2022-000295

第２ 本願発明について

本願の請求項１～１０に係る発明は、令和４年１月７日に提出された手続補正書により補正された請求項１～１０に記載された事項により特定されるとおりのものであるところ、請求項１の記載は次のとおりである。

以下、請求項１に係る発明を「本願発明」という。

「 【請求項１】

第１非反相出力端（３２４）及び第１反相出力端（３２６）を有する第１駆動ユニット（３２０）であって、

前記第１非反相出力端（３２４）は第１スイッチ（Ｑ１）に接続され、

前記第１スイッチ（Ｑ１）の両端のうちの一方は第１導電性プローブ（３８０）及び第１抵抗器（Ｒ４１）に接続され、

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前記第１スイッチ（Ｑ１）の前記両端のうちの他方は第１電流源（Ｉｓ１）に接続され、

前記第１反相出力端（３２６）は第２スイッチ（Ｑ２）に接続され、

前記第２スイッチ（Ｑ２）の両端のうちの一方は第２導電性プローブ（３８１）及び第２抵抗器（Ｒ４２）に接続され、

前記第２スイッチ（Ｑ２）の前記両端のうちの他方は前記第１電流源（Ｉｓ１）に接続される、

第１駆動ユニット（３２０）、を備え、

前記第１導電性プローブ（３８０）は前記第１抵抗器（Ｒ４１）に接続され、

前記第２導電性プローブ（３８１）は前記第２抵抗器（Ｒ４２）に接続される、

プローブカードモジュール（３００）。」

第３ 原査定の拒絶の理由

原査定の拒絶の理由のうち、本願発明についての理由の概要は、次のとおりである。

なお、原査定においては、引用文献１を主たる引用文献とする進歩性欠如の理由と、引用文献２を主たる引用文献とする進歩性欠如の理由の２つの理由が示されている。

理由１（進歩性）

本願発明は、下記の引用文献１及び引用文献２に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。

記

第４ 引用文献等

１ 引用文献２

(２) 引用文献２の記載から認定した事項

引用文献２の図１及び図１３から、差動ドライバ回路１００からの差動出力ＯＵＴ、ＯＵＴｘは、２つの差動伝送線路１０２と試験対象（ＤＵＴ１）を接続する２つの導電部材を介して試験対象（ＤＵＴ１）に供給されることが読み取れる。

(３) 引用発明の認定

前記(１)において摘記した事項及び前記(２)において認定した事項を総合すると、引用文献２には次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。

［引用発明］

「差動伝送のための差動インタフェースを備える半導体デバイスに対して差動信号を出力して半導体デバイスを試験する試験装置であって、（［０００２］）

試験装置２は、主としてパターン発生器ＰＧ、タイミング発生器ＴＧ、波形整形器ＦＣ、ドライバＤＲ、タイミングコンパレータＴＣ、論理比較器ＤＣを備えており、（［００８４］）

ドライバＤＲは、差動ドライバ回路１００であり、（［００１４］、［００８６］）

差動ドライバ回路１００は、相補的な差動パターン信号ＰＡＴ、ＰＡＴｘを受け、それに応じた差動出力ＯＵＴ、ＯＵＴｘを発生し、差動伝送線路１０２へと出力するものであり、制御信号ＳＷに応じて、差動出力ＯＵＴ、ＯＵＴｘの振幅が調節可能に構成され、（［００１４］）

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差動パターン信号ＰＡＴ、ＰＡＴｘは、互いに相補的なレベル１（ハイレベル）、０（ローレベル）をとり、（［００１４］）

差動ドライバ回路１００からの差動出力ＯＵＴ、ＯＵＴｘは、２つの差動伝送線路１０２と試験対象（ＤＵＴ１）を接続する２つの導電部材を介して試験対象（ＤＵＴ１）に供給され、（[図１]、［図１３］、前記（２）の認定事項）

差動ドライバ回路１００は、第１出力端子Ｐｏ１、第２出力端子Ｐｏ２、第１抵抗Ｒ１、第２抵抗Ｒ２、複数（ｎ個）の差動対１０１～１０ｎ、第１電流源１２、複数（ｎ個の）プリドライバ１４１～１４ｎ、第１電圧源１６を備え、（［００１５］）

ｎ＝２の場合には、（［００１５］）

第１出力端子Ｐｏ１には差動伝送線路１０２の一方が接続され、第２出力端子Ｐｏ２には、差動伝送線路１０２の他方が接続され、第１抵抗Ｒ１の一端には、所定の電圧ＶＨが印加され、その他端は第１出力端子Ｐｏ１と接続され、第２抵抗Ｒ２の一端には、所定の電圧ＶＨが印加され、その他端は第２出力端子Ｐｏ２と接続され、第１電圧源１６は電圧ＶＨを生成し、（［００１６］）

複数の差動対１０１、１０２それぞれは、それぞれのソースが互いに接続された第１トランジスタＭｉ１と第２トランジスタＭｉ２を含み、（［００１７］）

第１トランジスタＭｉ１のドレインは第１出力端子Ｐｏ１に接続され、そのゲートには送信すべき差動信号の一方ＰＡＴｉが入力され、第２トランジスタＭｉ２のドレインは第２出力端子Ｐｏ２に接続され、そのゲートには送信すべき差動信号の他方ＰＡＴｉｘが入力されており、（［００１８］）

第１電流源１２は、すべての差動対１０１、１０２の第１トランジスタＭｉ１、第２トランジスタＭｉ２のソースに共通に接続され、テイル電流Ｉｔを供給するものであり、（［００１９］）

複数のプリドライバ１４１、１４２はそれぞれ、複数の差動対１０１、１０２ごとに設けられ、ｉ番目のプリドライバ１４ｉは、対応する差動対１０ｉを構成する第１トランジスタＭｉ１、第２トランジスタＭｉ２それぞれのゲートに対して、ゲート信号ＰＡＴｉ、ＰＡＴｉｘを供給し、複数のプリドライバ１４１、１４２は、それぞれが独立にイネーブル（アクティブ）状態とディスイネーブル（非アクティブ）状態を選択的に切りかえ可能に構成され、プリドライバ１４ｉはイネーブル状態において、対応する差動対１０ｉに対して、送信すべき差動信号ＰＡＴ、ＰＡＴｘに応じたゲート信号ＰＡＴｉ、ＰＡＴｉｘを出力して、イネーブル状態におけるゲート信号ＰＡＴｉ、ＰＡＴｉｘは相補的なレベルをとり、（［００２０］）

ディスイネーブル状態においてプリドライバ１４ｉは、対応する差動対１０ｉの第１トランジスタＭｉ１、第２トランジスタＭｉ２がオフするレベルを有するゲート信号ＰＡＴｉ、ＰＡＴｉｘを出力し、ディスエーブル状態におけるゲート信号ＰＡＴｉ、ＰＡＴｉｘは、同じレベルをとることが許容され、（［００２１］）

複数のプリドライバ１４１、１４２それぞれのイネーブル、ディスエーブル状態は、制御信号ＳＷに応じて切りかえられ、制御信号ＳＷは、複数のプリドライバ１４１、１４２に対応づけられる複数の制御信号ＳＷ１～ＳＷ２を含み、ｉ番目のプリドライバ１４ｉは、対応する制御信号ＳＷｉがアサート（たとえばハイレベル：１）されるときイネーブル状態、対応する制御信号ＳＷｉがネゲート（たとえばローレベル：０）されるときディスイネーブル状態となる、（［００２２］）

差動ドライバ回路１００を備える試験装置２。（[００８３]）」

２ 引用文献１

(２) 引用文献１技術事項の認定

前記(１)において摘記した事項から、引用文献１には、次の技術事項が記載されていると認められる（以下「引用文献１技術事項」という。）

［引用文献１技術事項］

「ＬＳＩ（大規模集積回路）２０と、その動作を試験するためのＬＳＩ試験装置３０との間に、ＬＳＩ２０とＬＳＩ試験装置３０との間で信号の受け渡しをするプローブカード１０が配置され、（【００２０】）

試験対象であるＬＳＩ２０が所定位置に設置されると、プローブカード１０の探針１３，１４が、ＬＳＩ２０のそれぞれ対応するパッド２１，２２に接続され、ＬＳＩ試験装置３０の出力部３１から、ＬＳＩ２０を試験するための試験信号が、１本の信号線５１を介してプローブカード１０の選択回路１２に出力され、（【００２２】）

選択回路１２での切り替えによって、ＬＳＩ試験装置３０からの試験信号は、探針１３、パッド２１を介して、順次ＬＳＩ２０の論理回路２３～２６に入力され、パッド２２及び探針１４を介して、論理回路２３～２６から中継部１１にそれぞれ出力された出力信号を、信号線５２を介してＬＳＩ試験装置３０の入力部３２に供給し、ＬＳＩ試験装置３０の制御部３４は、入力部３２で受け取った出力信号の電圧と期待値とをそれぞれ比較し、ＬＳＩ２０の論理回路２３～２６が正常に作動しているか否かをそれぞれ判別すること。（【００２３】）」

３ 引用文献６

(２) 周知技術の認定

前記(１)の摘記事項に例示されているように、次の技術事項は当業者にとって周知の技術であったと認められる（以下「周知技術」という。）

［周知技術］

「差動伝送方式を採用した半導体装置の試験を行うために、基板に支持された差動信号入力用の対のプローブ針を有するプローブカードを用い、対のプローブ針を介して、テスタから半導体装置の電極パッドに所定の信号を入力するとともに、半導体装置から出力された信号を取得すること。」

第５ 当審の判断

１ 本願発明について

(１) 本願発明と引用発明の対比

本願発明と引用発明を対比する。

ア(ア) 引用発明において、「ｉ番目のプリドライバ１４ｉは、対応する差動対１０ｉを構成する第１トランジスタＭｉ１、第２トランジスタＭｉ２それぞれのゲートに対して、ゲート信号ＰＡＴｉ、ＰＡＴｉｘを供給」するものであるところ、「プリドライバ１４ｉ」は、「第１トランジスタＭｉ１」のゲートに「ゲート信号ＰＡＴｉ」を供給するための出力端子と、「第２トランジスタＭｉ２」のゲートに「ゲート信号ＰＡＴｉｘ」を供給するための出力端子を有していることは明らかである。

(イ) そして、「プリドライバ１４ｉ」が「イネーブル状態」において出力する「ゲート信号ＰＡＴｉ、ＰＡＴｉｘ」は「相補的なレベルをと［る］」から、「プリドライバ１４ｉ」の「ゲート信号ＰＡＴｉ」を供給するための出力端子と、「ゲート信号ＰＡＴｉｘ」を供給するための出力端子は、互いに反転・非反転出力用の端子の関係にあることも自明である。

(ウ) そうすると、引用発明の「プリドライバ１４ｉ」の「ゲート信号ＰＡＴｉ」を供給するための出力端子は、本願発明の「第１非反相出力端（３２４）」に相当し、「ゲート信号ＰＡＴｉｘ」を供給するための出力端子は、本願発明の「第１反相出力端（３２６）」に相当するから、このような二つの出力端子を有する引用発明の「プリドライバ１４ｉ」は、本願発明の「第１非反相出力端及び第１反相出力端を有する第１駆動ユニット（３２０）」に相当する。

(エ) また、引用発明の「第１トランジスタＭｉ１」は、「プリドライバ１４ｉ」の「ゲート信号ＰＡＴｉ」を供給するための出力端子と接続されているから、本願発明の「前記第１非反相出力端（３２４）」が「接続され」る「第１スイッチ（Ｑ１）」に相当する。

(オ) 同様に、引用発明の「第１トランジスタＭｉ２」は、「プリドライバ１４ｉ」の「ゲート信号ＰＡＴｉｘ」を供給するための出力端子と接続されているから、本願発明の「前記第１反相出力端（３２６）」が「接続され」る「第２スイッチ（Ｑ２）」に相当する。

(カ) したがって、本願発明と引用発明は、「第１非反相出力端及び第１反相出力端を有する第１駆動ユニット」を備え、「前記第１非反相出力端は第１スイッチに接続され」、「前記第１反相出力端は第２スイッチに接続され」る点で一致する。

イ(ア) 引用発明の「第１電流源１２」は、「差動対１０１」の「第１トランジスタＭｉ１、第２トランジスタＭｉ２のソースに共通に接続され」ているから、本願発明の「前記第１スイッチ（Ｑ１）の前記両端のうちの他方」及び「前記第２スイッチ（Ｑ２）の前記両端のうちの他方」が「接続され」る「第１電流源（Ｉｓ１）」に相当する。

(イ) したがって、本願発明と引用発明は、「前記第１スイッチの前記両端のうちの他方は第１電流源に接続され」、「前記第２スイッチの前記両端のうちの他方は前記第１電流源に接続される」点で一致する。

ウ(ア) 引用発明の「第１トランジスタＭｉ１のドレインは第１出力端子Ｐｏ１に接続され」るところ、引用発明の「第１トランジスタＭｉ１のドレイン」は、本願発明の「前記第１スイッチ（Ｑ１）の両端のうちの一方」に相当する。

(イ) また、引用発明の「第１抵抗Ｒ１」の「他端は第１出力端子Ｐｏ１と接続され」るから、「第１トランジスタＭｉ１のドレイン」は「第１抵抗Ｒ１」とも接続される。

(ウ) そうすると、引用発明の「第１トランジスタＭｉ１のドレイン」に接続される「第１抵抗Ｒ１」は、本願発明の「前記第１スイッチ（Ｑ１）の両端のうちの一方」に接続される「第１抵抗器（Ｒ４１）」に相当する。

(エ) 引用発明の「第１トランジスタＭｉ１のドレイン」は、「第１出力端子Ｐｏ１」と「差動伝送線路１０２の一方」を介して「２つの導電部材」の一方と接続されるところ、引用発明の「２つの導電部材」の一方と、本願発明の「第１導電性プローブ（３８０）」は、「第１導電性部材」である点で共通する。

(オ) 上記(ウ)及び(エ)における検討結果を踏まえると、本願発明と引用発明は、「前記第１導電性部材は前記第１抵抗器に接続され［る］」点で共通する。

(カ) したがって、本願発明と引用発明は、「前記第１スイッチの両端のうちの一方は第１導電性部材及び第１抵抗器に接続され」、「前記第１導電性部材は前記第１抵抗器に接続され［る］」点で共通する。

エ(ア) 同様に、引用発明の「第２トランジスタＭｉ２のドレインは第２出力端子Ｐｏ２に接続され」るところ、引用発明の「第２トランジスタＭｉ２のドレイン」は、本願発明の「前記第２スイッチ（Ｑ２）の両端のうちの一方」に相当する。

(イ) また、引用発明の「第２抵抗Ｒ２」の「他端は第２出力端子Ｐｏ２と接続され」るから、「第２トランジスタＭｉ２のドレイン」は「第２抵抗Ｒ２」とも接続される。

(ウ) そうすると、引用発明の「第２トランジスタＭｉ２のドレイン」に接続される「第２抵抗Ｒ２」は、本願発明の「前記第２スイッチ（Ｑ２）の両端のうちの一方」に接続される「第２抵抗器（Ｒ４２）」に相当する。

(エ) 引用発明の「第２トランジスタＭｉ２のドレイン」は、「第２出力端子Ｐｏ２」と「差動伝送線路１０２の他方」を介して「２つの導電部材」の他方と接続されるところ、引用発明の「２つの導電部材」の他方と、本願発明の「第２導電性プローブ（３８１）」は、「第２導電性部材」である点で共通する。

(オ) 上記(ウ)及び(エ)における検討結果を踏まえると、本願発明と引用発明は、「前記第２導電性部材は前記第２抵抗器に接続され［る］」点で共通する。

(カ) したがって、本願発明と引用発明は、「前記第２スイッチの両端のうちの一方は第２導電性部材及び第２抵抗器に接続され」、「前記第２導電性部材は前記第２抵抗器に接続される」点で共通する。

オ 本願発明の「プローブカードモジュール（３００）」と、引用発明の「差動ドライバ回路１００を備える試験装置２」、「２つの差動伝送線路１０２」及び「２つの導電部材」の組み合わせは、「電気的試験をするための装置」である点で共通する。

(２) 一致点及び相違点の認定

前記(１)の対比結果を踏まえると、本願発明と引用発明は、次の一致点において一致し、以下の相違点において相違する。

ア 一致点

「第１非反相出力端及び第１反相出力端を有する第１駆動ユニットであって、

前記第１非反相出力端は第１スイッチに接続され、

前記第１スイッチの両端のうちの一方は第１導電性部材及び第１抵抗器に接続され、

前記第１スイッチの前記両端のうちの他方は第１電流源に接続され、

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前記第１反相出力端は第２スイッチに接続され、

前記第２スイッチの両端のうちの一方は第２導電性部材及び第２抵抗器に接続され、

前記第２スイッチの前記両端のうちの他方は前記第１電流源に接続される、

第１駆動ユニット、を備え、

前記第１導電性部材は前記第１抵抗器に接続され、

前記第２導電性部材は前記第２抵抗器に接続される、

電気的試験をするための装置。」

イ 相違点

本願発明では、「第１導電性部材」及び「第２導電性部材」がそれぞれ「第１導電性プローブ（３８０）」及び「第２導電性プローブ（３８１）」であり、「電気的試験をするための装置」が「プローブカードモジュール（３００）」であるのに対して、引用発明では、「２つの差動伝送線路１０２と試験対象（ＤＵＴ１）を接続する２つの導電部材」がプローブであるとは、引用文献２には明示されていないため、「差動ドライバ回路１００を備える試験装置２」、「２つの差動伝送線路１０２」及び「２つの導電部材」の組み合わせが、プローブカードモジュールとして構成されているとはいえない点。

(３) 本願発明についての判断

前記相違点について検討する。

ア 引用文献１技術事項には、「ＬＳＩ（大規模集積回路）２０と、その動作を試験するためのＬＳＩ試験装置３０との間に、ＬＳＩ２０とＬＳＩ試験装置３０との間で信号の受け渡しをするプローブカード１０が配置され、試験対象であるＬＳＩ２０が所定位置に設置されると、プローブカード１０の探針１３，１４が、ＬＳＩ２０のそれぞれ対応するパッド２１，２２に接続され、ＬＳＩ試験装置３０の出力部３１から、ＬＳＩ２０を試験するための試験信号が、１本の信号線５１を介してプローブカード１０の選択回路１２に出力され」ることが開示されている。

イ このように、試験対象と試験装置の間に、２つの導電性プローブを有する「プローブカード」という形態を有する手段を設けて電気的試験を行うことは、公知の技術であるから、引用発明において、引用文献１技術事項に開示されたような「プローブカード」という形態を採用することにより、「２つの差動伝送線路１０２と試験対象（ＤＵＴ１）を接続する２つの導電部材」をいずれも導電性プローブとし、「差動ドライバ回路１００を備える試験装置２」、「２つの差動伝送線路１０２」及び「２つの導電部材」が、プローブカードモジュールを含むように構成することは、当業者が適宜なし得た設計事項にすぎないというべきであり、前記相違点に係る構成は、格別のものではない。

ウ また、「差動伝送方式を採用した半導体装置の試験を行うために、基板に支持された差動信号入力用の対のプローブ針を有するプローブカードを用い、対のプローブ針を介して、テスタから半導体装置の電極パッドに所定の信号を入力するとともに、半導体装置から出力された信号を取得すること」は、周知の技術であるから（前記周知技術を参照）、引用発明に上記周知技術を適用することにより、「２つの差動伝送線路１０２と試験対象（ＤＵＴ１）を接続する２つの導電部材」を２つの導電性プローブとし、「差動ドライバ回路１００を備える試験装置２」、「２つの差動伝送線路１０２」及び「２つの導電部材」が、プローブカードモジュールを含むように構成することは、当業者ならば格別の困難性はない。

エ 前記イ及びウの検討結果を踏まえると、いずれにしても引用発明から前記相違点に係る本願発明の構成とすることは当業者が容易に想到し得たことであり、本願発明の奏する効果も、引用発明、及び、引用文献１技術事項又は周知技術に基づいて当業者が容易に予測し得たものにすぎない。

したがって、本願発明は、当業者が容易に発明することができたものである。

２ 請求人の主張について

(１) 審判請求書における主張の概要

請求人は、審判請求書において概略次の主張をしている。

ア プルアップ抵抗の用途

引用文献１のプルアップ抵抗１５は探針１３の電位の安定化のためであり（引用文献１、［００２０］）、仮にプルアップ抵抗１５が電流源に接続されるようなことがあれば、探針１３の電位は乱れてしまうから、引用文献１の分野の当業者は、補正後の請求項１の「前記第１導電性プローブ（３８０）は前記第１抵抗器（Ｒ４１）に接続され、前記第２導電性プローブ（３８１）は前記第２抵抗器（Ｒ４２）に接続される」という要件を満たすように引用文献１の構成を改変する動機を持たない。

イ プルアップ抵抗の抵抗値

本願の明細書【００４６】（当審注：【００４５】の誤記。）に記載されているように、第１抵抗器及び第２抵抗器は、電流源の電流値を制御することによってその抵抗値を可変できる。

一方、引用文献２では、電圧源１６が抵抗器Ｒ１、Ｒ２に電圧ＶＨを印加することによって、出力信号ＯＵＴ、ＯＵＴｘを発生させる。すなわち、引用文献２には、電流源Ｖｓｓの電流値を制御すること、及び抵抗器Ｒ１、Ｒ２の抵抗値を調節することによってプローブカードモジュールの駆動力を高めることについての教示がない。

逆に、引用文献２の回路構成によれば、電流源Ｖｓｓ（Ｖ１２）の電流値が任意に変えられ、抵抗器Ｒ１、Ｒ２の抵抗値が任意に調節されるなら、抵抗器Ｒ１、Ｒ２に電圧ＶＨを印加することによって、出力信号ＯＵＴ、ＯＵＴｘを発生させるという目的が達成できない。

第６ むすび

以上のとおりであるから、本願発明は、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。

したがって、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。

よって、結論のとおり審決する。