2024-015342

特願２０２２－５５１１５３「半導体装置の製造方法、異常予兆検知方法、異常予兆検知プログラム、及び基板処理装置」拒絶査定不服審判事件〔令和 ４年 ３月３１日国際公開、ＷＯ２０２２／０６４８１４、請求項の数（２０）〕について、次のとおり審決する。

結 論 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。

理 由 第１ 手続の経緯 本願は、２０２１年（令和３年）７月１２日（優先権主張 ２０２０年（令和２年）９月２３日）を国際出願日とする出願であって、その手続の経緯は以下のとおりである。 令和５年１２月２５日付け 拒絶理由通知書 令和６年 ３月 ５日 意見書及び手続補正書の提出 同年 ６月２８日付け 拒絶査定 同年 ９月２５日 審判請求書、手続補正書の提出 第２ 令和６年９月２５日にされた手続補正についての補正の却下の決定 ［補正の却下の決定の結論］ 令和６年９月２５日にされた手続補正（以下「本件補正」という。）を却下する。 ［理由］ １ 本件補正の内容 本件補正は、本件補正前の特許請求の範囲の請求項１についての補正を含むものであり、本件補正前の特許請求の範囲の請求項１の記載及び本件補正後の特許請求の範囲の請求項１の記載は、以下のとおりである。 （１） 本件補正前の特許請求の範囲の請求項１に記載された発明 「 【請求項１】 複数のステップを含むプロセスレシピを実行させて、基板を処理する半導体装置の製造方法であって、 前記プロセスレシピを実行しつつ、前記基板を処理する処理室の雰囲気を排気する部材の振動データを真空引きイベント開始時に振動センサから取得する振動データ取得工程と、 取得した前記振動データに基づいて、前記部材の回転周波数における振動の大きさと、前記回転周波数の整数倍の対比周波数における振動の大きさとの比が、予め設定された異常予兆閾値を超える場合に、異常予兆有と検知する異常予兆検知工程と、 を有する半導体装置の製造方法。」 （２） 本件補正後の特許請求の範囲の請求項１に記載された発明 「 【請求項１】 基板を処理室内へ搬入する基板搬入ステップ、前記処理室で前記基板に成膜する成膜ステップ、及び前記基板を前記処理室外へ搬出する基板搬出ステップを含むプロセスレシピを実行させて、前記基板を処理する半導体装置の製造方法であって、 前記基板を搬送する搬送部材、前記基板を回転させる回転部材を含む、装置を構成する構成部材のうち少なくとも一つの部材の振動データを振動センサから取得する振動データ取得工程と、 取得した前記振動データに基づいて、異常予兆有を検知する異常予兆検知工程と、を有し、 前記振動データ取得工程では、前記基板搬入ステップおよび前記基板搬出ステップにおいて、前記搬送部材の振動データを取得し、前記成膜ステップにおいて、前記回転部材の振動データを取得する半導体装置の製造方法。」 なお、下線は、本件補正によって変更された箇所に対して当審にて付した。 ２ 本件補正の適否 （１） 補正事項について 本件補正は、少なくとも以下の補正事項を含んでいる。 ア 請求項１の「振動データ取得工程」において、取得する「振動データ」から「前記基板を処理する処理室の雰囲気を排気する部材の振動データ」を削除する補正、「真空引きイベント開始時に」振動データを取得するとの発明特定事項を削除する補正（以下、「補正事項１」という。） イ 請求項１の「異常予兆検知工程」において、「前記部材の回転周波数における振動の大きさと、前記回転周波数の整数倍の対比周波数における振動の大きさとの比が、予め設定された異常予兆閾値を超える場合に、」異常予兆有と検知するとの発明特定事項を削除する補正（以下、「補正事項２」という。） （２） 補正の目的について ア 本件補正前の請求項１には、「前記基板を処理する処理室の雰囲気を排気する部材の振動データ」及び「真空引きイベント開始時に」との発明特定事項があり、本件補正前の請求項１に係る発明の「振動データ取得工程」は、当該発明特定事項を備えていた。 しかしながら、補正事項１によって、当該発明特定事項が削除されたため、本件補正後の請求項１に係る発明の「振動データ取得工程」は、「前記基板を処理する処理室の雰囲気を排気する部材の振動データ」を取得することと、「真空引きイベント開始時に」振動データを取得することに限定されなくなった。 そうすると、補正事項１は、発明特定事項を限定するものではないから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものとはいえない。 また、補正事項１は、明瞭でない記載の釈明、請求項の削除、誤記の訂正を目的とするものでもないことは明らかである。 イ 本件補正前の請求項１には、「前記部材の回転周波数における振動の大きさと、前記回転周波数の整数倍の対比周波数における振動の大きさとの比が、予め設定された異常予兆閾値を超える場合に、」との発明特定事項があり、本件補正前の請求項１に係る発明の「異常予兆検知工程」は、当該発明特定事項を備えていた。 しかしながら、補正事項２によって、当該発明特定事項が削除されたため、本件補正後の請求項１に係る発明の「異常予兆検知工程」は、「前記部材の回転周波数における振動の大きさと、前記回転周波数の整数倍の対比周波数における振動の大きさとの比が、予め設定された異常予兆閾値を超える場合に、」異常予兆有と検知することに限定されなくなった。 そうすると、補正事項２は、明瞭でない記載の釈明、請求項の削除、誤記の訂正を目的とするものでもないことは明らかである。 ウ したがって、本件補正は、特許法第１７条の２第５項各号に掲げるいずれの目的にも該当しない。 ３ 本件補正についてのむすび 以上によれば、本件補正は、特許法第１７条の２第５項の規定に違反するから、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法５３条第１項の規定により却下すべきものである。 よって、上記補正の却下の決定の結論のとおり決定する。 第３ 本願発明について 本件補正は、上記第２のとおり却下されたので、本願の請求項１～２０に係る発明は、令和６年３月５日提出の手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１～２０に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。 そして、本願については、原査定の拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。 また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり審決する。