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特許拒絶査定不服審判

2016-009990

アライメント測定システム、リソグラフィ装置、およびリソグラフィ装置においてのアライメントを決定する方法

審判番号
2016-009990
法域
特許
審判種別
拒絶査定不服審判(拒絶査定不服の審決)
出願番号
特願2014-079408外部サイト(J-PlatPat)へ移動します
請求日
2016年07月01日
審決日
2018年04月20日
公報発行日
2018年10月26日
結論
請求不成立
審判長/審判官
分類
P18 .536-WZF(H01L) / P18 .537-WZF(H01L) / P18 .561-WZF(H01L)
データ出所
審決公報(SGML)

事件の表示

特願2014- 79408「アライメント測定システム、リソグラフィ装置、およびリソグラフィ装置においてのアライメントを決定する方法」拒絶査定不服審判事件〔平成26年 7月17日出願公開、特開2014-132695〕について、次のとおり審決する。

結論

【結 論】 本件審判の請求は、成り立たない。

理由

【理 由】 本願は、平成26年4月8日(遡及出願 平成23年9月9日、優先日 平成22年9月13日)の出願であって、その請求項1ないし7に係る発明は、平成29年10月20日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項1ないし7に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。 これに対して、平成29年11月30日付けで拒絶理由を通知し、期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、請求人からは何らの応答もない。 そして、上記の拒絶理由は妥当なものと認められるので、本願は、この拒絶理由によって拒絶すべきものである。 よって、結論のとおり審決する。

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2016-009990

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