2022-020983

特願２０２０－１５５７９０「基板処理装置及び基板搬送装置」拒絶査定不服審判事件〔令和 ２年１２月２４日出願公開、特開２０２０－２０５４５０〕について、次のとおり審決する。

結 論 本件審判の請求は、成り立たない。

理 由 第１ 手続の経緯 本願は、２０１１年（平成２３年）１１月１０日（パリ条約に基づく優先権主張 外国庁受理 ２０１０年１１月１０日 米国、２０１１年３月１１日 米国、２０１１年１１月１０日 米国）を国際出願日とする特願２０１３－５３８８８６号の一部を、平成２８年１２月２６日に新たな特許出願（特願２０１６－２５１５７５号）とし、更にその一部を令和１年６月２６日に新たな特許出願（特願２０１９－１１８９０８号）とし、更にその一部を令和２年９月１６日に新たな特許出願としたものであって、その手続の経緯は以下のとおりである。 令和３年１０月２０日付け ：拒絶理由通知書 令和４年 ４月２６日 ：意見書、手続補正書の提出 令和４年 ８月１６日付け ：拒絶査定 令和４年１２月２３日 ：審判請求書、手続補正書の提出 令和５年 ８月 ２日付け ：拒絶理由通知書 令和６年 ２月 ７日 ：意見書、手続補正書の提出 第２ 本願発明 本願の請求項１～６に係る発明は、令和６年２月７日提出の手続補正書の請求項１～６に記載された事項により特定されるものであって、その請求項１の記載は次のとおりである。（以下、本願の請求項１に係る発明を「本願発明」という。） 「 【請求項１】 複数のポートを有する搬送室であって、それぞれのポートが、それぞれの基板保持ステーションに結合するように構成されている、搬送室と、 少なくとも部分的に前記搬送室内に取り付けられた基板搬送装置と を備える基板処理装置であって、 前記基板搬送装置は、 フレームと、 互いに回転可能および直列に結合された第一の上腕リンク、第一の前腕リンク及び少なくとも一つの基板ホルダを有する第一のスカラアームと、 互いに回転可能および直列に結合された第二の上腕リンク、第二の前腕リンク及び少なくとも一つの基板ホルダを有する第二のスカラアームであって、前記第一及び第二のスカラアームは、共通の肩軸を共有するように前記フレームに取り付けられている、第二のスカラアームと、 前記第一及び第二のスカラアームのそれぞれが、前記共通の肩軸を中心にユニットとしてそれぞれ独立した回転が可能であり、前記第一及び第二のスカラアームのうちの別のスカラアームから独立した伸長が可能であるように、前記第一及び第二のスカラアームに接続された同軸の駆動セクションであって、前記第一及び第二のスカラアームのそれぞれが、前記共通の肩軸を中心に異なる角度位置で伸長可能であり、それぞれの角度位置は、それぞれのポートが前記第一及び第二のスカラアームのそれぞれによってアクセス可能であるように、前記搬送室のそれぞれのポートに対応している、同軸の駆動セクションと を含み、 前記第一及び第二のスカラアームは、 前記第二のスカラアームが前記共通の肩軸を中心に前記第二のスカラアームのそれぞれの異なる角度位置で持続された状態で、前記共通の肩軸を中心とした前記第一のスカラアームの伸長軸の回転が、前記第二のスカラアームによる前記第一のスカラアームと前記第二のスカラアームとの間の相対移動の妨げにより制約され、前記共通の肩軸を中心とした前記第一のスカラアームの伸長軸の回転が、前記第二のスカラアームの伸長軸に対して非ゼロ角度で角度が付けられたままであり、前記駆動セクションとは無関係に前記第二のスカラアームの前記角度位置により画定される角度範囲内で制約され、前記同軸の駆動セクションが前記第一及び第二のスカラアームのうちの少なくとも１つを前記第一及び第二のスカラアームのうちの別のスカラアームに対して回転させることで、前記非ゼロ角度が可変であるように、 互いに対して配置される、 基板処理装置。」 第３ 当審における拒絶の理由 当審において、令和５年８月２日付けで通知した拒絶の理由２、３は、以下のとおりである。 理由２（新規性） この出願の請求項１～６に係る発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができない。 理由３（進歩性） この出願の請求項１～６に係る発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 記 ＜引用文献等一覧＞ ２ 特開２００８－２７２８６４号公報 第４ 引用文献２、引用発明 １ 引用文献２の記載 当審において、令和５年８月２日付けで通知した拒絶の理由で引用した特開２００８－２７２８６４号公報（以下「引用文献２」という。）には次の記載がある。（下線は当審において付した。） 「【発明の開示】 【発明が解決しようとする課題】 【００１０】 上記特許文献１，２に記載のロボットは、ダブルアームを駆動させることによってスループットの向上を図っているが、その駆動はいずれもリンク機構となっており、一方のアームがワークを搬入／搬出している間、他方のアームは後方で待機状態となっていることから、搬送時間短縮の観点からは不十分である。 【００１１】 また、上記特許文献１，２においては、ワークを載置する搬送台（ハンド部材）の座標位置が上下方向にずれているものが記載されているが、こうしたずれは、上記のように、プロセスチャンバ内のワークを一方の搬送台で搬出した後に他方の搬送台で別のワークを搬入する場合、搬送台の駆動軸等を上下方向に大きく移動させて搬送台の上下方向の座標位置をプロセスチャンバの座標位置と一致させるという動作を加えなければならず、動作機構が煩雑となり、搬送時間短縮の観点からは不十分である。 【００１２】 本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、各アームを独立して動作させるとともに、各アームの上下方向の座標位置を同じにして、ワークの搬送時間等を短縮することができる産業用ロボットを提供することにある。また、本発明の他の目的は、そうした産業用ロボットを備えた集合処理装置を提供することにある。 【課題を解決するための手段】 【００１３】 上記課題を解決するための本発明の産業用ロボットは、基台部側からアーム部及びハンド部の順で連結され、当該ハンド部を所定方向に向けながら伸縮自在に動作するアームを２つ以上有する産業用ロボットであって、前記アームそれぞれは、アーム伸縮軸を回動中心として前記アームを伸縮させるアーム伸縮用駆動源と、アーム旋回軸を回動中心として前記アームを旋回させるアーム旋回用駆動源と、前記ハンド部の上下方向の座標位置をほぼ同じにする連結部材と、を備えることを特徴とする。 【００１４】 この発明によれば、アームそれぞれが、アーム伸縮軸を回動中心としてアームを伸縮させるアーム伸縮用駆動源と、アーム旋回軸を回動中心としてアームを旋回させるアーム旋回用駆動源とを備えるので、それぞれのアームが、その伸縮と旋回を独自に行うことができる。また、この発明によれば、ハンド部の上下方向の座標位置をほぼ同じにする連結部材を備えるので、それぞれのアームが、例えばプロセスチャンバ内のワークの搬出と搬入を駆動軸等の大きな上下移動をさせずに行うことができる。したがって、本発明によれば、ワークの搬送時間やサイクルタイム等を短縮でき、作業性を高めることができる。 【００１５】 本発明の産業用ロボットの好ましい態様は、前記アームのうちの１つのアームを動作させるアーム伸縮軸が中実軸であり、それ以外の軸である前記アーム旋回軸及び他のアームのアーム伸縮軸が前記中実軸と同心になるように設けられた中空軸であるように構成する。 【００１６】 この発明によれば、アーム伸縮軸とアーム旋回軸とが同心となるように構成されるので、一つの同心軸を有するコンパクトな構造となるとともに、例えば減圧環境下に設置した際の密封性を高めることができる。 ・・・＜中略＞・・・ 【００２１】 上記課題を解決するための本発明の集合処理装置は、上記本発明の産業用ロボットと、当該産業用ロボットが設置されるトランスファチャンバと、当該トランスファチャンバの周囲に配置され、前記産業用ロボットが備える２つ以上のアームによってワークの搬入／搬出が行われる複数のプロセスチャンバと、を備えることを特徴とする。なお、「集合」とは、プロセス装置が多く、そうしたプロセス装置をプロセスチャンバとしてトランスファチャンバの周りに配置した状態を示す。 【００２２】 この発明によれば、産業用ロボットが備える２つ以上のアームは、それぞれがアーム伸縮用駆動源とアーム旋回用駆動源とを備えて独立に動作し、それぞれが備えるハンド部に載置されるワークの高さがほぼ同じであるように構成されているので、トランスファチャンバの周囲に配置されたプロセスチャンバに対するワークの搬入／搬出等の時間を短縮することができる。 【発明の効果】 【００２３】 本発明の産業用ロボットによれば、それぞれのアームが、その伸縮と旋回を独自に行うことができるとともに例えばプロセスチャンバ内のワークの搬出と搬入を駆動軸等の大きな上下移動をさせることなく行うことができるので、ワークの搬送時間やサイクルタイム等を短縮でき、作業性を高めることができる。さらに、本発明の産業用ロボットによれば、それぞれのアームの旋回と伸縮は、アーム旋回軸とアーム伸縮軸それぞれを個別に回転させて行うことができるので、制御する軸数が少なく、コストメリットのある装置構造となっている。 【００２４】 また、本発明の集合処理装置によれば、トランスファチャンバの周囲に配置されたプロセスチャンバに対するワークの搬入／搬出等の時間を短縮することができる。 ・・・＜中略＞・・・ 【００２７】 図１には２つのアーム１０Ａ，１０Ｂを有するロボット１が例示されており、アーム１０Ａ，１０Ｂそれぞれは、アーム伸縮軸２Ａ，２Ｂを回動中心としてアーム１０Ａ，１０Ｂを伸縮させるアーム伸縮用駆動源４Ａ，４Ｂと、アーム旋回軸３Ａ，３Ｂを回動中心としてアーム１０Ａ，１０Ｂを旋回させるアーム旋回用駆動源５Ａ，５Ｂと、ハンド部１２の上下方向の座標位置Ｐ１，Ｐ２をほぼ同じにする連結部材と、を備えている。そして、２つのアーム１０Ａ，１０Ｂのうちの１つのアーム１０Ａを動作させるアーム伸縮軸２Ａが中実軸であり、それ以外の軸であるアーム旋回軸３Ａ，３Ｂ及び他のアーム１０Ｂのアーム伸縮軸２Ｂが前記の中実軸と同心になるように設けられた中空軸であるように構成されている。 【００２８】 なお、本願の説明及び図中の符号において、数字符号に続く「Ａ」「Ｂ」の符号は、そうした２つのアーム１０Ａ，１０Ｂに対応した構成要素であることを表している。本願発明の各構成要素について、それぞれのアーム１０Ａ，１０Ｂに対応して説明するときは数字の後に「Ａ」「Ｂ」を付すが、それぞれのアーム１０Ａ，１０Ｂに対応しないで説明するときは数字の後に「Ａ」「Ｂ」を付さないこととする。以下、本発明の産業用ロボット１を、構成要素ごとに詳しく説明する。 【００２９】 （アーム） 先ず、アーム１０（１０Ａ，１０Ｂ）について説明する。図２は、図１に示す２つのアームのうちの１つのアームを構成する第１アーム部材の内部構造を示す透視平面図（Ａ）及びＢ－Ｂ断面図（Ｂ）であり、図３は、図１に示す２つのアームのうちの１つのアームを構成する第２アーム部材の内部構造を示す透視平面図（Ａ）及びＣ－Ｃ断面図（Ｃ）である。本発明に係るロボット１は、２以上のアーム１０を有している。それぞれのアーム１０は、基台部１００側からアーム部１１及びハンド部１２の順で連結され、ハンド部１２を所定方向に向けながら伸縮自在に動作する。アーム部１１とハンド部１２は、基台部１００側から、第１アーム部材２０、第２アーム部材３０及びハンド部材４０の順で連結されて構成されている。 【００３０】 アーム部１１を構成する第１アーム部材２０は、基台部１００側にあってアーム伸縮軸２に連結する第１プーリ２１と、第２アーム部材３０側にあって第２アーム部材３０に連結する第２プーリ２２と、第１プーリ２１及び第２プーリ２２間に掛かる第１ベルト２３とを有している。また、アーム部１１を構成する第２アーム部材３０は、第２プーリ２２と同心となるように設けられた第３プーリ３１と、ハンド部材４０側にあってハンド部材４０に連結する第４プーリ３２と、第３プーリ３１及び第４プーリ３２間に掛かる第２ベルト３３とを有している。また、ハンド部１２を構成するハンド部材４０は、図１中に平面図として示したが、ウエハ等のワークを搭載して搬送するための搭載部４１を有する部材である。アーム部１１とハンド部１２のこうした構成により、２つのアーム１０Ａ，１０Ｂそれぞれは、アーム伸縮用駆動源４Ａ，４Ｂとアーム旋回用駆動源５Ａ，５Ｂとを備えて独立に動作することができるので、後述するように、トランスファチャンバの周囲に配置されたプロセスチャンバに対するワークの搬入／搬出等の時間を短縮することができる。 【００３１】 図１に示す例では、それぞれのアーム１０Ａ，１０Ｂは、例えば、一方のアーム１０Ａが有する第１アーム部材２０Ａが、他方のアーム１０Ｂが有する第１アーム部材２０Ｂの上に重なるように設けられている。そして、それぞれの第１アーム部材２０Ａ，２０Ｂに第２アーム部材３０Ａ，３０Ｂ及びハンド部材４０Ａ，４０Ｂが連結してアーム１０Ａ，１０Ｂを構成している。 【００３２】 図７は、ハンド部の上下方向の座標位置を同じにする連結部材の透視正面図であるが、アーム１０Ｂを構成する第１アーム部材２０Ｂと第２アーム部材３０Ｂとは、図示のように、連結部材２８で連結されている。この連結部材２８は、両アーム１０Ａ，１０Ｂが備えるハンド部１２Ａ，１２Ｂの上下方向の座標位置ＰＡ，ＰＢをほぼ同じにするように、上下方向に延びる連結部材２８の高さｈが調整されている。この連結部材２８によって、図１等に示すように、第１アーム部材２０Ｂが第１アーム部材２０Ａの下に配置されても、ハンド部１２Ａ，１２Ｂの上下方向の座標位置ＰＡ，ＰＢを同じにすることができる。こうしたことは、 例えばプロセスチャンバ内のワークの搬出と搬入を、それぞれのアーム１０Ａ，１０Ｂの駆動軸を大きく上下動させずに行うことができるので、ワークの搬送時間やサイクルタイム等を著しく短縮でき、作業性を格段に向上させることができる。 ・・・＜中略＞・・・ 【００３８】 各プーリの径比については、第１プーリ２１の径Ｒ１と第２プーリ２２の径Ｒ２とはＲ１：Ｒ２＝２：１の関係であり、第３プーリ３１の径Ｒ３と第４プーリ３２の径Ｒ４とはＲ３：Ｒ４＝１：２の関係となっている。したがって、第１プーリ２１、第２プーリ２２（第３プーリ３１）及び第４プーリ３２の回転角比は１：２：１となるので、第１プーリ２１と第２プーリ２２（第３プーリ３１）と第４プーリ３２との回転角度比は、１：２：１となる。その結果、後述の図８に示すように、第１プーリ２１を回動させて図８（Ａ）の状態から図８（Ｂ）及び図８（Ｃ）の状態に変化させると、第１アーム部材２０と第２アーム部材３０との角度が変化するが、ハンド部材４０は、第１アーム部材２０の第１プーリ２１の中心点Ｐと第２アーム部材３０の第４プーリ３２の中心点Ｒとを結んだ直線（仮想線Ｘ）上を、向きを一定にしながら伸縮するように移動することとなる。 【００３９】 本発明においては、アーム伸縮用駆動源４によってアーム伸縮軸２を回転させることにより、ハンド部４０を所定方向に向けた状態下で、第１アーム部材２０と第２アーム部材３０とハンド部４０とからなるアーム１０の伸縮動作が行われる。他方、アーム旋回用駆動源５によってアーム旋回軸３を回転させることにより、第１アーム部材２０を旋回し、アーム１０全体の旋回動作が行われる。なお、こうした伸縮動作及び旋回動作については後で詳述する。 【００４０】 （基台部） 次に、基台部１００について説明する。図４は、図１に示す基台部１００の透視断面の拡大図である。基台部１００は、図４に示すように、アーム１０Ａの伸縮動作を行うアーム伸縮軸２Ａと、アーム１０Ａの旋回動作を行うアーム旋回軸３Ａと、アーム１０Ｂの伸縮動作を行うアーム伸縮軸２Ｂと、アーム１０Ｂの旋回動作を行うアーム旋回軸３Ｂとを備えている。そして、各アーム１０Ａ，１０Ｂは、図１及び図５に示すアーム伸縮用駆動源４Ａ，４Ｂによってアーム伸縮軸２Ａ，２Ｂを回動中心として伸縮し、また、アーム旋回用駆動源５Ａ，５Ｂによってアーム旋回軸３Ａ，３Ｂを回動中心として旋回するように動作する。本発明においては、アームの伸縮と旋回それぞれについての軸と駆動源を有するので、各アームの旋回と伸縮を独自に行うことができるという効果がある。 ・・・＜中略＞・・・ 【００６０】 （アームの動作） 次に、アーム１０の動作を以下に説明する。図８は、アーム部の伸縮動作の説明図である。アーム１０は、第１アーム部材２０と第２アーム部材３０とが同じ長さとなっており、そのため、図８（Ａ）に示すように、初期状態では第１アーム部材２０と第２アーム部材３０とが折れて縮んだ状態になる。ここで、「同じ長さ」とは、アームの両端に位置するプーリの中心間の長さ（図８において、ＰとＱとの間隔、ＱとＲとの間隔）が同じという意味である。なお、初期状態では、ハンド部材４０は第２アーム部材３０にほぼ直交するように設けられており、第１アーム部材２０及び第２アーム部材３０の略長手方向の仮想線Ｙと、ハンド部材４０の長手方向の仮想線Ｘとは直交している。 【００６１】 次に、アーム伸縮軸２を仮想線Ｙに対して角度θ１となるまで回転させると、第１アーム部材２０も第１プーリ２１の中心点Ｐを中心にして仮想線Ｙに対して角度θ１となるまで回転する。本発明では、第１プーリ２１と第２プーリ２２の径比が２：１であるので、第２アーム部材３０は、図８（Ｂ）に示すように、第１アーム部材２０の２倍の速さで第１アーム部材２０の回転方向の逆方向に回転する。したがって、第１アーム部材２０と第２アーム部材３０との角度θ２は、第１アーム部材２０の回転角度θ１の２倍となる。 【００６２】 また、本発明では、第３プーリ３１と第４プーリ３２の径比が１：２であるので、ハンド部材４０は、図８（Ｃ）に示すように、第２アーム部材３０の１／２倍の速さで第２アーム部材３０の回転方向の逆方向に回転する。したがって、第２アーム部材３０とハンド部材４０との角度θ３は、第１アーム部材２０と第２アーム部材３０との角度θ２の１／２倍になる。 【００６３】 さらにその後、アーム伸縮軸２を逆回転させると、アーム１０は、図８（Ｃ）の伸長状態から図８（Ｂ）の状態を経て図８（Ａ）の状態に戻る。 【００６４】 以上のように、第１アーム部材２０の回転角θ１とハンド部材４０の回転角θ３の変化が同じになり、しかも第１アーム部材２０と第２アーム部材３０の長さが同じであるので、第２アーム部材３０とハンド部材４０とが連結する第４プーリ３２の中心点Ｒは、上記仮想線Ｘ上を伸縮するように変化し、ハンド部材４０は、上記仮想線Ｘ上を長手方向を変えずに変化する。したがって、アーム伸縮用駆動源４の回転によって、ハンド部材４０は、一定方向に伸縮運動するように変位する。 【００６５】 図９は、２つのアームの伸縮形態及び旋回形態の例を示す説明図である。図９において、（Ａ）は、アーム１０ＡがポジションＳに伸縮し、アーム１０ＢがポジションＵに伸縮する態様であり、（Ｂ）は、アーム１０ＡがポジションＳに伸縮し、アーム１０ＢがポジションＶに伸縮する態様であり、（Ｃ）は、アーム１０ＡがポジションＴに伸縮し、アーム１０ＢがポジションＶに伸縮する態様であり、（Ｄ）は、アーム１０ＡがポジションＴに伸縮し、アーム１０ＢがポジションＵに伸縮する態様である。本発明のロボット１は、図９に示すように、２つのアーム１０Ａ，１０Ｂをそれぞれ独立して伸縮させ、旋回させることができる。 【００６６】 なお、各アーム１０Ａ，１０Ｂの旋回は、例えばアーム旋回駆動源にステッピングモータを用いた場合には、初期位置からの回転数を制御することにより、旋回位置を制御することができる。一方、例えばアーム旋回駆動源にサーボモータを用いた場合には、各アーム等の回転位置を検出するセンサやロータリエンコーダ等を用いて旋回位置を検出し、制御するようにしてもよい。 【００６７】 （半導体製造プロセスへの適用例） 図１０は、本発明の産業用ロボット１が半導体の製造プロセスに用いられる一例を示す概略平面図であり、図１１は、図１０の概略側面図である。図１０に示す装置は、半導体の製造プロセスにおける処理集合装置１５０であり、上記本発明のロボット１と、そのロボット１が設置されるトランスファチャンバ２０９と、トランスファチャンバ２０９の周囲に配置され、ロボット１が備える２つ以上のアーム１０Ａ，１０Ｂによってワークの搬入搬出が行われる複数のプロセスチャンバ２１０，２２０，２３０，２４０とを備える例である。なお、装置中央に設けられたトランスファチャンバ２０９は、減圧可能になっている。 【００６８】 このトランスファチャンバ２０９の周りには、例えば図１０の例では、その周方向に６分割された処理室が配置されている。このうち、符号２１０，２２０，２３０，２４０の４室は、プロセスチャンバであり、符号２０３，２０３の２室は、その集合処理装置１５０外からウエハの受け渡しを行う収容室である。また、符号２０１は、集合処理装置外からウエハ３０４の受け渡し行うロボットである。こうした集合処理装置１５０では、各室の入り口にゲートベン２０２，２０４，２０５が設けられ、そのゲートベン２０２，２０４，２０５の開閉により処理室への出し入れが行われる。」 「【図１】 ［図：0001414600000001.jpg］ 」 「【図７】 ［図：0001414600000002.jpg］ 【図８】 ［図：0001414600000003.jpg］ 【図９】 ［図：0001414600000004.jpg］ 【図１０】 ［図：0001414600000005.jpg］ 」 ２ 引用発明 （１） 処理集合装置１５０について 段落００６８記載の「各室」の「室」が、同段落に記載の「処理室」を意味することは明らかである。 そうすると、図１０についての段落００６７、００６８の記載によると、引用文献２には、 「ロボット１と、そのロボット１が設置されるトランスファチャンバ２０９と、トランスファチャンバ２０９の周囲に配置され、ロボット１が備える２つのアーム１０Ａ、１０Ｂによってワークの搬入搬出が行われる複数のプロセスチャンバ２１０、２２０、２３０、２４０とを備える半導体の製造プロセスにおける処理集合装置１５０であって、 このトランスファチャンバ２０９の周りには、その周方向に６分割された処理室が配置され、このうち、４室は、プロセスチャンバ２１０、２２０、２３０、２４０であり、２室は、その集合処理装置１５０外からウエハの受け渡しを行う収容室２０３、２０３であり、各処理室の入り口にゲートベン２０４、２０５が設けられ、そのゲートベン２０４、２０５の開閉により処理室への出し入れが行われる処理集合装置１５０」が記載されているといえる。 また、図１０から、トランスファチャンバ２０９は、各処理室（プロセスチャンバ２１０、２２０、２３０、２４０及び収容室２０３、２０３）に結合するように構成されているゲートベン２０４、２０５を有していることが見て取れる。 （２） アーム１０Ａ、１０Ｂの構成について 段落００２８には「本願の説明及び図中の符号において、数字符号に続く「Ａ」「Ｂ」の符号は、そうした２つのアーム１０Ａ、１０Ｂに対応した構成要素であることを表している。」と記載されている。 そして、段落００２９、００３１の記載によると、引用文献２記載の「ロボット１」が備える２つのアーム１０Ａ、１０Ｂは、「基台部１００側からアーム部１１及びハンド部１２の順で連結され、ハンド部１２を所定方向に向けながら伸縮自在に動作し、 アーム部１１とハンド部１２は、基台部１００側から、第１アーム部材２０Ａ、２０Ｂ、第２アーム部材３０Ａ、３０Ｂ及びハンド部材４０Ａ、４０Ｂの順で連結されて構成されている」といえる。 また、図８からは、第１アーム部材２０、第２アーム部材３０及びハンド部材４０が、それぞれ、点Ｐ、Ｑ、Ｒを中心に回転可能に連結されていることが見て取れる。 そうすると、引用文献２記載のロボット１は、 「基台部１００側から、第１アーム部材２０Ａ、第２アーム部材３０Ａ及びハンド部材４０Ａの順で回転可能に連結されて構成されているアーム１０Ａと、 第１アーム部材２０Ｂ、第２アーム部材３０Ｂ及びハンド部材４０Ｂの順で回転可能に連結されて構成されているアーム１０Ｂと」を備えているといえる。 （３） 異なる角度位置について 段落００２７の記載から、アーム１０Ａ、１０Ｂは、それぞれアーム旋回軸３Ａ、３Ｂを回動中心として旋回する。 そして、段落００６５の記載の記載を踏まえると、図９から、アーム１０Ａは、異なる角度位置といえるポジションＳとポジションＴでと伸縮し、アーム１０Ｂは、異なる角度位置といえるポジションＵとポジションＶとで伸縮することが見て取れる。 （４） 引用発明 以上を踏まえると、引用文献２には次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されているといえる。 「ロボット１と、そのロボット１が設置されるトランスファチャンバ２０９と、トランスファチャンバ２０９の周囲に配置され、ロボット１が備える２つのアーム１０Ａ、１０Ｂによってワークの搬入搬出が行われる複数のプロセスチャンバ２１０、２２０、２３０、２４０とを備える半導体の製造プロセスにおける処理集合装置１５０であって、 このトランスファチャンバ２０９の周りには、その周方向に６分割された処理室が配置され、このうち、４室は、プロセスチャンバ２１０、２２０、２３０、２４０であり、２室は、その集合処理装置１５０外からウエハの受け渡しを行う収容室２０３、２０３であり、各処理室の入り口にゲートベン２０４、２０５が設けられ、そのゲートベン２０４、２０５の開閉により処理室への出し入れが行われ、 トランスファチャンバ２０９は、各処理室に結合するように構成されているゲートベン２０４、２０５を有し（上記（１））、 ロボット１は、 基台部１００側から、第１アーム部材２０Ａ、第２アーム部材３０Ａ及びハンド部材４０Ａの順で回転可能に連結されて構成されているアーム１０Ａと、 第１アーム部材２０Ｂ、第２アーム部材３０Ｂ及びハンド部材４０Ｂの順で回転可能に連結されて構成されているアーム１０Ｂと（上記（２））を備え、 アーム１０Ａ、１０Ｂそれぞれは、アーム伸縮軸２Ａ、２Ｂを回動中心としてアーム１０Ａ、１０Ｂを伸縮させるアーム伸縮用駆動源４Ａ、４Ｂと、アーム旋回軸３Ａ、３Ｂを回動中心としてアーム１０Ａ、１０Ｂを旋回させるアーム旋回用駆動源５Ａ、５Ｂと、を備え、 ２つのアーム１０Ａ、１０Ｂのうちの１つのアーム１０Ａを動作させるアーム伸縮軸２Ａが中実軸であり、それ以外の軸であるアーム旋回軸３Ａ、３Ｂ及び他のアーム１０Ｂのアーム伸縮軸２Ｂが前記の中実軸と同心になるように設けられた中空軸であるように構成され（段落００２７）、 アーム１０Ａ及びアーム１０Ｂのそれぞれが、アーム旋回軸３Ａ、３Ｂを回動中心として異なる角度位置で伸縮し（上記（３））、 第１アーム部材２０は、基台部１００側にあってアーム伸縮軸２に連結する第１プーリ２１を有し、 第２アーム部材３０は、ハンド部材４０側にあってハンド部材４０に連結する第４プーリ３２を有し、 ２つのアーム１０Ａ、１０Ｂそれぞれは、アーム伸縮用駆動源４Ａ、４Ｂとアーム旋回用駆動源５Ａ、５Ｂとを備えて独立に動作することができ（段落００３０）、 アーム１０Ｂを構成する第１アーム部材２０Ｂと第２アーム部材３０Ｂとは、連結部材２８で連結され、 この連結部材２８は、両アーム１０Ａ、１０Ｂが備えるハンド部１２Ａ、１２Ｂの上下方向の座標位置ＰＡ、ＰＢをほぼ同じにするように、上下方向に延びる連結部材２８の高さｈが調整され（段落００３２）、 ハンド部材４０は、第１アーム部材２０の第１プーリ２１の中心点Ｐと第２アーム部材３０の第４プーリ３２の中心点Ｒとを結んだ直線（仮想線Ｘ）上を、向きを一定にしながら伸縮するように移動し（段落００３８）、 基台部１００は、アーム１０Ａの伸縮動作を行うアーム伸縮軸２Ａと、アーム１０Ａの旋回動作を行うアーム旋回軸３Ａと、アーム１０Ｂの伸縮動作を行うアーム伸縮軸２Ｂと、アーム１０Ｂの旋回動作を行うアーム旋回軸３Ｂとを備え（段落００４０）、 ２つのアーム１０Ａ，１０Ｂをそれぞれ独立して伸縮させ、旋回させることができる（段落００６５）、 処理集合装置１５０。」 第５ 当審の判断 １ 対比 本願発明と引用発明とを対比する。 （１） 基板処理装置について ア 基板処理装置について 「半導体の製造プロセスにおける処理集合装置１５０」である引用発明における「ワーク」及び「ウエハ」は、処理対象である「基板」といえるから、引用発明は「基板処理装置」といえる点で本願発明と共通する。 イ 搬送室について 本願明細書の「処理モジュール７６１２５、ロードロック７６１３５、７６１４０及びカセット７６１１５のような、基板保持ステーション」（段落００６２）との記載によると、本願発明の「基板保持ステーション」は、「処理モジュール」及び「ロードロック」を含むものである。 そして、引用発明の「処理室」である「プロセスチャンバ２１０、２２０、２３０、２４０」及び「収容室２０３、２０３」は、それぞれ、「処理モジュール」及び「ロードロック」といえるから、引用発明の「処理室」は、本願発明の「基板保持ステーション」に相当する。 また、引用発明の「ゲートベン２０４、２０５」は、各処理室の入り口に設けられ、その開閉により処理室への出し入れが行われ、各処理室に結合するように構成されているから、本願発明の、それぞれの基板保持ステーションに結合するように構成されている「複数のポート」に相当する。 そして、引用発明の「トランスファチャンバ２０９」は、「搬送室」といえ、かつ、「各処理室に結合するように構成されているゲートベン２０４、２０５を有」するものであるから、本願発明の「複数のポートを有する搬送室であって、それぞれのポートが、それぞれの基板保持ステーションに結合するように構成されている、搬送室」に相当する。 ウ 基板搬送装置について 引用発明の「ロボット１」は、「２つのアーム１０Ａ、１０Ｂによってワークの搬入搬出」を行うものであるから、「基板搬送装置」といえる。 そして、引用発明において「ロボット１」は、「トランスファチャンバ２０９」に設置されるから、引用発明は、「少なくとも部分的に前記搬送室内に取り付けられた基板搬送装置」を備える点で本願発明と一致する。 エ 小括 以上によれば、引用発明は、 「複数のポートを有する搬送室であって、それぞれのポートが、それぞれの基板保持ステーションに結合するように構成されている、搬送室と、 少なくとも部分的に前記搬送室内に取り付けられた基板搬送装置と を備える基板処理装置」といえる点で、本願発明と一致する。 （２） 基板搬送装置について ア フレーム、第一及び第二のスカラアームについて （ア） 第一のスカラアーム 引用発明の「基台部１００側から、第１アーム部材２０Ａ、第２アーム部材３０Ａ及びハンド部材４０Ａの順で回転可能に連結されて構成されているアーム１０Ａ」の、「第１アーム部材２０Ａ」、「第２アーム部材３０Ａ」及び「ハンド部材４０Ａ」は、本願発明の「第一の上腕リンク」、「第一の前腕リンク」及び「基板ホルダ」にそれぞれ相当する。 そして、引用発明の「基台部１００側から、第１アーム部材２０Ａ、第２アーム部材３０Ａ及びハンド部材４０Ａの順で回転可能に連結されて構成されているアーム１０Ａ」は、本願発明の「互いに回転可能および直列に結合された第一の上腕リンク、第一の前腕リンク及び少なくとも一つの基板ホルダを有する第一のスカラアーム」に相当する。 （イ） 第二のスカラアームについて ａ 引用発明の「第１アーム部材２０Ｂ、第２アーム部材３０Ｂ及びハンド部材４０Ｂの順で回転可能に連結されて構成されているアーム１０Ｂ」の、「第１アーム部材２０Ｂ」、「第２アーム部材３０Ｂ」及び「ハンド部材４０Ｂ」は、本願発明の「第二の上腕リンク」、「第二の前腕リンク」及び「基板ホルダ」にそれぞれ相当する。 そして、引用発明の「第１アーム部材２０Ｂ、第２アーム部材３０Ｂ及びハンド部材４０Ｂの順で回転可能に連結されて構成されているアーム１０Ｂ」は、本願発明の「互いに回転可能および直列に結合された第二の上腕リンク、第二の前腕リンク及び少なくとも一つの基板ホルダを有する第二のスカラアーム」に相当する。 ｂ 「前記第一及び第二のスカラアームは、共通の肩軸を共有するように前記フレームに取り付けられている」について （ａ） 共通の肩軸 本願明細書の、「ここに記載される、本発明の実施形態において、一方のアームは他方のアームに対しておよそ１８０度回転する（例えば、他方のアームが固定され、一方のアームの回転が他方のアームの回転を妨げるように、端部作動体が実質的に同一平面上又は実質的に隣接する基板搬送面にある場合）ものの、アーム組立部品全体（例えばすべてのアームを一体として）は、アームが一体として肩軸の軸周りで同時に回転されると、肩軸の軸周りで少なくとも約３６０度の回転が可能であることに留意されたい。」（段落００６６）との記載によると、本願発明の「肩軸」とは、アームが一体として回転する際の軸といえる。 一方、引用発明において、アーム１０Ｂは、アーム旋回軸３Ｂを回動中心として旋回するから、引用発明の「アーム旋回軸３Ｂ」は、本願発明の「肩軸」に相当し、同様に、アーム１０Ａについての、「アーム旋回軸３Ａ」も、本願発明の「肩軸」に相当する。 そして、引用発明の「アーム旋回軸３Ａ、３Ｂ」は、いずれも、アーム１０Ａを動作させるアーム伸縮軸２Ａと同心であるから、「アーム旋回軸３Ａ、３Ｂ」も同心であり、旋回軸として共通する軸といえる。 そうすると、引用発明の「アーム旋回軸３Ａ、３Ｂ」は、本願発明の「共通の肩軸」に相当する。 （ｂ） フレーム 本願発明の「フレーム」は、基板搬送装置が含む部材であって、第一及び第二のスカラアームが、共通の肩軸を共有するように取り付けられる部材である。 一方、引用発明においては、「アーム伸縮軸２Ａ、２Ｂ」についても、共通の肩軸といえる「アーム旋回軸３Ａ、３Ｂ」と同心であり、共通する軸といえる。 そして、引用発明は、「基台部１００は、アーム１０Ａの伸縮動作を行うアーム伸縮軸２Ａと、アーム１０Ａの旋回動作を行うアーム旋回軸３Ａと、アーム１０Ｂの伸縮動作を行うアーム伸縮軸２Ｂと、アーム１０Ｂの旋回動作を行うアーム旋回軸３Ｂとを備え」るものであるから、引用発明の「アーム１０Ａ、１０Ｂ」は、アーム伸縮軸２Ａ、２Ｂ、アーム旋回軸３Ａ、３Ｂを介して基台部１００に取り付けられているといえる。 そうすると、引用発明のロボット１の「基台部１００」は、引用発明において、アーム１０Ａ、１０Ｂが、共通の肩軸といえる「アーム旋回軸３Ａ、３Ｂ」を共有するように取り付けられるから、本願発明の「フレーム」に相当する。 ｃ 上記ａ、ｂから、引用発明の「アーム１０Ｂ」は、本願発明の「互いに回転可能および直列に結合された第二の上腕リンク、第二の前腕リンク及び少なくとも一つの基板ホルダを有する第二のスカラアームであって、前記第一及び第二のスカラアームは、共通の肩軸を共有するように前記フレームに取り付けられている、第二のスカラアーム」に相当する。 （ウ） 小括 以上によれば、引用発明のロボット１は、 「フレームと、 互いに回転可能および直列に結合された第一の上腕リンク、第一の前腕リンク及び少なくとも一つの基板ホルダを有する第一のスカラアームと、 互いに回転可能および直列に結合された第二の上腕リンク、第二の前腕リンク及び少なくとも一つの基板ホルダを有する第二のスカラアームであって、前記第一及び第二のスカラアームは、共通の肩軸を共有するように前記フレームに取り付けられている、第二のスカラアームと、」を含む点で、本願発明の基板搬送装置と一致する。 イ 同軸の駆動セクションについて （ア） 上記ア（イ）ｂ（ｂ）のとおり、引用発明の「アーム伸縮軸２Ａ、２Ｂ」は、共通の肩軸といえる「アーム旋回軸３Ａ、３Ｂ」と同心であるから、同軸といえる。 そして、引用発明の「アーム伸縮軸２Ａ、２Ｂ」及び「アーム旋回軸３Ａ、３Ｂ」は、アーム伸縮用駆動源４Ａ、４Ｂとアーム旋回用駆動源５Ａ、５Ｂによりアーム１０Ａ、１０Ｂの伸縮、旋回、すなわち駆動を行うものであるから、アーム１０Ａ、１０Ｂに接続された「同軸の駆動セクション」といえ、また、アーム１０Ａ、１０Ｂの旋回は、「第１アーム部材２０Ａ、第２アーム部材３０Ａ及びハンド部材４０Ａ」と、「第１アーム部材２０Ｂ、第２アーム部材３０Ｂ及びハンド部材４０Ｂ」とが、それぞれユニットとして行われるといえ、加えて、引用発明は「２つのアーム１０Ａ，１０Ｂをそれぞれ独立して伸縮させ、旋回させることができる」ものである。 そうすると、引用発明の「アーム伸縮軸２Ａ、２Ｂ」及び「アーム旋回軸３Ａ、３Ｂ」は、本願発明の「前記第一及び第二のスカラアームのそれぞれが、前記共通の肩軸を中心にユニットとしてそれぞれ独立した回転が可能であり、前記第一及び第二のスカラアームのうちの別のスカラアームから独立した伸長が可能であるように、前記第一及び第二のスカラアームに接続された同軸の駆動セクション」に相当する。 （イ） 上記ア（イ）ｂ（ａ）のとおり、引用発明の「アーム旋回軸３Ａ、３Ｂ」は、共通の肩軸といえ、また、引用発明は「アーム１０Ａ及びアーム１０Ｂのそれぞれが、アーム旋回軸３Ａ、３Ｂを回動中心として異なる角度位置で伸縮」するから、引用発明は「前記第一及び第二のスカラアームのそれぞれが、前記共通の肩軸を中心に異なる角度位置で伸長可能」である点で本願発明と一致する。 また、引用発明は「各処理室の入り口にゲートベン２０４、２０５が設けられ、そのゲートベン２０４、２０５の開閉により処理室への出し入れが行われ、トランスファチャンバ２０９は、各処理室に結合するように構成されているゲートベン２０４、２０５を有」するから、引用発明において、各処理室の入り口に設けられたゲートベン２０４、２０５のそれぞれは、アーム１０Ａ、１０Ｂのそれぞれによってアクセス可能であるといえる。 そうすると、引用発明のアーム１０Ａ，１０Ｂのそれぞれが伸縮する際の角度位置は、それぞれのゲートベン２０４、２０５がアーム１０Ａ，１０Ｂのそれぞれによってアクセス可能であるように、トランスファチャンバ２０９が有するそれぞれのゲートベン２０４、２０５に対応している、といえる。 （ウ） 小括 以上のとおり、引用発明のロボット１は、 「前記第一及び第二のスカラアームのそれぞれが、前記共通の肩軸を中心にユニットとしてそれぞれ独立した回転が可能であり、前記第一及び第二のスカラアームのうちの別のスカラアームから独立した伸長が可能であるように、前記第一及び第二のスカラアームに接続された同軸の駆動セクションであって、前記第一及び第二のスカラアームのそれぞれが、前記共通の肩軸を中心に異なる角度位置で伸長可能であり、それぞれの角度位置は、それぞれのポートが前記第一及び第二のスカラアームのそれぞれによってアクセス可能であるように、前記搬送室のそれぞれのポートに対応している、同軸の駆動セクション」を含む点で、本願発明の基板搬送装置と一致する。 （３） 第一及び第二のスカラアームの配置について ア 引用発明において、「ハンド部材４０は、第１アーム部材２０の第１プーリ２１の中心点Ｐと第２アーム部材３０の第４プーリ３２の中心点Ｒとを結んだ直線（仮想線Ｘ）上を、向きを一定にしながら伸縮するように移動」するから、引用発明の「仮想線Ｘ」は、アームの「伸長軸」といえる。 そして、引用発明は、アーム１０Ａ、１０Ｂそれぞれについて「第１アーム部材２０は、基台部１００側にあってアーム伸縮軸２に連結する第１プーリ２１を有し」、「２つのアーム１０Ａ、１０Ｂのうちの１つのアーム１０Ａを動作させるアーム伸縮軸２Ａが中実軸であり、それ以外の軸であるアーム旋回軸３Ａ、３Ｂ及び他のアーム１０Ｂのアーム伸縮軸２Ｂが前記の中実軸と同心になるように設けられた中空軸であるように構成され」るから、引用発明の、アーム１０Ａについての仮想線Ｘと、アーム１０Ｂについての仮想線Ｘとは、同軸の駆動セクションといえる伸縮軸２Ａ、２Ｂ、及びアーム旋回軸３Ａ、３Ｂの中心で交わり、それぞれ、共通の肩軸といえるアーム旋回軸３Ａ、３Ｂを中心として回転する。 ここで、引用発明は、「両アーム１０Ａ、１０Ｂが備えるハンド部１２Ａ、１２Ｂの上下方向の座標位置ＰＡ、ＰＢ」がほぼ同じである。 そうすると、引用発明において、アーム１０Ａの仮想線Ｘのアーム旋回軸３Ａを中心とする角度位置を、アーム１０Ｂの仮想線Ｘのアーム旋回軸３Ｂを中心とする角度位置と同じ角度位置、すなわちゼロ角度にしようとした場合、アーム１０Ａが備えるハンド部１２Ａが、上下方向の座標位置がほぼ同じである、アーム１０Ｂが備えるハンド部１２Ｂとぶつかり、干渉してしまうから、引用発明において、アーム１０Ｂが任意の角度位置で持続された状態で、アーム１０Ａの仮想線Ｘの回転は、アーム１０Ａとアーム１０Ｂとの間の相対移動の妨げにより制約されているといえる。 したがって、引用発明のアーム１０Ａ、１０Ｂは、 「前記第一及び第二のスカラアームは、 前記第二のスカラアームが前記共通の肩軸を中心に前記第二のスカラアームのそれぞれの異なる角度位置で持続された状態で、前記共通の肩軸を中心とした前記第一のスカラアームの伸長軸の回転が、前記第二のスカラアームによる前記第一のスカラアームと前記第二のスカラアームとの間の相対移動の妨げにより制約され」るように「互いに対して配置され」る点で、本願発明と一致する。 イ 上記アのとおり、引用発明において、アーム１０Ａの仮想線Ｘのアーム旋回軸３Ａを中心とする角度位置は、アーム１０Ｂの仮想線Ｘのアーム旋回軸３Ｂを中心とする角度位置と同じ角度位置、すなわちゼロ角度にできないから、引用発明のアーム１０Ａ、１０Ｂは、「前記第一及び第二のスカラアームは、」「前記共通の肩軸を中心とした前記第一のスカラアームの伸長軸の回転が、前記第二のスカラアームの伸長軸に対して非ゼロ角度で角度が付けられたままであり」といえる点で、本願発明と一致する。 ウ 上記アのとおり、引用発明のアーム１０Ａ、１０Ｂは、本願発明の「同軸の駆動セクション」に相当する「アーム伸縮軸２Ａ、２Ｂ」及び「アーム旋回軸３Ａ、３Ｂ」とは無関係に、「両アーム１０Ａ、１０Ｂが備えるハンド部１２Ａ、１２Ｂの上下方向の座標位置ＰＡ、ＰＢ」がほぼ同じであることによって、干渉することにより、アーム１０Ａの仮想線Ｘのアーム旋回軸３Ａを中心とする角度位置を、アーム１０Ｂの仮想線Ｘのアーム旋回軸３Ｂを中心とする角度位置と同じ角度位置、すなわちゼロ角度にできないから、「前記第一及び第二のスカラアームは、」「前記駆動セクションとは無関係に前記第二のスカラアームの前記角度位置により画定される角度範囲内で制約され」といえる点で、本願発明と一致する。 エ 引用発明は、「アーム１０Ａ及びアーム１０Ｂのそれぞれが、アーム旋回軸３Ａ、３Ｂを回動中心として異なる角度位置で伸縮」するものであって、「アーム旋回軸３Ａ、３Ｂを回動中心としてアーム１０Ａ、１０Ｂを旋回させるアーム旋回用駆動源５Ａ、５Ｂ」を備え、２つのアーム１０Ａ、１０Ｂをそれぞれ独立して旋回させることができるから、引用発明において、「アーム旋回軸３Ａ、３Ｂ」を回動中心とした、アーム１０Ａの仮想線Ｘの、アーム１０Ｂの仮想線Ｘに対する角度は、少なくとも１つのアームを他のアームに対して回転させることで可変であるといえる。 また、上記（２）イ（ア）のとおり、引用発明の「アーム旋回軸３Ａ、３Ｂ」は、同軸の駆動セクションといえる。 そうすると、引用発明のアーム１０Ａ、１０Ｂは、「前記第一及び第二のスカラアームは、」「前記同軸の駆動セクションが前記第一及び第二のスカラアームのうちの少なくとも１つを前記第一及び第二のスカラアームのうちの別のスカラアームに対して回転させることで、前記非ゼロ角度が可変であるように、 互いに対して配置される」点で、本願発明と一致する。 オ 小括 以上によれば、引用発明の２つのアーム１０Ａ、１０Ｂは、 「前記第一及び第二のスカラアームは、 前記第二のスカラアームが前記共通の肩軸を中心に前記第二のスカラアームのそれぞれの異なる角度位置で持続された状態で、前記共通の肩軸を中心とした前記第一のスカラアームの伸長軸の回転が、前記第二のスカラアームによる前記第一のスカラアームと前記第二のスカラアームとの間の相対移動の妨げにより制約され、前記共通の肩軸を中心とした前記第一のスカラアームの伸長軸の回転が、前記第二のスカラアームの伸長軸に対して非ゼロ角度で角度が付けられたままであり、前記駆動セクションとは無関係に前記第二のスカラアームの前記角度位置により画定される角度範囲内で制約され、前記同軸の駆動セクションが前記第一及び第二のスカラアームのうちの少なくとも１つを前記第一及び第二のスカラアームのうちの別のスカラアームに対して回転させることで、前記非ゼロ角度が可変であるように、 互いに対して配置される」点で、本願発明の「第一及び第二のスカラアーム」と一致する。 （４） まとめ 以上のとおりであるから、本願発明は引用発明と一致し、相違しない。 したがって、本願発明は引用発明であるから、令和５年８月２日付けで当審において通知した拒絶の理由２（新規性）は解消していない。 ２ 請求人の主張について （１） 請求人の主張 請求人は、令和６年２月７日提出の意見書（以下「意見書」という。）で、当審における拒絶の理由２、３（新規性、進歩性）について次の主張をした。（下線は意見書の記載のとおり。） 「引用文献２は、同一平面上に配置されたハンド部材４０Ａ、４０Ｂを有する２つのアーム１０Ａ、１０Ｂを有し、アーム１０Ａ、１０Ｂがそれぞれの駆動モータによって互いに独立して伸長および回転可能なロボット１を開示しているかもしれませんが、引用文献２に開示されているものは、審査段階で引用された特開２００５－１９９６０号公報に開示されているものと実質的に類似しているように思われます。引用文献２では、アーム１０Ａ、１０Ｂは、処理レシピに基づいて動作され、各アームの動作は、一方のアームが他方のアームの動作スペース内に侵入しないように、トランスファチャンバ内の所定のスペースに制限されます。 引用文献２の図９（Ａ）～図９（Ｄ）を参照しますと、アーム１０Ａが位置Ｓ、Ｔにのみアクセスし、アーム１０Ｂが位置Ｕ、Ｖにのみアクセスするように、２つのアーム１０Ａ、１０Ｂの動作が記述されています。ここで、アームが動作するトランスファチャンバの内部は２つの半分に分割され、アーム１０Ａはトランスファチャンバの一方の半分で動作し、アーム１０Ｂはトランスファチャンバの他方の半分で動作します。このように、アーム１０Ａ、１０Ｂの肩軸回りの回転を制約し、アーム間の干渉を回避するのは、駆動部の動作（すなわち、各アームがトランスファチャンバの半分の範囲内でのみ動作するような動作）です。 上記点と、各アーム１０Ａ、１０Ｂがトランスファチャンバのそれぞれの半分の範囲内でのみ動作するという例示（引用文献２には、そうでないことを示すものは何もない）とを考慮しますと、引用文献２には、本願の請求項１に記載されるように、「前記第二のスカラアームが前記共通の肩軸を中心に前記第二のスカラアームのそれぞれの異なる角度位置で持続された状態で、前記共通の肩軸を中心とした前記第一のスカラアームの伸長軸の回転が、前記第二のスカラアームによる前記第一のスカラアームと前記第二のスカラアームとの間の相対移動の妨げにより制約され、前記共通の肩軸を中心とした前記第一のスカラアームの伸長軸の回転が、前記第二のスカラアームの伸長軸に対して非ゼロ角度で角度が付けられたままであり、前記駆動セクションとは無関係に前記第二のスカラアームの前記角度位置により画定される角度範囲内で制約され、前記同軸の駆動セクションが前記第一及び第二のスカラアームのうちの少なくとも１つを前記第一及び第二のスカラアームのうちの別のスカラアームに対して回転させることで、前記非ゼロ角度が可変である」（下線は強調）ように、各アーム１０Ａ、１０Ｂが各位置Ｓ、Ｔ、Ｕ、Ｖにアクセスすることを明示的にも本質的にも開示するものは何もありません。 さらに、引用文献２の目的は、トランスファチャンバの周囲に配置されたプロセスチャンバへの／からのワークの搬入／搬出に要する時間を短縮すること（引用文献２の段落［００２２］を参照）であることに留意が必要です。（引用文献２の図９（Ａ）～図９（Ｄ）に関して説明したように）（駆動部を介する）各アーム１０Ａ、１０Ｂの移動をトランスファチャンバのそれぞれの半分の範囲内に制限することは、この目的に合致します。（駆動部を介する）各アーム１０Ａ、１０Ｂの移動をトランスファチャンバのそれぞれの半分の範囲内に制限することは、アーム１０Ａ、１０Ｂによって取り扱われるワークの移動／搬送時間を減少させます。引用文献２には、各アーム１０Ａ、１０Ｂの範囲をトランスファチャンバの全体まで拡張することを示唆するものはありません（そのような示唆は、本願の開示から、許されない後知恵を用いて得られるだけです）。」（令和６年２月７日提出の意見書４ページ６～４５行） （２） 請求人の主張の検討 ア 上記１（２）イ（イ）のとおり、引用発明は「各処理室の入り口にゲートベン２０４、２０５が設けられ、そのゲートベン２０４、２０５の開閉により処理室への出し入れが行われ、トランスファチャンバ２０９は、各処理室に結合するように構成されているゲートベン２０４、２０５を有」するから、引用発明において、各処理室の入り口に設けられたゲートベン２０４、２０５のそれぞれは、アーム１０Ａ、１０Ｂのそれぞれによってアクセス可能であるといえる。 そして、引用文献２には、図１０に示される処理集合装置１５０について、「ワーク」や「ウエハ」に対する処理が、例えば、左方に位置する収容室２０３、及びプロセスチャンバ２１０、２２０と、右方に位置する収容室２０３、及びプロセスチャンバ２３０、２４０とで、別々に行われ、かつ、アーム１０Ａ、１０Ｂの動作について、一方のアームが他方のアームの動作スペース内に侵入しないように制限されるとの記載も示唆もない。 加えて、段落００６５の記載によると、引用文献２の図９は、引用発明のロボット１が、２つのアーム１０Ａ、１０Ｂをそれぞれ独立して伸縮させ、旋回させることができることについて、２つのアームの伸縮形態及び旋回形態の例を示す説明図であって、図１０に示される処理集合装置１５０の２つのアームについて、全ての伸縮形態及び旋回形態を示すものではない。 そうすると、引用発明のアーム１０Ａ、１０Ｂの動作は、一方のアームが他方のアームの動作スペース内に侵入しないように、トランスファチャンバ内の所定のスペースに制限されているとはいえない。 したがって、請求人の「引用文献２では、アーム１０Ａ、１０Ｂは、処理レシピに基づいて動作され、各アームの動作は、一方のアームが他方のアームの動作スペース内に侵入しないように、トランスファチャンバ内の所定のスペースに制限されます。」、「アームが動作するトランスファチャンバの内部は２つの半分に分割され、アーム１０Ａはトランスファチャンバの一方の半分で動作し、アーム１０Ｂはトランスファチャンバの他方の半分で動作します。」、「各アーム１０Ａ、１０Ｂが各位置Ｓ、Ｔ、Ｕ、Ｖにアクセスすることを明示的にも本質的にも開示するものは何もありません。」との主張は、引用文献２の記載に基づくものではないから、採用できない。 イ 引用文献２の段落００１４の記載によると、引用発明は、従来のロボットについての「一方のアームがワークを搬入／搬出している間、他方のアームは後方で待機状態となっていることから、搬送時間短縮の観点からは不十分である。」（段落００１０）、「ワークを載置する搬送台（ハンド部材）の座標位置が上下方向にずれているものが記載されているが、こうしたずれは、上記のように、プロセスチャンバ内のワークを一方の搬送台で搬出した後に他方の搬送台で別のワークを搬入する場合、搬送台の駆動軸等を上下方向に大きく移動させて搬送台の上下方向の座標位置をプロセスチャンバの座標位置と一致させるという動作を加えなければならず、動作機構が煩雑となり、搬送時間短縮の観点からは不十分である。」（段落００１１）との課題を、「アームそれぞれが、アーム伸縮軸を回動中心としてアームを伸縮させるアーム伸縮用駆動源と、アーム旋回軸を回動中心としてアームを旋回させるアーム旋回用駆動源とを備える」ことにより、「それぞれのアームが、その伸縮と旋回を独自に行うことができる」ようにし、また、「ハンド部の上下方向の座標位置をほぼ同じにする連結部材を備える」ことにより、「それぞれのアームが、例えばプロセスチャンバ内のワークの搬出と搬入を駆動軸等の大きな上下移動をさせずに行うことができる」ようにすることによって解決するものといえ、「各アーム１０Ａ、１０Ｂの移動をトランスファチャンバのそれぞれの半分の範囲内に制限すること」により上記課題を解決するものではない。 また、引用文献２の段落００２２の記載によれば、引用発明の「トランスファチャンバの周囲に配置されたプロセスチャンバに対するワークの搬入／搬出等の時間を短縮することができる」との課題は、「産業用ロボットが備える２つ以上のアームは、それぞれがアーム伸縮用駆動源とアーム旋回用駆動源とを備えて独立に動作し、それぞれが備えるハンド部に載置されるワークの高さがほぼ同じであるように構成」することによって解決するものであり、請求人が主張するように「各アーム１０Ａ、１０Ｂの移動をトランスファチャンバのそれぞれの半分の範囲内に制限すること」により解決するものではない。 したがって、引用文献２の段落００２２の記載に基づく「引用文献２の目的」についての、請求人の主張は採用できない。 ウ 仮に、請求人が主張するように本願発明が、「前記第一及び第二のスカラアームのそれぞれが、前記共通の肩軸を中心に異なる角度位置で伸長可能であり、それぞれの角度位置は、それぞれのポートが前記第一及び第二のスカラアームのそれぞれによってアクセス可能であるように、前記搬送室のそれぞれのポートに対応している」のに対し、引用発明が、各アームがトランスファチャンバの半分の範囲内でのみ動作する点で相違するとしても、引用発明は、「２つのアーム１０Ａ，１０Ｂをそれぞれ独立して伸縮させ、旋回させることができる」ものであるから、引用発明において、２つのアーム１０Ａ，１０Ｂのそれぞれを、すべての処理室にアクセス可能とすることに何ら困難性は見いだせない。 そうすると、本願発明は、引用発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものといえるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 第６ むすび 以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができず、また、上記第５の２（２）ウのとおり、仮に相違点が存在するとしても、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。 よって、結論のとおり審決する。