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特許拒絶査定不服審判

2023-004514

EUV用ペリクルフレームの通気構造、EUV用ペリクル、EUV用ペリクル付露光原版、露光方法及び半導体の製造方法

審判番号
2023-004514
法域
特許
審判種別
拒絶査定不服審判(拒絶査定不服の審決)
出願番号
特願2021-016290外部サイト(J-PlatPat)へ移動します
請求日
2023年03月16日
審決日
2024年02月19日
公報発行日
2024年03月29日
結論
原査定取消(特許/登録すべき)
当事者
審判長/審判官
分類
P18 .121-WYF(G03F) / P18 .55 -WYF(G03F)
データ出所
審決公報(XML)

事件の表示

特願2021- 16290「EUV用ペリクルフレームの通気構造、EUV用ペリクル、EUV用ペリクル付露光原版、露光方法及び半導体の製造方法」拒絶査定不服審判事件〔令和 3年 5月13日出願公開、特開2021- 73536、請求項の数(7)〕について、次のとおり審決する。

結論

結 論 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。

理由

理 由 本願は、令和3年2月4日(遡及出願平成29年10月10日)の出願であって、その請求項1~7に係る発明は、令和5年3月16日に提出された手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項1~7に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。 そして、本願については、原査定の拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。 また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり審決する。

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2023-004514

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