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特許拒絶査定不服審判

2023-020723

プラズマを用いた基板処理装置および方法

審判番号
2023-020723
法域
特許
審判種別
拒絶査定不服審判(拒絶査定不服の審決)
出願番号
特願2022-055164
請求日
2023年12月06日
審決日
2024年10月23日
公報発行日
2024年11月29日
結論
原査定取消(特許/登録すべき)
当事者
  • 【請求人】セメス株式会社
  • 【請求人代理人】IBC一番町弁理士法人
審判長/審判官
  • 審判長 河本 充雄
  • 審判官 棚田 一也
  • 審判官 松永 稔
分類
P18 .113-WYF(H01L) / P18 .121-WYF(H01L)
データ出所
審決公報(XML)

事件の表示

特願2022- 55164「プラズマを用いた基板処理装置および方法」拒絶査定不服審判事件〔令和 5年10月13日出願公開、特開2023-147584、請求項の数(10)〕について、次のとおり審決する。

結論

結 論 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。

理由

理 由 本願は、令和 4年 3月30日の出願であって、その請求項1~10に係る発明は、令和 5年12月 6日提出の手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項1~10に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。 そして、本願については、原査定の拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。 また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり審決する。

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2023-020723

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