は,マイクロレンズ材料層の第三屈折率より低く」という条件を満たす技術的事項について,いずれの原審引用文献にも記載されておらず,示唆もされていない。また,各原審引用文献には,前記技術的事項の一部の構成が開示されているものの,前記技術的事項の全ての要素を必要とする動機付けが欠けている。さらに,本願優先日前における周知技術でもない。 したがって,本願発明3は,原審引用文献1ないし6に記載された事項に基づいて,当業者が容易に発明できたものではない。 本願発明4ないし7は本願発明3を引用し,本願発明3の内容を全て含み,さらに他の発明特定事項を付加したものに相当するから,本願発明3が原審引用文献1ないし6に記載された事項に基づいて,当業者が容易に発明できたものではない以上,本願発明4ないし7は,原審引用文献1ないし6に記載された事項に基づいて,当業者が容易に発明できたものではない。 したがって,原査定を維持することはできない。 第8 むすび 以上のとおり,原査定の理由によって,本願を拒絶することはできない。 他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。 よって,結論のとおり審決する。

審決本文(J-PlatPat)

J-PlatPatの審決検索トップを開きます。番号入力で「審判番号」を選び、下の番号を貼り付けて検索してください。

J-PlatPat 審決検索を開く
2017-005644

番号・当事者・条文・審決分類・商標の称呼が一致(または近い)審決を機械的に集めた候補です。判断内容は各審決の本文でご確認ください。

同じ当事者の審決22件(采▲ぎょく▼科技股▲ふん▼有限公司)
  • 2023-019888拒絶査定不服審判 / 2025-04-24 / 原査定取消(特許/登録すべき)半導体装置
    同じ当事者: 采▲ぎょく▼科技股▲ふん▼有限公司
  • 2023-020979拒絶査定不服審判 / 2024-12-04 / 請求不成立光学構造
    同じ当事者: 采▲ぎょく▼科技股▲ふん▼有限公司
  • 2024-006879拒絶査定不服審判 / 2024-11-11 / 原査定取消(特許/登録すべき)メタ光学デバイス、光学システム、および収差補正の方法
    同じ当事者: 采▲ぎょく▼科技股▲ふん▼有限公司
  • 2023-016261拒絶査定不服審判 / 2024-08-06 / 原査定取消(特許/登録すべき)イメージセンサおよびその形成方法
    同じ当事者: 采▲ぎょく▼科技股▲ふん▼有限公司
  • 2023-004552拒絶査定不服審判 / 2024-03-18 / 原査定取消(特許/登録すべき)光学構造およびそれを製造する方法
    同じ当事者: 采▲ぎょく▼科技股▲ふん▼有限公司
検索でもっと見る →
同じ論点・分野の審決(審決分類)2,666件(113・H01L、121・H01L、537・H01L)
  • 2025-002269拒絶査定不服審判 / 2025-12-19 / 原査定取消(特許/登録すべき)冷却床部材
    共通の審決分類: 113・H01L、121・H01L、537・H01L
  • 2024-018276拒絶査定不服審判 / 2025-11-04 / 原査定取消(特許/登録すべき)DrMOS、集積回路、電子機器、及び製造方法
    共通の審決分類: 113・H01L、121・H01L、537・H01L
  • 2024-017457拒絶査定不服審判 / 2025-10-22 / 請求不成立強化された熱均一性のための多層ヒータを備えたセラミック台座
    共通の審決分類: 113・H01L、121・H01L、537・H01L
  • 2024-014483拒絶査定不服審判 / 2025-09-26 / 請求不成立ケイ素前駆体化合物及びケイ素含有膜を形成するための方法
    共通の審決分類: 113・H01L、121・H01L、537・H01L
  • 2024-014095拒絶査定不服審判 / 2025-09-10 / 原査定取消(特許/登録すべき)積層基板の製造方法、半導体モジュールの製造方法、並びに、積層基板、半導体モジュー…
    共通の審決分類: 113・H01L、121・H01L、537・H01L

メモ・タグ(非公開)

あなただけに表示されます。審決本文の公開範囲は変わりません。

メモとタグは Pro の機能です。ログイン/Proでメモを保存