2023-000280

特願２０２１－５０９０８９「基板処理装置、半導体装置の製造方法、基板支持具、およびその処理方法」拒絶査定不服審判事件〔令和 ２年１０月 １日国際公開、ＷＯ２０２０／１９６０２５、請求項の数（１４）〕について、次のとおり審決する。

結 論 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。

理 由 本願は、２０２０年（令和２年）３月１６日（優先権主張 平成３１年３月２２日）を国際出願日とする出願であって、その請求項１～１４に係る発明は、令和５年９月２１日提出の手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１～１４に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。 そして、本願については、原査定の拒絶理由及び当審において通知した拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。 また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり審決する。