特許拒絶査定不服審判
2022-011223
計測システム及び基板処理システム、並びにデバイス製造方法
- 審判番号
- 2022-011223
- 法域
- 特許
- 審判種別
- 拒絶査定不服審判（拒絶査定不服の審決）
- 出願番号
- 特願2020-199604外部サイト（J-PlatPat）へ移動します
- 請求日
- 2022年07月19日
- 審決日
- 2023年10月12日
- 公報発行日
- 2023年11月24日
- 結論
- 原査定取消（特許/登録すべき）
- 分類
- P18 .113-WYF(G03F) / P18 .121-WYF(G03F) / P18 .537-WYF(G03F)
- データ出所
- 審決公報（XML）
事件の表示
特願２０２０－１９９６０４「計測システム及び基板処理システム、並びにデバイス製造方法」拒絶査定不服審判事件〔令和 ３年 ３月２５日出願公開、特開２０２１－ ４７４３３、請求項の数（３５）〕について、次のとおり審決する。
結論
結 論
原査定を取り消す。
本願の発明は、特許すべきものとする。
理由
文字
理 由
本願は、令和 ２年１２月 １日（遡及出願平成２９年 ９月２０日優先権主張 平成２８年 ９月３０日）の出願であって、その請求項１～３５に係る発明は、令和 ５年 ７月３１日に提出された手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１～３５に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。
そして、本願については、原査定の拒絶理由及び当審において通知した拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。
また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
よって、結論のとおり審決する。
審決本文（J-PlatPat）
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2022-011223