2016-018192

特願２０１２－１７２３７８「基板吸着装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２６年２月２０日出願公開、特開２０１４－３３０５７〕について、次のとおり審決する。

【結　論】 本件審判の請求は、成り立たない。

【理　由】 １　手続の経緯 本願は、平成２４年８月２日の出願であって、その手続の経緯は以下のとおりである。 平成２８年　４月２２日付け：拒絶理由通知書 同　　年　６月１５日　　：意見書、手続補正書の提出 同　　年　９月　５日付け：拒絶査定 同　　年１２月　５日　　：審判請求書と同時に手続補正書の提出 平成３０年　１月２６日付け：当審の拒絶理由通知書 同　　年　３月２３日　　：意見書、手続補正書の提出 同　　年　４月１２日付け：当審の拒絶理由通知書（最後） 同　　年　６月　５日　　：意見書、手続補正書の提出 ２　本願発明 本願の請求項１ないし３に係る発明は、平成３０年６月５日提出の手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし３に記載された事項により特定されるものと認められるところ、その請求項１の記載は以下のとおりのものである。 「【請求項１】 基板が載置される基板載置領域と、該基板載置領域内に形成された開口と、該開口に連通する吸引穴とを有し、該吸引穴を介して真空吸引することにより前記基板載置領域内に前記基板を吸着して固定することができるステージと、 前記開口の近傍から離れて前記開口に対向するように前記吸引穴内に配置された先端部を有し、前記吸引穴内の真空吸引に伴って前記開口から前記先端部に向かって空気が流れるように、前記吸引穴の内周面との間に隙間ができるように配置され、前記基板載置領域内に載置された前記基板が前記開口を覆うように載置されているか否かを検出するために設けられたセンサと、 を備えたことを特徴とする、基板吸着装置。」（以下「本願発明」という） ３　拒絶の理由 当審が通知した拒絶の理由の概要は、以下のとおりである。 （１）平成３０年４月１２日付け拒絶理由通知 本件出願は、発明の詳細な説明の記載が以下の理由で、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしていない。 平成３０年３月２３日付けの手続補正により、請求項１～３に係る発明は、「前記基板載置領域内に載置された前記基板が所定位置に載置されているか否かを検出することができるセンサ」を備えたものとなった。 そして、基板が「所定位置に載置されているか否か」を検出することは、ステージ上の基板吸着位置において、例えば、基板吸着位置を平面座標で表した場合に、基板がどの座標に位置しているかを検出するようなものが含まれると認められる。 しかし、発明の詳細な説明及び図面には、基板の載置されている位置の座標を検出するようなセンサを備えた実施例等は記載されていないため、発明の詳細な説明及び図面を見ても、請求項１～３に係る発明を当業者が実施できるものとは認められない。 （２）平成３０年１月２６日付け拒絶理由通知（理由１） 本件出願の請求項１及び２に係る発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができない。 記 １．特開平４－１１１３３９号公報 ４　当審の判断 （１）特許法第３６条第４項第１号 請求項１の記載は、平成３０年６月５日提出の手続補正書により、「前記基板載置領域内に載置された前記基板が所定位置に載置されているか否かを検出することができるセンサ」が、「前記基板載置領域内に載置された前記基板が前記開口を覆うように載置されているか否かを検出するために設けられたセンサ」へと補正された。 そうすると、基板載置領域内に載置された基板を検出するセンサが、実際に検出する事項が、補正前は基板が「所定位置に載置されているか否か」であったのが、補正後は基板が「開口を覆うように載置されているか否か」となり、基板の位置座標まで検出するのではなく、基板が単に開口を覆っているか否かを検出するものとなり、請求項１ないし３に係る発明は、本件明細書の段落【００２８】－【００２９】及び本件図面の図１ないし３を見た当業者であれば、実施可能なものであると認められる。 よって、本件出願は、上記平成３０年６月５日提出の手続補正書により、発明の詳細な説明の記載が、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たすものとなった。 （２）特許法第２９条第１項第３号 上記（１）のとおり、平成３０年４月１２日付け拒絶の理由は解消したが、次に、先の拒絶理由通知である平成３０年１月２６日付け拒絶の理由の理由１が解消しているか検討する。 ア　引用文献 当審が通知した上記平成３０年１月２６日付け拒絶の理由で引用した特開平４－１１１３３９号公報（以下「引用文献１」という）には、次の事項が記載されている。（下線は理解の便のため、当審で付した） （ア）「以下、本発明の一実施例を第１図ないし第４図によって詳細に説明する。 第１図は本発明に係る半導体ウエハ用ステージの要部を拡大して示す断面図、第２図は本発明に係る半導体ウエハ用ステージの平面図、第３図は本発明の半導体ウエハ用ステージに使用する光反射式距離測定器のセンサーを拡大して示す断面図、第４図は光反射式距離測定器を使用した場合の反射光量とギャップ距離との関係を示すグラフである。これらの図において前記第５図および第６図で説明したものと同一もしくは同等部材については、同一符号を付し詳細な説明は省略する。これらの図において、１１は光反射式距離測定器本体、１２はこの光反射式距離測定器本体のセンサーとしての光ファイバで、この光反射式距離測定器本体１１と光ファイバ１２とによって光反射式距離測定器が構成されている。前記光ファイバ１２はステージ本体３に穿設された貫通孔１３内に装着されている。この貫通孔１３は、ウェハ載置面３ａに開口するようにステージ本体３を上下に貫通して穿設されており、ステージ本体３に多数、ウエハ載置面３ａの全面にわたって設けられている。」（２ページ右上欄１６行－左下欄１７行） （イ）「本実施例ではこの貫通孔１３は真空吸着装置に連通され、貫通孔１３から空気を吸引することによってウエハ１がウエハ載置面３ａに真空吸着されるように構成されている。」（２ページ右下欄３－６行） （ウ）「前記光ファイバ１２は、第３図に示すように、径方向中央部にウエハ１の裏面へ光を照射する発光部１４が設けられると共に、この発光部１４の外側に、前記ウエハ１の裏面で反射した光が入射される受光部１５が設けられている。また、この光ファイバ１２は、先端をウエハ載置面３ａから０．１～０．３μｍ程度離間させて前記貫通孔１３内に装着されており、光反射式距離測定器本体１１に接続されている。」（２ページ右下欄７－１５行） （エ）「前記光反射式距離測定器本体１１は、受光部１５での受光強度（ウェハ１の裏面で反射した光の量）によりウェハ１の裏面から光ファイバ１２の先端までの距離（ギャップ距離）を測定し、」（２ページ右下欄１７－２０行） （オ）「受光部１５に入射される反射光は、第４図に示すように、ギャップ距離に比例してその光量が増大されるため、ウェハ１における光ファイバ１２と対向する部分に歪みが生じていたりしてギャップ距離が長くなれば、前記反射光の光量がその分だけ増大される。光反射式距離測定器本体１１は、この反射光の光量からギャップ距離を測定する構造である。」（３ページ左上欄３－１０行） （カ）上記摘記事項（ア）ないし（オ）を、技術常識を踏まえて整理すると、引用文献１には以下の発明が記載されていると認められる。 「ウエハ載置面３ａと、該ウエハ載置面３ａに開口された貫通孔１３とを有し、該貫通孔から空気を吸引することにより前記ウエハ載置面３ａにウエハ１を真空吸着するステージ本体３と、 ステージ本体３に載置されたウエハ１の裏面で反射した光の量を検出することで、ウエハ１の裏面と光ファイバ１２との間隔を測定するセンサーとしての光ファイバ１２とを備え、 当該光ファイバ１２は、先端を前記ウエハ載置面３ａから０．１～０．３μｍ程度離間させ、貫通孔１３から空気を吸引することによってウエハ１がウエハ載置面３ａに真空吸着されるように前記貫通孔１３内に装着された、 半導体ウエハ用ステージ」（以下「引用発明」という） イ　対比・判断 本願発明と引用発明とを対比する。 （ア）引用発明の「ウエハ載置面３ａ」、「ステージ本体３」、「センサーとしての光ファイバ１２」、「半導体ウエハ用ステージ」は、それぞれ本願発明の「基板が載置される基板載置領域」、「ステージ」、「センサ」、「基板吸着装置」に相当する。 （イ）引用発明の「ウエハ載置面３ａに開口された貫通孔１３」は、本願発明の「基板載置領域内に形成された開口と、該開口に連通する吸引穴」に相当する。 （ウ）引用発明の「該貫通孔から空気を吸引することにより前記ウエハ載置面３ａにウエハ１を真空吸着する」ことは、本願発明の「該吸引穴を介して真空吸引することにより前記基板載置領域内に前記基板を吸着して固定する」ことに相当する。 （エ）引用発明の光ファイバ１２が、「先端を前記ウエハ載置面３ａから０．１～０．３μｍ程度離間させ」たことは、本願発明のセンサが、「前記開口の近傍から離れて前記開口に対向するように前記吸引穴内に配置された先端部を有」することに相当する。ここで、本願発明の開口の「近傍」については、本願発明において「近傍」が含まれる距離範囲が特定されているものでもないから、引用発明の光ファイバ１２の先端が、ウエハ載置面３ａから「０．１～０．３μｍ程度離間」している構成も、本願発明のセンサの先端部が「開口の近傍から離れて」いる構成と実質的に差違はないものと認められる。 （オ）引用発明の光ファイバ１２が、「貫通孔１３から空気を吸引することによってウエハ１がウエハ載置面３ａに真空吸着されるように前記貫通孔１３内に装着され」たことは、光ファイバ１２と貫通孔１３との間に、吸引時に空気が通過する隙間ができるような配置関係があり、貫通孔１３の開口から流れた空気が、光ファイバ１２の先端に向かって流れることは当然認識できるから、本願発明のセンサが、「前記吸引穴内の真空吸引に伴って前記開口から前記先端部に向かって空気が流れるように、前記吸引穴の内周面との間に隙間ができるように配置され」たことに相当する。 （カ）引用発明の光ファイバ１２は、「ステージ本体３に載置されたウエハ１の裏面で反射した光の量を検出する」ように構成され、ウエハ１の裏面での反射光を受光して検出することが前提となっている。そうすると、引用発明の光ファイバ１２は、反射光を受光して検出することで、ウエハ１がステージ本体３の貫通孔１３を覆うように載置されたことを検出していることになる。また、逆に、引用発明の光ファイバ１２は、反射光を受光しない場合は、当然、ウエハ１がステージ本体３の貫通孔１３を覆うようには載置されていないことを検出していることになるものと認められる。 したがって、引用発明の光ファイバ１２によるセンサは、本願発明のセンサと対比して、「基板載置領域内に載置された前記基板が前記開口を覆うように載置されているか否かを検出する」点も相当するものである。 （キ）審判請求人は、平成３０年６月５日提出の意見書において、本願発明のセンサが、「前記基板が前記開口を覆うように載置されているか否かを検出するために設けられたセンサ」であって、引用文献１に記載された光ファイバ１２は「ウエハ１の歪を光反射式距離測定器で高精度に測定するため」に設けられたものであるから、本願発明のセンサとは検出の目的が相違するので、検出に関しては相違する旨主張している。 しかし、本願発明における上記「ために設けられた」という特定事項が、目的を限定しようとする意図があることは理解できるものの、物の発明である本願発明に対して、引用発明も物の発明として捉えると、上記（カ）のとおり、引用発明の光ファイバ１２も、ウエハ載置面３ａに載置されたウエハ１が貫通孔１３を覆うように載置されているか否かを検出できる機能を備えているものであるから、本願発明のセンサが目的を限定しているからといって、物としての機能・構造には実質的な差違は認められない。したがって、上記「ために設けられた」という特定事項が付加されたことにより、本願発明が引用発明と相違するとは言えず、審判請求人の上記主張により両者が異なるものとはいえない。 （ク）そうすると、引用発明は、 「基板が載置される基板載置領域と、該基板載置領域内に形成された開口と、該開口に連通する吸引穴とを有し、該吸引穴を介して真空吸引することにより前記基板載置領域内に前記基板を吸着して固定することができるステージと、 前記開口の近傍から離れて前記開口に対向するように前記吸引穴内に配置された先端部を有し、前記吸引穴内の真空吸引に伴って前記開口から前記先端部に向かって空気が流れるように、前記吸引穴の内周面との間に隙間ができるように配置され、前記基板載置領域内に載置された前記基板が前記開口を覆うように載置されているか否かを検出するために設けられたセンサと、 を備えた基板吸着装置。」 となるものであって、本願発明と一致するものである。 ５　むすび したがって、本願発明は公知の刊行物に記載された引用発明と同一であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができない。 よって、本願のその他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきであるから、結論のとおり審決する。