2019-700277

特許第６４０１５９４号発明「３次元チルトセンサ及びこれを用いた測定対象の３軸廻りの角度変位を測定する方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

特許第６４０１５９４号の請求項１、３に係る特許を取り消す。 同請求項２、４に係る特許を維持する。

第１　手続の経緯 特許第６４０１５９４号（以下、「本件特許」という。）に係る特許出願は、平成２６年１２月２日になされたものであり、平成３０年９月１４日にその特許権の設定の登録がされ、同年１０月１０日にその特許掲載公報が発行された。本件特許の特許請求の範囲に記載された請求項の数は４である。 これに対して、平成３１年４月１０日に特許異議申立人中野善和（以下、「申立人」という。）は、証拠として甲第１号証ないし甲第７号証を提出し、本件特許の請求項１ないし４について特許異議の申立てをしたところ、当審から令和１年６月２６日付けで本件特許の請求項１及び３について取消理由を通知し、期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、特許権者からは応答がなかった。 第２　本件発明 本件特許の請求項１～４に係る発明（以下、それぞれ「本件発明１」～「本件発明４」という。）は、それぞれ特許請求の範囲の請求項１～４に記載された事項により特定される次のとおりのものである。 「【請求項１】 測定用光を測定対象に照射して前記測定対象の３軸廻りの角度変位を測定する３次元チルトセンサであって、 測定用光源と、コリメータレンズと、第一及び第二の測定用光学系と、ハーフミラーと、前記測定対象に設ける回折格子からなる専用ターゲットとから構成され、 前記第一の測定用光学系は、前記専用ターゲットの面上に垂直に前記測定用光を照射することによる前記専用ターゲットからの反射光（０次の回折光）に基づいて前記専用ターゲット上に設定したＸ軸とＹ軸のそれぞれの軸廻りの角度変位を測定し、 前記第二の測定用光学系は、前記専用ターゲットの面上に垂直に前記測定用光を照射することによる前記専用ターゲットからの１次の回折光に基づいて前記専用ターゲット上に設定した前記Ｘ軸と前記Ｙ軸とに垂直なＺ軸廻りの角度変位を測定し、 前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸廻りの角度変位が０の場合に、前記Ｚ軸廻りの角度変位（ロール）を次の数１により算出する、 ことを特徴とする３次元チルトセンサ。 （ロール）＝ｓｉｎ－１｛（θＸ０－θＸ１）÷ｓｉｎ－１（λ÷ｄ）｝・・・・（数１） 【請求項２】 測定用光を測定対象に照射して前記測定対象の３軸廻りの角度変位を測定する３次元チルトセンサであって、 測定用光源と、コリメータレンズと、第一及び第二の測定用光学系と、ハーフミラーと、前記測定対象に設ける回折格子からなる専用ターゲットとから構成され、 前記第一の測定用光学系は、前記専用ターゲットの面上に垂直に前記測定用光を照射することによる前記専用ターゲットからの反射光（０次の回折光）に基づいて前記専用ターゲット上に設定したＸ軸とＹ軸のそれぞれの軸廻りの角度変位を測定し、 前記第二の測定用光学系は、前記専用ターゲットの面上に垂直に前記測定用光を照射することによる前記専用ターゲットからの１次の回折光に基づいて前記専用ターゲット上に設定した前記Ｘ軸と前記Ｙ軸とに垂直なＺ軸廻りの角度変位を測定し、 前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸廻りの角度変位が０以外の場合に、前記Ｚ軸廻りの角度変位（ロール）を次の数２により算出する、 ことを特徴とする３次元チルトセンサ。 （ロール）＝ｔａｎ－１（θＹ０÷θＸ０）－ｔａｎ－１（－ｓ３÷ｇ３）・・・・（数２） 【請求項３】 ３次元チルトセンサを用いた、測定用光を測定対象に照射して前記測定対象の３軸廻りの角度変位を測定する方法であって、 測定用光源から照射される前記測定用光をコリメータレンズにより平行光線とし、前記平行光線とした前記測定用光をハーフミラーを透過させて前記測定対象に設けられた専用ターゲットの面上に垂直に照射し、 前記専用ターゲットからの反射光（０次の回折光）を前記ハーフミラーに反射させることによって第一の測定用光学系に導き、前記第一の測定用光学系により第一の受光素子に前記反射光を結像させ、前記結像による結像点の位置に基づいて前記専用ターゲットの面上に設定したＸ軸及びＹ軸廻りの角度変位を求め、 前記専用ターゲットからの１次の回折光の方向に第二の測定用光学系を設け、前記第二の測定用光学系により、第二の受光素子に前記１次の回折光を結像させ、前記結像による結像点の位置に基づいて前記専用ターゲットの面に対して垂直に設けたＺ軸廻りの角度変位を求めることにより、 前記専用ターゲットの前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸廻りの角度変位及び前記Ｚ軸廻りの角度変位に基づいて、前記測定対象の３軸廻りの角度変位を求め、 前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸廻りの角度変位が０の場合に、前記Ｚ軸廻りの角度変位（ロール）を次の数１により算出する、 ことを特徴とする測定対象の３軸廻りの角度変位を測定する方法。 （ロール）＝ｓｉｎ－１｛（θＸ０－θＸ１）÷ｓｉｎ－１（λ÷ｄ）｝・・・・（数１） 【請求項４】 ３次元チルトセンサを用いた、測定用光を測定対象に照射して前記測定対象の３軸廻りの角度変位を測定する方法であって、 測定用光源から照射される前記測定用光をコリメータレンズにより平行光線とし、前記平行光線とした前記測定用光をハーフミラーを透過させて前記測定対象に設けられた専用ターゲットの面上に垂直に照射し、 前記専用ターゲットからの反射光（０次の回折光）を前記ハーフミラーに反射させることによって第一の測定用光学系に導き、前記第一の測定用光学系により第一の受光素子に前記反射光を結像させ、前記結像による結像点の位置に基づいて前記専用ターゲットの面上に設定したＸ軸及びＹ軸廻りの角度変位を求め、 前記専用ターゲットからの１次の回折光の方向に第二の測定用光学系を設け、前記第二の測定用光学系により、第二の受光素子に前記１次の回折光を結像させ、前記結像による結像点の位置に基づいて前記専用ターゲットの面に対して垂直に設けたＺ軸廻りの角度変位を求めることにより、 前記専用ターゲットの前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸廻りの角度変位及び前記Ｚ軸廻りの角度変位に基づいて、前記測定対象の３軸廻りの角度変位を求め、 前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸廻りの角度変位がそれぞれ０以外の場合に、前記Ｚ軸廻りの角度変位（ロール）を次の数２により算出する、 ことを特徴とする測定対象の３軸廻りの角度変位を測定する方法。 （ロール）＝ｔａｎ－１（θＹ０÷θＸ０）－ｔａｎ－１（－ｓ３÷ｇ３）・・・・（数２）」 第３　取消理由の概要 当審において、請求項１及び３に係る特許に対して通知した取消理由の要旨は、次のとおりである。 本件発明１及び３は、下記の引用文献１に記載された発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１及び３に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。 記 引用文献１：Ｗ．Ｇａｏ（２），Ｙ．Ｓａｉｔｏ，Ｈ．Ｍｕｔｏ，Ｙ．Ａｒａｉ，Ｙ．Ｓｈｉｍｉｚｕ 「Ａ　ｔｈｒｅｅ－ａｘｉｓ　ａｕｔｏｃｏｌｌｉｍａｔｏｒ　ｆｏｒ　ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ　ｏｆ　ａｎｇｕｌａｒ　ｅｒｒｏｒ　ｍｏｔｉｏｎｓ　ｏｆ　ａ　ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ　ｓｔａｇｅ」 ＣＩＲＰ　Ａｎｎａｌｓ－　Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　第６０巻、第１号、第５１５－５１８頁、２０１１年（甲第１号証） 第４　引用文献１に記載された発明 上記引用文献１の第５１５頁右欄第５行～第５１７頁左欄第１４行までの記載内容並びに図面Ｆｉｇ．１及びＦｉｇ．２の図示内容を総合すると、上記引用文献１には以下の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。 ［引用発明］ 「Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の３軸方向に移動可能な精密リニアステージにおける各軸廻りの角度誤差、すなわち、Ｘ軸廻りのピッチ誤差ΔθＸ、Ｙ軸廻りのヨー誤差ΔθＹ及びＺ軸廻りのロール誤差ΔθＺを検出する３軸オートコリメータであって、 ステージ移動テーブル上に配置された格子間隔ｇの格子反射器に対して、レーザダイオード（ＬＤ）から射出された波長λのＳ偏光光がコリメートレンズ（ＣＬ）によりコリメート光に変換され、偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）により前記格子反射器側に曲げられ、そのビーム光が１／４波長板（ＱＷＰ）により円偏光とされた上で、前記格子反射器に垂直に入射され、 前記格子反射器からの０次回折ビーム及び１次回折ビームは、前記１／４波長板（ＱＷＰ）によりｐ偏光光に変換され、前記偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）を通過し、焦点距離ｆのコリメータ対物レンズ（ＣＯ）を介してオートコリメーションユニットの２つの位置検出器Ｉ、ＩＩにおいてそれぞれ受光されるものであり、 前記２つの位置検出器Ｉ、ＩＩは、結像した回折ビームスポットのＸ方向及びＹ方向の変位を検出できるように、前記コリメータ対物レンズ（ＣＯ）の焦点面に距離Ｌだけ離れて配置されており、 ステージがヨー誤差ΔθＹを有する場合に、０次回折ビーム及び１次回折ビームの受光位置が、それぞれＸ方向にΔｘＩ及びΔｘＩＩだけ初期位置から変位したとすると、ΔｘＩとΔｘＩＩは等しく、ΔθＹは小さいことから、 ΔθＹ＝ΔｘＩＩ／ＫθＹ・・・（３） ただし、ＫθＹ＝２ｆ・・・（４） により、ヨー誤差ΔθＹが得られるものであり、 ステージがピッチ誤差ΔθＸを有する場合に、０次回折ビーム及び１次回折ビームの受光位置が、それぞれＹ方向にΔｙＩ及びΔｙＩＩ１だけ初期位置から変位したとすると、ΔｙＩとΔｙＩＩ１は等しく、ΔθＸは小さいことから、 ΔθＸ＝ΔｙＩ／ＫθＸ・・・（５） ただし、ＫθＸ＝２ｆ・・・（６） により、ピッチ誤差ΔθＸが得られるものであり、 ステージがロール誤差ΔθＺを有する場合に、０次回折ビームの受光位置がＹ方向にΔｙＩだけ初期位置から変位し、１次回折ビームの受光位置がＹ方向にΔｙＩＩだけ初期位置から変位したとすると、ΔθＺは小さいことから、 ΔθＺ＝（ΔｙＩＩ－ΔｙＩ）／ＫθＺ・・・（９） ただし、ＫθＺ＝ｆｔａｎ（ａｒｃｓｉｎλ／ｇ）・・・（１０） により、ロール誤差ΔθＺが得られるものである、 ３軸オートコリメータ。」 第５　対比・判断 １　本件発明１について （１）対比 本件発明１と引用発明とを対比する。 ア　引用発明の「精密リニアステージ」は、本件発明１の「測定対象」に相当するから、引用発明の「Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の３軸方向に移動可能な精密リニアステージにおける各軸廻りの角度誤差」は、本件発明１の「測定対象の３軸廻りの角度変位」に相当する。 また、引用発明の「レーザダイオード（ＬＤ）」は、本件発明１の「測定用光源」に相当するから、引用発明の「レーザダイオード（ＬＤ）から射出された波長λのＳ偏光光」は、本件発明１の「測定用光」に相当する。 そうすると、引用発明の「Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の３軸方向に移動可能な精密リニアステージにおける各軸廻りの角度誤差」「を検出する３軸オートコリメータ」は、本件発明１の「測定用光を測定対象に照射して前記測定対象の３軸廻りの角度変位を測定する３次元チルトセンサ」に相当する。 イ　引用発明の「コリメートレンズ（ＣＬ）」は、本件発明１の「コリメータレンズ」に相当し、引用発明の「ステージ移動テーブル上に配置された格子間隔ｇの格子反射器」は、本件発明１の「前記測定対象に設ける回折格子からなる専用ターゲット」に相当する。 また、引用発明の「焦点距離ｆのコリメータ対物レンズ（ＣＯ）」及び「オートコリメーションユニットの２つの位置検出器Ｉ、ＩＩ」の組合せは、本件発明１の「第一及び第二の測定用光学系」に相当する。 そして、引用発明の「偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）」は、測定対象からの光を測定用光学系に導く機能を有する光学部材である点で、本件発明１の「ハーフミラー」と同じ機能を果たしているといえる。 したがって、本件発明１と引用発明とは、「測定用光源と、コリメータレンズと、第一及び第二の測定用光学系と、測定対象からの光を測定用光学系に導く機能を有する光学部材と、前記測定対象に設ける回折格子からなる専用ターゲットとから構成され」る点で共通する。 ウ　引用発明の「ビーム光」が「前記格子反射器に垂直に入射され」ることは、本件発明１の「前記専用ターゲットの面上に垂直に前記測定用光を照射すること」に相当する。 また、引用発明の「格子反射器」からの「０次回折ビーム」及び「１次回折ビーム」は、それぞれ本件発明１の「前記専用ターゲットからの反射光（０次の回折光）」及び「前記専用ターゲットからの１次の回折光」に相当するから、引用発明の「焦点距離ｆのコリメータ対物レンズ（ＣＯ）」及び「位置検出器Ｉ」の組合せは、本件発明１の「第一の測定用光学系」に相当し、引用発明の「焦点距離ｆのコリメータ対物レンズ（ＣＯ）」及び「位置検出器ＩＩ」の組合せは、本件発明１の「第二の測定用光学系」に相当する。 エ　引用発明の「Ｙ軸廻りのヨー誤差ΔθＹ」、「Ｘ軸廻りのピッチ誤差ΔθＸ」および「Ｚ軸廻りのロール誤差ΔθＺ」は、本件特許の明細書の段落【００４５】の「Ｘ軸廻りの角度変位（ヨー）」、「Ｙ軸廻りの角度変位（ピッチ）」という記載及び段落【００４６】の「Ｚ軸廻りの角度変位（ロール）」という記載を参酌すれば、それぞれ本件発明１の「Ｘ軸の軸廻りの角度変位」（ヨー）、「Ｙ軸の軸廻りの角度変位」（ピッチ）及び「前記Ｘ軸と前記Ｙ軸とに垂直なＺ軸廻りの角度変位」（ロール）に相当するから、引用発明の「Ｘ軸」、「Ｙ軸」及び「Ｚ軸」は、それぞれ本件発明１の「Ｙ軸」、「Ｘ軸」及び「Ｚ軸」に相当する。 オ　引用発明では、「位置検出器Ｉ」における「０次回折ビーム」の「受光位置」の「Ｙ方向」「変位」「ΔｙＩ」により、式（５）「ΔθＸ＝ΔｙＩ／ＫθＸ」を適用して、「Ｘ軸廻りのピッチ誤差ΔθＸ」を得ているから、引用発明の「焦点距離ｆのコリメータ対物レンズ（ＣＯ）」と「位置検出器Ｉ」は、本件発明１の「前記専用ターゲットの面上に垂直に前記測定用光を照射することによる前記専用ターゲットからの反射光（０次の回折光）に基づいて前記専用ターゲット上に設定した」「Ｙ軸」の「軸廻りの角度変位を測定」する「第一の測定用光学系」に相当する。 カ　引用発明では、「位置検出器ＩＩ」における「１次回折ビーム」の「受光位置」の「Ｘ方向」「変位」「ΔｘＩＩ」により、式（３）「ΔθＹ＝ΔｘＩＩ／ＫθＹ」を適用して、「Ｙ軸廻りのヨー誤差ΔθＹ」を得ているから、本件発明１と引用発明とは、「前記専用ターゲットの面上に垂直に前記測定用光を照射することによる前記専用ターゲットからの光に基づいて前記専用ターゲット上に設定した」「Ｘ軸」の「軸廻りの角度変位を測定」する「測定用光学系」を備えている点で共通する。 キ　引用発明では、「位置検出器Ｉ」における「０次回折ビーム」の「受光位置」の「Ｙ方向」「変位」「ΔｙＩ」及び「位置検出器ＩＩ」における「１次回折ビーム」の「受光位置」の「Ｙ方向」「変位」「ΔｙＩＩ」により、式（９）「ΔθＺ＝（ΔｙＩＩ－ΔｙＩ）／ＫθＺ」を適用して、「Ｚ軸廻りのロール誤差ΔθＺ」を得ているから、引用発明においても、「第二の測定光学系」が「前記専用ターゲットからの１次の回折光に基づいて前記専用ターゲット上に設定した」「Ｚ軸廻りの角度変位を測定」しているといえる。 ク　上記ア～キより、本件発明１と引用発明とは、以下の一致点において一致し、以下の相違点１～３において相違する。 ［一致点］ 「測定用光を測定対象に照射して前記測定対象の３軸廻りの角度変位を測定する３次元チルトセンサであって、 測定用光源と、コリメータレンズと、第一及び第二の測定用光学系と、測定対象からの光を測定用光学系に導く機能を有する光学部材と、前記測定対象に設ける回折格子からなる専用ターゲットとから構成され、 前記測定用光学系は、前記専用ターゲットの面上に垂直に前記測定用光を照射することによる前記専用ターゲットからの光に基づいて前記専用ターゲット上に設定したＸ軸の軸廻りの角度変位を測定し、 前記第一の測定用光学系は、前記専用ターゲットの面上に垂直に前記測定用光を照射することによる前記専用ターゲットからの反射光（０次の回折光）に基づいて前記専用ターゲット上に設定したＹ軸の軸廻りの角度変位を測定し、 前記第二の測定用光学系は、前記専用ターゲットの面上に垂直に前記測定用光を照射することによる前記専用ターゲットからの１次の回折光に基づいて前記専用ターゲット上に設定した前記Ｘ軸と前記Ｙ軸とに垂直なＺ軸廻りの角度変位を測定する、 ３次元チルトセンサ。」 ［相違点１］ 「測定対象からの光を測定用光学系に導く機能を有する光学部材」が、本件発明１では「ハーフミラー」であるのに対して、引用発明では「偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）」である点。 ［相違点２］ 本件発明１では、「前記専用ターゲット上に設定したＸ軸とＹ軸のそれぞれの軸廻りの角度変位」のいずれについても、「第一の測定用光学系」が「前記専用ターゲットからの反射光（０次の回折光）に基づいて」「測定」しているのに対して、引用発明では、「Ｘ軸廻りのピッチ誤差ΔθＸ」（本件発明１の「Ｙ軸の軸廻りの角度変位」に相当）については、「位置検出器Ｉ」（本件発明１の「第一の測定光学系」に相当）の受光する「０次回折ビーム」に基づいて測定しているものの、「Ｙ軸廻りのヨー誤差ΔθＹ」（本件発明１の「Ｘ軸の軸廻りの角度変位」に相当）については、「位置検出器ＩＩ」（本件発明１の「第二の測定光学系」に相当）の受光する「１次回折ビーム」に基づいて測定しており、同一の測定光学系が測定するものではない点。 ［相違点３］ 本件発明１では、「前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸廻りの角度変位が０の場合に、前記Ｚ軸廻りの角度変位（ロール）を次の数１により算出」しているのに対して、引用発明では、（数１）により算出しているのか否か明らかではない点。 （ロール）＝ｓｉｎ－１｛（θＸ０－θＸ１）÷ｓｉｎ－１（λ÷ｄ）｝・・・・（数１） （２）判断 上記相違点１から３について検討する。 ア　相違点１について 「測定対象からの光を測定用光学系に導く機能を有する光学部材」として、「ハーフミラー」を用いることや、「偏光ビームスプリッタ」を用いることは、いずれも例示するまでもなく周知の事項であるから（本件特許の明細書の段落【００３７】の「上記の様な機能を有すれば上記ハーフミラーに限定されるものではなく、プリズム等を利用したビームスプリッタ等を用いることも可能である。」の記載も参照。）、引用発明において、「偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）」の代わりに「ハーフミラー」を採用することにより、上記相違点１に係る本件発明１のごとく構成することは、当業者が容易に為し得たことである。 イ　相違点２について 引用発明では、「Ｙ軸廻りのヨー誤差ΔθＹ」（本件発明１の「Ｘ軸の軸廻りの角度変位」に相当）について、「位置検出器ＩＩ」の受光する「１次回折ビーム」の「受光位置」の「Ｘ方向」「変位」「ΔｘＩＩ」により、式（３）「ΔθＹ＝ΔｘＩＩ／ＫθＹ」を適用して測定しているが、引用発明では、「位置検出器Ｉ」の受光する「０次回折ビーム」の「受光位置」の「Ｘ方向」「変位」「ΔｘＩ」と、「位置検出器ＩＩ」の受光する「１次回折ビーム」の「受光位置」の「Ｘ方向」「変位」「ΔｘＩＩ」は「等しい」としていることから、上記式（３）において「ΔｘＩＩ」の代わりに「ΔｘＩ」として「ΔθＹ」を算出した場合にも正しい値が得られることは明らかであり、その場合には、「位置検出器Ｉ」の受光する「０次回折ビーム」の「受光位置」の「Ｘ方向」「変位」「ΔｘＩ」により「Ｙ軸廻りのヨー誤差ΔθＹ」を測定したことになる。 そうすると、引用発明において、「Ｘ軸廻りのピッチ誤差ΔθＸ」（本件発明１の「Ｙ軸の軸廻りの角度変位」に相当）及び「Ｙ軸廻りのヨー誤差ΔθＹ」（本件発明１の「Ｘ軸の軸廻りの角度変位」に相当）のいずれについても、「位置検出器Ｉ」（本件発明１の「第一の測定光学系」に相当）の受光する「０次回折ビーム」に基づいて測定するようにして、上記相違点２に係る本件発明１の構成を得ることは、当業者が容易に為し得たことである。 ウ　相違点３について （ア）　引用発明は、「ΔθＺは小さい」としたときに、 式（９）「ΔθＺ＝（ΔｙＩＩ－ΔｙＩ）／ＫθＺ」により「ロール誤差ΔθＺ」を得るものであるが、「１次回折ビームの受光位置」は、角度偏差に応答して、Ｃ１からＤ１まで半径Ｌを有してＣ０のまわりに回転するから（第５１６頁右欄下から８行目から５行目までの記載を参照）、Ｙ方向の変位「ΔｙＩＩ」について、「ΔθＺは小さい」という前提を設けず、Ｃ０Ｃ１＝Ｃ０Ｄ１＝Ｌの関係を考慮すれば、Ｆｉｇ．２に示された幾何学的関係より、 ΔｙＩＩ＝ΔｙＩ＋ＬｓｉｎΔθＺ という関係式が成り立ち、これにより、 ΔθＺ＝ｓｉｎ－１｛（ΔｙＩＩ－ΔｙＩ）／Ｌ｝・・・（ａ） という式から、「ロール誤差ΔθＺ」が算出される。 （イ）　「前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸廻りの角度変位が０の場合」には、引用発明では、ΔｙＩ＝０となり、上記式（ａ）は、 ΔθＺ＝ｓｉｎ－１（ΔｙＩＩ／Ｌ）・・・（ｂ） となる。 （ウ）　本件特許の明細書の段落【００３９】には、「上記図２においては、上記各回折光の結像点における各座標は、上記専用ターゲット１４０を基点とした各回折光の角度線上の位置を角度で表示している。」と記載されており、上記式（ｂ）について、本件特許の明細書の上記記載に沿った形で表現してみると、 ΔθＺ＝ｓｉｎ－１（１次回折光のＹ方向変位を回折角で表現したもの／位置検出器ＩとＩＩの距離を回折角で表現したもの）・・・（ｃ） となる。 （エ）　「１次回折ビーム」の回折角を「φ１ｓｔ」とすると、レンズの公式から、式（１）「Ｌ＝ｆｔａｎφ１ｓｔ」が得られるから（Ｆｉｇ．１も参照）、上記式（ｃ）の右辺の「位置検出器ＩとＩＩの距離を回折角で表現したもの」は、「φ１ｓｔ」であり、式（２）「φ１ｓｔ＝ａｒｃｓｉｎ（λ／ｇ）」から、それは「ａｒｃｓｉｎ（λ／ｇ）」に等しく、本件発明１の「ｓｉｎ－１（λ÷ｄ）」に相当する。 （オ）　上記「（１）対比」のエにおいて検討したように、引用発明の「Ｙ軸」は本件発明１の「Ｘ軸」に相当するから、上記式（ｃ）の右辺の「１次回折光のＹ方向変位を回折角で表現したもの」は、本件発明１の「（θＸ０－θＸ１）」に相当する。 カ　そうすると、上記式（ｃ）は、本件発明１の「（数１）」に相当するから、結局のところ、本件発明１の「（数１）」は、引用発明において、「ロール誤差ΔθＺ」の算出の際、「ΔθＺは小さい」という前提を設けずに幾何学的関係に基づき、回折光の結像点における座標表示を回折光の角度線上の位置に対応する角度で行うことにより得たものに他ならず、上記相違点３に係る本件発明１の構成を得ることは、当業者が容易に為し得たことである。 そして、本件発明１の奏する効果は、引用発明から当業者が予測可能な範囲内のものにすぎず、格別顕著であるということはできない。 したがって、本件発明１は、引用発明に基づいて当業者が容易になし得たものである。 ２　本件発明３について 本件発明３は、「測定対象の３軸廻りの角度変位を測定する方法」の発明であり、本件発明１と発明のカテゴリ上の差異があるにすぎないから、上記１において対比・判断した内容が同様に当てはまる。 そして、本件発明３の奏する効果は、引用発明から当業者が予測可能な範囲内のものにすぎず、格別顕著であるということはできない。 したがって、本件発明３は、引用発明に基づいて当業者が容易になし得たものである。 ３　小括 上記１及び２から、請求項１及び３に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、取り消されるべきものである。 第６　取消理由通知において採用しなかった特許異議申立理由について １　採用しなかった特許異議申立理由の概要 申立人は、本件発明２及び４が、甲第１号証に記載された発明に甲第３号証記載の技術事項、甲第５～７号証に開示された周知技術を採用することにより当業者が容易に発明できたものであるから、請求項２及び４に係る特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである旨主張する。 なお、申立人は、本件発明１及び３が、甲第１号証に記載された発明であるから、請求項１及び３に係る特許は特許法第２９条第１項第３号の規定に違反してされたもの（新規性欠如）である旨主張するが、上記第５において述べたとおり、当審は、請求項１及び３に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたもの（進歩性欠如）であると判断しており、新規性に係る判断も行っているから、上記新規性欠如に係る特許異議申立理由について、ここで改めて言及はしない。 ２　当審の判断 （１）本件発明２について 本件発明２と甲第１号証に記載された引用発明（上記第４の１を参照。）とを、上記第５の「１　本件発明１について」の「（１）対比」において検討した内容も参照しながら対比すると、両者は、上記「（１）対比」において示した一致点で一致し、同じく上記「（１）対比」において示した相違点１、２に加えて以下の相違点３’において相違する。 ［相違点３’］ 本件発明２では、「前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸廻りの角度変位が０以外の場合に、前記Ｚ軸廻りの角度変位（ロール）を次の数２により算出」しているのに対して、引用発明では、（数２）により算出しているのか否か明らかではない点。 （ロール）＝ｔａｎ－１（θＹ０÷θＸ０）－ｔａｎ－１（－ｓ３÷ｇ３）・・・・（数２） 相違点１及び２については、上記第５の「１　本件発明１について」の「（２）判断」の「ア　相違点１について」及び「イ　相違点２について」において述べたとおりであり、以下では、上記相違点３’について検討する。 上記相違点３’に係る本件発明２の（数２）の導出については、本件特許の明細書の段落【００５１】～【００５３】に記載されているところ、その要点は、射出レーザ光の単位ベクトルｅの方向をＺ軸負方向とする、３次元チルトセンサに固定した３次元直交座標系ＸＹＺにおいて、正反射光の単位ベクトルｒ０と回折光の単位ベクトルｒ１を求め、この３つの単位ベクトルｒ０，ｒ１，ｅから、専用ターゲット（回折格子）の姿勢を表す３つの互いに直交する単位ベクトルｎ，ｇ，ｓをそれぞれ計算により求めて、この３つの単位ベクトルｎ，ｇ，ｓによって張られた座標系と、上記３次元チルトセンサに固定した３次元直交座標系ＸＹＺとの間の座標変換式を、いわゆるＺ－Ｙ－Ｚオイラー角φ、θ、ψを用いて行列表現した際、その表現行列（回転行列Ｒ）の第３行第１列成分ｇ３と同行第２列成分ｓ３の比の逆正接によりψを特定すれば、１次回折光の角度変位が求められ（（数２）の右辺第２項）、０次回折光の角度変位（（数２）の右辺第１項）と合算することにより、Ｘ軸及びＹ軸廻りの角度変位（ヨー、ピッチ）が０以外の場合にも、Ｚ軸廻りの角度変位（ロール）が導けるというものである。 この点に関して、申立人より証拠として提出された甲第３号証、甲第５～７号証には、次のとおりの技術事項が記載されていると認められる。 ア　甲第３号証（伊藤昌文外４名「リソグラフィ・マークのレーザー回折光を用いた位置姿勢の検出法」、計測自動制御学会論文集、１９９１年１０月３１日、第２７巻、第１０号、第１１８８～１１９０頁） 「ガラス基板上のアルミ膜に一次元回折格子を形成し、その上に位相型円形回折格子を重ね合わせて形成した基準点用回折格子マークを測定対象物に取り付け、当該マークに平行なレーザビームを照射することにより生じる、円形回折格子による楕円錐状の回折光と、一次元回折格子による三角平面状の回折光をスクリーン上で観察することにより、測定対象物の姿勢を検出する方法において、 センサ座標系をＯｓ－ＸｓＹｓＺｓ、測定対象物の座標系をＯｗ－ＸｗＹｗＺｗとし、スクリーンをＸｓＹｓ平面、照射レーザーの光軸をＺｓ軸、マークを取り付ける対象物面をＸｗＹｗ平面、１次元の回折格子の方向をＸｗ軸、円形回折格子の中心を座標系原点とすると、 センサ座標系Ｏｓ－ＸｓＹｓＺｓに対する対象物面ＸｗＹｗの最大傾斜角α、最大傾斜角方向β、Ｚｗ軸回りの回転角γは、オイラー角に相当し、楕円の回折像の楕円の長径に対する短径の比Ｒを測定することにより、（１）式を用いてαを算出し、楕円の長軸とＸｓ軸とのなす角を測定してβを得て、得られたα、βと直線の回折像の傾きθにより、（２）式を用いてγを算出すること。」 イ　甲第５号証（特開２００５－２１４８６７号公報） 「回転中心要素１を中心に回転する回転体に対して、その回転体と一体に回転するレーザ光源４、５からレーザ光を照射し、回転体からの反射光を、回転体の支持機構に固定された２次元位置検出装置６、７で受光して、それらの受光点の位置情報を検出して、ロール角（ｘ軸回り）、ヨー角（ｚ軸回り）、ピッチ角（ｙ軸回り）の３軸回りの角度で表現される回転体の姿勢角を算出する、姿勢角検出装置において、２次元位置検出装置６、７に係る位置検出３次元座標系で表した単位光線ベクトルｓＰ、ｓＱを、座標変換の変換行列を用いて、支持機構固定座標系で表した単位光線ベクトルＰ、Ｑに変換し、前記単位光線ベクトルＰ、Ｑの各座標軸成分と、ロール角α、ヨー角β、ピッチ角γとの関係式を、３軸回転時の回転行列を用いて導出し、得られた関係式から３軸姿勢角の変位量Δα、Δβ、Δγを求める式を導くこと。」（段落【００１６】～【００２１】、【００２４】～【００６９】、【図１】、【図３】、【図４】） ウ　甲第６号証（特開平５－２４０９４０号公報） 「移動体１のレーザ計測装置３から再帰反射器ＣＣに向けて面ビーム４１、４２を照射し、再帰反射器ＣＣからの反射光をレーザ計測装置３にて受光する光計測システムにより、固定直交座標系Ｏ－ＸＹＺにおける移動体の位置（ＸＰ，ＹＰ，ＺＰ）及び姿勢（Ψ，Θ，Φ）を求める際に、 移動体座標系ｏ－ｘｙｚからみた再帰反射器ＣＣの位置ベクトル＜ｃｉ＞の単位ベクトル＜Ｌｉ＞を、移動体からの観測角θｉ、φｉを求めることにより特定し、 固定直交座標系Ｏ－ＸＹＺからみた移動体座標系ｏ－ｘｙｚの原点ｏの位置ベクトル＜Ｐ＞と、オイラー角で表現した回転行列＜Ｒ＞を用いて、固定直交座標系Ｏ－ＸＹＺと移動体座標系ｏ－ｘｙｚとの座標変換を＜Ｘ＞＝＜Ｒ＞＜ｘ＞＋＜Ｐ＞で表して、 移動体の位置（ＸＰ，ＹＰ，ＺＰ）及び姿勢（Ψ，Θ，Φ）を数値解析の手法により求めること。」 （段落【００１７】～【００３０】、【００３７】、【図１】、【図４】、【図５】、【図７】～【図９】） エ　甲第７号証（特開２０１４－７１８５０号公報） 「ユーザーがＡＲ（拡張現実）の画像を出力するために、ＡＲ時カメラ１０２を用いてマーカを撮影したとき、マーカ座標系で見たカメラの位置座標、伏角及び方位角を求める際に、マーカ座標系とカメラ座標系との座標変換をオイラー角で表現した回転行列を用いて特定し、この回転行列からマーカ座標系で見たカメラの位置座標、伏角及び方位角を算出すること。」 （段落【０１３１】～【０１４３】、【０１９２】～【０２２２】） オ　甲第５～７号証に開示された周知技術 上記イ～エにおいて認定した各技術事項を踏まえると、甲第５～７号証には、以下の周知技術が開示されているといえる。 「対象物上に設定した座標系と固定された座標系との間の座標変換をオイラー角を用いた回転行列で表現し、得られた関係式から対象物の姿勢（角度変位）を算出すること。」 そこで、引用発明に上記甲第３号証記載の技術事項を適用することが当業者にとって容易なものであるか否かについて検討してみると、そもそも引用発明では、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の３軸回りの角度誤差を検出するために、ステージ移動テーブル上に配置された格子反射器に座標系を設定し、ＸＹＺ固定座標系と格子反射器設定座標系との間の座標変換をオイラー角を用いた回転行列で表現しようとしたものではなく、それを示唆するような記載も引用文献１（甲第１号証）には見当たらない。 また、甲第３号証記載の技術事項は、一次元回折格子の上に位相型円形回折格子を重ね合わせて形成した基準点用回折格子マークを測定対象物に取り付け、当該マークに平行なレーザビームを照射することにより生じる、円形回折格子による楕円錐状の回折光と、一次元回折格子による三角平面状の回折光をスクリーン上で観察することにより、測定対象物の姿勢を検出するものであるから、格子間隔ｇの格子反射器からの０次回折ビームと１次回折ビームを２つの位置検出器で受光し、それぞれの受光スポットの変位から、幾何学的関係に基づいて３軸回りの角度誤差を得ようとする引用発明とは、その測定原理が異なるものである。 そうすると、甲第５～７号証に開示された上記周知技術を参照したとしても、引用発明に上記甲第３号証記載の技術事項を適用する契機は見い出せないから、上記相違点３’に係る本件発明２の構成は、引用発明と、甲第３号証記載の技術事項、甲第５～７号証に開示された周知技術とに基づいて、当業者が容易に想到し得たものであるということはできない。 したがって、申立人の上記主張は採用することはできず、本件発明２は、甲第１号証、甲第３号証、甲第５～７号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。 なお、甲第２号証（枝番を含む）及び甲第４号証は、それぞれ甲第１号証及び甲第３号証の公知日を特定するために提出されたものにすぎない。 （２）本件発明４について 本件発明４は、「測定対象の３軸廻りの角度変位を測定する方法」の発明であり、本件発明２と発明のカテゴリ上の差異があるにすぎないから、上記（１）において対比・判断した内容が同様に当てはまる。 したがって、本件発明４は、甲第１号証、甲第３号証、甲第５～７号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。 ３　小括 上記２の（１）及び（２）から、申立人の主張する特許異議申立理由によっては、請求項２及び４に係る特許を取り消すことはできない。 第７　むすび 以上のとおりであるから、請求項１及び３に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、同法第１１３条第２号に該当するから、取り消されるべきものである。 また、請求項２及び４に係る特許については、特許異議申立理由によっては取り消すことはできない。また、他に請求項２及び４に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。