特許拒絶査定不服審判
2022-000472
基板処理システム及び基板処理方法、並びにデバイス製造方法
- 審判番号
- 2022-000472
- 法域
- 特許
- 審判種別
- 拒絶査定不服審判（拒絶査定不服の審決）
- 出願番号
- 特願2020-104764外部サイト（J-PlatPat）へ移動します
- 請求日
- 2022年01月12日
- 審決日
- 2023年01月11日
- 公報発行日
- 2023年02月24日
- 結論
- 原査定取消（特許/登録すべき）
- 分類
- P18 .121-WYF(G03F) / P18 .113-WYF(G03F)
- データ出所
- 審決公報（XML）
事件の表示
特願２０２０－１０４７６４号「基板処理システム及び基板処理方法、並びにデバイス製造方法」拒絶査定不服審判事件〔令和２年１０月１日出願公開、特開２０２０－１６０４７５号、請求項の数（３３）〕について、次のとおり審決する。
結論
結 論
原査定を取り消す。
本願の発明は、特許すべきものとする。
理由
文字
理 由
本願は、令和２年６月１７日（遡及出願平成２８年２月２３日優先権主張 平成２７年２月２３日）の出願であって、その請求項１ないし３３に係る発明は、令和４年１月１２日になされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし３３に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。
そして、本願については、原査定の拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。
また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
よって、結論のとおり審決する。
審決本文（J-PlatPat）
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2022-000472