2021-701118

特許第６９２０３３１号発明「流体制御弁、流体制御装置、及び駆動機構」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第６９２０３３１号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１～６〕、７について訂正することを認める。 特許第６９２０３３１号の請求項１～７に係る特許を維持する。

理 由 第１ 手続の経緯の概略 特許第６９２０３３１号の請求項１～７に係る特許（以下「本件特許」という。）についての手続の経緯は、概ね、次のとおりである。 ２０１７年１０月 ２日 国際出願（優先権主張 ２０１６年１０ （平成２９年１０月 ２日） 月２１日、日本国） 令和 ３年 ７月２８日 特許権の設定登録 令和 ３年 ８月１８日 特許掲載公報の発行 令和 ３年１１月３０日 特許異議申立人板東高志による特許異議 申立て 令和 ４年 ４月２７日付け 取消理由通知書 令和 ４年 ７月 ６日 特許権者による意見書及び訂正請求書の 提出 令和 ４年 ９月 ５日 特許異議申立人による意見書の提出 令和 ４年 ９月２１日付け 訂正拒絶理由通知書 令和 ４年１０月２８日 特許権者による意見書の提出 令和 ４年１１月２５日付け 取消理由通知書（決定の予告） 令和 ５年 １月２７日 特許権者による意見書及び訂正請求書の 提出 以下、令和５年１月２７日付け訂正請求書に係る訂正を「本件訂正」という。なお、令和４年７月６日付け訂正請求書は取り下げられたものとみなす（特許法１２０条の５第７項）。 第２ 本件訂正の適否 １ 本件訂正の内容 本件訂正の請求は、特許第６９２０３３１号の特許請求の範囲を、本件訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項１～７について訂正することを求めるものであって、その訂正の内容は次のとおりである（下線は訂正箇所を示す。）。 （１） 訂正事項１ 特許請求の範囲の請求項１に「前記アクチュエータの駆動用端子」とあるのを、「前記アクチュエータの第１及び第２の駆動用端子」に訂正し、「前記変位センサの出力端子が、前記蓋体に配置されている」とあるのを、「前記変位センサの第１及び第２の出力端子が、前記蓋体に配置されており、前記駆動用端子及び前記出力端子が、前記蓋体の上面の周方向に沿って互い違いに配置されており、互いに隣り合う前記駆動用端子及び前記出力端子が等間隔になるように配置されている、」に訂正する（請求項１を引用する請求項２～６も同様に訂正する。）。 （２） 訂正事項２ 特許請求の範囲の請求項７に「前記アクチュエータの駆動用端子」とあるのを、「前記アクチュエータの第１及び第２の駆動用端子」に訂正し、「前記変位センサの出力端子が、前記蓋体に配置されている」とあるのを、「前記変位センサの第１及び第２の出力端子が、前記蓋体に配置されており、前記駆動用端子及び前記出力端子が、前記蓋体の上面の周方向に沿って互い違いに配置されており、互いに隣り合う前記駆動用端子及び前記出力端子が等間隔になるように配置されている、」に訂正する。 ２ 本件訂正の適否について （１） 訂正の目的 訂正事項１、２は、本件訂正後の請求項１～７に係る発明について、「アクチュエータ」の「駆動用端子」が「第１及び第２の駆動用端子」からなること、「変位センサ」の「出力端子」が「第１及び第２の出力端子」からなることを特定した上で、「前記駆動用端子及び前記出力端子が、前記蓋体の上面の周方向に沿って互い違いに配置されており、互いに隣り合う前記駆動用端子及び前記出力端子が等間隔になるように配置されている」ことを特定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的としたものである。 （２） 新規事項の追加の有無 本件特許明細書等には、以下の点が記載されている。 ・「駆動用端子７ｘ及び出力端子９ｘが、蓋体８２の上面８ａの周方向に沿って互い違いに配置されており、互いに隣り合う駆動用端子７ｘ及び出力端子９ｘが等間隔になるようにしている。」（【００２９】） ・「【図２】 ［図：0001397165000001.jpg］ 」 このように、本件特許明細書等には、図２に示されるような、駆動用端子７ｘ及び出力端子９ｘが、蓋体８２の上面８ａの周方向に沿って互い違いに配置されており、互いに隣り合う駆動用端子７ｘ及び出力端子９ｘが等間隔になるようにしていることが示されている。 そうすると、訂正事項１、２は、本件特許明細書等のすべての記載を総合することにより導かれる技術的事項との関係において、新たな技術的事項を導入しないものであって、新規事項を追加するものではない。 （３） また、訂正事項１、２に係る本件訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張、又は変更するものではない。 （４） 訂正事項１に係る本件訂正は、訂正前の請求項〔１～６〕という一群の請求項ごとに請求されたものである。 （５） 以上のとおりであるから、本件訂正は、特許法１２０条の５第２項ただし書１号に掲げる事項を目的とするものであって、同条４項、同条９項において準用する同法１２６条５、６項の規定に適合するので、訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１～６〕、７について訂正することを認める。 第３ 本件発明 前記第２のとおり本件訂正は認められるから、請求項１～７に係る発明は、特許請求の範囲の請求項１～７に記載された事項により特定される次のとおりである。以下、本件特許に係る発明を請求項の番号に従って「本件発明１」などという。 【請求項１】 流路を流れる流体を制御する流体制御弁であり、 弁体と、 前記弁体を変位させるアクチュエータと、 前記アクチュエータを収容するとともに、前記アクチュエータの第１及び第２の駆動用端子が配置された蓋体を有するケーシングと、 前記ケーシング内に設けられるとともに、前記弁体の変位に応じて出力信号の大きさが変わる変位センサとを具備し、 前記変位センサの第１及び第２の出力端子が、前記蓋体に配置されており、前記駆動用端子及び前記出力端子が、前記蓋体の上面の周方向に沿って互い違いに配置されており、互いに隣り合う前記駆動用端子及び前記出力端子が等間隔になるように配置されている、流体制御弁。 【請求項２】 前記ケーシングが、 前記アクチュエータ及び前記変位センサを収容する筒状のケーシング本体を有し、 前記蓋体が、前記ケーシング本体の上端開口を塞ぐとともに、前記駆動用端子及び前記出力端子が貫通する貫通孔が形成されたものである請求項１記載の流体制御弁。 【請求項３】 前記アクチュエータが前記ケーシング内に設けられた第１ピエゾスタックを有し、 前記変位センサが、前記ケーシング内において前記第１ピエゾスタックの上方又は下方に設けられた第２ピエゾスタックを有し、 前記第１ピエゾスタックの端面と前記第２ピエゾスタックの端面とが互いに接触している請求項１記載の流体制御弁。 【請求項４】 前記第１ピエゾスタック及び前記第２ピエゾスタックが四角柱状又は多角柱状であり、 前記第１ピエゾスタック及び前記第２ピエゾスタックを収容するケーシング本体が円筒形状である請求項３記載の流体制御弁。 【請求項５】 前記第１ピエゾスタックが、前記ケーシング内の上下に一対配置されており、 前記第２ピエゾスタックが、前記一対の第１ピエゾスタックの間に配置されている請求項３記載の流体制御弁。 【請求項６】 請求項１記載の流体制御弁を備える流体制御装置。 【請求項７】 流体制御弁を駆動する駆動機構であり、 前記流体制御弁の弁体を変位させるアクチュエータと、 前記アクチュエータを収容するとともに、前記アクチュエータの第１及び第２の駆動用端子が配置された蓋体を有するケーシングと、 前記ケーシング内に設けられるとともに、前記弁体の変位に応じて出力信号の大きさが変わる変位センサとを具備し、 前記変位センサの第１及び第２の出力端子が、前記蓋体に配置されており、前記駆動用端子及び前記出力端子が、前記蓋体の上面の周方向に沿って互い違いに配置されており、互いに隣り合う前記駆動用端子及び前記出力端子が等間隔になるように配置されている、駆動機構。 第４ 取消理由の概要 本件特許に対し通知した取消理由（決定の予告）は、概ね、次のとおりである。 １ 本件発明１、２、６、７は、本件特許の優先日前に日本国内又は外国において頒布された、甲第１号証に記載された発明であるから、特許法２９条１項３号の規定に該当し、本件発明１、２、６、７に係る特許は、特許法２９条１項の規定に違反してされたものである。 ２ 本件発明１～７は、本件特許の優先日前に日本国内又は外国において頒布された、甲第２号証に記載された発明及び甲第１号証、甲第３号証～甲第７号証に記載された事項に基いて、本件特許の優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明１～７に係る特許は、特許法２９条２項の規定に違反してされたものである。 第５ 証拠方法 特許異議申立人が提出した証拠方法（甲第１号証～甲第８号証）は以下のとおりである。なお、証拠番号に従い、「甲１」などという。 甲１：特開平４－３５２４８０号公報 甲２：特開２０１５－１２１８９８号公報 甲３：再公表特許第２０１３／１１１８４１号 甲４：特開平５－２０６５３６号公報 甲５：特開２０１６－８６４０９号公報 甲６：特開２０１６－１０２８０７号公報 甲７：特開平９－３３０１２８号公報 甲８：特許メモ 第６ 取消理由１（２９条１項３号）について １ 甲１に記載された発明 （１） 甲１には、以下の事項が記載されている（下線は当審にて付与した。以下同様。）。 ・「【０００１】 【産業上の利用分野】この発明は圧電アクチュエータに関し、特に縦効果を利用した積層型の圧電アクチュエータに関する。」 ・「【０００２】 【従来の技術】電気エネルギーを機械的エネルギーに変換する電歪効果素子を利用した圧電アクチュエータは、現在マスフローコントローラやＸＹテーブルの駆動装置、射出成形機などの工業分野で使用されている。」 ・「【０００８】この圧電アクチュエータは、複数の電歪材と内部電極が交互に積層されて形成された電歪効果素子１の両側面に形成された電極２Ａ，２Ｂにリード線４ａ，４ｂが接続され、また、電歪効果素子１の側面に熱電対７がエポキシ系樹脂などの接着剤で固着された後、熱電対７の出力端子７ａ，７ｂおよび電歪効果素子１に接続されたリード線４ａ，４ｂが４個の気密端子２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄにそれぞれ接続され、気密端子２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄが取り付けられている金属部材３と金属部材６が前記電歪効果素子１の両端面１ａ，１ｂに固着され、伸縮機能を有するベローズなどの金属ケース５が金属部材３、６に溶接によりシール結合されて気密封止されている。」 ・「【００１４】 【実施例２】図３はこの発明の第２実施例を示す圧電アクチュエータの縦断面図である。この実施例は前記第１の実施例の熱電対７に代えて歪ゲージ８を用い、その出力端子８ａ，８ｂを気密端子２ｃ，２ｄに接続した点を除いては第１の実施例と同様であるため、同一部分には同一参照符号を付してその説明を省略する。この実施例では、歪ゲージ８が電歪効果素子１に付加されているため、変位増減分を電歪効果素子１の入力電圧で補正しながら歪量を実測，確認できるという利点がある。」 ・「【００１５】 【実施例３】図４はこの発明の第３実施例を示す電圧アクチュエータの縦断面図である。この実施例は複数個の電歪効果素子１，１のリード線４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄをそれぞれ気密端子２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄに個々に接続したもので、この点を除いては第１の実施例と同様であるため、同一部分には同一参照符号を付してその説明を省略する。この実施例では１つに電歪効果素子１をＤＣ駆動で、残りの素子１をパルス駆動で個々に同時に駆動させることができる。また、１つの電歪効果素子１だけを使用し、残りの素子１は故障時のバックアップ用として用いることもできる。 【００１６】 【実施例４】図５はこの発明の第４実施例を示す圧電アクチュエータの縦断面図である。この実施例は、気密端子２ｄ，２ｂ，２ｃの数を最小の３個にした点を除いては第３の実施例と同様であるため、同一部分には同一参照符号を付してその説明を省略する。」 ・「【図１】 ［図：0001397165000002.jpg］ 」 ・「【図３】 ［図：0001397165000003.jpg］ 」 ・「【図４】 ［図：0001397165000004.jpg］ 」 ・「【図５】 ［図：0001397165000005.jpg］ 」 （２） 甲１には、「マスフローコントローラやＸＹテーブルの駆動装置、射出成形機などの工業分野で使用されている」（【０００２】）圧電アクチュエータが記載されているところ、圧電アクチュエータを駆動手段とする装置、駆動対象物があることは技術的に明らかである。 また、図１、３～５から、金属ケース５が筒状であること、金属部材３が、気密端子２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄが貫通する貫通孔が形成されたものであることがわかる。 そうすると、甲１に記載された事項から、甲１には次の発明（以下、それぞれ、「甲１－１発明」～「甲１－４発明」という。）が記載されているものと認められる。 （甲１－１発明） 「圧電アクチュエータを駆動手段とする装置であり、 駆動対象物と、 前記駆動対象物を駆動する電歪効果素子１と、 前記電歪効果素子１を収容するとともに、前記電歪効果素子１の気密端子２ａ、２ｂが配置された金属部材３と、金属部材６により気密封止された金属ケース５と、 前記金属ケース５内に設けられるとともに、歪量を実測、確認できる歪みゲージ８とを具備し、 前記歪みゲージ８の気密端子２ｃ、２ｄが、前記金属部材３に配置されている、圧電アクチュエータを駆動手段とする装置。」 （甲１－２発明） 「前記金属ケース５が、 前記電歪効果素子１及び前記歪みゲージ８を収容する筒状であり、 前記金属部材３が、前記金属ケース５の上端開口を塞ぐとともに、前記気密端子２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄが貫通する貫通孔が形成されたものである、甲１－１発明に係る圧電アクチュエータを駆動手段とする装置。」 （甲１－３発明） 「甲１－１発明に係る圧電アクチュエータを駆動手段とする装置を備える、マスフローコントローラ。」 （甲１－４発明） 「圧電アクチュエータであり、 駆動対象物を駆動する電歪効果素子１と、 前記電歪効果素子１を収容するとともに、前記電歪効果素子１の気密端子２ａ、２ｂが配置された金属部材３と、金属部材６により気密封止された金属ケース５と、 前記金属ケース５内に設けられるとともに、歪量を実測、確認できる歪みゲージ８とを具備し、 前記歪みゲージ８の気密端子２ｃ、２ｄが、前記金属部材３に配置されている、圧電アクチュエータ。」 ２ 甲６、７に記載された事項 （１） 甲６ 甲６には、以下の事項が記載されている。 ・「【００２０】 本実施形態に係る流体制御用機器１００は、例えばガスパネルに搭載されて半導体製造装置の材料供給ラインの一部を構成するもので、図１に流体回路図、図２に全体斜視図を示すように、流量制御対象である流体が流れる内部流路１ａを有するボディユニット１と、前記内部流路１ａ上に設けられた流体制御弁である流量調整弁４と、この流量調整弁４よりも下流側に設けられ、前記内部流路１ａを流れる流体の質量流量を測定する流量測定機構１０と、この流量測定機構１０による測定流量が予め定めた目標流量になるように前記流量調整弁４を制御する制御回路６（図２には示していない）とから構成されたマスフローコントローラである。以下に各部を詳述する。」 ・「【００２７】 一方、前記弁体部材４１は、図３、図７に示すように、内部が気密状態となるように構成した筐体４１１と、この筐体４１１の内部に収容した柱状をなす積層圧電素子４１２とを具備している。 【００２８】 筐体４１１は、長尺筒状をなすハウジング４１１ａと、このハウジング４１１ａの一端面を気密に閉塞する弾性変形可能な薄肉板状のダイアフラム部材４１１ｂと、前記ハウジング４１１ａの他端面を気密に閉塞する閉塞部材４１１ｃとを具備したものである。 【００２９】 ハウジング４１１ａは、前記有底凹部１ｄ上を覆うように部品取付面１ｘに取り付けられる概略直方体形状をなすフランジ部４１１ａ１と、このフランジ部４１１ａ１に連結される概略円筒状をなす円筒部４１１ａ２とからなるものである。また、ダイアフラム部材４１１ｂは、図７に示すように、内側に向かって突出する突起４１１ｂ１を中央に有した弾性変形可能な薄板であり、前記フランジ部４１１ａ１と一体に成形されている。さらに、閉塞部材４１１ｃには、圧電素子駆動用の端子Ｔが気密に貫通させてあり、いわゆるハーメチック構造となっている。 【００３０】 そして、前記フランジ部４１１ａ１の一端面である下面をボディユニット１の部品取付面１ｘにシール部材ＳＬ１を介して取り付けることにより、ボディユニット１に形成した前記有底凹部１ｄの開口を前記下面で封止するとともに、弁座面４２ａにダイアフラム部材４１１ｂを対向させ、前記圧電素子４１２の伸縮によってダイアフラム部材４１１ｂと弁座面４２ａとの離間距離が変わって、このダイアフラム部材４１１ｂが弁体４１ａとして機能するようにしてある。」 ・「【図３】 ［図：0001397165000006.jpg］ 」 （２） 甲７ 甲７には、以下の事項が記載されている。 ・「【０００３】 【従来の技術】図４は従来のマスフローコントローラの基本構造、図５は従来の流量制御方法の説明図である。 【０００４】図において、11はマスフローコントローラ、12はメイン管、13は毛細管、14は流量センサ、15はブリッジ回路、16は増幅回路、17は補正回路、18は流動出力信号、19は流量設定信号、20は駆動電源、21は比較制御回路、22はバルブ駆動回路、23は流量制御バルブ、24はピエゾアクチュエータ、25はメタルダイヤフラムである。」 ・「【図４】 ［図：0001397165000007.jpg］ 」 ３ 対比及び判断 （１） 本件発明１について ア 本件発明１と甲１－１発明とを、その有する機能に照らして対比する。 甲１－１発明は「圧電アクチュエータを駆動手段とする装置」であるところ、本件発明１は駆動機構により駆動させる「流体制御弁」に係る発明であるから、甲１－１発明の「圧電アクチュエータを駆動手段とする装置」は、本件発明１の「流路を流れる流体を制御する流体制御弁」あるいは「流体制御弁」と、「駆動手段を有する装置」との限りで一致する。 そして、甲１－１発明は、「圧電アクチュエータ」の「電歪効果素子１」の駆動により「駆動対象物」を変位させるといえるから、甲１－１発明の「駆動対象物」、「電歪効果素子１」は、本件発明１の「弁体」、「アクチュエータ」と、それぞれ、「変位対象物」、「変位対象物を変位させるアクチュエータ」との限りで一致する。 また、甲１－１発明の「気密端子２ａ、２ｂ」は、本件発明１の「第１及び第２の駆動用端子」に相当し、甲１－１発明の「金属部材３」は、本件発明１の「蓋体」に相当し、甲１－１発明の「金属部材３」、「金属部材６」及び「金属ケース５」は、本件発明１の「ケーシング」に相当する。 さらに、甲１－１発明の「歪みゲージ８」は、本件発明１の「変位センサ」に相当し、甲１－１発明の「気密端子２ｃ、２ｄ」は、本件発明１の「第１及び第２の出力端子」に相当する。 そうすると、本件発明１と甲１－１発明とは、以下の点で一致し、相違する。 （一致点） 「駆動手段を有する装置であり、 変位対象物と、 前記変位対象物を変位させるアクチュエータと、 前記アクチュエータを収容するとともに、前記アクチュエータの第１及び第２の駆動用端子が配置された蓋体を有するケーシングと、 前記ケーシング内に設けられる変位センサとを具備し、 前記変位センサの第１及び第２の出力端子が、前記蓋体に配置されている駆動手段を有する装置。」 （相違点１－１） 駆動手段を有する装置に関し、本件発明１は「流路を流れる流体を制御する流体制御弁」であり、変位対象物としての「弁体」と、「前記弁体を変位させる」アクチュエータと、「前記弁体の変位に応じて出力信号の大きさが変わる」変位センサとを具備するのに対し、甲１－１発明は「圧電アクチュエータを駆動手段とする装置」で、変位対象物は明らかでない点。 （相違点１－２） アクチュエータの第１及び第２の駆動用端子及び変位センサの第１及び第２の出力端子の配置に関し、本件発明１は「前記駆動用端子及び前記出力端子が、前記蓋体の上面の周方向に沿って互い違いに配置されており、互いに隣り合う前記駆動用端子及び前記出力端子が等間隔になるように配置されている」のに対し、甲１－１発明は、そのように配置されていない点。 イ 事案に鑑み、まず、相違点１－２についてみるに、上記のように、甲１－１発明は、本件発明１と相違し、本件発明１は、それにより、顕著な効果を奏するものであるから（後記第７）、この点は構成として実質的な相違点である。 よって、その余の事項を検討するまでもなく、本件発明１は、甲１に記載された発明であるとは認められない。 （２） 本件発明２、６について 本件発明２、６は、本件発明１を特定するための事項を全て含むものであるから、その余の事項を検討するまでもなく、本件発明２、６は、本件発明１と同様の理由により、甲１に記載された発明であるとは認められない。 （３） 本件発明７について ア 本件発明７と甲１－４発明とを、その有する機能に照らして対比する。 甲１－４発明は「駆動対象物」の駆動に係る「圧電アクチュエータ」であるところ、本件発明７は「流体制御弁を駆動する駆動機構」に係る発明であるから、甲１－４発明の「圧電アクチュエータ」は、本件発明７の「流体制御弁を駆動する駆動機構」あるいは「駆動機構」と、「駆動手段」の限りで一致する。 そして、甲１－４発明は、「圧電アクチュエータ」の「電歪効果素子１」の駆動により「駆動対象物」を変位させるといえるから、甲１－４発明の「駆動対象物」、「電歪効果素子１」は、本件発明７の「弁体」、「アクチュエータ」と、それぞれ、「変位対象物」、「変位対象物を変位させるアクチュエータ」の限りで一致する。 また、甲１－４発明の「気密端子２ａ、２ｂ」は、本件発明７の「第１及び第２の駆動用端子」に相当し、甲１－４発明の「金属部材３」は、本件発明７の「蓋体」に相当し、甲１－４発明の「金属部材３」、「金属部材６」及び「金属ケース５」は、本件発明７の「ケーシング」に相当する。 さらに、甲１－４発明の「歪みゲージ８」は、本件発明７の「変位センサ」に相当し、甲１－４発明の「気密端子２ｃ、２ｄ」は、本件発明７の「第１及び第２の出力端子」に相当する。 そうすると、本件発明７と甲１－４発明とは、以下の点で一致し、相違する。 （一致点） 「駆動手段であり、 前記駆動手段の変位対象物を変位させるアクチュエータと、 前記アクチュエータを収容するとともに、前記アクチュエータの第１及び第２の駆動用端子が配置された蓋体を有するケーシングと、 前記ケーシング内に設けられるとともに、変位センサとを具備し、 前記変位センサの第１及び第２の出力端子が、前記蓋体に配置されている、駆動手段。」 （相違点２－１） 駆動手段に関し、本件発明７は、「流体制御弁を制御する駆動機構」であり、「前記流体制御弁の弁体」を変位させるアクチュエータと、「前記弁体の変位に応じて出力信号の大きさが変わる」変位センサとを具備するのに対し、甲１－４発明は「圧電アクチュエータ」であって、変位対象物は明らかでない点。 （相違点２－２） アクチュエータの第１及び第２の駆動用端子及び変位センサの第１及び第２の出力端子の配置に関し、本件発明７は「前記駆動用端子及び前記出力端子が、前記蓋体の上面の周方向に沿って互い違いに配置されており、互いに隣り合う前記駆動用端子及び前記出力端子が等間隔になるように配置されている」のに対し、甲１－４発明は、そのように配置されていない点。 イ 事案に鑑み、まず、相違点２－２についてみるに、上記のように、甲１－４発明は、本件発明７と相違し、本件発明７は、それにより、顕著な効果を奏するものであるから（後記第７）、この点は構成として実質的な相違点である。 よって、その余の事項を検討するまでもなく、本件発明７は、甲１に記載された発明であるとは認められない。 （４） なお、念のため、本件発明１～７が、甲１に記載された発明及び甲２～７に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるかについて検討するに（異議申立人は、本件発明３～５について、甲１に記載された発明及び甲３～５に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである旨主張している（特許異議申立書１５～１６頁）。）、相違点１－２、２－２に係る構成は、甲１～７のいずれにも記載、示唆されておらず、本件発明１～７は、相違点１－２、２－２に係る構成を有することにより、顕著な効果を奏するものである（後記第７）。 そうすると、甲１に記載された発明において、相違点１－２、２－２に係る構成とすることが、当業者が容易に想到できた事項であるとは認められない。 よって、その余の事項を検討するまでもなく、本件発明１～７は、甲１に記載された発明及び甲２～７に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとも認められない。 第７ 取消理由２（２９条２項）について １ 甲２に記載された発明 （１） 甲２には、以下の事項が記載されている。 ・「【０００１】 本発明は、流体の流量や圧力を制御するために用いられる流体制御弁に関するものである。」 ・「【００２１】 本発明の一実施形態に係る流体制御弁１００、及び、この流体制御弁１００を用いた流量制御装置２００について図１乃至３を参照しながら説明する。」 ・「【００２４】 前記流体制御弁１００は、いわゆるノーマルクローズタイプの弁であって図２の断面拡大図に示すようにブロック体Ｂの内部に形成された上流側流路Ｌ１と下流側流路Ｌ２との間を介するように前記ブロック体Ｂに形成された収容凹部内に嵌め込まれるものである。そして、前記流体制御弁１００は図２における上側からアクチュエータ２、モニタリングセンサ、球体４、プランジャ５、弁座ブロック６、弁体７、弁体支持ばね７１と、を備えている。 【００２５】 前記アクチュエータ２は、ピエゾ素子を用いて構成されたピエゾアクチュエータ２であって、印加される電圧によって出力される力又は変位が制御されるものである。すなわち、このピエゾアクチュエータ２に印加される電流又は電圧に基づいて、ピエゾアクチュエータ２が現在出力している力、又はピエゾアクチュエータ２の現在の変位を所定の精度で推定することが可能なものである。また、このピエゾアクチュエータ２から出力されている力又はピエゾアクチュエータ２の変位の推定値から流体制御弁１００としての開度についても換算により推定可能である。なお、ピエゾ素子は印加される電流又は電圧に対して変位がヒステリシスを示すため、前述した電流又は電圧によるピエゾアクチュエータ２の力又は変位の推定値や流体制御弁１００としての開度の推定値はヒステリシスの影響により現在の状態を正確に推定できない場合がある。」 【００２６】 前記モニタリングセンサは、本実施形態ではロードセル３１であって、前記ピエゾアクチュエータ２が出力している現在の力を直接測定するものである。」 ・「【００３０】 前記弁座ブロック６は、概略円筒状のものであって、側面と上面とに開口をし、前記上流側流路Ｌ１と連通する概略Ｌ字状の第１内部流路６１と、中央部において上下方向に貫通させて設けてあり、前記下流側流路Ｌ２と連通する第２内部流路６２とを有したものである。また、前記弁座ブロック６の下側の面における前記第２内部流路６２の開口の周囲は、前記弁体７が着座すると弁座６３として構成してある。」 ・「【００３２】 前記流量センサ１０１は、熱式のものであって流路から分岐するＵ字状の細管１１に巻き回された２つの感熱抵抗素子１２の温度をそれぞれ一定温度となるように電流を制御し、各感熱抵抗素子１２に印加されている電圧に基づいて流量を測定するものである。より具体的には、流量算出部１３では、各感熱抵抗素子１２に印加されている電圧の和及び差に基づき、流量を算出するように構成してある。この流量センサ１０１は流体の熱の移動に基づいて流量を測定するものであるので、測定される流量には所定の時間遅れが存在するため、本実施形態では高速制御を行う際にはその測定値は用いずに前記ロードセル３１の測定値に基づいて流量の制御を行うようにしてある。」 ・「【００３７】 前記実績値ベース制御モードは、前記流体量ベース制御モードにおいて前記ロードセル３１が測定した値を利用して前記流量センサ１０１の測定値を用いずに開度制御を行うものである。より具体的には、前記実績値ベース制御モードでは、前記ロードセル３１の測定値がフィードバックされて目標流体量が実現されるように開度制御が行われる。」 ・「【００４６】 前記実績値記憶部８５は、前記流体量ベース制御部８３による制御が行われ、前記流量センサ１０１で測定される流量が目標流量と略一致した状態になったときに前記ロードセル３１により測定されている前記ピエゾアクチュエータ２から出力されている力を実績値としてそのときの流路に流れている流体のガス種、目標流量、とを対にして記憶するものである。ここで、前記実績値記憶部８５が前記ロードセル３１の測定値を実績値として記憶する際のトリガとしては、例えば目標流量と測定流量の偏差が所定閾値内である状態が所定時間継続されていることに設定してもよい。言い換えると、前記実績値記憶部８５は、ある目標流量が実現されている場合に前記ロードセル３１等のモニタリングセンサから出力されていた測定値を実績値として記憶するものである。この実績値はある目標流量が実現されたときの開度と対応する値であり、本実施形態であれば前記ロードセル３１から前記プランジャ５にかかる力が分かれば、前記可動子５１及び前記弁体７の変位量が算出でき、前記弁座６３と前記弁体７との間の開度について算出可能である。したがって、実績値は目標流量が実現したときの開度へと換算可能な値であるとも言える。」 ・「【００５２】 図３（ｂ）からも明らかなように前記実績値ベース制御モードでは、フィードバック制御のために前記流量センサ１０１で測定される流量は全く使用されておらず、流量センサ１０１よりもセンサの応答性が高いロードセル３１の出力に基づいて開度及び流量が制御されることになる。また、前記実績値はある目標流量が実現されたときに前記ロードセル３１が測定していた値であるので、前記ロードセル３１において現在測定されている力を実績値と略一致させれば、目標流量が実現されたときの開度を再現し、ひいては同じ目標流量を実流量として実現することができる。」 ・「【００５８】 また、前記ロードセル３１による測定は、前記弁座６３と前記弁体７との間の開度を略直接測定していることになるので、電流や電圧に基づいた診断に比べて精度や信頼性を高めることができる。」 ・「【図１】 ［図：0001397165000008.jpg］ 」 ・「【図２】 ［図：0001397165000009.jpg］ 」 ・「【図３】 ［図：0001397165000010.jpg］ 」 （２） 甲２に記載された流体制御弁１００は、ピエゾアクチュエータ２、モニタリングセンサ（ロードセル３１）、球体４、プランジャ５、弁座ブロック６、弁体７、弁体支持ばね７１と、を備えているものであるところ（【００２４】～【００２６】）、図２の記載から、ピエゾアクチュエータ２等を収容するケーシングを具備することがわかり、ピエゾアクチュエータ２及びロードセル３１を収容する部分が筒状であることがわかる。 また、図２の記載から、ロードセル３１がピエゾアクチュエータ２の下方に設けられていることがわかり、ロードセル３１は、ピエゾアクチュエータ２が出力している現在の力を直接測定するものであることからも（【００２６】）、ピエゾアクチュエータ２の端面とロードセル３１の端面とが互いに接触していることがわかる。 そうすると、甲２に記載された事項から、甲２には次の発明（以下、それぞれ、「甲２－１発明」～「甲２－５発明」という。）が記載されているものと認められる。 （甲２－１発明） 「上流側流路Ｌ１、下流側流路Ｌ２、第１内部流路、第２内部流路を流れる流体を制御する流体制御弁１００であり、 弁体７と、 前記弁体７を変位させるピエゾアクチュエータ２と、 前記ピエゾアクチュエータ２を収容するケーシングと、 前記ケーシング内に設けられるとともに、前記ピエゾアクチュエータ２が出力している力を測定するロードセル３１とを具備する、流体制御弁１００。」 （甲２－２発明） 「前記ケーシングが、 前記ピエゾアクチュエータ２及び前記ロードセル３１を収容する筒状の部分を有する、甲２－１発明に係る流体制御弁１００。」 （甲２－３発明） 「前記ロードセル３１が、前記ケーシング内において前記ピエゾアクチュエータ２の下方に設けられ、 前記ピエゾアクチュエータ２の端面と前記ロードセル３１の端面とが互いに接触している、甲２－２発明に係る流体制御弁１００。」 （甲２－４発明） 「甲２－１発明に係る流体制御弁１００を備える、流体制御装置２００。」 （甲２－５発明） 「流体制御弁１００を駆動する駆動手段であり、 前記流体制御弁１００の弁体７を変位させるピエゾアクチュエータ２と、 前記ピエゾアクチュエータ２を収容するケーシングと、 前記ケーシング内に設けられるとともに、前記ピエゾアクチュエータ２が出力している力を測定するロードセル３１とを具備する、駆動手段。」 ２ 甲３～５に記載された事項 （１） 甲３ 甲３には、以下の事項が記載されている。 ・「【０００３】 圧電性シートは変位量に応じた電荷を発生するので、圧電性シートの対向する両面に電極を形成して圧電センサを構成し、当該発生電荷による電圧を検出することで、変位量（曲げ量、捻れ量、押し込み量等）を検出している。」 （２） 甲４ 甲４には、以下の事項が記載されている。 ・「【０００６】 【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明する。図１は本発明の圧電アクチュエータの一実施例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）はその縦断面図である。同図において、１は積層形の素子であり、金属ケース７内に気密封止される。この素子１は気密端子３及び金属部材８に接着剤で固定され、、気密端子３及び金属部材８は金属ケース７に溶接されている。又、前記素子１の一側面には、銅ニッケルの金属箔を用いた歪ゲージからなる変位センサー２が貼り付けてある。そして、素子１の駆動用リード線４ｃ，４ｄを気密端子３の駆動用リード５ｃ，５ｄに半田６で接続する。又、変位センサー２のセンサー用リード線４ａ，４ｂを気密端子３のセンサー用リード５ａ，５ｂに半田６で接続する。」 ・「【図１】 ［図：0001397165000011.jpg］ 」 （３） 甲５ 甲５には、以下の事項が記載されている。 ・「【請求項１】 圧電体層と電極層とが交互に積層され、極性が異なる少なくとも一対の電極層の間に前記圧電体層が配置された積層圧電素子と、 前記積層圧電素子が配置された振動板とを備え、 前記積層圧電素子は積層方向から見て多角形であり、 前記積層圧電素子が配置された前記振動板の面は円形であり、 前記少なくとも一対の電極層に挟まれる前記圧電体層のうち、積層方向から投影して前記少なくとも一対の電極層が重なる実効層の体積の合計（Ｖ）が下記の条件を満たすことを特徴とする電気音響変換装置。 ０．２πＲ２×ｔｓ≦Ｖ≦２．０πＲ２×ｔｓ （但し、πは円周率、Ｒは振動板の半径、ｔｓは振動板の厚み）」 ・「【００３７】 円形の振動板１３の半径をＲ、振動板１３の厚みをｔｓ、多角形の積層圧電素子１２の対角線の長さの１／２をαＲ、積層圧電素子１２の実効層の厚みをｔｅとすると、多角形の積層圧電素子１２の実効層の体積の合計（Ｖ）は以下のようになる。 Ｖ＝（（２αＲ）／（２０．５））２×ｔｅ （式２）」 ３ 対比及び判断 （１） 本件発明１について ア 本件発明１と甲２－１発明とを、その有する機能に照らして対比する。 甲２－１発明の「上流側流路Ｌ１、下流側流路Ｌ２、第１内部流路、第２内部流路」は、本件発明１の「流路」に相当し、以下同様に、甲２－１発明の「流体制御弁１００」、「弁体７」、「ピエゾアクチュエータ２」、「ケーシング」は、それぞれ、本件発明１の「流体制御弁」、「弁体」、「アクチュエータ」、「ケーシング」に相当する。 また、甲２－１発明における「前記ピエゾアクチュエータ２が出力している力を測定するロードセル３１とを具備する」点は、本件発明１における「前記弁体の変位に応じて出力信号の大きさが変わる変位センサとを具備（する）」点と、「前記ケーシング内に設けられる」「センサ」を具備するとの限りで、一致する。 そうすると、本件発明１と甲２－１発明とは、以下の点で一致し、相違する。 （一致点） 「流路を流れる流体を制御する流体制御弁であり、 弁体と、 前記弁体を変位させるアクチュエータと、 前記アクチュエータを収容するケーシングと、 前記ケーシング内に設けられるセンサとを具備する流体制御弁。」 （相違点３） 本件発明１は、ケーシングが「前記アクチュエータの第１及び第２の駆動用端子が配置された蓋体を有する」ものであり、ケーシング内に設けられるセンサが「前記弁体の変位に応じて出力信号の大きさが変わる変位センサ」であって、「前記変位センサの第１及び第２の出力端子が、前記蓋体に配置されており、前記駆動用端子及び前記出力端子が、前記蓋体の上面の周方向に沿って互い違いに配置されており、互いに隣り合う前記駆動用端子及び前記出力端子が等間隔になるように配置されている」のに対し、甲２－１発明は、ケーシングが蓋体を有するか不明で、ケーシング内に設けられるセンサが「前記ピエゾアクチュエータ２が出力している力を測定するロードセル３１」であり、「ピエゾアクチュエータ２」の駆動用端子や「ロードセル３１」の出力端子に係る構造も不明である点。 イ そこで、相違点３について検討すると、甲２（前記１（１））には、アクチュエータの駆動用端子及び変位センサの出力端子が、蓋体の上面の周方向に沿って互い違いに配置されており、互いに隣り合うアクチュエータの駆動用端子及び変位センサの出力端子が等間隔になるように配置されている点について特段記載、示唆はないから、その余の点を検討するまでもなく、甲２－１発明において、相違点３に係る構成とすることに関し、動機付けがあるとは認められない。 甲１（前記第６・１）、３～５（前記２）、６、７（前記第６・２）も同様で、アクチュエータの駆動用端子及び変位センサの出力端子が、蓋体の上面の周方向に沿って互い違いに配置されており、互いに隣り合うアクチュエータの駆動用端子及び変位センサの出力端子が等間隔になるように配置されている点について特段記載、示唆はないから、甲１、３～７をみても、甲２－１発明において、相違点３に係る構成とすることに関し、動機付けがあるとは認められない。 そして、本件発明１は、相違点３に係る構成を有することにより、顕著な効果を奏する。すなわち、「アクチュエータの駆動用端子が配置された蓋体に変位センサの出力端子を配置しているので、前記出力端子をケーシングの側方から取り出す必要がなく、端子の実装と流体制御弁の組み立てを簡素化することができる。これにより、弁体の変位を検出可能な流体制御弁を簡単且つ小型な構成にすることができる。」（本件特許明細書【０００９】）といった効果を奏するとともに、流体制御弁の組み立て性を向上し、アクチュエータの第１及び第２の駆動用端子の絶縁性を向上するとともに、変位センサの第１及び第２の出力端子へのノイズ影響を可及的に低減することができるようになる（令和５年１月２７日付け意見書）、といった所定の効果も期待できるものである。 そうすると、甲２－１発明において、相違点３に係る本件発明１の構成とすることは、当業者が容易に想到できた事項であるとは認められない。 ウ 異議申立人は、駆動用端子及び出力端子を蓋体の上面の周方向に沿って互い違いに配置することは設計的事項である、アクチュエータの第１及び第２の駆動用端子の絶縁性を向上するとともに、変位センサの第１及び第２の出力端子へのノイズ影響を可及的に低減することができるようになる点に関し、本件特許明細書等に記載がなく、各端子の絶縁性は筐体と端子間に設けられているハーメチック材料（通常はガラスなど） によって保たれており、変位センサ９である第２ピエゾスタック９１を隣接させた２つの第１ピエゾスタックの上方又は下方に配置した場合に、上方又は下方のどちらかは必ず出力端子から変位センサ９の位置が離れるため接続されるリードが長くなり、ノイズの影響をより大きく受ける、当業者の技術常識では筐体内の信号線から入り込むノイズは非常に重要である、などと主張している（令和４年９月５日付け意見書）。 しかしながら、絶縁性の向上及びノイズ影響の低減についての効果は、本件特許明細書等に記載された「駆動用端子及び出力端子を蓋体の上面の周方向に沿って互い違いに配置し、互いに隣り合う駆動用端子及び出力端子が等間隔になるように配置されている」構成（前記第２・２（２）（【００２９】、図２））から、当業者であれば推論することができる。 そして、駆動用端子及び出力端子を蓋体の上面の周方向に沿って互い違いに配置し、互いに隣り合う駆動用端子及び出力端子が等間隔になるように配置することで、それらを非等間隔に配置した場合に比べれば、絶縁性の向上及びノイズ影響の低減に関し所定の効果が期待できることは、技術的に明らかであって、この点が単なる設計的事項であるとも認められない。 エ 以上のとおりであるから、本件発明１は、甲２－１発明及び甲１、３～７に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。 （２） 本件発明２について 本件発明２は、本件発明１を特定するための事項を全て含むものであるから、その余の事項を検討するまでもなく、本件発明２は、本件発明１と同様の理由により、甲２－２発明及び甲１、３～７に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。 （３） 本件発明３～５について 本件発明３～５は、本件発明１を特定するための事項を全て含むものであるから、その余の事項を検討するまでもなく、本件発明３～５は，本件発明１と同様の理由により、甲２－３発明及び甲１、３～７に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。 （４） 本件発明６について 本件発明６は、本件発明１を特定するための事項を全て含むものであるから、その余の事項を検討するまでもなく、本件発明６は，本件発明１と同様の理由により、甲２－４発明及び甲１、３～７に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。 （５） 本件発明７について ア 本件発明７と甲２－５発明とを、その有する機能に照らして対比する。 甲２－５発明の「流体制御弁１００」は、本件発明７の「流体制御弁」に相当し、以下同様に、甲２－５発明の「駆動手段」、「弁体７」、「ピエゾアクチュエータ２」、「ケーシング」は、それぞれ、本件発明７の「駆動機構」、「弁体」、「アクチュエータ」、「ケーシング」に相当する。 また、甲２－５発明における「前記ケーシング内に設けられるとともに、前記ピエゾアクチュエータ２が出力している力を測定するロードセル３１とを具備する」点は、本件発明７における「前記ケーシング内に設けられるとともに、前記弁体の変位に応じて出力信号の大きさが変わる変位センサとを具備（する）」点と、「前記ケーシング内に設けられる」「センサ」を具備するとの限りで、一致する。 そうすると、本件発明７と甲２－５発明とは、以下の点で一致し、相違する。 （一致点） 「流体制御弁を駆動する駆動機構であり、 前記流体制御弁の弁体を変位させるアクチュエータと、 前記アクチュエータを収容するケーシングと、 前記ケーシング内に設けられるセンサとを具備する流体制御弁。」 （相違点４） 本件発明７は、ケーシングが「前記アクチュエータの第１及び第２の駆動用端子が配置された蓋体を有する」ものであり、ケーシング内に設けられるセンサが「前記弁体の変位に応じて出力信号の大きさが変わる変位センサ」であって、「前記変位センサの第１及び第２の出力端子が、前記蓋体に配置されており、前記駆動用端子及び前記出力端子が、前記蓋体の上面の周方向に沿って互い違いに配置されており、互いに隣り合う前記駆動用端子及び前記出力端子が等間隔になるように配置されている」のに対し、甲２－５発明は、ケーシングが蓋体を有するか不明で、ケーシング内に設けられるセンサが「前記ピエゾアクチュエータ２が出力している力を測定するロードセル３１」であり、「ピエゾアクチュエータ２」の駆動用端子や「ロードセル３１」の出力端子に係る構造も不明である点。 イ そこで、相違点４について検討すると、相違点４は実質的に前記相違点３と同じであるところ（前記（１）ア）、既に述べたとおり、甲１～７には、アクチュエータの駆動用端子及び変位センサの出力端子が、蓋体の上面の周方向に沿って互い違いに配置されており、互いに隣り合うアクチュエータの駆動用端子及び変位センサの出力端子が等間隔になるように配置されている点について特段記載、示唆はないから、その余の点を検討するまでもなく、甲２－５発明において、相違点４に係る構成とすることに関し、動機付けがあるとは認められない上、本件発明７は、相違点４に係る構成を有することにより、本件発明１と同様、顕著な効果を奏するものである（前記（１）イ）。 そうすると、甲２－５発明において、相違点４に係る本件発明７の構成とすることは、当業者が容易に想到できた事項であるとは認められない。 ウ 以上のとおりであるから、本件発明７は，甲２－５発明及び甲１、３～７に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。 第８ むすび 以上のとおり、本件の請求項１～７に係る特許は、特許法２９条１項、２９条２項の規定に違反してされたものとは認められないから、前記取消理由により取り消すことはできない。 また、他に本件の請求項１～７に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。