2023-002468

特願２０１９－５４０４１３「基板搬送装置の位置補償のための方法および装置」拒絶査定不服審判事件〔平成３０年 ８月 ２日国際公開、ＷＯ２０１８／１４０７６９、令和 ２年 ２月２０日国内公表、特表２０２０－５０５７７５〕について、次のとおり審決する。

結 論 本件審判の請求は、成り立たない。

理 由 第１ 手続の経緯 本願は、２０１８年（平成３０年） １月２６日（パリ条約による優先権主張 外国庁受理 ２０１７年 １月２６日 （ＵＳ）アメリカ合衆国、２０１８年 １月２５日 （ＵＳ）アメリカ合衆国）を国際出願日とする出願であって、その手続の経緯の概略は以下のとおりである。 令和 ３年１２月１７日付け：拒絶理由通知 令和 ４年 ６月２１日 ：意見書、手続補正書の提出 令和 ４年１０月 ３日付け：拒絶査定 令和 ５年 ２月１３日 ：審判請求書、手続補正書の提出 第２ 令和５年２月１３日にされた手続補正についての補正の却下の決定 ［補正の却下の決定の結論］ 令和５年２月１３日にされた手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。 ［理由］ １ 本件補正の概要 （１）本件補正後の特許請求の範囲の記載 本件補正により、特許請求の範囲の記載は、次のとおり補正された（当審注：下線部は補正箇所である。）。 「【請求項１】 基板搬送装置であって、 フレームと、 前記フレームに接続される駆動部と、 前記駆動部に動作可能に接続される搬送アームであって、前記搬送アームは、関節式であり、基板保持部を備えるエンドエフェクタを有し、前記フレームに対する少なくとも１つの運動軸に沿った前記搬送アームの関節運動により画定される搬送スペース内において、第１位置と、前記第１位置と異なる第２位置との間で、前記フレームに対し移動可能である、搬送アームと、 前記搬送アームの関節運動をもたらすように前記駆動部に動作可能に接続される制御装置であって、前記制御装置は、前記第１位置と前記第２位置との間の搬送アーム垂下による前記搬送アームのパラメータ化されていない経験的アーム垂下距離を解決するように構成されるアーム垂下補償装置を備える、制御装置と を備える基板搬送装置。 【請求項２】 前記制御装置は、前記駆動部を用いて、前記搬送アームの前記パラメータ化されていない経験的アーム垂下距離の略全体を補償および解決する大きさおよび方向の前記搬送アームの補償運動をもたらす、請求項１記載の基板搬送装置。 【請求項３】 前記アーム垂下補償装置は、アーム垂下距離レジスタを有し、前記アーム垂下補償装置は、前記アーム垂下距離レジスタから、前記第１位置と前記第２位置との間の前記搬送アームの前記パラメータ化されていない経験的アーム垂下距離を判定する、請求項１記載の基板搬送装置。 【請求項４】 前記制御装置は、前記駆動部を用いて、前記アーム垂下距離レジスタから判定される前記搬送アームの前記パラメータ化されていない経験的アーム垂下距離の略全体を補償および解決する大きさおよび方向の前記搬送アームの補償運動をもたらす、請求項３記載の基板搬送装置。 【請求項５】 前記補償運動は、前記搬送スペース内の所定の場所にある前記基板保持部が、アーム垂下が顕在化される方向で、前記搬送アーム垂下と無関係であるネットポジションにあるように、所定の参照基準に対する前記搬送アームの前記パラメータ化されていない経験的アーム垂下距離の略全体の相殺を引き起こす、請求項４記載の基板搬送装置。 【請求項６】 前記所定の場所は、基板処理ツール内の基板送り先場所である、請求項５記載の基板搬送装置。 【請求項７】 前記制御装置は、前記基板保持部が実質的に前記ネットポジションにて前記所定の場所に到達する運動を完了するように、前記補償運動をもたらす、請求項５記載の基板搬送装置。 【請求項８】 前記制御装置は、前記第１位置と前記第２位置との間で時間最適軌道を有する最適経路に沿って前記基板保持部を移動させるアーム運動を用いて、前記補償運動をもたらす、請求項５記載の基板搬送装置。 【請求項９】 前記駆動部および前記搬送アームは、前記搬送アームの運動が２以上の自由度を有するように構成され、前記アーム垂下距離レジスタは、前記２以上の自由度の前記搬送アームの前記運動により形成される前記搬送スペースに亘る前記パラメータ化されていない経験的アーム垂下距離を記述する、請求項３記載の基板搬送装置。 【請求項１０】 前記搬送アームは、前記駆動部との接続部にて交換されるように、複数の別個の交換可能搬送アームから交換可能であり、前記交換可能搬送アームのそれぞれは、異なるアーム垂下特性、およびそれに関連する、対応する垂下距離レジスタを有し、垂下距離レジスタは、関連するアームのパラメータ化されていない経験的アーム垂下距離を記述する、請求項３記載の基板搬送装置。 【請求項１１】 請求項１０記載の基板搬送装置を備える基板処理ツールであって、前記搬送スペース内の所定の場所にある前記基板保持部上の基板とインターフェース接続するように配置され、前記インターフェース接続が前記搬送アーム垂下と無関係にもたらされるように位置決めされる基板保持ステーションを有する基板処理ツール。 【請求項１２】 請求項１０記載の基板搬送装置を備える基板処理ツールであって、前記搬送アームまたは前記基板保持部と相互作用し、前記相互作用が前記搬送アーム垂下と無関係にもたらされるように配置される所定の構造を有する基板処理ツール。 【請求項１３】 フレームと、 前記フレームに接続される駆動部と、 前記駆動部に動作可能に接続される搬送アームであって、前記搬送アームは、関節式であり、基板保持部を備えるエンドエフェクタを有し、前記フレームに対する少なくとも１つの運動軸に沿った前記搬送アームの関節運動により画定される搬送スペース内において、第１位置と、前記第１位置と異なる第２位置との間で、前記フレームに対し移動可能である、搬送アームと、 前記搬送アームの関節運動をもたらすように前記駆動部に動作可能に接続される制御装置であって、前記制御装置は、前記駆動部を用いて、アーム垂下が顕在化される方向の反対の方向に、前記第１位置と前記第２位置との間のアーム垂下による、所定の参照基準に対するパラメータ化されていない経験的アーム垂下距離の全体を実質的に相殺するように、前記アーム垂下を補償するアームの補償運動をもたらすように構成される、制御装置とを備える基板処理ツール。 【請求項１４】 前記制御装置は、アーム垂下距離レジスタを有し、前記制御装置は、前記アーム垂下距離レジスタから、前記第１位置と前記第２位置との間の前記搬送アームの前記パラメータ化されていない経験的アーム垂下距離を判定する、請求項１３記載の基板搬送ツール。 【請求項１５】 前記駆動部および前記搬送アームは、前記搬送アームの運動が２以上の自由度を有するように構成され、前記アーム垂下距離レジスタは、前記２以上の自由度の前記搬送アームの前記運動により形成される前記搬送スペースに亘る前記パラメータ化されていない経験的アーム垂下距離を記述する、請求項１４記載の基板搬送ツール。 【請求項１６】 前記搬送アームは、前記駆動部との接続部にて交換されるように、複数の別個の交換可能搬送アームから交換可能であり、前記交換可能搬送アームのそれぞれは、異なるアーム垂下特性、およびそれに関連する、対応するアーム垂下距離レジスタを有し、アーム垂下距離レジスタは、関連するアームのパラメータ化されていない経験的アーム垂下距離を記述する、請求項１４記載の基板搬送ツール。 【請求項１７】 前記搬送アームの前記補償運動は、前記搬送スペース内の所定の場所にある前記基板保持部が、アーム垂下が顕在化される方向で、前記アーム垂下と無関係のネットポジションにあるように、所定の参照基準に対する前記搬送アームの前記パラメータ化されていない経験的アーム垂下距離の略全体の相殺を引き起こす、請求項１３記載の基板搬送ツール。 【請求項１８】 前記所定の場所は、基板処理ツール内の基板送り先場所である、請求項１７記載の基板搬送ツール。 【請求項１９】 前記制御装置は、前記基板保持部が実質的に前記ネットポジションにて前記所定の場所に到達する運動を完了するように、前記アーム垂下が顕在化される方向の反対の方向に、前記搬送アームの前記運動をもたらす、請求項１７記載の基板搬送ツール。 【請求項２０】 前記制御装置は、前記第１位置と前記第２位置との間で時間最適軌道を有する最適経路に沿って前記基板保持部を移動させるアーム運動を用いて、アーム垂下が顕在化される方向の反対の方向に前記搬送アームの前記運動をもたらす、請求項１３記載の基板搬送ツール。 【請求項２１】 フレームと、 前記フレームに接続される駆動部と、 前記駆動部に動作可能に接続される搬送アームであって、前記搬送アームは、関節式であり、基板保持部を備えるエンドエフェクタを有し、前記フレームに対する少なくとも１つの運動軸に沿った前記搬送アームの関節運動により画定される搬送スペース内において、第１位置と、前記第１位置と異なる第２位置との間で、前記フレームに対し移動可能である、搬送アームと、 前記搬送アームの関節運動をもたらすように前記駆動部に動作可能に接続される制御装置であって、前記制御装置は、前記第１位置と前記第２位置との間の非命令アーム幾何構造変化による前記搬送アームのパラメータ化されていない経験的非命令アーム変位距離を解決するように構成されるアーム垂下補償装置を備える、制御装置と を備える基板搬送装置。 【請求項２２】 前記制御装置は、前記駆動部を用いて、前記搬送アームの前記パラメータ化されていない経験的非命令アーム変位距離の略全体を補償および解決する大きさおよび方向の前記搬送アームの補償運動をもたらす、請求項２１記載の基板搬送装置。 【請求項２３】 前記アーム垂下補償装置は、アーム垂下レジスタを有し、前記アーム垂下補償装置は、前記アーム垂下レジスタから、前記第１位置と前記第２位置との間の前記搬送アームの前記パラメータ化されていない経験的非命令アーム変位距離を判定する、請求項２１記載の基板搬送装置。 【請求項２４】 前記制御装置は、前記駆動部を用いて、前記アーム垂下レジスタから判定される前記搬送アームの前記パラメータ化されていない経験的非命令アーム変位距離の略全体を補償および解決する大きさおよび方向の前記搬送アームの補償運動をもたらす、請求項２３記載の基板搬送装置。 【請求項２５】 前記補償運動は、前記搬送スペース内の所定の場所にある前記基板保持部が、非命令アーム変位が顕在化される方向で、前記非命令アーム幾何構造変化と無関係のネットポジションにあるように、所定の参照基準に対する前記搬送アームの前記パラメータ化されていない経験的非命令アーム変位距離の略全体の相殺を引き起こす、請求項２４記載の基板搬送装置。 【請求項２６】 前記所定の場所は、基板処理ツール内の基板送り先場所である、請求項２５記載の基板搬送装置。 【請求項２７】 前記制御装置は、前記基板保持部が実質的に前記ネットポジションにて前記所定の場所に到達する運動を完了するように、前記補償運動をもたらす、請求項２５記載の基板搬送装置。 【請求項２８】 前記制御装置は、前記第１位置と前記第２位置との間で時間最適軌道を有する最適経路に沿って前記基板保持部を移動させるアーム運動を用いて、前記補償運動をもたらす、請求項２５記載の基板搬送装置。 【請求項２９】 前記駆動部および前記搬送アームは、前記搬送アームの運動が２以上の自由度を有するように構成され、前記アーム垂下レジスタは、前記２以上の自由度の前記搬送アームの前記運動により形成される前記搬送スペースに亘る前記パラメータ化されていない経験的非命令アーム変位距離を記述する、請求項２３記載の基板搬送装置。 【請求項３０】 前記搬送アームは、前記駆動部との接続部にて交換されるように、複数の別個の交換可能搬送アームから交換可能であり、前記交換可能搬送アームのそれぞれは、異なるアーム垂下特性、およびそれに関連する、対応する垂下レジスタを有し、垂下レジスタは、関連するアームの前記パラメータ化されていない経験的非命令アーム変位距離を記述する、請求項２３記載の基板搬送装置。 【請求項３１】 請求項３０記載の基板搬送装置を備える基板処理ツールであって、前記搬送スペース内の所定の場所にある前記基板保持部上の基板とインターフェース接続するように配置され、前記インターフェース接続が前記非命令アーム幾何構造変化と無関係にもたらされるように位置決めされる基板保持ステーションを有する基板処理ツール。 【請求項３２】 請求項３０記載の基板搬送装置を備える基板処理ツールであって、前記搬送アームまたは前記基板保持部と相互作用し、前記相互作用が前記非命令アーム幾何構造変化と無関係にもたらされるように配置される所定の構造を有する基板処理ツール。」 （２）本件補正前の特許請求の範囲の記載 本件補正前の、令和４年６月２１日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１～９６のうち、本件補正後の特許請求の範囲の請求項１～３２に対応する本件補正前の請求項１９～３８、６７～７８の記載は、次のとおりである。なお、本件補正前の特許請求の範囲の請求項１～９６のうち、請求項１～１８、３９～６６、７９～９６は、本件補正により削除された。 「【請求項１９】 基板搬送装置であって、 フレームと、 前記フレームに接続される駆動部と、 前記駆動部に動作可能に接続される搬送アームであって、前記搬送アームは、関節式であり、基板保持部を備えるエンドエフェクタを有し、前記フレームに対する少なくとも１つの運動軸に沿った前記搬送アームの関節運動により画定される搬送スペース内において、第１位置と、前記第１位置と異なる第２位置との間で、前記フレームに対し移動可能である、搬送アームと、 前記搬送アームの関節運動をもたらすように前記駆動部に動作可能に接続される制御装置であって、前記制御装置は、前記第１位置と前記第２位置との間の搬送アーム垂下による前記搬送アームの経験的アーム垂下距離を解決するように構成されるアーム垂下補償装置を備える、制御装置と を備える基板搬送装置。 【請求項２０】 前記制御装置は、前記駆動部を用いて、前記搬送アームの前記経験的アーム垂下距離の略全体を補償および解決する大きさおよび方向の前記搬送アームの補償運動をもたらす、請求項１９記載の基板搬送装置。 【請求項２１】 前記アーム垂下補償装置は、アーム垂下距離レジスタを有し、前記アーム垂下補償装置は、前記アーム垂下距離レジスタから、前記第１位置と前記第２位置との間の前記搬送アームの前記経験的アーム垂下距離を判定する、請求項１９記載の基板搬送装置。 【請求項２２】 前記制御装置は、前記駆動部を用いて、前記アーム垂下距離レジスタから判定される前記搬送アームの前記経験的アーム垂下距離の略全体を補償および解決する大きさおよび方向の前記搬送アームの補償運動をもたらす、請求項２１記載の基板搬送装置。 【請求項２３】 前記補償運動は、前記搬送スペース内の所定の場所にある前記基板保持部が、アーム垂下が顕在化される方向で、前記搬送アーム垂下と無関係であるネットポジションにあるように、所定の参照基準に対する前記搬送アームの前記経験的アーム垂下距離の略全体の相殺を引き起こす、請求項２２記載の基板搬送装置。 【請求項２４】 前記所定の場所は、基板処理ツール内の基板送り先場所である、請求項２３記載の基板搬送装置。 【請求項２５】 前記制御装置は、前記基板保持部が実質的に前記ネットポジションにて前記所定の場所に到達する運動を完了するように、前記補償運動をもたらす、請求項２３記載の基板搬送装置。 【請求項２６】 前記制御装置は、前記第１位置と前記第２位置との間で時間最適軌道を有する最適経路に沿って前記基板保持部を移動させるアーム運動を用いて、前記補償運動をもたらす、請求項２３記載の基板搬送装置。 【請求項２７】 前記駆動部および前記搬送アームは、前記搬送アームの運動が２以上の自由度を有するように構成され、前記アーム垂下距離レジスタは、前記２以上の自由度の前記搬送アームの前記運動により形成される前記搬送スペースに亘る前記経験的アーム垂下距離を記述する、請求項２１記載の基板搬送装置。 【請求項２８】 前記搬送アームは、前記駆動部との接続部にて交換されるように、複数の別個の交換可能搬送アームから交換可能であり、前記交換可能搬送アームのそれぞれは、異なるアーム垂下特性、およびそれに関連する、対応する垂下距離レジスタを有し、垂下距離レジスタは、関連するアームの経験的アーム垂下距離を記述する、請求項２１記載の基板搬送装置。 【請求項２９】 請求項２８記載の基板搬送装置を備える基板処理ツールであって、前記搬送スペース内の所定の場所にある前記基板保持部上の基板とインターフェース接続するように配置され、前記インターフェース接続が前記搬送アーム垂下と無関係にもたらされるように位置決めされる基板保持ステーションを有する基板処理ツール。 【請求項３０】 請求項２８記載の基板搬送装置を備える基板処理ツールであって、前記搬送アームまたは前記基板保持部と相互作用し、前記相互作用が前記搬送アーム垂下と無関係にもたらされるように配置される所定の構造を有する基板処理ツール。 【請求項３１】 フレームと、 前記フレームに接続される駆動部と、 前記駆動部に動作可能に接続される搬送アームであって、前記搬送アームは、関節式であり、基板保持部を備えるエンドエフェクタを有し、前記フレームに対する少なくとも１つの運動軸に沿った前記搬送アームの関節運動により画定される搬送スペース内において、第１位置と、前記第１位置と異なる第２位置との間で、前記フレームに対し移動可能である、搬送アームと、 前記搬送アームの関節運動をもたらすように前記駆動部に動作可能に接続される制御装置であって、前記制御装置は、前記駆動部を用いて、アーム垂下が顕在化される方向の反対の方向に、前記第１位置と前記第２位置との間のアーム垂下による、所定の参照基準に対する経験的アーム垂下距離の全体を実質的に相殺するように、前記アーム垂下を補償するアームの補償運動をもたらすように構成される、制御装置と を備える基板処理ツール。 【請求項３２】 前記制御装置は、アーム垂下距離レジスタを有し、前記制御装置は、前記アーム垂下距離レジスタから、前記第１位置と前記第２位置との間の前記搬送アームの前記経験的アーム垂下距離を判定する、請求項３１記載の基板搬送ツール。 【請求項３３】 前記駆動部および前記搬送アームは、前記搬送アームの運動が２以上の自由度を有するように構成され、前記アーム垂下距離レジスタは、前記２以上の自由度の前記搬送アームの前記運動により形成される前記搬送スペースに亘る前記経験的アーム垂下距離を記述する、請求項３２記載の基板搬送ツール。 【請求項３４】 前記搬送アームは、前記駆動部との接続部にて交換されるように、複数の別個の交換可能搬送アームから交換可能であり、前記交換可能搬送アームのそれぞれは、異なるアーム垂下特性、およびそれに関連する、対応するアーム垂下距離レジスタを有し、アーム垂下距離レジスタは、関連するアームの経験的アーム垂下距離を記述する、請求項３２記載の基板搬送ツール。 【請求項３５】 前記搬送アームの前記補償運動は、前記搬送スペース内の所定の場所にある前記基板保持部が、アーム垂下が顕在化される方向で、前記アーム垂下と無関係のネットポジションにあるように、所定の参照基準に対する前記搬送アームの前記経験的アーム垂下距離の略全体の相殺を引き起こす、請求項３１記載の基板搬送ツール。 【請求項３６】 前記所定の場所は、基板処理ツール内の基板送り先場所である、請求項３５記載の基板搬送ツール。 【請求項３７】 前記制御装置は、前記基板保持部が実質的に前記ネットポジションにて前記所定の場所に到達する運動を完了するように、前記アーム垂下が顕在化される方向の反対の方向に、前記搬送アームの前記運動をもたらす、請求項３５記載の基板搬送ツール。 【請求項３８】 前記制御装置は、前記第１位置と前記第２位置との間で時間最適軌道を有する最適経路に沿って前記基板保持部を移動させるアーム運動を用いて、アーム垂下が顕在化される方向の反対の方向に前記搬送アームの前記運動をもたらす、請求項３１記載の基板搬送ツール。 【請求項６７】 フレームと、 前記フレームに接続される駆動部と、 前記駆動部に動作可能に接続される搬送アームであって、前記搬送アームは、関節式であり、基板保持部を備えるエンドエフェクタを有し、前記フレームに対する少なくとも１つの運動軸に沿った前記搬送アームの関節運動により画定される搬送スペース内において、第１位置と、前記第１位置と異なる第２位置との間で、前記フレームに対し移動可能である、搬送アームと、 前記搬送アームの関節運動をもたらすように前記駆動部に動作可能に接続される制御装置であって、前記制御装置は、前記第１位置と前記第２位置との間の非命令アーム幾何構造変化による前記搬送アームの経験的非命令アーム変位距離を解決するように構成されるアーム垂下補償装置を備える、制御装置と を備える基板搬送装置。 【請求項６８】 前記制御装置は、前記駆動部を用いて、前記搬送アームの前記経験的非命令アーム変位距離の略全体を補償および解決する大きさおよび方向の前記搬送アームの補償運動をもたらす、請求項６７記載の基板搬送装置。 【請求項６９】 前記アーム垂下補償装置は、アーム垂下レジスタを有し、前記アーム垂下補償装置は、前記アーム垂下レジスタから、前記第１位置と前記第２位置との間の前記搬送アームの前記経験的非命令アーム変位距離を判定する、請求項６７記載の基板搬送装置。 【請求項７０】 前記制御装置は、前記駆動部を用いて、前記アーム垂下レジスタから判定される前記搬送アームの前記経験的非命令アーム変位距離の略全体を補償および解決する大きさおよび方向の前記搬送アームの補償運動をもたらす、請求項６９記載の基板搬送装置。 【請求項７１】 前記補償運動は、前記搬送スペース内の所定の場所にある前記基板保持部が、非命令アーム変位が顕在化される方向で、前記非命令アーム幾何構造変化と無関係のネットポジションにあるように、所定の参照基準に対する前記搬送アームの前記経験的非命令アーム変位距離の略全体の相殺を引き起こす、請求項７０記載の基板搬送装置。 【請求項７２】 前記所定の場所は、基板処理ツール内の基板送り先場所である、請求項７１記載の基板搬送装置。 【請求項７３】 前記制御装置は、前記基板保持部が実質的に前記ネットポジションにて前記所定の場所に到達する運動を完了するように、前記補償運動をもたらす、請求項７１記載の基板搬送装置。 【請求項７４】 前記制御装置は、前記第１位置と前記第２位置との間で時間最適軌道を有する最適経路に沿って前記基板保持部を移動させるアーム運動を用いて、前記補償運動をもたらす、請求項７１記載の基板搬送装置。 【請求項７５】 前記駆動部および前記搬送アームは、前記搬送アームの運動が２以上の自由度を有するように構成され、前記アーム垂下レジスタは、前記２以上の自由度の前記搬送アームの前記運動により形成される前記搬送スペースに亘る前記経験的非命令アーム変位距離を記述する、請求項６９記載の基板搬送装置。 【請求項７６】 前記搬送アームは、前記駆動部との接続部にて交換されるように、複数の別個の交換可能搬送アームから交換可能であり、前記交換可能搬送アームのそれぞれは、異なるアーム垂下特性、およびそれに関連する、対応する垂下レジスタを有し、垂下レジスタは、関連するアームの前記経験的非命令アーム変位距離を記述する、請求項６９記載の基板搬送装置。 【請求項７７】 請求項７６記載の基板搬送装置を備える基板処理ツールであって、前記搬送スペース内の所定の場所にある前記基板保持部上の基板とインターフェース接続するように配置され、前記インターフェース接続が前記非命令アーム幾何構造変化と無関係にもたらされるように位置決めされる基板保持ステーションを有する基板処理ツール。 【請求項７８】 請求項７６記載の基板搬送装置を備える基板処理ツールであって、前記搬送アームまたは前記基板保持部と相互作用し、前記相互作用が前記非命令アーム幾何構造変化と無関係にもたらされるように配置される所定の構造を有する基板処理ツール。」 ２ 本件補正の適否 本件補正後の請求項１に係る補正事項は、本件補正前の請求項１～１８の削除に伴い、請求項の項番を繰り上げるとともに（以下「補正事項１」という。）、本件補正前の請求項１９の「経験的アーム垂下距離」を、「パラメータ化されていない経験的アーム垂下距離」とする（以下「補正事項２」という。）ものである。 補正事項２は、本件補正前の請求項１９の「経験的アーム垂下距離」について「パラメータ化されていない」ことを限定するものであるから、本件補正前の請求項１９に係る発明を特定する事項を限定するものであり、また、本件補正前の請求項１９に係る発明と本件補正後の請求項１に係る発明との産業上の利用分野及び解決しようとする課題は同一である。よって、補正事項２を含む、本件補正後の請求項１に係る本件補正は、特許法第１７条の２第５項第２号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。 そこで、本件補正後の請求項１に係る発明（以下、「本件補正発明」という。）が同法同条第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に適合するか（特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか）について、以下、検討する。 （１）本件補正発明 本件補正発明は、上記１（１）に記載した請求項１のとおりのものであると認める。 （２）引用文献の記載事項 ア 原査定の拒絶の理由で引用され、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開２０００－１８３１２８号公報（平成１２年６月３０日公開。以下、「引用文献１」という。）には、「ワーク搬送装置の制御装置」（発明の名称）に関し、以下の事項が記載されている（下線は強調のため当審で付した。以下同じ。）。 「【０００６】・・・（中略）・・・このゲート３は、ガラス基板（以下適宜「ワーク」という）ＷＫの搬入出の際にのみ開閉扉２２ｃを介して解放される。・・・（中略）・・・」 「【００１３】そして駆動指令に応じて水平駆動軸としての旋回軸１２、第２軸１３が駆動されることによってアーム先端（ワークＷＫ）の基台Ｂに対する水平移動量が変化する。この様子を図４（ａ）、（ｂ）に示す。また駆動指令に応じて鉛直駆動軸として上下軸１１が駆動されることによってアーム１６、１７の鉛直移動量が変化する。この結果アーム先端のワークＷＫが駆動指令に応じた位置まで搬送される。」 「【００４２】図１はワーク搬送ロボットＲ１の側面図（断面図）であり、図２はその上面図を示している。 【００４３】これら図に示すようにワーク搬送ロボットＲ１は、基台Ｂに対して第１アームとしての旋回アーム１６、第２アーム１７が、上下軸１１を介して鉛直軸Ｚの方向に上下動自在に配設されている。上下軸１１はモータＭ１によって駆動される。 【００４４】旋回アーム１６の基端部は旋回軸１２回りに回転自在に支持されている。旋回軸１２はモータＭ２によって駆動される。 【００４５】旋回アーム１６の先端部には、第２アーム１７の基端部が第２軸１３回りに回転可能に支持されている。第２軸１３はモータＭ３によって駆動される。 【００４６】さらにこの第２アーム１７の先端部には、ハンドＨが手首軸１４回りに回転可能に支持されている。手首軸１４はモータＭ４によって駆動される。 【００４７】ハンドＨ上にはワークＷＫが載置され保持される。 【００４８】このようにワーク搬送ロボットＲ１は、アーム１６、１７がアーム基端部である基台Ｂ（上下軸１１）に対して片持ち支持された構造となっている。 【００４９】そして駆動指令に応じてモータＭ２、Ｍ３が駆動され水平駆動軸としての旋回軸１２、第２軸１３が駆動される。これによってアーム先端（ハンドＨの回転中心１４）の基台Ｂに対する水平移動量が変化する。つまり旋回アーム１６の旋回中心（旋回軸１２）からハンドＨの回転中心（手首軸１４）までの距離Ｘ（以下この距離のことをアーム伸ばし量Ｘという）が変化する。 【００５０】図２に示すように旋回軸１２が矢印Ａ１方向に回転し第２軸１３が矢印Ｂ１方向に回転することによってアーム１６、１７の先端が矢印ａ１方向に伸張する。旋回軸１２が矢印Ａ２方向に回転し第２軸１３が矢印Ｂ２方向に回転することによってアーム１６、１７の先端（ハンドＨの回転中心１４）が矢印ａ２方向に縮退する。 【００５１】また駆動指令に応じてモータＭ１が駆動され鉛直駆動軸として上下軸１１が駆動される。これによってアーム１６、１７のＺ軸方向の鉛直移動量Ｚが変化する。」 「【００６９】そこで本実施形態では以下の制御が行われる。以下ＣＰ制御、ＰＴＰ制御のそれぞれの場合について説明する。 【００７０】・ＣＰ制御 図８はＣＰ制御を行うための制御ブロック図である。以下図１２を併せ参照して図８で行われる制御処理の内容について説明する。図１２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はアーム１６、１７の動きを示す上面図であり、図１２（ｄ）、（ｅ）、（ｆ）はアーム先端１４の動き（アーム先端１４の撓み）を示す側面図である。なお本実施形態ではアーム先端１４が現在位置（指令開始位置）Ｐ１から目標位置Ｐ２まで移動する場合を例にとり説明する。 【００７１】同図８に示すように、目標位置設定部３１ではアーム先端１４の目標位置Ｐ２が設定される。たとえばアーム先端１４の目標位置Ｐ２はティーチングにより求められ記憶される。現在位置設定部３２ではアーム先端１４の現在位置（指令開始位置）Ｐ１が検出される。たとえば各駆動軸１１、１２、１３に設けられた回転角度センサの検出値に基づきアーム先端１４の現在位置Ｐ１が検出される（図１２（ａ）参照）。 【００７２】撓み量算出部３３では、アーム伸ばし量Ｘに対するアーム先端１４の撓み量ΔＺが算出される。 【００７３】すなわちアーム１６、１７の撓みは、アーム基端部（旋回軸１２）に対するアーム１６、１７、ワークＷＫの慣性モーメントによって定まる。したがってアーム１６、１７、ワークＷＫの重量が定まればアーム先端１４の撓み量ΔＺはワーク搬送ロボットＲ１のアーム伸ばし量Ｘによって一義的に定まる。したがってアーム先端撓み量ΔＺはアーム伸ばし量Ｘの関数として表すことができる。 【００７４】ここで図１１はアーム伸ばし量Ｘと鉛直方向移動量Ｚとの関係を示す。図１１のＨＬは水平線に対応しており、水平線ＨＬの鉛直方向移動量Ｚを原点０とする。同図１１の曲線Ｌ６はアーム伸ばし量Ｘに対するアーム先端撓み量ΔＺの実測値を示している。曲線Ｌ４は曲線Ｌ６を正負反転させて得られた曲線でありアーム伸ばし量Ｘに対する撓み補正量ΔＺを示している。 【００７５】上記アーム伸ばし量Ｘとアーム先端撓み量ΔＺとの対応関係Ｌ６は記憶テーブルに記憶される。なおＬ４を記憶させておいてもよい。 【００７６】本実施形態では上記アーム伸ばし量Ｘとアーム先端撓み量ΔＺとの対応関係Ｌ６を記憶テーブルに記憶しているが、関数ｆを所定の関数としてアーム伸ばし量Ｘからアーム先端撓み量ΔＺを演算する演算式ΔＺ＝ｆ（Ｘ）を記憶しておいてもよい。 【００７７】撓み量算出部３３では、指令開始位置Ｐ１におけるアーム伸ばし量Ｘ１に対応するアーム先端撓み量ΔＺ１が上記記憶テーブルの設定記憶内容Ｌ６から算出される（読み出される）。同様にして目標位置Ｐ２におけるアーム伸ばし量Ｘ２に対応するアーム先端撓み量ΔＺ２が上記記憶テーブルの設定記憶内容Ｌ６から算出される（図１２（ａ）、（ｄ）参照）。 【００７８】軌跡プランニング部３４では、指令開始位置Ｐ１から目標位置Ｐ２に至るまでの所望の軌跡Ｌ１２が求められる。この所望軌跡Ｌ１２はＸ軸に沿った直線である（図１２（ｂ）参照）。 【００７９】そしてこのＰ１、Ｐ２間を結ぶ経路Ｌ１２上に経由点Ｐ１１、Ｐ１２が設定され、経路Ｌ１２が小区間に分割される（図１２（ｂ）、（ｅ））。 【００８０】逆変換部３６では、サンプリング時間Ｔａが経過する毎に各駆動軸１１、１２、１３に対する駆動指令Ｚ′、Ｊ１、Ｊ２が生成され出力される。 【００８１】すなわちサンプラ３５を介してサンプリング時間Ｔａが経過する毎に軌跡Ｌ１２上の各指令位置Ｐｓ１、Ｐｓ２、Ｐ１１、Ｐｓ３、Ｐｓ４、Ｐ１２、Ｐｓ５、Ｐｓ６、Ｐ２が逆変換部３６に入力される。つまり指令開始位置Ｐ１と経由点Ｐ１１との間が点Ｐｓ１、Ｐｓ２により補間され、経由点Ｐ１１と経由点Ｐ１２との間が点Ｐｓ３、Ｐｓ４によって補間され、経由点Ｐ１２と目標点Ｐ２との間が点Ｐｓ５、Ｐｓ６によって補間される。 【００８２】そしてサンプリング時刻毎の各指令位置Ｐｓ１、Ｐｓ２、Ｐ１１、Ｐｓ３、Ｐｓ４、Ｐ１２、Ｐｓ５、Ｐｓ６、Ｐ２におけるたわみ補正量ΔＺが求められる（図１２（ｆ））。 【００８３】たとえば図１１に示すようにあるサンプリング時刻での指令位置がＰ１２であったとすると、この指令位置Ｐ１２に対応するアーム伸ばし量Ｘ１２が求められ、このアーム伸ばし量Ｘ１２に対応するアーム先端撓み量ΔＺ１２が対応関係Ｌ６から求められる。そしてこのアーム伸ばし量Ｘ１２に対応する撓み補正量ΔＺ１２が、上記求めたアーム先端撓み量ΔＺ１２を正負反転させて求められる。つまりアーム伸ばし量Ｘ１２に対応する撓み補正量ΔＺ１２が図１１の曲線Ｌ４から求められることになる。 【００８４】また指令開始位置Ｐ１における撓み補正量ΔＺ１が同様にして求められる（図１１参照）。 【００８５】つぎに現在の指令位置Ｐ１２を、上下軸１１に対する駆動指令Ｚ′に変換する処理が実行される。すなわち現在の指令位置Ｐ１２における撓み補正量ΔＺ１２と指令開始位置Ｐ１における撓み補正量ΔＺ１との差ΔＺ１２－ΔＺ１が求められる。 【００８６】そして指令位置Ｐ１２における本来の駆動指令Ｚ（＝０）に対して上記偏差ΔＺ１２－ΔＺ１を加えることによって駆動指令Ｚが補正されこの補正された駆動指令Ｚ′が上下軸１１に対して出力される。 【００８７】現在の指令位置がＰ１２のときを例にとり説明したが他の指令位置Ｐｎのときも同様にして、指令位置Ｐｎに対応する撓み補正量Ｚｎが求められ、現在の指令位置Ｐｎにおける本来の駆動指令Ｚ（＝０）に対して偏差ΔＺｎ－ΔＺ１を加えることによって駆動指令Ｚが補正されこの補正された駆動指令Ｚ′が上下軸１１に対して出力される。 ・・・（中略）・・・ 【００９０】現在の指令位置がＰ１２のときを例にとり説明したが他の指令位置Ｐｎのときも同様にして、現在の指令位置Ｐｎに対応するアーム伸ばし量Ｘｎが求められ、このアーム伸ばし量Ｘｎが得られる各軸駆動指令Ｊ１ｎ、Ｊ２ｎが逆変換によって求められ駆動指令Ｊ１ｎが旋回軸１２に対して出力されるとともに駆動指令Ｊ２ｎが第２軸１３に対して出力される。 【００９１】制御部３８では、各駆動軸１１、１２、１３の駆動制御がサンプリング時間Ｔｂが経過する毎に実行される。なおサンプリング時間Ｔａ、Ｔｂとの間にはＴａ≧Ｔｂという関係が成立しているものとする。 【００９２】すなわちサンプラ３７を介してサンプリング時間Ｔｂが経過する毎に各指令位置Ｐｓ１、Ｐｓ２、Ｐ１１、Ｐｓ３、Ｐｓ４、Ｐ１２、Ｐｓ５、Ｐｓ６、Ｐ２における駆動指令が制御部３８に入力される。 ・・・（中略）・・・ 【００９４】現在の指令位置がＰ１２のときを例にとり説明したが他の指令位置Ｐｎのときも同様にして、現在の指令位置Ｐｎに対応する駆動指令Ｚ′（＝Ｚ＋（ΔＺｎ－ΔＺ１））が入力され、この駆動指令Ｚ′に応じて上下軸１１用のモータＭ１の位置、速度が制御される。この結果上下軸１１は鉛直移動量Ｚ′（＝Ｚ＋（ΔＺｎ－ΔＺ１））だけ駆動される。 ・・・（中略）・・・ 【００９７】現在の指令位置がＰ１２のときを例にとり説明したが他の指令位置Ｐｎのときも同様にして、現在の指令位置Ｐｎに対応する駆動指令Ｊ１ｎ、Ｊ２ｎが入力され、この駆動指令Ｊ１ｎ、Ｊ２ｎに応じて旋回軸１２用のモータＭ２、第２軸１３用のモータＭ３の位置、速度がそれぞれ制御される。この結果旋回軸１２が角度Ｊ１ｎだけ駆動されるとともに第２軸１３が角度Ｊ２ｎだけ駆動される。 【００９８】以上のようにしてアーム先端１４は指令開始位置Ｐ１から目標位置Ｐ２まで、Ｘ軸に沿った直線経路Ｌ１２上を移動する。そしてこの間、各サンプリング時刻ｔn毎に、アーム１６、１７の先端１４が撓み方向とは反対の鉛直方向Ｚに、指令開始位置における撓み量に対する差分ΔＺｎ－ΔＺ１だけ鉛直移動するように鉛直方向駆動量Ｚの補正がなされている。このように本実施形態によれば鉛直方向駆動量Ｚの補正を行うようにしているので、アーム先端１４は水平線ＨＬに沿って直線状に移動する。つまりワークＷＫの移動軌跡が自重方向にずれた曲線になることが防止される。」 「図１ ［図：0001408706000001.jpg］ 」 イ 上記アより、引用文献１には以下の技術事項が記載されている。 （ア）段落０００６には「ガラス基板（以下適宜「ワーク」という）ＷＫ」と記載されている。 よって、引用文献１には、ガラス基板であるワークＷＫが記載されている。 （イ）段落００４３には「ワーク搬送ロボットＲ１は、基台Ｂに対して第１アームとしての旋回アーム１６、第２アーム１７が、上下軸１１を介して鉛直軸Ｚの方向に上下動自在に配設されている。上下軸１１はモータＭ１によって駆動される。」と記載されている。 よって、引用文献１には、基台Ｂに対して第１アームとしての旋回アーム１６、第２アーム１７が、モータＭ１によって駆動される上下軸１１を介して鉛直軸Ｚの方向に上下動自在に配設される、ワーク搬送ロボットＲ１が記載されている。 （ウ）段落００４４には「旋回アーム１６の基端部は旋回軸１２回りに回転自在に支持されている。旋回軸１２はモータＭ２によって駆動される。」と記載され、図１から、上下軸１１には旋回アーム１６の基端部が支持されることが見てとれる。 よって、上下軸１１には、旋回アーム１６の基端部が、モータＭ２によって駆動される旋回軸１２回りに回転自在に支持されるといえる。 （エ）段落００４５には「旋回アーム１６の先端部には、第２アーム１７の基端部が第２軸１３回りに回転可能に支持されている。第２軸１３はモータＭ３によって駆動される。」と記載されている。 よって、旋回アーム１６の先端部には、第２アーム１７の基端部が、モータＭ３によって駆動される第２軸１３回りに回転可能に支持されるといえる。 （オ）段落００４６には「第２アーム１７の先端部には、ハンドＨが手首軸１４回りに回転可能に支持されている。手首軸１４はモータＭ４によって駆動される。」と記載されている。 よって、第２アーム１７の先端部には、ハンドＨが、モータＭ４によって駆動される手首軸１４回りに回転可能に支持されるといえる。 （カ）段落００４７には「ハンドＨ上にはワークＷＫが載置され保持される。」と記載されている。 よって、上記（ア）を踏まえると、ハンドＨ上にはガラス基板であるワークＷＫが載置され保持されるといえる。 （キ）段落００４９には「水平駆動軸としての旋回軸１２、第２軸１３が駆動される。これによってアーム先端（ハンドＨの回転中心１４）の基台Ｂに対する水平移動量が変化する。つまり旋回アーム１６の旋回中心（旋回軸１２）からハンドＨの回転中心（手首軸１４）までの距離Ｘ（以下この距離のことをアーム伸ばし量Ｘという）が変化する。」（下線は強調のため当審にて付した。）と記載されている。 よって、水平駆動軸としての旋回軸１２、第２軸１３が駆動されることによって、アーム先端である手首軸１４の基台Ｂに対する水平移動量であるアーム伸ばし量Ｘが変化するといえる。 （ク）段落００７１には「目標位置設定部３１ではアーム先端１４の目標位置Ｐ２が設定される。」及び「現在位置設定部３２ではアーム先端１４の現在位置（指令開始位置）Ｐ１が検出される。」と記載されている。 よって、上記（キ）を踏まえると、引用文献１には、アーム先端である手首軸１４の目標位置Ｐ２を設定する目標位置設定部３１、及び、アーム先端である手首軸１４の指令開始位置Ｐ１を検出する現在位置設定部３２が記載されているといえる。 （ケ）段落００７２には「撓み量算出部３３では、アーム伸ばし量Ｘに対するアーム先端１４の撓み量ΔＺが算出される。」と記載されている。 よって、上記（キ）を踏まえると、引用文献１には、アーム伸ばし量Ｘに対するアーム先端である手首軸１４の撓み量ΔＺを算出する撓み量算出部３３が記載されているといえる。 （コ）段落００７８には「軌跡プランニング部３４では、指令開始位置Ｐ１から目標位置Ｐ２に至るまでの所望の軌跡Ｌ１２が求められる。」と記載されている。 よって、引用文献１には、指令開始位置Ｐ１から目標位置Ｐ２に至るまでの所望の軌跡Ｌ１２を求める軌跡プランニング部３４が記載されている。 （サ）段落００８０には「逆変換部３６では、サンプリング時間Ｔａが経過する毎に各駆動軸１１、１２、１３に対する駆動指令Ｚ′、Ｊ１、Ｊ２が生成され出力される。」と記載されている。ここで、上記（イ）～（エ）を踏まえると、「駆動軸１１、１２、１３」は上下軸１１、旋回軸１２、第２軸１３を意味するものである。 よって、引用文献１には、上下軸１１、旋回軸１２、第２軸１３に対する駆動指令Ｚ′、Ｊ１、Ｊ２を生成し出力する逆変換部３６が記載されているといえる。 （シ）段落００９１には「制御部３８では、各駆動軸１１、１２、１３の駆動制御が」「実行される。」と記載され、段落００９２には「駆動指令が制御部３８に入力される。」と記載されている。ここで、上記（イ）～（エ）を踏まえると、前記「駆動軸１１、１２、１３」は上下軸１１、旋回軸１２、第２軸１３を意味し、上記（サ）を踏まえると、駆動指令は駆動指令Ｚ′、Ｊ１、Ｊ２を意味すると認められる。 よって、引用文献１には、駆動指令Ｚ′、Ｊ１、Ｊ２が入力され、上下軸１１、旋回軸１２、第２軸１３の駆動制御を実行する制御部３８が記載されている。 （ス）段落００５１には「駆動指令に応じてモータＭ１が駆動され鉛直駆動軸として上下軸１１が駆動される。これによってアーム１６、１７のＺ軸方向の鉛直移動量Ｚが変化する。」と記載されている。ここで、上記（イ）を踏まえると、「アーム１６、１７」は旋回アーム１６及び第２アーム１７を意味するものである。 よって、駆動指令Ｚ′に応じてモータＭ１が駆動され鉛直駆動軸として上下軸１１が駆動されることによって旋回アーム１６及び第２アーム１７のＺ軸方向の鉛直移動量Ｚが変化するといえる。 （セ）段落００７５には「上記アーム伸ばし量Ｘとアーム先端撓み量ΔＺとの対応関係Ｌ６は記憶テーブルに記憶される。」と記載されている。ここで、段落００７４には「図１１はアーム伸ばし量Ｘと鉛直方向移動量Ｚとの関係を示す。・・・（中略）・・・同図１１の曲線Ｌ６はアーム伸ばし量Ｘに対するアーム先端撓み量ΔＺの実測値を示している。」と記載されているから、図１１の曲線Ｌ６は、アーム伸ばし量Ｘとアーム先端撓み量ΔＺとの対応関係Ｌ６であり、曲線Ｌ６が示すアーム先端撓み量ΔＺはアーム伸ばし量Ｘにおける実測値であるといえる。 よって、アーム伸ばし量Ｘと撓み量ΔＺとの対応関係Ｌ６が記憶テーブルに記憶され、対応関係Ｌ６が示す撓み量ΔＺはアーム伸ばし量Ｘにおける実測値であるといえる。 （ソ）段落００８１には「サンプリング時間Ｔａが経過する毎に軌跡Ｌ１２上の各指令位置Ｐｓ１、Ｐｓ２、Ｐ１１、Ｐｓ３、Ｐｓ４、Ｐ１２、Ｐｓ５、Ｐｓ６、Ｐ２が逆変換部３６に入力される。」と記載されている。ここで、段落００７８に「軌跡プランニング部３４では、指令開始位置Ｐ１から目標位置Ｐ２に至るまでの所望の軌跡Ｌ１２が求められる。」と記載されているから、軌跡Ｌ１２は指令開始位置Ｐ１から目標位置Ｐ２に至るまでのものであるといえる。 よって、サンプリング時間Ｔａが経過する毎に、指令開始位置Ｐ１から目標位置Ｐ２に至るまでの軌跡Ｌ１２上の各指令位置Ｐｓ１、Ｐｓ２、Ｐ１１、Ｐｓ３、Ｐｓ４、Ｐ１２、Ｐｓ５、Ｐｓ６、Ｐ２が逆変換部３６に入力されるといえる。 （タ）段落００８２には「サンプリング時刻毎の各指令位置Ｐｓ１、Ｐｓ２、Ｐ１１、Ｐｓ３、Ｐｓ４、Ｐ１２、Ｐｓ５、Ｐｓ６、Ｐ２におけるたわみ補正量ΔＺが求められる」と記載されている。 よって、サンプリング時刻毎の各指令位置Ｐｓ１、Ｐｓ２、Ｐ１１、Ｐｓ３、Ｐｓ４、Ｐ１２、Ｐｓ５、Ｐｓ６、Ｐ２における撓み補正量ΔＺが求められるといえる。 （チ）段落００８３には「指令位置がＰ１２であったとすると、この指令位置Ｐ１２に対応するアーム伸ばし量Ｘ１２が求められ、このアーム伸ばし量Ｘ１２に対応するアーム先端撓み量ΔＺ１２が対応関係Ｌ６から求められる。そしてこのアーム伸ばし量Ｘ１２に対応する撓み補正量ΔＺ１２が、上記求めたアーム先端撓み量ΔＺ１２を正負反転させて求められる。」と記載され、段落００８５には「現在の指令位置Ｐ１２における撓み補正量ΔＺ１２と指令開始位置Ｐ１における撓み補正量ΔＺ１との差ΔＺ１２－ΔＺ１が求められる。」と記載され、段落００８６には「そして指令位置Ｐ１２における本来の駆動指令Ｚ（＝０）に対して上記偏差ΔＺ１２－ΔＺ１を加えることによって駆動指令Ｚが補正されこの補正された駆動指令Ｚ′が上下軸１１に対して出力される。」と記載されている。 よって、指令位置がＰ１２であったとすると、この指令位置Ｐ１２に対応するアーム伸ばし量Ｘ１２が求められ、このアーム伸ばし量Ｘ１２に対応する撓み量ΔＺ１２が対応関係Ｌ６から求められ、アーム伸ばし量Ｘ１２に対応する撓み補正量ΔＺ１２が、上記求めた撓み量ΔＺ１２を正負反転させて求められ、現在の指令位置Ｐ１２における撓み補正量ΔＺ１２と指令開始位置Ｐ１における撓み補正量ΔＺ１との差ΔＺ１２－ΔＺ１が求められ、指令位置Ｐ１２における本来の駆動指令Ｚ（＝０）に対して上記偏差ΔＺ１２－ΔＺ１を加えることによって駆動指令Ｚが補正されこの補正された駆動指令Ｚ′が上下軸１１に対して出力されるといえる。 （ツ）段落００８７には「指令位置Ｐｎのときも同様にして、指令位置Ｐｎに対応する撓み補正量Ｚｎが求められ、現在の指令位置Ｐｎにおける本来の駆動指令Ｚ（＝０）に対して偏差ΔＺｎ－ΔＺ１を加えることによって駆動指令Ｚが補正されこの補正された駆動指令Ｚ′が上下軸１１に対して出力される。」（当審注；「補正量Ｚｎ」は「補正量ΔＺｎ」の誤記である。）と記載され、段落００９４には「現在の指令位置Ｐｎに対応する駆動指令Ｚ′（＝Ｚ＋（ΔＺｎ－ΔＺ１））が入力され、この駆動指令Ｚ′に応じて上下軸１１用のモータＭ１の位置、速度が制御される。この結果上下軸１１は鉛直移動量Ｚ′（＝Ｚ＋（ΔＺｎ－ΔＺ１））だけ駆動される。」と記載されている。 よって、指令位置Ｐｎのときも同様にして、指令位置Ｐｎに対応する撓み補正量ΔＺｎが求められ、現在の指令位置Ｐｎにおける本来の駆動指令Ｚ（＝０）に対して偏差ΔＺｎ－ΔＺ１を加えることによって駆動指令Ｚが補正され、この補正された駆動指令Ｚ′が上下軸１１に対して出力され、この駆動指令Ｚ′に応じて上下軸１１用のモータＭ１の位置、速度が制御され、その結果上下軸１１は鉛直移動量Ｚ′（＝Ｚ＋（ΔＺｎ－ΔＺ１））だけ駆動されるといえる。 （テ）段落００９０には「現在の指令位置Ｐｎに対応するアーム伸ばし量Ｘｎが求められ、このアーム伸ばし量Ｘｎが得られる各軸駆動指令Ｊ１ｎ、Ｊ２ｎが逆変換によって求められ駆動指令Ｊ１ｎが旋回軸１２に対して出力されるとともに駆動指令Ｊ２ｎが第２軸１３に対して出力される。」と記載され、段落００９７には「現在の指令位置Ｐｎに対応する駆動指令Ｊ１ｎ、Ｊ２ｎが入力され、この駆動指令Ｊ１ｎ、Ｊ２ｎに応じて旋回軸１２用のモータＭ２、第２軸１３用のモータＭ３の位置、速度がそれぞれ制御される。この結果旋回軸１２が角度Ｊ１ｎだけ駆動されるとともに第２軸１３が角度Ｊ２ｎだけ駆動される。」と記載されている。 よって、現在の指令位置Ｐｎに対応するアーム伸ばし量Ｘｎが求められ、このアーム伸ばし量Ｘｎが得られる各軸駆動指令Ｊ１ｎ、Ｊ２ｎが逆変換によって求められ駆動指令Ｊ１ｎが旋回軸１２に対して出力されるとともに駆動指令Ｊ２ｎが第２軸１３に対して出力され、この駆動指令Ｊ１ｎ、Ｊ２ｎに応じて旋回軸１２用のモータＭ２、第２軸１３用のモータＭ３の位置、速度がそれぞれ制御され、その結果旋回軸１２が角度Ｊ１ｎだけ駆動されるとともに第２軸１３が角度Ｊ２ｎだけ駆動されるといえる。 （ト）段落００９８には「アーム先端１４は指令開始位置Ｐ１から目標位置Ｐ２まで、Ｘ軸に沿った直線経路Ｌ１２上を移動する。そしてこの間、各サンプリング時刻ｔn毎に、アーム１６、１７の先端１４が撓み方向とは反対の鉛直方向Ｚに、指令開始位置における撓み量に対する差分ΔＺｎ－ΔＺ１だけ鉛直移動するように鉛直方向駆動量Ｚの補正がなされている。このように本実施形態によれば鉛直方向駆動量Ｚの補正を行うようにしているので、アーム先端１４は水平線ＨＬに沿って直線状に移動する。」と記載されている。ここで、段落００７８には「この所望軌跡Ｌ１２はＸ軸に沿った直線である」と記載されているから、「Ｘ軸に沿った直線経路Ｌ１２」は、Ｘ軸に沿った直線である軌跡Ｌ１２であるといえる。 よって、上記（キ）を踏まえると、アーム先端である手首軸１４は指令開始位置Ｐ１から目標位置Ｐ２まで、Ｘ軸に沿った直線である軌跡Ｌ１２上を移動し、この間、各サンプリング時刻ｔn毎に、アーム先端である手首軸１４が撓み方向とは反対の鉛直方向Ｚに、指令開始位置における撓み量に対する差分ΔＺｎ－ΔＺ１だけ鉛直移動するように鉛直方向駆動量Ｚの補正がなされ、アーム先端１４が水平線ＨＬに沿って直線状に移動するといえる。 （ナ）上記（ア）～（ト）より、引用文献１には次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。 （引用発明） 「基台Ｂに対して第１アームとしての旋回アーム１６、第２アーム１７が、モータＭ１によって駆動される上下軸１１を介して鉛直軸Ｚの方向に上下動自在に配設され、 上下軸１１には、旋回アーム１６の基端部が、モータＭ２によって駆動される旋回軸１２回りに回転自在に支持され、 旋回アーム１６の先端部には、第２アーム１７の基端部が、モータＭ３によって駆動される第２軸１３回りに回転可能に支持され、 第２アーム１７の先端部には、ハンドＨが、モータＭ４によって駆動される手首軸１４回りに回転可能に支持され、 ハンドＨ上にはガラス基板であるワークＷＫが載置され保持され、 水平駆動軸としての旋回軸１２、第２軸１３が駆動されることによって、アーム先端である手首軸１４の基台Ｂに対する水平移動量であるアーム伸ばし量Ｘが変化する、ワーク搬送ロボットＲ１であって アーム先端である手首軸１４の目標位置Ｐ２を設定する目標位置設定部３１と、 アーム先端である手首軸１４の指令開始位置Ｐ１を検出する現在位置設定部３２と、 アーム伸ばし量Ｘに対するアーム先端である手首軸１４の撓み量ΔＺを算出する撓み量算出部３３と、 指令開始位置Ｐ１から目標位置Ｐ２に至るまでの所望の軌跡Ｌ１２を求める軌跡プランニング部３４と、 上下軸１１、旋回軸１２、第２軸１３に対する駆動指令Ｚ′、Ｊ１、Ｊ２を生成し出力する逆変換部３６と、 駆動指令Ｚ′、Ｊ１、Ｊ２が入力され、上下軸１１、旋回軸１２、第２軸１３の駆動制御を実行する制御部３８とを備え、 駆動指令Ｚ′に応じてモータＭ１が駆動され鉛直駆動軸として上下軸１１が駆動されることによって旋回アーム１６及び第２アーム１７のＺ軸方向の鉛直移動量Ｚが変化し、 アーム伸ばし量Ｘと撓み量ΔＺとの対応関係Ｌ６が記憶テーブルに記憶され、対応関係Ｌ６が示す撓み量ΔＺはアーム伸ばし量Ｘにおける実測値であり、 サンプリング時間Ｔａが経過する毎に、指令開始位置Ｐ１から目標位置Ｐ２に至るまでの軌跡Ｌ１２上の各指令位置Ｐｓ１、Ｐｓ２、Ｐ１１、Ｐｓ３、Ｐｓ４、Ｐ１２、Ｐｓ５、Ｐｓ６、Ｐ２が逆変換部３６に入力され、 サンプリング時刻毎の各指令位置Ｐｓ１、Ｐｓ２、Ｐ１１、Ｐｓ３、Ｐｓ４、Ｐ１２、Ｐｓ５、Ｐｓ６、Ｐ２における撓み補正量ΔＺが求められ、 指令位置がＰ１２であったとすると、この指令位置Ｐ１２に対応するアーム伸ばし量Ｘ１２が求められ、このアーム伸ばし量Ｘ１２に対応する撓み量ΔＺ１２が対応関係Ｌ６から求められ、アーム伸ばし量Ｘ１２に対応する撓み補正量ΔＺ１２が、上記求めた撓み量ΔＺ１２を正負反転させて求められ、つぎに、現在の指令位置Ｐ１２における撓み補正量ΔＺ１２と指令開始位置Ｐ１における撓み補正量ΔＺ１との差ΔＺ１２－ΔＺ１が求められ、指令位置Ｐ１２における本来の駆動指令Ｚ（＝０）に対して上記偏差ΔＺ１２－ΔＺ１を加えることによって駆動指令Ｚが補正されこの補正された駆動指令Ｚ′が上下軸１１に対して出力され、 指令位置Ｐｎのときも同様にして、指令位置Ｐｎに対応する撓み補正量ΔＺｎが求められ、現在の指令位置Ｐｎにおける本来の駆動指令Ｚ（＝０）に対して偏差ΔＺｎ－ΔＺ１を加えることによって駆動指令Ｚが補正され、この補正された駆動指令Ｚ′が上下軸１１に対して出力され、この駆動指令Ｚ′に応じて上下軸１１用のモータＭ１の位置、速度が制御され、その結果上下軸１１は鉛直移動量Ｚ′（＝Ｚ＋（ΔＺｎ－ΔＺ１））だけ駆動され、 現在の指令位置Ｐｎに対応するアーム伸ばし量Ｘｎが求められ、このアーム伸ばし量Ｘｎが得られる各軸駆動指令Ｊ１ｎ、Ｊ２ｎが逆変換によって求められ駆動指令Ｊ１ｎが旋回軸１２に対して出力されるとともに駆動指令Ｊ２ｎが第２軸１３に対して出力され、この駆動指令Ｊ１ｎ、Ｊ２ｎに応じて旋回軸１２用のモータＭ２、第２軸１３用のモータＭ３の位置、速度がそれぞれ制御され、その結果旋回軸１２が角度Ｊ１ｎだけ駆動されるとともに第２軸１３が角度Ｊ２ｎだけ駆動され、 アーム先端である手首軸１４は指令開始位置Ｐ１から目標位置Ｐ２まで、Ｘ軸に沿った直線である軌跡Ｌ１２上を移動し、この間、各サンプリング時刻ｔn毎に、アーム先端である手首軸１４が撓み方向とは反対の鉛直方向Ｚに、指令開始位置における撓み量に対する差分ΔＺｎ－ΔＺ１だけ鉛直移動するように鉛直方向駆動量Ｚの補正がなされ、アーム先端１４が水平線ＨＬに沿って直線状に移動する、 ワーク搬送ロボットＲ１。」 （３）対比及び判断 ア 本件補正発明と引用発明とを対比する。 （ア）引用発明は「第２アーム１７の先端部には、ハンドＨが」「支持され」、「ハンドＨ上にはガラス基板であるワークＷＫが載置され保持され」、「アーム伸ばし量Ｘが変化」する「ワーク搬送ロボットＲ１」であり、引用発明の「ワーク搬送ロボットＲ１」は、基板を搬送する装置といえるから、本件補正発明の「基板搬送装置」に相当する。 （イ）本願明細書の段落００２９には「一態様では、フレーム２０００Ｆは」「基準参照表面を形成する取付け表面２０１０を含む」と記載され、本件補正発明の「フレーム」は基準参照表面を形成する取り付け表面を含むものであると認められる。 一方、引用発明は「基台Ｂに対して第１アームとしての旋回アーム１６、第２アーム１７が」「上下軸１１を介して鉛直軸Ｚの方向に上下動自在に配設され」るものであるから、「基台Ｂ」は第１アームとしての旋回アーム１６、第２アーム１７の取り付け表面であるといえる。また、引用文献１の段落００１３には「そして駆動指令に応じて水平駆動軸としての旋回軸１２、第２軸１３が駆動されることによってアーム先端（ワークＷＫ）の基台Ｂに対する水平移動量が変化する。」と記載され、アーム先端（ワークＷＫ）の水平移動量は基台Ｂを基準とするものであるといえる。 そうすると、引用発明の「基台Ｂ」は、基準参照表面を形成する取り付け表面を構成するものであるといえるから、本件補正発明の「フレーム」に相当する。 （ウ）引用発明は「基台Ｂに対して第１アームとしての旋回アーム１６、第２アーム１７が、モータＭ１によって駆動される上下軸１１を介して」「配設され」るものである。 よって、引用発明の「上下軸１１」は、基台Ｂに配設されモータＭ１によって駆動されるものであるといえるから、上記（イ）を踏まえると、本件補正発明の「フレームに接続される駆動部」に相当する。 （エ）引用発明の「上下軸１１には、旋回アーム１６の基端部が」「旋回軸１２回りに回転自在に支持され」、「旋回アーム１６の先端部には、第２アーム１７の基端部が」「第２軸１３回りに回転可能に支持され」ることは、旋回アーム１６及び第２アーム１７が上下軸１１に動作可能に接続され、それぞれ旋回軸１２及び第２軸１３で回転自在であって、関節のように動くものであるから、本件補正発明の「前記駆動部に動作可能に接続される搬送アームであって、前記搬送アームは、関節式で」あることに相当する。 また、引用発明の「第２アーム１７の先端部には、ハンドＨが」「支持され」、「ハンドＨ上にはガラス基板であるワークＷＫが載置され保持され」ることは、本件補正発明の「前記搬送アームは」「基板保持部を備えるエンドエフェクタを有」することに相当する。 （オ）引用発明の「水平駆動軸としての旋回軸１２、第２軸１３が駆動されること」及び「基台Ｂに対する水平移動量であるアーム伸ばし量Ｘが変化」することは、上記（エ）を踏まえると、本件補正発明の「前記フレームに対する少なくとも一つの運動軸に沿った前記搬送アームの関節運動」及び「フレームに対し移動可能である」ことに相当する。また、引用発明の「指令開始位置Ｐ１から目標位置Ｐ２まで」は、本件補正発明の「第１位置と、前記第１位置と異なる第２位置との間」に相当し、引用発明の「Ｘ軸に沿った直線である軌跡Ｌ１２上を移動」することは、本件補正発明の「画定される搬送スペース内において」「移動可能である」ことに相当する。 よって、引用発明の「水平駆動軸としての旋回軸１２、第２軸１３が駆動されることよって、アーム先端である手首軸１４の基台Ｂに対する水平移動量であるアーム伸ばし量Ｘが変化し」、「アーム先端である手首軸１４は指令開始位置Ｐ１から目標位置Ｐ２まで、Ｘ軸に沿った直線である軌跡Ｌ１２上を移動」することは、本件補正発明の「前記フレームに対する少なくとも一つの運動軸に沿った前記搬送アームの関節運動により画定される搬送スペース内において、第１位置と、前記第１位置と異なる第２位置との間で、前記フレームに対し移動可能である」ことに相当する。 （カ）ａ 本願明細書の段落００５３には実施形態として「一態様では、経験的垂下距離ＤＲＰの測定値は、既に説明したものと類似のルックアップテーブルの形態であるアーム垂下距離レジスタ７００Ａに記憶されてもよい。」と記載されているから、本件補正発明の「パラメータ化されていない経験的アーム垂下距離」は、ルックアップテーブルの形態で記憶される経験的垂下距離の測定値であるといえる。 ｂ 引用文献１の段落００７３には「アーム１６、１７の撓みは、アーム基端部（旋回軸１２）に対するアーム１６、１７、ワークＷＫの慣性モーメントによって定まる。したがってアーム１６、１７、ワークＷＫの重量が定まればアーム先端１４の撓み量ΔＺは」「定まる。」と記載されており、引用発明の「撓み量ΔＺ」は、旋回アーム１６及び第２アーム１７の重量による撓みであるから、アーム垂下によるアーム垂下距離であるといえる。 ｃ そして、引用発明において「アーム伸ばし量Ｘと撓み量ΔＺとの対応関係Ｌ６が記憶テーブルに記憶され、対応関係Ｌ６が示す撓み量ΔＺはアーム伸ばし量Ｘにおける実測値で」あるから、「対応関係Ｌ６が示す撓み量ΔＺ」は、記憶テーブルに記憶される実測値であり、上記ａ及びｂを踏まえると、ルックアップテーブルの形態で記憶される経験的垂下距離の測定値であり、パラメータ化されていない経験的アーム垂下距離であるといえる。 ｄ 次に、引用発明において「駆動指令Ｚ′に応じてモータＭ１が駆動され鉛直駆動軸として上下軸１１が駆動されることによって旋回アーム１６及び第２アーム１７のＺ軸方向の鉛直移動量Ｚが変化」するから、「駆動指令Ｚ′」は、旋回アーム１６及び第２アーム１７のＺ軸方向の鉛直移動量Ｚを変化させるものである。 そして、引用発明の「指令位置がＰ１２であったとすると」「アーム先端撓み量ΔＺ１２が対応関係Ｌ６から求められ」「撓み補正量ΔＺ１２が、上記求めた撓み量ΔＺ１２を正負反転させて求められ」、「差ΔＺ１２－ΔＺ１が求められ、指令位置Ｐ１２における本来の駆動指令Ｚ（＝０）に対して上記偏差ΔＺ１２－ΔＺ１を加えることによって駆動指令Ｚが補正され、この補正された駆動指令Ｚ′が上下軸１１に対して出力され」ることは、対応関係Ｌ６から求めた指令位置がＰ１２である撓み量ΔＺ１２を正負反転させた撓み補正量ΔＺ１２により駆動指令Ｚを補正して駆動指令Ｚ′を出力することであるから、指令位置がＰ１２である撓み量ΔＺ１２を補正すなわち解決するように構成されるものであるといえる。 ｅ また、引用発明において「サンプリング時間Ｔａが経過する毎に、指令開始位置Ｐ１から目標位置Ｐ２に至るまでの軌跡Ｌ１２上の各指令位置Ｐｓ１、Ｐｓ２、Ｐ１１、Ｐｓ３、Ｐｓ４、Ｐ１２、Ｐｓ５、Ｐｓ６、Ｐ２が逆変換部３６に入力され」、「指令位置Ｐｎのときも同様にして、指令位置Ｐｎに対応する撓み補正量ΔＺｎが求められ、現在の指令位置Ｐｎにおける本来の駆動指令Ｚ（＝０）に対して偏差ΔＺｎ－ΔＺ１を加えることによって駆動指令Ｚが補正されこの補正された駆動指令Ｚ′が上下軸１１に対して出力され」ることは、上記ｄを踏まえると、指令開始位置Ｐ１から目標位置Ｐ２に至るまでの各指令位置Ｐｓ１、Ｐｓ２、Ｐ１１、Ｐｓ３、Ｐｓ４、Ｐｓ５、Ｐｓ６、Ｐ２においても、指令位置がＰ１２におけるときと同様に、対応関係Ｌ６から求めた撓み量ΔＺｎを正負反転させた撓み補正量ΔＺｎにより駆動指令Ｚを補正して駆動指令Ｚ′を出力することであり、第１位置と第２位置との間の撓み量ΔＺを解決することであるといえる。 ｆ 本件補正発明の「アーム垂下補償装置」は「前記第１位置と前記第２位置との間の搬送アーム垂下による前記搬送アームのパラメータ化されていない経験的アーム垂下距離を解決するように構成される」ものである。 一方、引用発明の「アーム伸ばし量Ｘに対するアーム先端である手首軸１４の撓み量ΔＺを算出する撓み量算出部３３と、指令開始位置Ｐ１から目標位置Ｐ２に至るまでの所望の軌跡Ｌ１２を求める軌跡プランニング部３４と、上下軸１１、旋回軸１２、第２軸１３に対する駆動指令Ｚ′、Ｊ１、Ｊ２を生成し出力する逆変換部３６」は、少なくとも撓み量ΔＺを算出し、駆動指令Ｚ′を生成し出力するものであるから、上記ｃ～ｅを踏まえると、第１位置と第２位置との間の撓み量ΔＺを補償するものであり、第１位置と第２位置との間の搬送アーム垂下による搬送アームのパラメータ化されていない経験的アーム垂下距離を解決するものであるから、アーム垂下補償装置であるといえる。 ｇ 引用発明の「制御部３８」は、「駆動指令Ｚ′、Ｊ１、Ｊ２が入力され、上下軸１１、旋回軸１２、第２軸１３の駆動制御を実行する」ものであるから、上記（エ）を踏まえると、旋回アーム１６及び第２アーム１７が上下軸１１に動作可能に接続され、それぞれ旋回軸１２及び第２軸１３で回転自在であって、駆動指令Ｚ′、Ｊ１、Ｊ２に基づいて、関節のように動くよう駆動制御を実行する装置であるといえる。 よって、引用発明の「アーム伸ばし量Ｘに対するアーム先端である手首軸１４の撓み量ΔＺを算出する撓み量算出部３３と、指令開始位置Ｐ１から目標位置Ｐ２に至るまでの所望の軌跡Ｌ１２を求める軌跡プランニング部３４と、上下軸１１、旋回軸１２、第２軸１３に対する駆動指令Ｚ′、Ｊ１、Ｊ２を生成し出力する逆変換部３６と、駆動指令Ｚ′、Ｊ１、Ｊ２が入力され、上下軸１１、旋回軸１２、第２軸１３の駆動制御を実行する制御部３８」は、駆動指令Ｚ′、Ｊ１、Ｊ２を生成し出力し、出力された駆動指令Ｚ′、Ｊ１、Ｊ２に基づいて、旋回アーム１６及び第２アーム１７が関節のように動くよう駆動制御を実行する装置であるから、上記ｆを踏まえると、搬送アームの関節運動をもたらすように駆動部に動作可能に接続される制御装置であって、アーム垂下補償装置を備える制御装置であるといえる。 ｈ 上記ｃ～ｇより、引用発明の「アーム伸ばし量Ｘに対するアーム先端である手首軸１４の撓み量ΔＺを算出する撓み量算出部３３と、指令開始位置Ｐ１から目標位置Ｐ２に至るまでの所望の軌跡Ｌ１２を求める軌跡プランニング部３４と、上下軸１１、旋回軸１２、第２軸１３に対する駆動指令Ｚ′、Ｊ１、Ｊ２を生成し出力する逆変換部３６と、駆動指令Ｚ′、Ｊ１、Ｊ２が入力され、上下軸１１、旋回軸１２、第２軸１３の駆動制御を実行する制御部３８とを備え」、「アーム伸ばし量Ｘと撓み量ΔＺとの対応関係Ｌ６が記憶テーブルに記憶され、対応関係Ｌ６が示す撓み量ΔＺはアーム伸ばし量Ｘにおける実測値であり、サンプリング時間Ｔａが経過する毎に、指令開始位置Ｐ１から目標位置Ｐ２に至るまでの軌跡Ｌ１２上の各指令位置Ｐｓ１、Ｐｓ２、Ｐ１１、Ｐｓ３、Ｐｓ４、Ｐ１２、Ｐｓ５、Ｐｓ６、Ｐ２が逆変換部３６に入力され、」「指令位置がＰ１２であったとすると、」「撓み量ΔＺ１２が対応関係Ｌ６から求められ」「撓み補正量ΔＺ１２が、上記求めた撓み量ΔＺ１２を正負反転させて求められ」、「差ΔＺ１２－ΔＺ１が求められ、指令位置Ｐ１２における本来の駆動指令Ｚ（＝０）に対して上記偏差ΔＺ１２－ΔＺ１を加えることによって駆動指令Ｚが補正されこの補正された駆動指令Ｚ′が上下軸１１に対して出力され、指令位置Ｐｎのときも同様にして、指令位置Ｐｎに対応する撓み補正量ΔＺｎが求められ、現在の指令位置Ｐｎにおける本来の駆動指令Ｚ（＝０）に対して偏差ΔＺｎ－ΔＺ１を加えることによって駆動指令Ｚが補正され、この補正された駆動指令Ｚ′が上下軸１１に対して出力され」ることは、本件補正発明の「前記搬送アームの関節運動をもたらすように前記駆動部に動作可能に接続される制御装置であって、前記制御装置は、前記第１位置と前記第２位置との間の搬送アーム垂下による前記搬送アームのパラメータ化されていない経験的アーム垂下距離を解決するように構成されるアーム垂下補償装置を備える、制御装置とを備える」ことに相当する。 （キ）上記（ア）～（カ）より、本件補正発明と引用発明とは相違するところがなく、本件補正発明は引用文献１に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、同法同条同項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。 イ 審判請求人の主張について （ア）審判請求人は令和５年２月１３日提出の審判請求書の［請求の理由］３.（３）（３－１）において、曲線Ｌ６は、１次または２次の線形式ΔＺ＝ｆ（Ｘ）から解析的に決定されるものであって、請求項１に記載されるような「経験的アーム垂下距離」ではないことが明らかであるから、引用文献１には、請求項１に記載された「前記搬送アームの関節運動をもたらすように前記駆動部に動作可能に接続される制御装置であって、前記制御装置は、前記第１位置と前記第２位置との間の搬送アーム垂下による前記搬送アームのパラメータ化されていない経験的アーム垂下距離を解決するように構成されるアーム垂下補償装置を備える、制御装置」という特徴を明示的にも本質的にも開示するものがない旨主張している。 （イ）しかし、引用文献１の段落００７４には「同図１１の曲線Ｌ６はアーム伸ばし量Ｘに対するアーム先端撓み量ΔＺの実測値を示している。」と記載され、図１１には「Ｌ６たわみ量（測定値）ΔＺ」と記載されているから、曲線Ｌ６が実測値又は測定値であり、１次または２次の線形式ΔＺ＝ｆ（Ｘ）から解析的に決定されるものではないことは明らかである。さらに、引用文献１の段落００７５には「上記アーム伸ばし量Ｘとアーム先端撓み量ΔＺとの対応関係Ｌ６は記憶テーブルに記憶される。」と記載され、段落００７６には「本実施形態では上記アーム伸ばし量Ｘとアーム先端撓み量ΔＺとの対応関係Ｌ６を記憶テーブルに記憶しているが、関数ｆを所定の関数としてアーム伸ばし量Ｘからアーム先端撓み量ΔＺを演算する演算式ΔＺ＝ｆ（Ｘ）を記憶しておいてもよい。」と記載され、実測値であるアーム伸ばし量Ｘとアーム先端撓み量ΔＺとの対応関係Ｌ６を記憶テーブルに記憶する方法、又は、アーム伸ばし量Ｘからアーム先端撓み量ΔＺを演算する演算式ΔＺ＝ｆ（Ｘ）を記憶する方法のいずれかを用いることが記載されている。そして、引用発明の「アーム伸ばし量Ｘと撓み量ΔＺとの対応関係Ｌ６が記憶テーブルに記憶され、対応関係Ｌ６が示す撓み量ΔＺはアーム伸ばし量Ｘにおける実測値で」あることは前者に該当し、請求人が主張する１次または２次の線形式ΔＺ＝ｆ（Ｘ）から解析的に決定されるものは後者に該当する。よって、引用発明の「対応関係Ｌ６が示す撓み量ΔＺ」は、１次または２次の線形式ΔＺ＝ｆ（Ｘ）から解析的に決定されるものではなく、パラメータ化されていない経験的アーム垂下距離であるといえるから、上記主張を採用することはできない。 （４）本件補正の適否についてのむすび 以上のとおりであるから、本件補正は、特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 よって、前記補正の却下の決定の結論のとおり決定する。 第３ 本願発明について １ 本願発明 本件補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１～９６に係る発明は、令和４年６月２１日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１～９６に記載された事項により特定されるものと認められるところ、本願の請求項１９に係る発明（以下「本願発明」という。）は、上記「第２［理由］１（２）」において記載した請求項１９のとおりのものである。 ２ 原査定の拒絶の理由 原査定の拒絶の理由は、概略次のとおりである。 理由１（新規性）この出願の請求項１９～２５、２７、３１～３３、３５～３７、３９～４５、４７、６７～７３、７５、７９～８１、８３～８５、８７～９３、９５に係る発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された引用文献１に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができない。 理由２（進歩性）この出願の下記の請求項１９～２７、３１～３３、３５～４７、７４、８６、９４に係る発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された引用文献１、３～５に記載された発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 ＜引用文献等一覧＞ １．特開２０００－１８３１２８号公報 ３．特開２００７－２８３４３６号公報（周知技術を示す文献） ４．特開２００８－１０５１２５号公報（周知技術を示す文献） ５．特開２００４－２９９０１０号公報（周知技術を示す文献） ３ 引用文献 原査定の拒絶の理由で引用された引用文献１の記載事項は、上記第２の［理由］２（２）に記載したとおりである。 ４ 当審の判断 本願発明は、上記第２の［理由］２で検討した本件補正発明から、「パラメータ化されていない」という限定事項を削除したものである。 そうすると、本願発明の発明特定事項を全て含み、さらに他の前記限定事項を付加したものに相当する本件補正発明が、上記第２の［理由］２（３）で検討したとおり、引用文献１に記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号に該当するものであるから、本願発明も引用文献１に記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号に該当するものである。 第４ むすび 以上のとおりであるから、本願発明は、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができないものである。 したがって、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。 よって、結論のとおり審決する。