2016-013901

特願２０１２－　８４７４０「プラズマ処理装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２５年１０月１７日出願公開、特開２０１３－２１４４４５〕について、次のとおり審決する。

【結　論】 本件審判の請求は、成り立たない。

【理　由】 第１　手続の経緯 本願は、平成２４年４月３日の出願であって、平成２７年１２月１７日付けで拒絶理由が通知され、平成２８年２月１５日に意見書が提出されるとともに手続補正がなされたが、同年７月２８日付けで拒絶査定（以下「原査定」という。）がなされ、これに対し、同年９月１６日に拒絶査定不服審判請求がなされるとともに、同時に手続補正がなされたものである。 第２　平成２８年９月１６日になされた手続補正（以下「本件補正」という。）についての補正却下の決定 ［補正却下の決定の結論］ 本件補正を却下する。 ［理由］ １　補正の内容 本件補正は、本件補正前（平成２８年２月１５日になされた手続補正）の特許請求の範囲を、以下のとおりに補正する内容を含むものである（下線は補正箇所を示す。）。 本件補正前の特許請求の範囲の請求項１につき、 「屈曲部もしくは湾曲部を有する被処理面を備えた処理対象にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置であって、 真空状態に減圧可能な処理室にガス供給源から反応ガスが供給される真空チャンバと、 前記処理室内に設けられ、交流電源の給電側に接続される給電側電極棒、および、前記交流電源の接地側に接続される接地側電極棒が対向配置されるとともに、前記交流電源からの電力供給によって両電極棒の周囲にプラズマを発生させる複数のアンテナ体と、 前記処理室内に処理対象を保持する処理対象保持手段と、を備え、 前記複数のアンテナ体の全部もしくは一部は、 当該アンテナ体における前記給電側電極棒の中心軸と前記接地側電極棒の中心軸とを結んで描かれる直線のうち、前記両中心軸に直交する同一平面上に描かれる直線が、隣接するアンテナ体において交差する関係を維持し、 前記給電側電極棒および接地側電極棒は、 当該各電極棒の長手方向に直交する方向に描かれる仮想線であって、前記処理対象保持手段によって保持される処理対象の被処理面に対して一定の離間距離を維持して描かれる仮想線上に配置されており、 前記接地側電極棒の内部には、前記ガス供給源から供給された前記反応ガスが流通するガス供給路が形成されており、該ガス供給路を通過した反応ガスは、該接地側電極棒に形成された噴出孔を介して前記真空チャンバに供給されることを特徴とするプラズマ処理装置。」 とあったものを、 「屈曲部もしくは湾曲部を有する被処理面を備えた処理対象にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置であって、 真空状態に減圧可能な処理室にガス供給源から反応ガスが供給される真空チャンバと、 前記処理室内に設けられ、交流電源の給電側に接続される給電側電極棒、該交流電源の接地側に接続されるとともに該給電側電極棒に対向配置される接地側電極棒、該給電側電極棒および該接地側電極棒の下端同士を通電可能に接続する接続部材を有し、該交流電源からの電力供給によって両電極棒の周囲にプラズマを発生させる複数のアンテナ体と、 前記処理室内に処理対象を保持する処理対象保持手段と、を備え、 前記複数のアンテナ体の全部もしくは一部は、 当該アンテナ体における前記給電側電極棒の中心軸と前記接地側電極棒の中心軸とを結んで描かれる直線のうち、前記両中心軸に直交する同一平面上に描かれる直線が、隣接するアンテナ体において交差する関係を維持し、 前記給電側電極棒および接地側電極棒は、 当該各電極棒の長手方向に直交する方向に描かれる仮想線であって、前記処理対象保持手段によって保持される処理対象の被処理面に対して一定の離間距離を維持して描かれる仮想線上に配置されており、 前記接地側電極棒の内部には、前記ガス供給源から供給された前記反応ガスが流通するガス供給路が形成されており、該ガス供給路を通過した反応ガスは、該接地側電極棒に形成された噴出孔を介して前記真空チャンバに供給されることを特徴とするプラズマ処理装置。」 に補正。 ２　補正の目的 （１）本件補正は、補正前の請求項１において、「アンテナ体」に関して、「交流電源の給電側に接続される給電側電極棒、および、前記交流電源の接地側に接続される接地側電極棒が対向配置される」とあったものを、「交流電源の給電側に接続される給電側電極棒、該交流電源の接地側に接続されるとともに該給電側電極棒に対向配置される接地側電極棒、該給電側電極棒および該接地側電極棒の下端同士を通電可能に接続する接続部材を有し」と補正して、「該給電側電極棒および該接地側電極棒の下端同士を通電可能に接続する接続部材を有」するとの限定を付加するものである。 （２）上記補正について検討する。 上記（１）の補正は限定を付加するものであるから、当該補正は特許法第１７条の２第５項第２号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。 ３　独立特許要件について そこで、本件補正後の請求項１に係る発明（以下「本願補正発明」という。）が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるかどうか（特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項に規定する要件を満たすか否か）について検討する。 （１）本願補正発明の認定 本願補正発明は、上記「１」「（１）」において、本件補正後のものとして記載したとおりのものと認める。 （２）刊行物の記載及び引用発明 ア　原査定における拒絶理由に引用された、本願の出願前に日本国内において頒布された刊行物である、特開２００１－３１０９６０号公報（以下「引用文献１」という。）には、以下の記載がある（下線は当審にて付した。以下同じ。）。 （ア)「【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、プラスチック容器の内面に炭素被覆を形成させるためのプラズマ処理装置及びプラズマを利用したプロセスによる炭素被覆形成プラスチック容器の製造方法に関する。」 （イ）「【００２０】 【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような従来技術の実状に鑑み、装置の簡略化、操作方法の簡略化、作業時間の短縮、より均一な炭素被膜の形成などが可能な、マイクロ波プラズマを利用してプラスチック容器の内面に炭素被膜を形成するプラズマ処理装置、及び内面に炭素被膜を形成したプラスチック容器の製造方法を提供することを目的とする。」 （ウ）「【００８１】（第５の実施形態）図５及び図６は本発明の第５の実施形態に係るプラズマ処理装置を示す概略断面説明図である。本実施形態の装置は、炭素被膜を形成するプラスチック容器であるペットボトル５の内部にペットボトル５の口金部から底面の中心部近傍まで、ほぼボトル内壁面に沿った形で挿入可能な形状、大きさの屈曲式棒状電極２９と、ガス供給手段（図示せず）とガス排気手段（図示せず）を備えた前記ペットボトル５を収納するガス置換容器（図示せず）と、屈曲式棒状電極２９が高圧側、ガス置換容器が接地側となるように屈曲式棒状電極２９とガス置換容器に接続した整合器（図示せず）及び高周波電源（図示せず）とを備えており、かつ屈曲式棒状電極２９とペットボトル５とが該ペットボトル５の中心軸を回転軸として相対的に回転可能に構成されている。なお、ここでは接地側配線をガス置換容器に接続することとしたがこれに限定されるものではなく、プラズマ処理装置の任意の接地されている箇所、例えば装置の骨組み（架台）等としてもよい。 【００８２】ガス置換容器の形状は任意である。個々のプラスチックス容器毎にガス置換容器を構成してもよいし、複数のプラスチックス容器を内包できるものでもよい。 【００８３】屈曲式棒状電極２９は１ケ所以上の屈曲部１０を有しており、ペットボトル５内に挿入した際に、ペットボトル５の内側形状に近い形に屈曲させることができ、先端部はボトル底面に沿って中心部近傍に到達するように設置する。なお、図５に示す装置では屈曲部１０の数を３ヶ所としたが、本発明はこれのみに限定されるものではなく、屈曲式棒状電極２９はペットボトル５内面に可能な限り沿った形状に設定するほうが好ましいので、ペットボトル５の内形状に対応して４ケ所以上の屈曲部１０を設けてもよい。屈曲式棒状電極（高圧側）２９の径はボトル口金径以下とするが、例えば直径１ｍｍ程度と細くし、そこに電界集中し易いようにして、プラズマ生成を容易にすることが有効と考えられる。 【００８４】図５及び図６の装置には屈曲式棒状電極２９が図中の矢印１１のように軸中心方向で回転する機構、ペットボトル５が図中の矢印１２のように軸中心方向で回転する機構、又はこれらの両方の機構（電極とボトルがそれぞれ図中の矢印１３と１２のように回転する）が設けられており、前記屈曲式棒状電極２９とペットボトル５とが該ペットボトル５の中心軸を回転軸として相対的に回転可能に構成されている。 【００８５】プラズマ点火のきっかけとして、ペットボトル５を間に挟んでピン形の接地電極（不図示）を屈曲式棒状電極（高圧側）２９の近傍に設置して、その間で放電開始させることを利用したり、ペットボトル５を間に挟んで屈曲式棒状電極（高圧側）２９の近傍にテスラコイルを設置し、屈曲式棒状電極２９の近傍に発生する電界とテスラコイル近傍に発生する磁場の相互作用によって、局所的にプラズマ点火しやすくするのも効果的である。 【００８６】図５及び図６の装置を用いて炭素被膜形成プラスチック容器を製造する場合の操作方法は次のとおりである。炭素被膜を形成するプラスチック容器であるペットボトル５の内部に該プラスチック容器の口金部から底面の中心部近傍まで、ほぼボトル内壁面に沿った形で屈曲式棒状電極２９を挿入し、ペットボトル５をガス供給手段（図示せず）とガス排気手段（図示せず）を備えたガス置換容器（図示せず）内に収納し、前記屈曲式棒状電極２９と前記ガス置換容器に屈曲式棒状電極が高圧側、ガス置換容器が接地側となるように整合器（図示せず）及び高周波電源（図示せず）を接続する。 【００８７】このように構成した後、ガス置換容器内の大気をパージする。この方法は真空装置にて大気を排気してもよいし、大量の窒素ガス等をブローして大気を押し出してもよい。その後、媒質ガスを供給し、大気圧に維持する。そして、屈曲式棒状電極（高圧側）２９とペットボトル５を相対的に回転させながら高周波電源から整合器を介して屈曲式棒状電極（高圧側）２９に高周波電力を印加し、この電極周囲にプラズマ４を生成させる。このプラズマ４によって媒質ガスが解離し、生成した製膜種がボトル内面に堆積、コーティング膜が形成される。所定の膜厚が形成された後、高周波電力印加の停止、媒質ガス供給の停止、残留ガスのパージ、窒素、希ガス、又は空気等の供給後、容器を開放してボトルを交換し、次のコーティング作業へ移る。 【００８８】（第５の実施形態：応用例１）図７は本発明の第５実施形態に係るプラズマ処理装置を示す概略断面説明図である。本実施形態の装置は、上記第５の実施形態の装置（図５）の第１の応用例にあたり、図５の実施形態において屈曲式棒状電極（高圧側）２９を複数設ける態様である。ここでは３本の屈曲式棒状電極を一つにまとめた形の開閉式棒状電極１５を使用する。この開閉式棒状電極１５は、ペットボトル５内部に挿入する時には屈曲部１０を伸ばして直線状にしておき、挿入後、広げることによってペットボトル５の内側形状に近い形として使用する。この場合もペットボトル５や開閉式棒状電極１５を回転させて使用するが、屈曲式棒状電極の数が多い場合には回転させなくてもよい。・・・ 【００９７】（第６の実施形態）図６は本発明に係るプラズマ処理装置の第６の実施態様を示す概略断面説明図である。図６の装置は、炭素被膜を形成するプラスチック容器であるペットボトル５の内部にペットボトル５の口金部から底面の中心部近傍まで、ほぼボトル内壁面に沿った形で挿入可能な形状、大きさの高圧側の屈曲式棒状電極２９と接地側の屈曲式棒状電極１４とを組み合わせた一対の屈曲式棒状電極と、ガス供給手段（図示せず）とガス排気手段（図示せず）を備えたペットボトル５を収納するガス置換容器（図示せず）と、前記一対の屈曲式棒状電極の一方が高圧側、他方が接地側となるように屈曲式棒状電極に接続した整合器２及び高周波電源１とを備え、かつ前記一対の屈曲式棒状電極とペットボトル５とがペットボトル５の中心軸を回転軸として相対的に回転可能に構成されている。 【００９８】この装置は、ペットボトル５内に屈曲部１０を有する屈曲式棒状電極（高圧側）２９と、同様の屈曲式棒状電極（接地側）１４を組合せて挿入し、ガス圧力を大気圧とした状態でプラズマ４を生成させ、ボトル内面にコーティングする方法である。但し、両電極の長さ方向にわたってそれらの間隔は均等に保つことを原則とする。ガス置換容器の形状は任意である。個々のプラスチックス容器毎にガス置換容器を構成してもよいし、複数のプラスチックス容器を内包できるものでもよい。図６では、屈曲部１０の数をそれぞれの屈曲式棒状電極に３ヶ所ずつとしたが、これに限るものではなく、屈曲式棒状電極２９、１４はペットボトル５内面になるべく沿った形に設定する方が好ましいので、ペットボトル５の内形状に対応して４ケ所以上の屈曲部１０を設けてもよい。組み合わせた屈曲式棒状電極の間隔はボトル口金径以下とし各電極の径は前記第５の実施態様に示したように、例えば直径１ｍｍ程度と細くし、間隔も１ｍｍ程度と狭くした方がプラズマ生成を容易にするのに有効である。 【００９９】図６の装置を用いて炭素被膜形成プラスチック容器を製造する場合の操作方法は次のとおりである。炭素被膜を形成するプラスチック容器であるペットボトル５の内部に該プラスチック容器の口金部から底面の中心部近傍まで、ほぼボトル内壁面に沿った形で屈曲式棒状電極（高圧側）２９と屈曲式棒状電極（接地側）１４を組み合わせた一対又は複数対の屈曲式棒状電極を挿入し、ペットボトル５をガス供給手段（図示せず）とガス排気手段（図示せず）を備えたガス置換容器（図示せず）内に収納し、屈曲式棒状電極（高圧側）２９と屈曲式棒状電極（接地側）１４に整合器２及び高周波電源１を接続する。このように構成した後は、上記第５の実施形態と同様に操作する。本実施形態の場合は、高周波電源１から整合器２を介して、屈曲式棒状電極（高圧側）２９に高周波電力を印加すると、この電極と屈曲式棒状電極（接地側）１４との間にプラズマ４が生成する。その後の操作方法は第５の実施形態の場合と同様である。」 （エ）図５及び６は次のものである。 （オ）上記（ア）ないし（ウ）の記載を踏まえて、上記（エ）の図６を見ると、ペットボトル５内に設けられ、高周波電源１の高圧側に接続される屈曲式棒状電極（高圧側）２９、該高周波電源１の接地側に接続されるとともに該屈曲式棒状電極（高圧側）２９にペットボトル５の周方向に並んで対向配置される屈曲式棒状電極（接地側）１４を有する一対の屈曲式棒状電極を有することが見てとれる。 （カ）引用発明 上記（ア）ないし（オ）によれば、引用文献には、次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。 「炭素被膜を形成するプラスチック容器であるペットボトル５の内部にペットボトル５の口金部から底面の中心部近傍まで、ほぼボトル内壁面に沿った形で挿入可能な形状、大きさの高圧側の屈曲式棒状電極２９と接地側の屈曲式棒状電極１４とを組み合わせた一対の屈曲式棒状電極を多数と、ガス供給手段とガス排気手段を備えたペットボトル５を収納するガス置換容器と、前記高圧側の屈曲式棒状電極２９と接地側の屈曲式棒状電極１４に接続した整合器２及び高周波電源１とを備えているプラスチック容器の内面に炭素被膜を形成するプラズマ処理装置であって、 前記接地側の屈曲式棒状電極１４は、前記高圧側の屈曲式棒状電極２９にペットボトル５の周方向に並んで対向配置され、 真空装置にて大気を排気してガス置換容器内の大気をパージし、 前記高周波電源１から整合器２を介して、高圧側の屈曲式棒状電極２９に高周波電力を印加すると、この電極と接地側の屈曲式棒状電極１４との間にプラズマ４が生成する、 プラスチック容器の内面に炭素被膜を形成するプラズマ処理装置。」 イ　同じく、原査定における拒絶理由に引用された、本願の出願前に日本国内において頒布された刊行物である、特開２００８－１０６３６２号公報（以下「引用文献２」という。）には、以下の記載がある）。 （ア）「【発明を実施するための最良の形態】 【００２３】 この発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。 図１は、この発明による薄膜形成装置の一実施の形態を示す模式的正面図、図２はその側面図である。この薄膜形成装置１は、アンテナ式の誘導結合型プラズマＣＶＤ装置であり、しかも、例えば電力用太陽電池に充分対応可能な大型（大面積）の基板に成膜可能な比較的大型のもので、成膜室１０と、成膜室１０内に設置されたアレイアンテナ２０と、成膜用の基板４０を保持する基板ホルダ５０とを備えている。 【００２４】 成膜室１０は、例えば１ｍ角超級の大型の基板４０に成膜するために必要な高さと幅とを有するとともに、このような基板を一度に複数枚（図示の例では６枚）同時に成膜できるように、必要な奥行きを有する空間サイズに構成されている。 【００２５】 成膜室１０内には、複数組のアレイアンテナ２０（図示の例では３組のアレイアンテナ２０ａ、２０ｂ、２０ｃ）が設置され、各アレイアンテナ２０は、複数個（図示の例では６個）のアンテナ素子３０で構成される。 【００２６】 図３に示すように、各アンテナ素子３０は、平行な２本の直線状導体３１、３５の隣接する一端（例えば下端）どうしを結合部材３８によって電気的に結合することで、ほぼＵ字形をなす往復平行線路状に形成されたものであり、一方の直線状導体３１の他端（すなわち上端）を高周波電力供給部とし、他方の直線状導体３５の他端（すなわち上端）を接地部とするものである。 【００２７】 直線状導体３１には、中実のロッドが用いられ、その上端は例えばＡｌ２Ｏ３等の誘電体製のフィードスルー３２を介して成膜室１０を貫通し、成膜室１０の外方に設置された高周波電源１１に接続される。また、成膜室１０内における直線状導体３１の周囲には、例えばＡｌ２Ｏ３等の筒状の誘電体パイプ３３が設けられ、この誘電体パイプ３３の肉厚は、必要に応じて適宜設定されるものである。 【００２８】 一方、直線状導体３５には、周面に多数の孔３６があいた中空のパイプが用いられ、その上端は成膜室１０の枠体を介して接地されるとともに、成膜室１０の外方に設置された原料ガス供給源１２に連結される。そのため、各アンテナ素子３０の中空パイプ状の直線状導体３５の上端接地部が、成膜室１０の原料ガス導入口として構成されている。 【００２９】 このようなアンテナ素子３０を複数個（図示の例では６個）用いて、これらのアンテナ素子３０、３０、…の各高周波電力供給部と各接地部とが交互に並ぶようにして直線状導体３１と直線状導体３５を交互に並べるとともに、全個数（６個）のアンテナ素子３０、３０、…のすべての直線状導体３１、３５を同一平面（アレイ平面）上に等間隔で配置することで、アレイアンテナ２０を構成する。そして、このようなアレイアンテナ２０（図示の例では３組のアレイアンテナ２０ａ、２０ｂ、２０ｃ）が、互いに所定の間隔を隔てて平行になるようにして、成膜室１０内に設置されている。そのため、各アレイアンテナ２０のアレイ平面は、成膜室１０内で互いに所定の間隔を隔てて平行に位置している。」 （イ）上記（ア）で言及される図３は次のものである。 （ウ）上記（ア）及び（イ）によれば、引用文献２には次の事項（以下「引用文献２に記載の事項」という。）が記載されていると認められる。 「アンテナ式の誘導結合型プラズマＣＶＤ装置において、各アンテナ素子３０は、平行な２本の直線状導体３１、３５の隣接する一端（下端）どうしを結合部材３８によって電気的に結合することで、ほぼＵ字形をなす往復平行線路状に形成されたものであり、一方の直線状導体３１の他端を高周波電力供給部とし、他方の直線状導体３５の他端を接地部とするものであって、 前記直線状導体３５には、周面に多数の孔３６があいた中空のパイプが用いられ、その上端は成膜室１０の枠体を介して接地されるとともに、成膜室１０の外方に設置された原料ガス供給源１２に連結され、各アンテナ素子３０の中空パイプ状の直線状導体３５の上端接地部が、成膜室１０の原料ガス導入口として構成されることで、アレイアンテナ２０を構成する点。」 （３）対比・判断 ア　対比 本願補正発明と引用発明を対比する。 （ア）引用発明の「プラスチック容器であるペットボトル５」は、「プラスチック容器の内面に炭素被膜を形成する」ものであるから、本願補正発明の、「屈曲部もしくは湾曲部を有する被処理面を備えた処理対象」に相当する。 （イ）引用発明の「ガス置換容器」は、「ガス供給手段とガス排気手段を備えたペットボトル５を収納する」ものであって「真空装置にて大気を排気してガス置換容器内の大気をパージ」するから、本願補正発明の、「真空状態に減圧可能な処理室にガス供給源から反応ガスが供給され」、「前記処理室内に処理対象を保持する処理対象保持手段と、を備え」る「真空チャンバ」に相当する。 （ウ）引用発明の「一対の屈曲式棒状電極」は、「高圧側の屈曲式棒状電極２９と接地側の屈曲式棒状電極１４とを組み合わせた」ものであって、「前記接地側の屈曲式棒状電極１４は、前記高圧側の屈曲式棒状電極２９にペットボトル５の周方向に並んで対向配置され、前記高周波電源１から整合器２を介して、高圧側の屈曲式棒状電極２９に高周波電力を印加すると、この電極と接地側の屈曲式棒状電極１４との間にプラズマ４が生成する」ものであるから、本願補正発明の「前記処理室内に設けられ、交流電源の給電側に接続される給電側電極棒、該交流電源の接地側に接続されるとともに該給電側電極棒に対向配置される接地側電極棒、該給電側電極棒および該接地側電極棒の下端同士を通電可能に接続する接続部材を有し、該交流電源からの電力供給によって両電極棒の周囲にプラズマを発生させる複数のアンテナ体」と、「前記処理室内に設けられ、交流電源の給電側に接続される給電側電極棒、該交流電源の接地側に接続されるとともに該給電側電極棒に対向配置される接地側電極棒を有し、該交流電源からの電力供給によって両電極棒の周囲にプラズマを発生させる複数のアンテナ体」である点で一致する。 （エ）引用発明の「プラズマ処理装置」は、「プラズマ４が生成する」ことで「プラスチック容器の内面に炭素被膜を形成するプラズマ処理装置」であるから、本願補正発明の、「被処理面を備えた処理対象にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置」に相当する。 （オ）以上（ア）ないし（エ）での検討によれば、本願補正発明と引用発明は、 「屈曲部もしくは湾曲部を有する被処理面を備えた処理対象にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置であって、 真空状態に減圧可能な処理室にガス供給源から反応ガスが供給される真空チャンバと、 前記処理室内に設けられ、交流電源の給電側に接続される給電側電極棒、該交流電源の接地側に接続されるとともに該給電側電極棒に対向配置される接地側電極棒を有し、該交流電源からの電力供給によって両電極棒の周囲にプラズマを発生させる複数のアンテナ体と、 前記処理室内に処理対象を保持する処理対象保持手段と、を備えるプラズマ処理装置。」 である点で一致し、下記各点で相違する。 ａ　本願補正発明の「アンテナ体」は、「該給電側電極棒および該接地側電極棒の下端同士を通電可能に接続する接続部材を有するのに対して、引用発明の「一対の屈曲式棒状電極」は、屈曲式棒状電極（高圧側）２９及び屈曲式棒状電極（接地側）１４の下端同士を通電可能に接続する接続部材を有するとは特定されない点（以下「相違点１」という。）。 ｂ　本願補正発明の「アンテナ体」は、「全部もしくは一部は、当該アンテナ体における前記給電側電極棒の中心軸と前記接地側電極棒の中心軸とを結んで描かれる直線のうち、前記両中心軸に直交する同一平面上に描かれる直線が、隣接するアンテナ体において交差する関係を維持し、前記給電側電極棒および接地側電極棒は、当該各電極棒の長手方向に直交する方向に描かれる仮想線であって、前記処理対象保持手段によって保持される処理対象の被処理面に対して一定の離間距離を維持して描かれる仮想線上に配置されて」いるのに対して、引用発明の「多数」の「一対の屈曲式棒状電極」は、「ペットボトル５の内部にペットボトル５の口金部から底面の中心部近傍まで、ほぼボトル内壁面に沿った形で挿入可能な形状、大きさの高圧側の屈曲式棒状電極２９と接地側の屈曲式棒状電極１４とを組み合わせた一対の屈曲式棒状電極」と特定されるにとどまる点（以下「相違点２」という。）。 ｃ　本願補正発明の「接地側電極棒」は、「内部には、前記ガス供給源から供給された前記反応ガスが流通するガス供給路が形成されており、該ガス供給路を通過した反応ガスは、該接地側電極棒に形成された噴出孔を介して前記真空チャンバに供給される」のに対して、引用発明の「接地側の屈曲式棒状電極１４」は、このように特定されない点（以下「相違点３」という。）。 イ　判断 （ア）相違点１及び３について検討する。 引用文献２に記載の事項の「直線状導体３１」、「直線状導体３５」、「結合部材」及び「直線状導体３５」に形成された「多数の孔３６」は、本願補正発明における「給電側電極棒」、「接地側電極棒」、「接続部材」及び「噴出孔」にそれぞれ相当することから、「引用文献２に記載の事項」は、上記相違点１及び３に係る本願補正発明の構成を備えるといえるところ、引用発明と引用文献２に記載の事項は、プラズマ処理装置という同じ技術分野に属しており、かつ、給電側電極棒と接地側電極棒とからなるアンテナ体を複数有している点においても共通するから、引用発明に引用文献２に記載の事項を採用し、上記相違点１及び３に係る本願補正発明の構成となすことは当業者が容易に想到し得ることである。 （イ）相違点２について検討する。 ａ 引用発明に係り、引用文献１に、「本発明はこのような従来技術の実状に鑑み、・・・より均一な炭素被膜の形成・・・が可能な、マイクロ波プラズマを利用してプラスチック容器の内面に炭素被膜を形成するプラズマ処理装置、及び内面に炭素被膜を形成したプラスチック容器の製造方法を提供することを目的とする。」（上記「（２）」「ア」「（イ）」）と記載されているから、引用発明は、均一な成膜を目的とするものである。 ｂ　そうすると、引用発明において発明を実施するに際して「多数」の「一対の屈曲式棒状電極」をペットボトルに挿入する場合は、均一な成膜となすために、すべての「一対の屈曲式棒状電極」がペットボトルの形状に合わせてペットボトルの内面から等距離となるように配置することは、当業者が容易になし得ることである。 そして、一般にペットボトルが円筒状、角筒状であることを考慮すれば、上記ペットボトルに、すべての「一対の屈曲式棒状電極」がペットボトルの形状に合わせてペットボトルの内面から等距離となるように配置した構成では、上記相違点２に係る本願補正発明の構成と同一の構成となることは明らかである。 （４）まとめ したがって、本願補正発明は、引用発明及び引用文献２に記載の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。 ４　補正却下の決定についてのむすび 上記３の検討によれば、本件補正は、特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に違反するものであるから、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 第３　本願発明について １　本願発明 上記のとおり、本件補正は却下されたので、本願の特許請求の範囲の請求項に係る発明は、平成２８年２月１５日に補正された特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりのものであるところ、その請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、上記「第２」［理由］「１　補正の内容」において、本件補正前のものとして示したとおりのものである。 ２　刊行物の記載及び引用発明 上記「第２」［理由］「３　独立特許要件について」「（２）」「ア」のとおりである。 ３　対比・判断 本願発明について 上記「第２」［理由］「２　補正の目的」のとおり、本件補正は、補正前の請求項１において、「アンテナ体」に関して、「交流電源の給電側に接続される給電側電極棒、および、前記交流電源の接地側に接続される接地側電極棒が対向配置される」とあったものを、「交流電源の給電側に接続される給電側電極棒、該交流電源の接地側に接続されるとともに該給電側電極棒に対向配置される接地側電極棒、該給電側電極棒および該接地側電極棒の下端同士を通電可能に接続する接続部材を有し」と補正して、「該給電側電極棒および該接地側電極棒の下端同士を通電可能に接続する接続部材を有」するとの限定を付加するものである。 したがって、本願発明は、上記「第２」［理由］「３　独立特許要件について」で検討した本願補正発明を特定するための事項である「アンテナ体」に関しての「該給電側電極棒および該接地側電極棒の下端同士を通電可能に接続する接続部材を有」するとの限定を省いたものである。 これに対して、上記「第２]［理由］「３」「（３）」「イ」で検討したとおり、上記限定を含む本願補正発明は、引用発明及び引用文献２に記載の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである以上、上記限定を省いたものである本願発明は、上記「第２」［理由］「３」での検討と同様の理由により、引用発明及び引用文献２に記載の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができるものである。 ４　むすび 以上のとおり、本願発明は、引用発明及び引用文献２に記載の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものであるから、本願は拒絶されるべきものである。 よって、結論のとおり審決する。