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特許拒絶査定不服審判

2024-017406

照射されたエッチング剤を使用した材料の粗さ低減方法

審判番号
2024-017406
法域
特許
審判種別
拒絶査定不服審判(拒絶査定不服の審決)
出願番号
特願2021-533450
請求日
2024年10月31日
審決日
2025年11月26日
公報発行日
2025年12月26日
結論
原査定取消(特許/登録すべき)
当事者
  • 【請求人】東京エレクトロン株式会社
  • 【請求人代理人】弁理士法人ITOH
  • 【請求人】トーキョー エレクトロン ユーエス ホールディングス,インコーポレーテッド
  • 【請求人代理人】弁理士法人ITOH
審判長/審判官
  • 審判長 小宮 慎司
  • 審判官 今井 聖和
  • 審判官 棚田 一也
分類
P18 .537-WYF(H01L) / P18 .121-WYF(H01L)
データ出所
審決公報(XML)

事件の表示

特願2021-533450「照射されたエッチング剤を使用した材料の粗さ低減方法」拒絶査定不服審判事件〔令和 2年 6月18日国際公開、WO2020/123510、令和 4年 2月18日国内公表、特表2022-515349、請求項の数(19)〕について、次のとおり審決する。

結論

結 論 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。

理由

理 由 本願は、2019年(令和1年)12月10日(パリ条約による優先権主張 外国庁受理 2018年12月14日 米国(US)、2019年2月27日 米国(US))を国際出願日とする出願であって、その請求項1~19に係る発明は、令和7年10月14日提出の手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項1~19に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。 そして、本願については、原査定及び当審の拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。 また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり審決する。

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2024-017406

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