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特許拒絶査定不服審判

2024-011385

分割ビームのレーザスクライビングプロセスとプラズマエッチングプロセスとを使用する、ハイブリッドなウエハダイシングの手法

審判番号
2024-011385
法域
特許
審判種別
拒絶査定不服審判(拒絶査定不服の審決)
出願番号
特願2022-155709
請求日
2024年07月10日
審決日
2025年09月03日
公報発行日
2026年02月27日
結論
請求不成立
当事者
  • 【請求人】アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
  • 【請求人代理人】園田・小林弁理士法人
審判長/審判官
  • 審判長 松永 稔
  • 審判官 打出 義尚
  • 審判官 棚田 一也
分類
P18 .55 -WZF(H01L) / P18 .537-WZF(H01L)
データ出所
審決公報(XML)

事件の表示

特願2022-155709「分割ビームのレーザスクライビングプロセスとプラズマエッチングプロセスとを使用する、ハイブリッドなウエハダイシングの手法」拒絶査定不服審判事件〔令和 4年12月27日出願公開、特開2022-191302〕について、次のとおり審決する。

結論

結 論 本件審判の請求は、成り立たない。

理由

理 由 本願は、令和4年9月29日の出願であって、その請求項1~8に係る発明は、令和6年7月10日提出の手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項1~8に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。 これに対して、令和7年4月14日付けで拒絶理由を通知し、期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、請求人からは何らの応答もない。 そして、上記の拒絶理由は妥当なものと認められるので、本願は、この拒絶理由によって拒絶すべきものである。 よって、結論のとおり審決する。

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2024-011385

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