2024-002518

特願２０２０－ ２７１９４「流量計および流量計の製造方法」拒絶査定不服審判事件〔令和 ３年 ９月 ９日出願公開、特開２０２１－１３１３２３〕について、次のとおり審決する。

結 論 本件審判の請求は、成り立たない。

理 由 １ 手続の経緯 本願は、令和２年２月２０日の出願であって、その手続の経緯の概略は、次のとおりである。 令和５年 ８月１５日付け：拒絶理由通知書 同年１０月２３日 ：意見書及び手続補正書の提出 同年１１月 ７日付け：拒絶査定 令和６年 ２月１４日 ：審判請求書の提出 同年１０月３１日付け：拒絶理由通知書（以下「当審拒絶理由通知書 」という。） 令和７年 １月 ６日 ：意見書及び手続補正書の提出 ２ 本願発明 本願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、令和７年１月６日に提出された手続補正書による補正（以下「本件補正」という。）後の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、その請求項１の記載は、次のとおりである。 ＜本願発明＞ 「液体が流入する流入口と該流入口から流入した液体を流出させる流出口とを有するとともに軸線に沿って延びる内部流路が形成された導電性を有する測定管と、 前記軸線に沿って加熱用抵抗体と温度検出用抵抗体とが検出面に形成された温度検出基板と、を備え、 平坦状に形成された前記検出面には、前記加熱用抵抗体および前記温度検出用抵抗体を薄膜状の絶縁材料により被膜した絶縁領域が前記絶縁材料を蒸着させることにより形成されており、 前記測定管の外周面には、前記温度検出基板の前記検出面が対向して配置される平坦面が形成されており、 前記温度検出基板の前記検出面から前記内部流路の内周面までの第１距離が前記測定管の頂部から前記内部流路の内周面までの第２距離よりも短く、 前記絶縁領域は０．１μｍ以上かつ１０μｍ以下の厚さで前記加熱用抵抗体および前記温度検出用抵抗体を被膜しており、 前記絶縁領域が前記軸線に沿って前記測定管の前記平坦面に接着剤により接合されている流量計。」 ３ 当審拒絶理由通知書における拒絶理由の概要 本願発明は、本件補正前の請求項１に係る発明を補正したものであるところ、当審拒絶理由通知書における拒絶理由は、当該請求項１に係る発明に対する、次の理由を含むものである。 （進歩性）請求項１に係る発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明である引用文献１に記載された発明及び引用文献２～４に記載された周知技術に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 １．特開２０１６－１５６６５１号公報 ２．特開２００６－７８２１８号公報（周知技術を示す文献） ３．特開２００４－３５５８１５号公報（周知技術を示す文献） ４．特開２０１９－８２３４６号公報（周知技術を示す文献） ４ 当審の判断 （１）引用文献の記載及び引用発明の認定 ア 引用文献の記載 当審拒絶理由通知書で引用された特開２０１６－１５６６５１号公報（以下「引用文献１」という。）には、次の記載がある。 「【００１６】 〔第１実施形態〕 以下、本発明の第１実施形態の熱式流量計１００について図面を参照して説明する。 本実施形態の熱式流量計１００は、内部流路を流通する液体を加熱し、加熱された液体の温度を検出することで液体の流量を測定する熱式流量計である。本実施形態の熱式流量計１００は、例えば、０．１ｃｃ／ｍｉｎ～３０ｃｃ／ｍｉｎの微少流量を測定するのに適している。 【００１７】 図１および図２に示すように、本実施形態の熱式流量計１００は、センサ部１０と、制御基板２０と、中継基板３０と、アッパーケース４０と、ボトムケース５０とを備える。」 「【００２２】 次に、図３～図８を参照してセンサ部１０について詳細に説明する。 図３および図４に示すように、センサ部１０は、測定管１１と、センサ基板１２（温度検出基板）と、ガイド１４と、ナット１５と、流入側ボディ１６と、流出側ボディ１７と、流入側フェルール１８と、流出側フェルール１９とを有する。 【００２３】 測定管１１は、液体が流入する流入口１１ａと流入口１１ａから流入した液体を流出させる流出口１１ｂとを有する管である。図６（図３のＡ－Ａ矢視断面図）に示すように、測定管１１には軸線Ｘに沿って延びる断面視が円形の内部流路１０ｃが形成されている。測定管１１は、ガラス（例えば、二酸化ケイ素の含有率の高い石英ガラス）により形成されている。 【００２４】 センサ基板１２は、図８に示すように、軸線Ｘに沿って加熱用抵抗線１２ａ（加熱用抵抗体）と温度検出用抵抗線１２ｂ（温度検出用抵抗体）と温度検出用抵抗線１２ｃ（温度検出用抵抗体）とが検出面１２ｄに形成されたガラス製（例えば、二酸化ケイ素の含有率の高い石英ガラス製）の基板である。 加熱用抵抗線１２ａと、温度検出用抵抗線１２ｂと、温度検出用抵抗線１２ｃとは、それぞれ白金等の金属膜をガラス製の基板上に蒸着させて形成される。」 「【００２７】 図６（図３のＡ－Ａ矢視断面図）に示すように、測定管１１はセンサ基板１２が接着される位置において、軸線Ｘに直交する平面による断面が略円形となっている。測定管１１の外周面のうちセンサ基板１２の検出面１２ｄが対向して配置される面は、平坦面１１ｃとなっている。 また、図７（図５（ｂ）のＢ－Ｂ矢視断面図）に示すように、測定管１１はセンサ基板１２が接着されない位置において、軸線Ｘに直交する平面による断面が円形となっている。 【００２８】 図５および図６に示すように、測定管１１の平坦面１１ｃはセンサ基板１２の検出面１２ｄと対向するように配置されている。平坦面１１ｃと検出面１２ｄとは、接着剤により接着されている。 ここで、接着剤としては、例えば、エポキシ樹脂系接着剤、紫外線硬化性樹脂系接着剤、熱硬化性樹脂系接着剤（熱硬化性接着剤）、低融点ガラス等を用いることができる。 【００２９】 図６に示すように、センサ基板１２の検出面１２ｄから内部流路１０ｃの内周面１０ｄまでの距離Ｄ１（第１距離）は、測定管１１の頂部１１ｄから内部流路１０ｃの内周面１０ｄまでの距離Ｄ２（第２距離）よりも短くなっている。これは、センサ基板１２の検出面１２ｄから内部流路１０ｃの内周面１０ｄまでの距離Ｄ１を短くして、加熱用抵抗線１２ａから液体への熱伝導性を向上させるとともに温度検出用抵抗線１２ｂおよび温度検出用抵抗線１２ｄによる温度検出特性を向上させるためである。」 ［図：0001425301000001.jpg］ ［図：0001425301000002.jpg］ ［図：0001425301000003.jpg］ イ 引用文献１から認定できる事項 【００２８】の「平坦面１１ｃと検出面１２ｄとは、接着剤により接着され」との記載と図５（ｂ）及び図６から、検出面１２ｄが平坦状に形成されていることが看取できる。 ウ 引用発明の認定 引用文献１には、第１実施形態（図１～図８）に記載された熱式流量計について、次の発明（以下「引用発明」という。ａ等は分説のために付した。）が記載されているものと認められる。なお、参考までに、引用発明の認定に用いた引用文献１の記載に係る段落番号等を括弧内に付してある。 ＜引用発明＞ 「ａ センサ部１０を備え、（【００１７】） ｂ センサ部１０は、測定管１１と、センサ基板１２（温度検出基板）を有し、（【００２２】） ｃ 測定管１１は、液体が流入する流入口１１ａと流入口１１ａから流入した液体を流出させる流出口１１ｂとを有する管であり、測定管１１には軸線Ｘに沿って延びる断面視が円形の内部流路１０ｃが形成され、測定管１１は、ガラスにより形成され、（【００２３】） ｄ センサ基板１２（温度検出基板）は、軸線Ｘに沿って加熱用抵抗線１２ａ（加熱用抵抗体）と温度検出用抵抗線１２ｂ（温度検出用抵抗体）と温度検出用抵抗線１２ｃ（温度検出用抵抗体）とが検出面１２ｄに形成されたガラス製の基板であり、（【００２４】） ｅ 測定管１１の外周面のうちセンサ基板１２の検出面１２ｄが対向して配置される面は、平坦面１１ｃとなっており、（【００２７】） ｆ 測定管１１の平坦面１１ｃはセンサ基板１２（温度検出基板）の検出面１２ｄと対向するように配置され、平坦面１１ｃと検出面１２ｄとは、接着剤により接着され、（【００２８】） ｇ センサ基板１２（温度検出基板）の検出面１２ｄから内部流路１０ｃの内周面１０ｄまでの距離Ｄ１（第１距離）は、測定管１１の頂部１１ｄから内部流路１０ｃの内周面１０ｄまでの距離Ｄ２（第２距離）よりも短く、（【００２９】） ｈ 検出面１２ｄは平坦状に形成されている（前記イ） ｉ 熱式流量計１００（【００１７】）。」 （２）本願発明と引用発明の対比 本願発明と引用発明を対比する。 ア 本願発明の「液体が流入する流入口と該流入口から流入した液体を流出させる流出口とを有するとともに軸線に沿って延びる内部流路が形成された導電性を有する測定管と、」「を備え、」との特定事項について 引用発明の「液体が流入する流入口１１ａ」、「流入口１１ａから流入した液体を流出させる流出口１１ｂ」、「軸線Ｘに沿って延びる」「内部流路１０ｃ」及び「測定管１１」（ｃ参照）は、それぞれ、本願発明の「液体が流入する流入口」、「該流入口から流入した液体を流出させる流出口」、「軸線に沿って延びる内部流路」及び「測定管」に相当する。 そうすると、本願発明と引用発明は、「液体が流入する流入口と該流入口から流入した液体を流出させる流出口とを有するとともに軸線に沿って延びる内部流路が形成された」「測定管」の点で共通するものの、測定管が、本願発明は「導電性を有する」ものであるのに対し、引用発明は「ガラスにより形成され」たものであることから、導電性を有しないものである点で相違する。 イ 本願発明の「前記軸線に沿って加熱用抵抗体と温度検出用抵抗体とが検出面に形成された温度検出基板と、」「を備え、」との特定事項について 引用発明の「加熱用抵抗線１２ａ（加熱用抵抗体）」、「温度検出用抵抗線１２ｂ（温度検出用抵抗体）と温度検出用抵抗線１２ｃ（温度検出用抵抗体）」、「検出面１２ｄ」及び「センサ基板１２（温度検出基板）」（ｄ参照）は、それぞれ、本願発明の「加熱用抵抗体」、「温度検出用抵抗体」、「検出面」及び「温度検出基板」に相当する。そして、引用発明の「加熱用抵抗線１２ａ（加熱用抵抗体）と温度検出用抵抗線１２ｂ（温度検出用抵抗体）と温度検出用抵抗線１２ｃ（温度検出用抵抗体）」は、「軸線Ｘに沿って」「検出面１２ｄに形成された」（ｄ参照）ものであるから、本願発明でいう「前記軸線に沿って」「検出面に形成された」ものである。 したがって、引用発明は、本願発明の上記特定事項を備える。 ウ 本願発明の「平坦状に形成された前記検出面には、前記加熱用抵抗体および前記温度検出用抵抗体を薄膜状の絶縁材料により被膜した絶縁領域が前記絶縁材料を蒸着させることにより形成されており」との特定事項について 引用発明の「検出面１２ｄ」は、「平坦状に形成され」（ｈ参照）たものであるから、本願発明でいう「平坦状に形成された」ものである。 また、引用発明において、検出面１２ｄには、加熱用抵抗体１２ａ（加熱用抵抗体）と温度検出用抵抗線１２ｂ（温度検出用抵抗体）と温度検出用抵抗線１２ｃ（温度検出用抵抗体）とが形成された（ｄ参照）領域が形成されているといえる。 そうすると、本願発明の上記特定事項と、引用発明とは、「平坦状に形成された前記検出面には、前記加熱用抵抗体および前記温度検出用抵抗体」が形成された領域が「形成されて」いる点で共通するが、検出面における加熱用抵抗体および温度検出用抵抗体に対して、本願発明は「薄膜状の絶縁材料により被膜した絶縁領域が前記絶縁材料を蒸着させることにより形成されて」いるのに対し、引用発明は、そのような絶縁領域が形成されていない点で相違する。 エ 本願発明の「前記測定管の外周面には、前記温度検出基板の前記検出面が対向して配置される平坦面が形成されており」との特定事項について 引用発明の「測定管１１の外周面のうちセンサ基板１２の検出面１２ｄが対向して配置される面は、平坦面１１ｃとなって」（ｅ参照）いることは、本願発明の「前記測定管の外周面には、前記温度検出基板の前記検出面が対向して配置される平坦面が形成されて」いることに相当する。 したがって、引用発明は、本願発明の上記特定事項を備える。 オ 本願発明の「前記温度検出基板の前記検出面から前記内部流路の内周面までの第１距離が前記測定管の頂部から前記内部流路の内周面までの第２距離よりも短く」との特定事項について 引用発明の「センサ基板１２（温度検出基板）の検出面１２ｄから内部流路１０ｃの内周面１０ｄまでの距離Ｄ１（第１距離）は、測定管１１の頂部１１ｄから内部流路１０ｃの内周面１０ｄまでの距離Ｄ２（第２距離）よりも短」（ｇ参照）いことは、本願発明の「前記温度検出基板の前記検出面から前記内部流路の内周面までの第１距離が前記測定管の頂部から前記内部流路の内周面までの第２距離よりも短」いことに相当する。 したがって、引用発明は、本願発明の上記特定事項を備える。 カ 本願発明の「前記絶縁領域は０．１μｍ以上かつ１０μｍ以下の厚さで前記加熱用抵抗体および前記温度検出用抵抗体を被膜しており」との特定事項について 本願発明は「前記絶縁領域は０．１μｍ以上かつ１０μｍ以下の厚さで前記加熱用抵抗体および前記温度検出用抵抗体を被膜して」いるのに対し、引用発明は、上記ウで検討したように、絶縁領域が形成されていないことから、そのような構成を備えていない点で相違する。 キ 本願発明の「前記絶縁領域が前記軸線に沿って前記測定管の前記平坦面に接着剤により接合されている」との特定事項について 引用発明は、「測定管１１の平坦面１１ｃは、センサ基板１２（温度検出基板）の検出面１２ｄと対向するように配置され、平坦面１１ｃと検出面１２ｄとは、接着剤により接着され」（ｆ参照）るものであるところ、「軸線Ｘに沿って加熱用抵抗線１２ａ（加熱用抵抗体）と温度検出用抵抗線１２ｂ（温度検出用抵抗体）と温度検出用抵抗線１２ｃ（温度検出用抵抗体）とが検出面１２ｄに形成され」（ｄ参照）ることからすれば、検出面１２ｄに形成された加熱用抵抗線１２ａ（加熱用抵抗体）と温度検出用抵抗線１２ｂ（温度検出用抵抗体）と温度検出用抵抗線１２ｃ（温度検出用抵抗体）とが形成された領域が軸線Ｘに沿って測定管１１ｃの平坦面１１ｃに接着剤により接合されているといえる。 したがって、本願発明と、引用発明とは、前記検出面に形成された前記加熱用抵抗体および前記温度検出用抵抗体が形成された「領域が前記軸線に沿って前記測定管の前記平坦面に接着剤により接合されている」点で共通するが、軸線に沿って測定管の平坦面に接着剤により接合されるのが、本願発明では「絶縁領域」であるのに対し、引用発明では、検出面１２ｄに形成された加熱用抵抗線１２ａ（加熱用抵抗体）と温度検出用抵抗線１２ｂ（温度検出用抵抗体）と温度検出用抵抗線１２ｃ（温度検出用抵抗体）とが形成された領域であり、絶縁領域ではない点で相違する。 ク 本願発明の「流量計」との特定事項について 引用発明の「熱式流量計１００」（ｉ参照）は、本願発明の「流量計」に相当する。 したがって、引用発明は、本願発明の上記特定事項を備える。 そうすると、本願発明と引用発明とは、 「液体が流入する流入口と該流入口から流入した液体を流出させる流出口とを有するとともに軸線に沿って延びる内部流路が形成された測定管と、 前記軸線に沿って加熱用抵抗体と温度検出用抵抗体とが検出面に形成された温度検出基板と、を備え、 平坦状に形成された前記検出面には、前記加熱用抵抗体および前記温度検出用抵抗体が形成された領域が形成されており、 前記測定管の外周面には、前記温度検出基板の前記検出面が対向して配置される平坦面が形成されており、 前記温度検出基板の前記検出面から前記内部流路の内周面までの第１距離が前記測定管の頂部から前記内部流路の内周面までの第２距離よりも短く、 前記検出面に形成された前記加熱用抵抗体および前記温度検出用抵抗体が形成された領域が前記軸線に沿って前記測定管の前記平坦面に接着剤により接合されている流量計。」 である点において一致し、以下の点で相違する。 ＜相違点１＞ 測定管について、本願発明は「導電性を有する」ものであるのに対し、引用発明は「ガラスにより形成された」ものであるから、導電性を有しないものである点。 ＜相違点２＞ 検出面には、本願発明は「前記加熱用抵抗体および前記温度検出用抵抗体を薄膜状の絶縁材料により被膜した絶縁領域が前記絶縁材料を蒸着させることにより形成されており」、「前記絶縁領域は０．１μｍ以上かつ１０μｍ以下の厚さで前記加熱用抵抗体および前記温度検出用抵抗体を被膜して」いるのに対し、引用発明は、そのような絶縁領域が形成されていない点。 ＜相違点３＞ 軸線に沿って測定管の平坦面に接着剤により接合されるのが、本願発明では「絶縁領域」であるのに対し、引用発明では、検出面１２ｄに形成された加熱用抵抗線１２ａ（加熱用抵抗体）と温度検出用抵抗線１２ｂ（温度検出用抵抗体）と温度検出用抵抗線１２ｃ（温度検出用抵抗体）とが形成された領域であり、絶縁領域ではない点。 （３）判断 ア 相違点１～３について 相違点１～３は、相互に関連するので、まとめて検討する。 熱式流量計において、測定管を熱伝導性、耐腐食性等を考慮してステンレスなどの金属やガラス状炭素等の導電体で形成することは、例えば、以下の文献に記載されているように周知技術である。 ・周知技術を示すために当審拒絶理由通知書で引用文献２として引用された特開２００６－７８２１８号公報 （「【０００２】・・・熱式流量センサ・・・」、「【０００５】・・・流路を構成する配管は通常ステンレスなどの金属（導電体）であることが多く・・・」） ・周知技術を示すために当審拒絶理由通知書で引用文献３として引用された特開２００４－３５５８１５号公報 （「【０００６】・・・熱式流量計は・・・良好な熱伝導性を有する材料で流路管を形成する必要がある。そこで、従来より処理液に対する耐腐食性や耐酸性などを考慮してステンレス鋼などの金属管が多用されていた。その結果、金属管（流路管）の構成材料に含まれる金属物質がイオンとして処理液に混入し、そのまま基板に塗布されてしまう場合があった。」「【００３１】・・・流路管をガラス状炭素で形成しているので、処理液が流路管内を流通している間に金属イオンが処理液に混入するという従来の熱式流量計が抱えていた問題を解消することができる。また、ガラス状炭素が耐有機溶剤性、耐食性、耐酸性などに優れていることから、処理液により流路管が腐食されず、処理液の流量を正確に計測することが可能となる。」） ・周知技術を示すために当審拒絶理由通知書で引用文献４として引用された特開２０１９－８２３４６号公報 （「【００２１】・・・配管１０１を、ガラス状カーボンから構成したので、薄く形成されている測定部１０１ａにおける破損が抑制できる状態で、熱式流量計を用いてより流量感度の高い高精度な流量測定ができるようになる。また、ガラス状カーボンは、熱伝導率がフッ素樹脂よりも高く、また、ガラスよりも高い。このため、実施の形態によれば、流量感度を更に向上でき、より高精度な流量センサが提供できるようになる。」） また、熱式流量計において、金属等の導電体で形成した測定管に、抵抗体からなる加熱部や温度検出部を密着形成する際には、これらの間に絶縁膜を介在させる必要があることは、例えば、以下の文献に記載されているように周知技術である。 ・周知技術を示すために当審拒絶理由通知書で引用文献２として引用された特開２００６－７８２１８号公報 （「【０００５】・・・流路を構成する配管は通常ステンレスなどの金属（導電体）であることが多く、その外壁面に巻線や金属薄膜抵抗体などからなる温度検出部を密着形成するためにはこれらの間に絶縁膜を介在させる必要がある。かかる絶縁膜は金属に比べて基本的に熱伝導率が低いものが多いため、この絶縁膜の厚さを厚くすると熱伝導が悪くなり温度検出部の感度や応答性が低下する。一方、絶縁膜の厚さを薄くすると耐電圧が低くなってしまう問題が生じる。・・・」、「【００３５】・・・被測定流体が流れる配管１００は例えば金属の管路からなり、ヒータ１１は絶縁材で被覆された巻線や薄膜抵抗体などの電気抵抗体からなる。なお、ヒータ１１が巻き線の場合は管路外壁面の所定位置に巻き付けられ、薄膜抵抗体の場合は絶縁体層を介して管路外壁面の所定位置に形成される。」 【図１】 ［図：0001425301000004.jpg］ ） ・周知技術を示すために本審決で新たに引用する特開２０１７－１０２０９１号公報 （「【００１９】センサ流路３は、メイン流路管２０に接続されたセンサ流路管３０により形成されている。センサ流路管３０は、概略逆Ｕ字形状をなす中空細管（導管）である。本実施形態のセンサ流路管３０は、ステンレス等の金属製である。・・・」、「【００２２】上流側コイル４１１は、センサ流路３の上流側におけるセンサ流路管３０の外側周面３０ａに発熱抵抗体６を巻き付けて構成されている。また、下流側コイル４１２は、センサ流路３の下流側におけるセンサ流路管３０の外側周面３０ａに発熱抵抗体６を巻き付けて構成されている。」、「【００２３】上流側コイル４１１及び下流側コイル４１２の発熱抵抗体６は、温度に応じて電気抵抗値が変化する金属線から形成されている。」、「【００２８】・・・本実施形態の第１絶縁層８は、センサ流路管３０の流路方向に沿って螺旋溝７全体を含む範囲において、センサ流路管３０の外側周面３０ａ全周を被覆している。この第１絶縁層８は、例えばアルミナ等の電気絶縁性を有する無機材料から形成されている。また、第１絶縁層８は、例えば蒸着又は溶射等により形成された薄膜であり、略均一の膜厚を有するものである。」 【図１】 ［図：0001425301000005.jpg］ 【図２】 ［図：0001425301000006.jpg］ ） ・周知技術を示すために本審決で新たに引用する特開２００３－２４０６１８号公報 （「【００１４】前記センサチップ３の材質としては、熱伝導率がシリコンに比べて低く、耐熱性、耐食性および剛性の高い材料、具体的にはステンレス鋼が用いられる。・・・」、「【００２３】前記センサチップ３の上面３ａには、電気絶縁膜１３が全面にわたって形成されており、この電気絶縁膜１３の表面に６つの電極パッド１４（１４ａ～１４ｆ）および配線用金属薄膜１５を含む前記流速検出手段１２と周囲温度検出手段１６が周知の薄膜成形技術によって形成されている。・・・」、「【００２４】・・・流速検出手段１２は、１つの発熱体（抵抗ヒータ）２０と２つの温度センサ２１Ａ，２１Ｂとからなり、傍熱型の流速検出手段を構成している。・・・」、「【００２５】前記電気絶縁膜１３は、厚さが１μｍ程度の酸化シリコン（ＳｉＯ２）膜、窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、ポリイミド等によって形成されている。酸化シリコン膜は、例えばスパッタリング、ＣＶＤあるいはＳＯＧ（スピンオングラス）等により形成される。・・・」 【図１】 ［図：0001425301000007.jpg］ 【図２】 ［図：0001425301000008.jpg］ ） そうすると、引用発明において、上記２つの周知技術を適用して、熱伝導性、耐腐食性等を考慮して、ガラスにより形成された測定管１１（ａ参照）に代えて、ステンレスなどの金属やガラス状炭素等の導電体で形成された測定管とし、センサ基板１２（温度検出基板）に形成された熱用抵抗線１２ａ（加熱用抵抗体）、温度検出用抵抗線１２ｂ（温度検出用抵抗体）及び温度検出用抵抗線１２ｃ（温度検出用抵抗体）と、測定管との間に絶縁膜を介在させることに格別の困難性はない。 そして、薄膜を形成するために、例えば前記特開２０１７－１０２０９１号公報（【００２８】）、前記特開２００３－２４０６１８号公報（【００２５】）にも見られるように周知・慣用手段であるスパッタリングやＣＶＤ等の蒸着を用いることに何らの困難も認められない。そして、その際には、前記特開２００６－７８２１８号公報（【０００５】）にも開示されているように、絶縁膜の厚さは温度検出部の感度や応答性と耐電圧のトレードオフであるという技術常識を考慮してこれを決定することは当業者が当然考慮すべき設計事項にすぎないし、相違点２に係る本願発明の「０．１μｍ以上かつ１０μｍ以下」との具体的な値についても、前記特開２００３－２４０６１８号公報（【００２５】）に見られるようにごく普通の厚さにすぎない。 したがって、引用発明及び周知技術に基づいて、相違点１～３に係る本願発明の構成とすることは、当業者が容易に想到し得たことである。 イ 請求人の主張について 請求人は、令和７年１月６日提出の意見書において、 （ア）引用文献２（特開２００６－７８２１８号公報）の【０００５】には、金属の配管と温度検出部との間に絶縁膜を介在させて温度検出部を密着形成すると、絶縁膜は金属に比べて基本的に熱伝導率が低いものが多いため、この絶縁膜の厚さを厚くすると熱伝導が悪くなり温度検出部の感度や応答性が低下する一方、絶縁膜の厚さを薄くすると耐電圧が低くなってしまう問題が生じるとの課題に対する解決策として、管路内の被測定流体の温度を非接触で検出するという構成を採用することが説明され、金属の配管と温度検出部との間に絶縁膜を介在させて温度検出部を密着形成する構成の問題点が明確に指摘されており、引用文献２で採用が否定されている構成を当業者が採用することは想到し得ない旨、 （イ）引用文献２の【００３５】には、「・・・被測定流体が流れる配管１００は例えば金属の管路からなり、ヒータ１１は絶縁材で被覆された巻線や薄膜抵抗体などの電気抵抗体からなる。なお、ヒータ１１が巻き線の場合は管路外壁面の所定位置に巻き付けられ、薄膜抵抗体の場合は絶縁体層を介して管路外壁面の所定位置に形成される。」との記載は引用文献２の図１に示すように赤外線検出センサ１２，１３を配管から離れた非接触の位置に配置することを前提とした説明であり、加熱用抵抗体だけでなく温度検出用抵抗体も絶縁材料により被膜するという構成を採用し得ず、引用文献１に対して引用文献２の【００３５】の記載を適用する場合、当業者であれば、絶縁膜が介在することにより温度検出部の感度や応答性が低下する問題点を考慮して、赤外線検出センサ１２，１３のように非接触で温度を検出する構成を採用するのが明らかである旨、 （ウ）また、引用文献２の【０００５】には、金属の配管と温度検出部との間に絶縁膜を介在させるという解決策が示唆されており、【００３５】には、ヒータ１１と管路外壁面との間に絶縁膜を介在させることが示唆されているものの、具体的にどのように絶縁膜を介在させるのかについて何等の開示も示唆もなく、したがって、引用文献２の記載から、本願発明の「平坦状に形成された前記検出面には、前記加熱用抵抗体および前記温度検出用抵抗体を薄膜状の絶縁材料により被膜した絶縁領域が前記絶縁材料を蒸着させることにより形成されており」との構成を想到することは決して容易なことではない旨、 （エ）さらに、引用文献２の【０００５】、【００３５】には、絶縁膜の厚さをどのように設定するかについて何等の開示も示唆もなく、したがって、本願発明のように「前記絶縁領域は０．１μｍ以上かつ１０μｍ以下の厚さで前記加熱用抵抗体および前記温度検出用抵抗体を被膜しており」との構成を採用して絶縁性を確保しつつ熱導電性を維持する効果を奏することは当業者が決して容易に想到し得ることではない旨、 を主張する。 しかしながら、引用文献２は、熱式流量計において、金属等の導電体で形成した測定管に、抵抗体からなる加熱部や温度検出部を密着形成する際には、これらの間に絶縁膜を介在させる必要があることが周知技術であることを示す一例として挙げたものであり、引用文献２の他の記載から絶縁膜を採用し得ないとする請求人の主張は、本審決の理由を正解するものではない。 そして、前記アで検討したように、本願発明は、引用発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に想到し得たものである。 したがって、請求人の主張は採用し得ない。 ウ 小括 以上検討のとおり、本願発明は、引用発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 ５ むすび 以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 したがって、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。 よって、結論のとおり審決する。