2023-017854

特願２０２０－５２５５５１「配管容積の算出方法、及び、流量制御機器又は流量計測機器の校正器」拒絶査定不服審判事件〔令和 １年１２月１９日国際公開、ＷＯ２０１９／２４００７５〕について、次のとおり審決する。

結 論 本件審判の請求は、成り立たない。

理 由 第１ 手続の経緯 本願は、２０１９年（令和元年）６月１０日を国際出願日とする日本語特許出願であって（優先権主張 平成３０年６月１５日）、その手続の経緯の概略は、以下のとおりである。 令和５年 ２月２８日付け：拒絶理由通知書 同年 ４月２０日 ：意見書、手続補正書の提出 同年 ７月１９日付け：拒絶査定（以下「原査定」という。） （同月２５日 ：原査定の謄本の送達） 同年１０月２０日 ：審判請求書、手続補正書の提出 なお、平成３０年６月１５日を以下「優先日」という。 第２ 本願発明 本願の請求項１～３に係る発明は、令和５年１０月２０日に提出された手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１～３に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、次の記載により特定されるとおりのものである。 なお、検討の便宜上、本願発明の構成を次のように構成Ｘと構成Ａから構成Ｈまでに分説した。 ＜本願発明＞ 「【請求項１】 （構成Ａ）流量制御機器により所定の設定流量に制御した流体を配管部材を介して容器に導き、当該容器内の圧力の時間変化率を算出する第１算出ステップと、 （構成Ｂ）流体が導かれる容器の容積、流体が導かれる容器の数、流体の温度、又は流体の種類の何れかを前記第１算出ステップとは異ならせて、前記流量制御機器により前記設定流量に制御した流体を配管部材を介して容器に導き、当該容器内の圧力の時間変化率を算出する第２算出ステップと、 （構成Ｃ）前記第１算出ステップにおいて算出された圧力の時間変化率及び前記第２算出ステップにおいて算出された圧力の時間変化率に基づいて前記配管部材の容積を算出する管容積算出ステップとを備え、 （構成Ｄ）前記第１算出ステップにおいて前記流体が導かれる前記容器に接続されている前記配管部材とは別の配管の容積が既知であり、 （構成Ｅ）前記第２算出ステップにおいて前記流体が導かれる前記容器に接続されている前記配管部材とは別の配管の容積が既知であり、 （構成Ｆ）容積が互いに異なる第１容器及び第２容器を並列に接続し、 （構成Ｇ）前記第１算出ステップにおいて、前記流量制御機器により前記設定流量に制御された流体を、前記第２容器に導くことなく、前記第１容器に導き、 （構成Ｈ）前記第２算出ステップにおいて、前記流量制御機器により前記設定流量に制御された流体を、前記第１容器に導くことなく、前記第２容器に導く、 （構成Ｘ）算出方法。」 第３ 原査定の概要 原査定の本願発明に係る拒絶の理由２の概要は、次のとおりである。 （進歩性の欠如）本願発明は、下記の引用文献１及び２に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。 記 引用文献１．特表２０１０－５３１９９９号公報 引用文献２．特開平０７－２８１７６０号公報（主たる引用文献） 第４ 当審の判断 １ 引用文献の記載事項並びに引用発明及び技術常識１の認定 (１) 引用文献２の記載事項及び引用発明の認定 ア 引用文献２の記載事項 原査定の拒絶の理由において引用された特開平０７－２８１７６０号公報（以下「引用文献２」という。）には、以下の事項が記載されている。 なお、下線は当審が付した。以下同様である。 (ア) 段落【０００１】 「【０００１】 【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造プロセスにおけるガスシステムに使用するマスフローコントローラの流量検定に関し、さらに詳細にはシステム中に組み込んだ状態でのマスフローコントローラが計測する絶対流量の計測精度の検定が可能な絶対流量検定システムに関するものである。」 (イ) 段落【００１６】～【００２３】、【図１】、【図３】～【図４】 「【００１６】 【実施例】以下、本発明のガス実流量検定システムを具体化してガス配管系に組み込んだ一実施例を図面を参照して説明する。図３は本発明にかかるガス実流量検定システムを組み込んだガスシステムのブロック図である。図３においては、２種類のプロセスガス（Ａ，Ｂ）がそれぞれマスフローコントローラ（１１Ａ，１１Ｂ）を挟む第１開閉弁（１５Ａ，１５Ｂ）と第２開閉弁（２Ａ，２Ｂ）とを通してプロセスチャンバ５Ａ，５Ｂに供給されるようになっている。一方、マスフローコントローラ１１を窒素ガスでパージするための窒素ガス供給ラインが、窒素ガスタンクから、レギュレタ３２、フィルタ３３、パージ弁１７を介して、連結用開閉弁（４Ａ，４Ｂ）を経て各ガスラインに合流している。また、パージ弁１７と連結用開閉弁４の間の配管には、圧力センサ１３が接続している。また、パージ弁１７と連結用開閉弁４の間の配管には、計測用開閉弁１４を介して計測用ガスタンク１２が接続している。ここで、連結用開閉弁４Ａ，４Ｂを設けているのは、マスフローコントローラ１１Ａ，１１Ｂを個別に検定するためである。すなわち、マスフローコントローラ１１Ａを検定する場合は、連結用開閉弁４Ａのみ開とし、他の連結用開閉弁４Ｂ等を閉じて使用する。圧力センサ１３は、マスフローコントローラ１１の入口側の配管における窒素ガスの圧力を計測するものである。プロセスチャンバ５Ａ，５Ｂは、ドライエッチング、気相成膜、熱酸化等を行うためのものである。」 「【図３】 ［図：0001418901000001.jpg］ 」 「【００１７】この計測用ガスタンク１２を含む窒素ガスの配管系の構成を簡略化して示すと、図１のようになる。すなわち、パージ弁１７とマスフローコントローラ１１の間のマスフローコントローラ入口配管１６上にあって、所定圧力Ｐ１の窒素ガスを蓄える計測用ガスタンク１２が配設されている。また、計測用ガスタンク１２とマスフローコントローラ入口配管１６との間に計測用開閉弁１４が配設されている。また、マスフローコントローラ入口配管１６には、マスフローコントローラ１１の入口側の圧力を計測する圧力センサ１３が配設されている。一方、パージ弁１７はパイロット式開閉弁であって、パージ弁１７を駆動するためのエアを供給、遮断する電磁弁２１が接続されている。」 「【図１】 ［図：0001418901000002.jpg］ 」 「【００１８】次に、本システムの制御装置の構成について図２（当審注：「図３」の誤記。）により説明する。流量検定制御装置２２は、演算手段であるＣＰＵ２３、入出力インターフェイスであるＩ／Ｏ２４、アナログデータをデジタルデータに変換するためのＡ／Ｄコンバータ２５、表示装置２６、上位コンピュータとのインターフェイスであるＩ／Ｏ２７により構成されている。ここで、図２（当審注：「図３」の誤記。）のＣＰＵ２３には、制御プログラムを記憶しているＲＯＭ、及び一時的にデータ等を記憶するＲＡＭを含んでいる。圧力センサ１３の出力は、Ａ／Ｄコンバータ２５に接続されている。また、電磁弁２１は、Ｉ／Ｏ２４に接続している。一方、流量検定制御装置２２は、プロセス全体を制御している上位コンピュータ２８に接続している。すなわち、Ｉ／Ｏ２７はデータ通信線３１を介して、上位コンピュータ２８側のインターフェイスであるＩ／Ｏ２９に接続している。Ｉ／Ｏ２９は、上位コンピュータ２８のＣＰＵ３０に接続している。 【００１９】次に、上記構成を有するマスフローコントローラの絶対流量検定システムの作用を説明する。始めに、通常プロセスの作用を説明する。かかるガスシステムにおいて通常のプロセスレシピを実行する際には、遮断弁（４Ａ，４Ｂ）を閉として、計測用ガスタンク１２からの窒素ガスが各ガスラインに流れることがなく、かつ、各プロセスガスが圧力センサ１３の方に逆流することのないようにした上で、各マスフローコントローラ１１に設定電圧を印加し、必要な第１開閉弁１５及び第２開閉弁２を開として、プロセスチャンバ５に各プロセスガスを必要な流量だけ流す。プロセスチャンバ５内には、処理しようとするウェハが収納されており、適宜加熱、プラズマ印加等を行い、プロセスガスの作用と併せて必要な処理が行われる。 【００２０】さて、かかるガスシステムにおいて、マスフローコントローラ１１Ａを新品に交換した場合を考える。一般にマスフローコントローラは内部に細管を有するので、同一形式のものであっても、その印加電圧と実絶対流量との関係の個体差は無視しえず、システムに組み込んだ状態での実際の絶対流量を計測して、必要とする流量に対する印加電圧を設定し直しておくのが、プロセスの良好な操業を図る上で望ましい。また、実レシピを多数回数実行することにより、細管の詰まり等により、マスフローコントローラ１１の特性が変化することがあるので、絶対流量の精度が品質に直接与える影響のきわめて大きい半導体製造工程においては、必要に応じてマスフローコントローラ１１が計測する絶対流量を検定することが必要である。本実施例のガスシステムでは、ガス絶対流量検定システムが組み込まれているので、各マスフローコントローラ（１１Ａ，１１Ｂ）のガス絶対流量を計測し、マスフローコントローラ１１の精度を確認することができる。 【００２１】本実施例のガスシステムにおけるガス実流量計測の手順を図４のフローチャートに基づいて説明する。ここでは、マスフローコントローラ１１Ａの絶対流量を検定する方法について説明する。図１のガスシステムにおいてガス絶対流量を計測するには、まず第１開閉弁１５Ａを閉とし、マスフローコントローラ１１ＡへのプロセスガスＡの供給を遮断し、第２開閉弁２Ａ及びマスフローコントローラ１１Ａ、計測用開閉弁１４、連結用開閉弁４Ａ、パージ弁１７を開いて、マスフローコントローラ１１内に残っているプロセスガスＡを排出し、マスフローコントローラ１１内部を窒素ガスでパージする（Ｓ１）。これにより、計測用ガスタンク１２内にパージ圧力の窒素ガスが蓄えられる。次に、マスフローコントローラ１１Ａの流量設定を通常プロセスで使用する予定の所定値とし（Ｓ２）、パージ弁１７を閉じ、マスフローコントローラ１１Ａに対して、計測用ガスタンク１２内の窒素ガスを流す（Ｓ３）。そして、圧力センサ１３が計測した圧力は、Ａ／Ｄコンバータ２５によりＡ／Ｄ変換され、ＣＰＵ２３に読み込まれる。また、ＣＰＵ２３は、所定圧力Ｐ１を検出した時から時間計測を行い、所定圧力Ｐ２を検出するまでに要する時間Ｔを計測する。 【００２２】そして、ＣＰＵ２３が上記圧力降下Ｐ１－Ｐ２、時間Ｔにより、気体の状態方程式に基づいて、マスフローコントローラ１１Ａに流れた窒素ガスの絶対流量を算出する（Ｓ５）。次に、その算出方法について説明する。気体の状態方程式 ＰＶ＝ｎＲＴここで、Ｐは気体の圧力、Ｖは気体の容積、ｎは気体のモル数、Ｔは気体の温度である。この気体の状態方程式を時間ｔで微分することにより、（ｄＰ／ｄｔ）Ｖ＝（ｄｎ／ｄｔ）ＲＴとなり（当審注：この式の左辺には体積Ｖが抜けている誤記があるため、当審において、当該誤記を正すために体積Ｖを補った上で摘記した。以下の（式１）の右辺においても同様である。）、これを（ｄｎ／ｄｔ）について整理すると、 （ｄｎ／ｄｔ）＝（ｄＰ／ｄｔ）Ｖ／（ＲＴ）となる。 （式１） 一方、流量Ｑは、 Ｑ＝（ｄｎ／ｄｔ）ｍとなる。 （式２） ここで、ｍは気体の分子量である。（式１）及び（式２）より、 Ｑ＝（ｄＰ／ｄｔ）ｍＶ／（ＲＴ）となる。 （式３） 【００２３】本実施例では、ｄＰ＝Ｐ２－Ｐ１、ｄｔ＝Ｔ、ｍは窒素ガスの分子量、Ｖは計測用ガスタンク１２の容積Ｖ１、Ｒは気体定数、Ｔは窒素ガスの温度である。本作用においる気体の変化では気体の温度はほとんど変化しないので、窒素ガスの温度は、室温２０度をそのまま使用している。また、容積Ｖは正確には、計測用ガスタンク１２の容積とマスフローコントローラ入口配管１６の容積とを加えた容積で計算する必要がある。本実施例では、簡便のため、計測用ガスタンク１２の容積で計算を行っているが、本実施例の計測用ガスタンク１２の容積は、マスフローコントローラ入口配管１６の容積の約１００倍に設定してあるので、容積による誤差を１％程度に押さえることができる。マスフローコントローラ１１は一つづつ、流量計の実測絶対流量により検定されており、計測値と絶対流量との関係が設計値として表等で示されている。本発明の目的の一つは、実際の配管系にマスフローコントローラ１１を組み込んだときに、計測値と絶対流量の関係が変化しないことを確認することである。従って、算出した絶対流量とマスフローコントローラ１１Ａの設計値とを比較することにより、マスフローコントローラ１１Ａの検定を行う（Ｓ６）。」 「【図４】 ［図：0001418901000003.jpg］ 」 (ウ) 段落【００２５】～【００２９】 「【００２５】次に、第二の実施例について説明する。第二の実施例の構成は第一の実施例と全く同様なので、説明を省略する。第二の実施例で第一の実施例と異なっているのは、マスフローコントローラ入口配管１６の容積を求めている点であるので、第二の実施例のマスフローコントローラ入口配管１６を求める作用を図５を用いて詳細に説明する。ここでも、マスフローコントローラ１１Ａの絶対流量を検定する方法について説明する。第１開閉弁１５を閉じ、パージ弁１７、連結用開閉弁４Ａ、計測用開閉弁１４、マスフローコントローラ１１を開いて、マスフローコントローラ１１Ａ内を窒素ガスでパージする（Ｓ１１）。 【００２６】次に、マスフローコントローラ１１Ａを設定流量状態にし、圧力Ｐ１を計測する（Ｓ１２）。次に、計測用開閉弁１４を閉じた後パージ弁１７を閉じ、圧力が所定の低圧Ｐ２になったときにマスフローコントローラ１１Ａを閉じ、圧力Ｐ２を計測する（Ｓ１３）。計測用開閉弁１４を閉じた後パージ弁１７を閉じているのは、パージ弁１７を先に閉じると、計測用ガスタンク１２内に蓄えられるガス量に誤差が発生するからである。次に、計測用開閉弁１４を開き、所定時間経過後圧力Ｐ３を計測する（Ｓ１４）。次に、計測した圧力Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、及び計測用ガスタンク１２の容積Ｖ0よりマスフローコントローラ入口配管１６の容積ＶXを算出する（Ｓ１５）。 【００２７】次に、その算出方法について説明する。 ＰＶ＝ｎＲＴより、ｎ＝ＰＶ／（ＲＴ）。 （計測用ガスタンク１２内のモル数）＋（マスフローコントローラ入口配管１６内のモル数）＝（バルブを開にした時の全モル数）だから、Ｐ1Ｖ0／（ＲＴ）＋Ｐ2ＶX／（ＲＴ）＝Ｐ3（Ｖ0＋ＶX）／（ＲＴ）となり、これを整理すると、（Ｐ1－Ｐ3）Ｖ0＝（Ｐ3－Ｐ2）ＶXこれをＶXについて解くと、 ＶX＝Ｖ0（Ｐ1－Ｐ3）／（Ｐ3－Ｐ2） （式４） ここで、既知の計測用ガスタンク１２の容積をＶ0とし、マスフローコントローラ入口配管１６の容積をＶXとしている。 【００２８】Ｓ１６からＳ１９のステップは、第１実施例と同様であり、説明を省略する。（式２）により、マスフローコントローラ入口配管１６の容積ＶXを求めることができ、（式３）においてＶ＝Ｖ0＋ＶXとすることにより、マスフローコントローラ入口配管１６の容積まで含めて、絶対流量を第一実施例より正確に算出することができる。本実施例では、計測用ガスタンク１２内を高圧Ｐ１、マスフローコントローラ入口配管１６内を低圧Ｐ２としてから、計測用開閉弁１４を開いて、計測用ガスタンク１２及びマスフローコントローラ入口配管１６内を中圧Ｐ３としてマスフローコントローラ入口配管１６の容積ＶXを求めているが、逆に、計測用開閉弁１４内を低圧Ｐ１、マスフローコントローラ入口配管１６内を高圧Ｐ２としてから、計測用開閉弁１４を開いて、中圧Ｐ３としてマスフローコントローラ入口配管１６内の容積ＶXを求めても同様である。 【００２９】第二の実施例のマスフローコントローラ絶対流量検定システムによれば、第１開閉弁１５Ａを遮断した後、マスフローコントローラ１１Ａを遮断状態にし、マスフローコントローラを所定の開度にして、圧力センサにより計測用ガスの圧力Ｐ１を計測し、次に、圧力センサの計測する圧力が所定の低圧Ｐ２になったときに、マスフローコントローラを遮断状態にし、次に、計測用開閉弁を開いて、所定時間経過後圧力センサにより圧力Ｐ３を計測し、圧力Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３及び計測用タンクの容積Ｖ（当審注：「Ｖ0」の誤記。）からマスフローコントローラ入口配管の容積を算出し、その容積を用いてマスフローコントローラ絶対流量検定を行っているので、第一の実施例と比較して、マスフローコントローラ入口配管１６の容積を求めることができ、絶対流量を正確に算出することができる。そのため、計測用ガスタンク１２の容積を大きくしないで済み、システムをコンパクトに構成することができる。」 (エ) 段落【００３０】～【００３４】、【図２】、【図６】 「【００３０】次に、第三の実施例について説明する。第三の実施例の構成を図２に示す。第三の実施例が第一の実施例と異なるのは、計測用ガスタンク１２及び計測用開閉弁１４を各々２組備えている点である。すなわち、第１計測用ガスタンク１２１が第１計測用開閉弁１４１を介して、マスフローコントローラ入口配管１６に接続し、第２計測用ガスタンク１２２が第２計測用開閉弁１４２を介して、マスフローコントローラ入口配管１６に接続している。次に、第三の実施例の作用を図６を用いて詳細に説明する。ここでも、マスフローコントローラ１１Ａの絶対流量を検定する方法について説明する。図１（当審注：「図２」の誤記。）のガスシステムにおいてガス絶対流量を計測するには、まず第１開閉弁１５Ａを閉とし、マスフローコントローラ１１ＡへのプロセスガスＡの供給を遮断し、第２開閉弁２Ａ、マスフローコントローラ１１Ａ、第１計測用開閉弁１４１、第２計測用開閉弁１４２、連結用開閉弁４Ａ、パージ弁１７を開いて、マスフローコントローラ１１内に残っているプロセスガスＡを排出し、マスフローコントローラ１１Ａ内を窒素ガスでパージする（Ｓ２１）。これにより、第１計測用ガスタンク１２１、第２計測用ガスタンク１２２にパージ圧力の窒素ガスを蓄える。 【００３１】次に、マスフローコントローラ１１Ａの流量設定を通常プロセスで使用する予定の所定値とする（Ｓ２２）。次に、第１計測用開閉弁１４１を開き、第２計測用開閉弁１４２を閉じる（Ｓ２３）。次に、パージ弁１７を閉じ、圧力センサ１３により圧力がＰ１からＰ３に圧力降下する時間Ｔ１を測定する（Ｓ２４）。次に、パージ弁１７を開ける（Ｓ２５）。次に、第１計測用開閉弁１４１を閉じ、第２計測用開閉弁１４２を開ける（Ｓ２６）。次に、パージ弁１７を閉じ、圧力センサ１３により圧力がＰ２からＰ４に圧力降下する時間Ｔ２を測定する（Ｓ２７）。 【００３２】そして、ＣＰＵ２３が計測した圧力降下時間Ｔ１、Ｔ２を用いて、気体の状態方程式に基づいて、マスフローコントローラ１１Ａに流れた窒素ガスの絶対流量を算出する（Ｓ２８）。そして、算出した絶対流量と設計値とを比較して、マスフローコントローラ１１の検定をおこなう（Ｓ２９）。次に、窒素ガスの絶対流量の算出方法について説明する。（式３）より、第１計測用ガスタンク１２１の容積をＶ1、第２計測用ガスタンク１２２の容積をＶ2、マスフローコントローラ入口配管１６の容積をＶXとすれば、 Ｑ＝（ｄＰ／ｄｔ１）ｍ（Ｖ1＋ＶX）／（ＲＴ）となる。 （式５） Ｑ＝（ｄＰ／ｄｔ２）ｍ（Ｖ2＋ＶX）／（ＲＴ）となる。 （式６） （式５）と（式６）からＶXを消去すると、 Ｑ＝（ｄＰ／（ｄｔ１－ｄｔ２））ｍ（Ｖ1－Ｖ2）／（ＲＴ）となる。（式７） （式７）は、タンクの容積の差分だけ圧力降下時間の差になっていると考えて、ｄｔ＝ｄｔ２－ｄｔ１、Ｖ＝Ｖ2－Ｖ1を（式３）に代入した形である。これにより、マスフローコントローラ入口配管１６の容積ＶXを求めることができるので、マスフローコントローラ入口配管１６の容積まで含めて、絶対流量を第一実施例より正確に算出することができる。 【００３３】本実施例では、（１）第２計測用開閉弁１４２を閉じた状態で第１計測用開閉弁１４１を開けて計測し、（２）次に、第１計測用開閉弁１４１を閉じた状態で第２計測用開閉弁１４２を開けて計測を行っているが、（２）の場合に第１計測用開閉弁１４１を開いた状態のままで第２計測用開閉弁１４２を開いて計測を行っても良い。流量Ｑは、２つのタンクの容積の差分だけ圧力降下する時間の差として計測されるので、この方法によれば、同じタンクを使用しても容積差を大きくできるからである。 【００３４】第三の実施例のマスフローコントローラ絶対流量検定システムによれば、所定圧力Ｐ１の窒素ガスを蓄える第１計測用ガスタンク１２１と、所定圧力Ｐ２の窒素ガスを蓄える第２計測用ガスタンク１２２と、第１計測用ガスタンク１２１とマスフローコントローラ入口配管１６との間で管路を開閉する第１計測用開閉弁１４１と、第２計測用ガスタンク１２２とマスフローコントローラ入口配管１６との間で管路を開閉する第２計測用開閉弁１４２とを有し、マスフローコントローラ１１Ａへのプロセスガスの供給を第一開閉弁１５Ａにより遮断した後、第１計測用開閉弁１４１を開いて、圧力センサ１３により所定の圧力降下に要する時間Ｔ１を計測し、次に、第２計測用開閉弁１４２を開いて、圧力センサ１３により所定の圧力降下に要する時間Ｔ２を計測し、計測した時間Ｔ１、Ｔ２、第１計測用ガスタンク１２１の容積、及び第２計測用ガスタンク１２２の容積からマスフローコントローラ１１Ａの絶対流量を検定しているので、第一の実施例と比較して、マスフローコントローラ入口配管１６の容積を求めることができ、絶対流量を正確に算出することができる。また、第二の実施例において、マスフローコントローラ１１を完全な遮断状態にするのは困難であるが、第三の実施例では、小型タンクを２つ必要とするだけなので、より正確に絶対流量を計測することができる。」 「【図２】 ［図：0001418901000004.jpg］ 」 「【図６】 ［図：0001418901000005.jpg］ 」 イ 引用文献２の記載から認定できる事項 (ア) 認定事項１ 段落【００２３】、【００３０】及び【００３１】の記載から、段落【００３２】に記載された（式５）において、ｄＰ＝Ｐ３－Ｐ１、ｄｔ１＝Ｔ１であり、 （式６）において、ｄＰ＝Ｐ４－Ｐ２、ｄｔ２＝Ｔ２であり、 （式５）及び（式６）において、ｍは窒素ガスの分子量、Ｒは気体定数、Ｔは窒素ガスの温度であると認められる。 (イ) 認定事項２ ａ 引用文献２の第二の実施例においては、段落【００２７】の（式４）によりマスフローコントローラ入口配管１６の容積ＶXを求めているところ、（式４）の右辺の圧力Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３及び計測用タンクの容積Ｖ0は、既知であることが前提となっている（【００２７】～【００２８】参照）。 ｂ 引用文献２の第三の実施例においては、段落【００３２】に（式５）及び（式６）により「マスフローコントローラ入口配管１６の容積ＶX」を求めることができる旨の記載があり、（式５）と（式６）からＱを消去してＶXについて解くと、以下の（式Ａ）が得られることから、第三の実施例においては、この（式Ａ）により、マスフローコントローラ入口配管１６の容積ＶXを求めていると認められる。 ＶX＝［（ｄＰ／ｄｔ１）Ｖ1－（ｄＰ／ｄｔ２）Ｖ2］／[（ｄＰ／ｄｔ２）－（ｄＰ／ｄｔ１）] （式Ａ） ｃ ここで、前記ａの第二の実施例において、ＶXを求めるための（式４）の右辺に登場する各量が既知であることが前提であるのと同様に、前記ｂの第三の実施例においても、ＶXを求めるための（式Ａ）の右辺に登場する各量が既知であることが前提であると認められる。 ｄ そうすると、引用文献２の第三の実施例において、 「（ｄＰ／ｄｔ１）」は、ｄＰ＝Ｐ３－Ｐ１、ｄｔ１＝Ｔ１により算出され、「（ｄＰ／ｄｔ２）」は、ｄＰ＝Ｐ４－Ｐ２、ｄｔ２＝Ｔ２により算出されることは明らかである。 ウ 引用発明の認定 前記アの引用文献２の記載事項及び前記イの認定事項を総合すると、引用文献２には、第三の実施例として、次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。 ［引用発明］ 「マスフローコントローラ１１Ａの絶対流量を検定する方法に関し、（【００３０】） パージ弁１７とマスフローコントローラ１１Ａの間のマスフローコントローラ入口配管１６上にあって、第１計測用ガスタンク１２１が第１計測用開閉弁１４１を介して、マスフローコントローラ入口配管１６に接続し、第２計測用ガスタンク１２２が第２計測用開閉弁１４２を介して、マスフローコントローラ入口配管１６に接続し、また、マスフローコントローラ入口配管１６には、マスフローコントローラ１１Ａの入口側の圧力を計測する圧力センサ１３が配設されている、計測用ガスタンクを含む窒素ガスの配管系において、（【００１７】、【００３０】） まず第１開閉弁１５Ａを閉とし、マスフローコントローラ１１ＡへのプロセスガスＡの供給を遮断し、第２開閉弁２Ａ、マスフローコントローラ１１Ａ、第１計測用開閉弁１４１、第２計測用開閉弁１４２、連結用開閉弁４Ａ、パージ弁１７を開いて、マスフローコントローラ１１内に残っているプロセスガスＡを排出し、マスフローコントローラ１１Ａ内を窒素ガスでパージすることにより、第１計測用ガスタンク１２１、第２計測用ガスタンク１２２にパージ圧力の窒素ガスを蓄え、（【００３０】） 次に、マスフローコントローラ１１Ａの流量設定を通常プロセスで使用する予定の所定値とし、次に、第１計測用開閉弁１４１を開き、第２計測用開閉弁１４２を閉じ、次に、パージ弁１７を閉じ、圧力センサ１３により圧力がＰ１からＰ３に圧力降下する時間Ｔ１を測定し、次に、パージ弁１７を開け、次に、第１計測用開閉弁１４１を閉じ、第２計測用開閉弁１４２を開け、次に、パージ弁１７を閉じ、圧力センサ１３により圧力がＰ２からＰ４に圧力降下する時間Ｔ２を測定し、（【００３１】） 第１計測用ガスタンク１２１の容積をＶ1、第２計測用ガスタンク１２２の容積をＶ2、マスフローコントローラ入口配管１６の容積をＶXとすれば、 Ｑ＝（ｄＰ／ｄｔ１）ｍ（Ｖ1＋ＶX）／（ＲＴ） （式５） Ｑ＝（ｄＰ／ｄｔ２）ｍ（Ｖ2＋ＶX）／（ＲＴ） （式６） となり、（【００３２】） ただし、（式５）において、ｄＰ＝Ｐ３－Ｐ１、ｄｔ１＝Ｔ１であり、 （式６）において、ｄＰ＝Ｐ４－Ｐ２、ｄｔ２＝Ｔ２であり、 （式５）及び（式６）において、ｍは窒素ガスの分子量、Ｒは気体定数、Ｔは窒素ガスの温度であり、（認定事項１） マスフローコントローラ入口配管１６の容積ＶXは、以下の（式Ａ）により求めることができ、 ＶX＝［（ｄＰ／ｄｔ１）Ｖ1－（ｄＰ／ｄｔ２）Ｖ2］／[（ｄＰ／ｄｔ２）－（ｄＰ／ｄｔ１）] （式Ａ） （ｄＰ／ｄｔ１）は、ｄＰ＝Ｐ３－Ｐ１、ｄｔ１＝Ｔ１により算出され、 （ｄＰ／ｄｔ２）は、ｄＰ＝Ｐ４－Ｐ２、ｄｔ２＝Ｔ２により算出され、（認定事項２） これにより、マスフローコントローラ入口配管１６の容積ＶXを求める方法。（【００３２】）」 (２) 引用文献１及び引用文献４の記載事項と技術常識１の認定 ア 引用文献１の記載事項 原査定の拒絶の理由において引用された特表２０１０－５３１９９９号公報（以下「引用文献１」という。）には、以下の事項が記載されている。 「【０００６】 先行技術の質量流量検証装置（ＭＦＶ）は流体送達システム及び/又は関連半導体プロセスツールの質量流量コントローラの性能の現場検証を提供するために使われてきた。図１は、質量流量コントローラMFC104のような被試験体（DUT）からの流れを検証するために使われるような１つの先行技術の質量流量検証装置（MFV）100の１例を示す。MFV100は、所定の体積を有する容器又はチャンバー１０２、気体マニフォールド（図示せず）とチャンバー１０２との間の流れを制御する上流又は第１弁１０８、チャンバー１０２から出口例えば真空ポンプへの流れを制御する下流又は第２弁１１０、典型的には容量式圧力計であって、チャンバー１０２内の圧力を感知するように構成された圧力センサー１１２、及び温度センサー１１４を含むことができる。図１に示されるように、典型的なMFV１００は圧力センサー１１２及び温度センサー１１４の出力信号を受け取り、上流弁１０８及び下流弁１１０の作動を制御するコントローラー１２０を含むことができる。 【０００７】 図１を続いて参照すると、作動において、コントローラー１２０は、作動期間に、上流弁１０８及び下流弁１１０を先ず開けるように一般的にプログラムされ、それにより、上流弁１０８を通り容器１０２に入り下流弁１１０を出る流れが生ずるようにされている。流れが安定化できるのに十分な初期期間後、チャンバー１０２からの流れを止めるために下流弁１１０が閉じられるようにコントローラー１２０はさらにプログラムされる。チャンバー１０２がMFC１０４からの流体で満たされるにつれて、コントローラー１２０は、圧力計１１２からの容器圧力の測定信号を受け取り、そのクロックから時間の測定値を受け取り、気体流による容器圧力の変化率を決定する。コントローラー１２０は、これらの測定からMFC１０４により提供される実際の流速を決定するので、MFCの精度は決定可能である。 【０００８】 流れの測定が行われた後、典型的には上流弁１０８は閉じられ、下流弁１１０は、例えば真空ポンプ（図示せず）への接続により容器１０２をパージするために開放される。このように、圧力測定のサンプル値を用いることによりコントローラー１２０は容器１０２の既知体積の時間に対する圧力の測定された変化(ΔP/Δt)から気体流速を計算できる。作動の１例はグラフ的に図２に、下記式（１）にしたがって数学的モデルで表現される。 【０００９】 図２は、上昇率(”ROR”)測定テクニックを用いる典型的圧力計内圧力の圧力（P）対時間(t)関係２００を描くグラフである。 …＜後略＞… 」 「【図１】 ［図：0001418901000006.jpg］ 」 「【図２】 ［図：0001418901000007.jpg］ 」 イ 引用文献４の記載事項 当合議体が新たに引用する、本願の優先日前に発行された特開２０１０－２１０５２８号（以下「引用文献４」という。）には、次の事項が記載されている。（なお、本審決においては、審査段階及び前置審査も含めて、引用文献の参照番号を統一して用いるために、「引用文献４」の参照番号を用いた。） (ア) 段落【０００１】～【０００５】、【図１】 「【０００１】 本発明は、マスフローコントローラを具備する支流ガスラインが複数並列に設けられており、各支流ガスラインが合流して１つの合流後ガスラインとなるようなガス配管系におけるマスフローコントローラの検定方法に関するものである。 【背景技術】 【０００２】 半導体の製造工程等においてプロセスチャンバに混合ガスを供給するために、ガス供給源に接続され、マスフローコントローラを具備する支流ガスラインが複数並列に設けられており、各支流ガスラインを合流させてプロセスチャンバに接続される１つの合流ガスラインからなるガス配管系が形成されている。 【０００３】 このようなガス配管系において、各支流ガスライン上に設けられているマスフローコントローラが設定流量の通りに流量制御を行うことができているかどうかを検定するための診断システムが特許文献１に開示されている。 【０００４】 このものは、図１に示すように合流後ガスラインＭＬに並列に分岐流路ＢＬが形成され、その分岐流路ＢＬ上に予め容積が分かっている大容量のタンクＡ１と、その下流側に圧力センサＡ２とが設けられており、前記圧力センサＡ２で測定された圧力に基づいてマスフローコントローラ１の検定を行うものである。また、前記合流後ガスラインＭＬにおいて前記分岐流路ＢＬの接続点の間と、前記分岐流路ＢＬの入り口と出口近傍及びには開閉バルブがそれぞれ設けられている。 【０００５】 このような検定システムＡ１００によってＲＯＲ方式と呼ばれるマスフローコントローラの検定方法が用いられる。具体的な検定手順について説明すると、マスフローコントローラの検定時には、分岐流路の入り口側の開閉バルブのみが開放され、その他の開閉バルブは閉止され、検定されるマスフローコントローラ１がある支流ガスラインＳＬ以外の支流ガスラインＳＬも閉止される。その後、検定されるマスフローコントローラ１に所定の設定流量を設定して、前記タンクにガスが流入するようにし、圧力を上昇させる。その間の圧力変化を前記圧力センサによって測定し、その圧力変化からタンクＡ１の容積である検定用容積を算出する。次に、前記検定用容積と、既知のタンク容積と検定されるマスフローコントローラから前記タンクまでの概算容積との和である基準容積とを比較する。このとき、一致する場合には、設定流量通りにマスフローコントローラは流量制御を行えていると判断され、一致しない場合には、マスフローコントローラ内の流路のつまり等により設定流量の通りに流量制御が行えていないと判断される。」 「【図１】 ［図：0001418901000008.jpg］ 」 (イ) 段落【００５８】～【００６０】、【図８】 「【００５８】 図８に示すようにマスフローコントローラ１を具備する支流ガスラインＳＬが複数並列に設けられており、各支流ガスラインＳＬが分流する前の分流前ガスラインに分流前バルブが設けられているガス配管系ＧＳにおいても本発明を適用することは可能である。具体的には、前記支流ガスラインＳＬに並列に差圧式マスフローコントローラ２を具備する検定用ガスラインＫＬを設けて、その入り口側を前記分流前ガスラインＮＬに接続しておけばよい。 【００５９】 このようなものであっても、前記分流前ガスライン上にある分流前バルブ、前記マスフローコントローラ１の上流に設けられている1次側バルブＦＶ、によって規定される配管の容積を基準容積とし、前段圧力センサ２１４を圧力測定手段として用いれば、ＲＯＦ型の検定方法を実施することができ、前記実施形態における検定システム１００と略同様の効果を得ることができる。 【００６０】 ＲＯＦ型の検定方法について簡単に説明すると、前述したＲＯＲ型の検定方法は基準容積に対してガスを流入させて、基準容積内の圧力上昇に基づいてマスフローコントローラの検定を行うものであるのに対し、ＲＯＦ型は、まず、基準容積にガスを溜めこんでおき、検定されるマスフローコントローラのある支流ガスラインを開放してそのときの圧力低下に基づいて検定を行う方法である。具体的には、基準容積内を所定の圧力にした後に、検定用ガスラインを開放してその時の圧力測定手段にて測定される圧力低下に基づいて基準容積を算出する。その後、基準容積内を所定の圧力に昇圧し、今度は検定されるマスフローコントローラのある支流ガスラインを開放し、その時の圧力測定手段にて測定される圧力低下に基づいて検定用パラメータを算出し、基準容積に基づいた基準パラメータと検定用パラメータを比較し、マスフローコントローラの検定を行う。」 「【図８】 ［図：0001418901000009.jpg］ 」 ウ 技術常識１の認定 前記ア及びイで摘記した引用文献１及び引用文献４の記載に例示されているように、以下の技術事項は当業者にとって技術常識（以下「技術常識１」という。）であると認められる。 ［技術常識１］ 「マスフローコントローラ（ＭＦＣ）が設定流量どおりに流量の制御を行えているか否かを判断するための手法として、基準容積にガスを溜めこんでおき、当該ＭＦＣのある支流ガスラインを開放してそのときの圧力低下率に基づいて判断を行うＲＯＦ（Rate of Fall）方式の他に、基準容積に対してガスを流入させて、基準容積内の圧力上昇率に基づいて判断を行うＲＯＲ（Rate of Rise）方式があること。」 ２ 対比 (１) 対比分析 本願発明と引用発明を対比する。 ア 構成Ｘの観点 引用発明においては、「マスフローコントローラ入口配管１６の容積ＶX」を「（式Ａ）により求める」としており、「マスフローコントローラ入口配管１６の容積ＶX」が、算出されるものであることは明らかである。 そうすると、引用発明の「マスフローコントローラ入口配管１６の容積ＶXを求める方法」は、本願発明の「算出方法」に相当する。 したがって、本願発明と引用発明は、「算出方法」の発明であるという点において一致する。 イ 構成Ａの観点 (ア) 引用発明の「マスフローコントローラ１１Ａ」は、本願発明の「流量制御機器」に相当するところ、引用発明において「マスフローコントローラ１１Ａの流量設定を通常プロセスで使用する予定の所定値と[する]」ことは、本願発明において「流量制御機器により所定の設定流量に制御[する]」ことに相当する。 (イ) 引用発明の「窒素ガス」及び「マスフローコントローラ入口配管１６」は、それぞれ本願発明の「流体」及び「配管部材」に相当する。 また、引用発明の「第１計測用ガスタンク１２１」は、本願発明の構成Ａの「容器」に相当する。 ここで、引用発明の「第１計測用ガスタンク１２１」は「第１計測用開閉弁１４１を介して、マスフローコントローラ入口配管１６に接続し」ているから、「第１計測用開閉弁１４１」、「パージ弁１７」を開いて「マスフローコントローラ１１Ａ内を窒素ガスでパージすることにより」、「第１計測用ガスタンク１２１」に「パージ圧力の窒素ガスを蓄え」ることは、「窒素ガス」を「マスフローコントローラ入口配管１６」を介して「第１計測用ガスタンク１２１」に導くことを意味するから、本願発明の構成Ａの「流体を配管部材を介して容器に導[く]」ことに相当する。 (ウ) 引用発明において「（ｄＰ／ｄｔ１）は、ｄＰ＝Ｐ３－Ｐ１、ｄｔ１＝Ｔ１により算出され［る］」ところ、「Ｔ１」は、「圧力がＰ１からＰ３に圧力降下する時間」を意味するから、引用発明の「（ｄＰ／ｄｔ１）」は、本願発明の構成Ａの「圧力の時間変化率」に相当する。 そうすると、引用発明の「（ｄＰ／ｄｔ１）」を「算出」することは、本願発明の「圧力の時間変化率を算出する第１算出ステップ」に相当する。 (エ) したがって、本願発明と引用発明は、「流量制御機器により所定の設定流量に制御した流体を配管部材を介して容器に導き、」「圧力の時間変化率を算出する第１算出ステップ」を備える点において共通する。 ウ 構成Ｂの観点 (ア) 引用発明において「マスフローコントローラ１１Ａの流量設定を通常プロセスで使用する予定の所定値と[する]」ことは、本願発明において「前記流量制御機器により前記設定流量に制御[する]」ことに相当する。 (イ) 引用発明の「第１計測用ガスタンク１２１」と「第２計測用ガスタンク１２２」の容積が異なるものであることは当然であるから（引用文献２の【００３３】の「２つのタンクの容積の差分」という記載を参照）、引用発明の「第２計測用ガスタンク１２２」は、本願発明の構成Ｂの「流体が導かれる容器の容積」を「前記第１算出ステップとは異ならせ［た］」「容器」に相当する。 引用発明の「第２計測用ガスタンク１２２」は「第２計測用開閉弁１４２を介して、マスフローコントローラ入口配管１６に接続し」ているから、「第２計測用開閉弁１４２」、「パージ弁１７」を開いて「マスフローコントローラ１１Ａ内を窒素ガスでパージすることにより」、「第２計測用ガスタンク１２２」に「パージ圧力の窒素ガスを蓄え」ることは、本願発明において「流体が導かれる容器の容積」「を前記第１算出ステップとは異ならせて、」「流体を配管部材を介して容器に導[く]」ことに相当する。 (ウ) 引用発明において「（ｄＰ／ｄｔ２）」は、ｄＰ＝Ｐ４－Ｐ２、ｄｔ２＝Ｔ２により算出され［る］」ところ、「Ｔ２」は、「圧力がＰ２からＰ４に圧力降下する時間」を意味するから、引用発明の「（ｄＰ／ｄｔ２）」は、本願発明の構成Ｂの「圧力の時間変化率」に相当する。 そうすると、引用発明の「（ｄＰ／ｄｔ２）」を「算出」されることは、本願発明の「圧力の時間変化率を算出する第２算出ステップ」に相当する。 (エ) したがって、本願発明と引用発明は、「流体が導かれる容器の容積、流体が導かれる容器の数、流体の温度、又は流体の種類の何れかを前記第１算出ステップとは異ならせて、前記流量制御機器により前記設定流量に制御した流体を配管部材を介して容器に導き、」「圧力の時間変化率を算出する第２算出ステップ」を備える点において共通する。 エ 構成Ｃの観点 (ア) 引用発明の「マスフローコントローラ入口配管１６の容積ＶX」は、本願発明の「配管部材の容積」に相当する。 (イ) 引用発明において、「マスフローコントローラ入口配管１６の容積ＶX」は、「（式Ａ）により求めることができ［る］」ところ、（式Ａ）の右辺には、「（ｄＰ／ｄｔ１）」及び「（ｄＰ／ｄｔ２）」が含まれているから、「マスフローコントローラ入口配管１６の容積ＶX」は、「ｄＰ＝Ｐ３－Ｐ１、ｄｔ１＝Ｔ１により算出され［る］」「（ｄＰ／ｄｔ１）」、及び、「ｄＰ＝Ｐ４－Ｐ２、ｄｔ２＝Ｔ２により算出され［る］」「（ｄＰ／ｄｔ２）」に基づいて算出されるものであるといえる。 (ウ) そうすると、引用発明の「（式Ａ）により」「マスフローコントローラ入口配管１６の容積ＶX」を「求めること」は、本願発明の「前記第１算出ステップにおいて算出された圧力の時間変化率及び前記第２算出ステップにおいて算出された圧力の時間変化率に基づいて前記配管部材の容積を算出する」ことに相当する。 (エ) したがって、本願発明と引用発明は、「前記第１算出ステップにおいて算出された圧力の時間変化率及び前記第２算出ステップにおいて算出された圧力の時間変化率に基づいて前記配管部材の容積を算出する管容積算出ステップ」を備える点において一致する。 オ 構成Ｆの観点 引用発明において「第１計測用ガスタンク１２１が第１計測用開閉弁１４１を介して、マスフローコントローラ入口配管１６に接続し、第２計測用ガスタンク１２２が第２計測用開閉弁１４２を介して、マスフローコントローラ入口配管１６に接続[する]」ことは、「マスフローコントローラ入口配管１６」から見て「第１計測用ガスタンク１２１」と「第２計測用ガスタンク１２２」が並列に接続されていることを意味する（引用文献２の【図２】を参照）。 ここで、引用発明の「第１計測用ガスタンク１２１」及び「第２計測用ガスタンク１２２」は、それぞれ本願発明の「容積が互いに異なる第１容器及び第２容器」に相当する。 したがって、本願発明と引用発明は、「容積が互いに異なる第１容器及び第２容器を並列に接続し」ている点において一致する。 カ 構成Ｇの観点 前記イを踏まえると、引用発明において、「第１計測用開閉弁１４１」、「パージ弁１７」を開いて「マスフローコントローラ１１Ａ内を窒素ガスでパージすることにより」、「第１計測用ガスタンク１２１」に「パージ圧力の窒素ガスを蓄え」ることは、本願発明の「前記第１算出ステップにおいて、前記流量制御機器により前記設定流量に制御された流体を、」「前記第１容器に導［く］」という点において共通する。 キ 構成Ｈの観点 前記ウを踏まえると、引用発明において、「第２計測用開閉弁１４２」、「パージ弁１７」を開いて「マスフローコントローラ１１Ａ内を窒素ガスでパージすることにより」、「第２計測用ガスタンク１２２」に「パージ圧力の窒素ガスを蓄え」ることは、本願発明の「前記第２算出ステップにおいて、前記流量制御機器により前記設定流量に制御された流体を、」「前記第２容器に導く」という点において共通する。 (２) 一致点及び相違点の認定 上記(１)の対比分析の検討結果をまとめると、本願発明と引用発明は、次のアに示す一致点において一致し、後記イに示す相違点において相違する。 ア 一致点 「流量制御機器により所定の設定流量に制御した流体を配管部材を介して容器に導き、圧力の時間変化率を算出する第１算出ステップと、 流体が導かれる容器の容積、流体が導かれる容器の数、流体の温度、又は流体の種類の何れかを前記第１算出ステップとは異ならせて、前記流量制御機器により前記設定流量に制御した流体を配管部材を介して容器に導き、圧力の時間変化率を算出する第２算出ステップと、 前記第１算出ステップにおいて算出された圧力の時間変化率及び前記第２算出ステップにおいて算出された圧力の時間変化率に基づいて前記配管部材の容積を算出する管容積算出ステップとを備え、 容積が互いに異なる第１容器及び第２容器を並列に接続し、 前記第１算出ステップにおいて、前記流量制御機器により前記設定流量に制御された流体を、前記第１容器に導き、 前記第２算出ステップにおいて、前記流量制御機器により前記設定流量に制御された流体を、前記第２容器に導く、算出方法。」である点。 イ 相違点 (ア) 相違点１ 本願発明においては、「第１算出ステップ」及び「第２算出ステップ」のいずれにおいても、「流量制御機器により所定の設定流量に制御した流体」を「容器に導［く］」のが、「当該容器内の圧力の時間変化率を算出する」ためであり、「第１容器及び第２容器」のうち、「前記流量制御機器により前記設定流量に制御された流体」が導かれるものが、一方の容器のみであって、他方の容器には導かれないのに対して、 引用発明においては、「第１計測用ガスタンク１２１、第２計測用ガスタンク１２２にパージ圧力の窒素ガスを蓄え」るのが、「第１計測用ガスタンク１２１、第２計測用ガスタンク１２２」内の圧力の時間変化率を算出するためではなく、「第１計測用ガスタンク１２１、第２計測用ガスタンク１２２」の両方に「パージ圧力の窒素ガス」が蓄えられ、「圧力センサ１３」は「マスフローコントローラ１１の入口側の圧力を計測する」ものである点。 (イ) 相違点２ 本願発明においては、「前記第１算出ステップにおいて前記流体が導かれる前記容器に接続されている前記配管部材とは別の配管の容積が既知であり」（構成Ｄ）、「前記第２算出ステップにおいて前記流体が導かれる前記容器に接続されている前記配管部材とは別の配管の容積が既知であ[る]」（構成Ｅ）のに対して、 引用発明においては「マスフローコントローラ入口配管１６」以外の配管に関する構成は不明である点。 ３ 判断 (１) 相違点１について ア 技術常識１を踏まえた検定手法の置換可能性について (ア) 前記１(２)ウにおいて技術常識１として認定したとおり、「マスフローコントローラ（ＭＦＣ）が設定流量どおりに流量の制御を行えているか否かを判断するための手法として、基準容積にガスを溜めこんでおき、当該ＭＦＣのある支流ガスラインを開放してそのときの圧力低下率に基づいて判断を行うＲＯＦ（Rate of Fall）方式の他に、基準容積に対してガスを流入させて、基準容積内の圧力上昇率に基づいて判断を行うＲＯＲ（Rate of Rise）方式があること」は、当業者にとって技術常識である。 (イ) ここで、引用発明においては、「第１計測用ガスタンク１２１」及び「第２計測用ガスタンク１２２」に「窒素ガスを蓄え」ておき、「第１計測用ガスタンク１２１」の「窒素ガス」を用いて測定する場合には、「第１計測用開閉弁１４１を開き、第２計測用開閉弁１４２を閉じ」て、「マスフローコントローラ１１Ａの入口側の圧力を計測」し、「第２計測用ガスタンク１２２」の「窒素ガス」を用いて測定する場合には、「第１計測用開閉弁１４１を閉じ、第２計測用開閉弁１４２を開け」て、「マスフローコントローラ１１Ａの入口側の圧力を計測する」ものであるところ、いずれの場合も、「圧力降下する時間」を測定しているから、（式５）の「（ｄＰ／ｄｔ１）」、（式６）の「（ｄＰ／ｄｔ２）」は、いずれも圧力低下率を意味している。 (ウ) そうすると、引用発明の「マスフローコントローラ１１Ａの絶対流量」の「検定」においては、ＲＯＦ（Rate of Fall）方式が採用されていると認められる。 (エ) 上記アにおいて示した技術常識１を踏まえると、マスフローコントローラ（ＭＦＣ）が設定流量どおりに流量の制御を行えているか否かを判断するための手法として、ＲＯＦ（Rate of Fall）方式、ＲＯＲ（Rate of Rise）方式のいずれの方式を採用するかは、当業者が適宜選択すべき設計事項であるというべきである。 (オ) そして、引用発明において、ＲＯＦ方式に代えてＲＯＲ方式を採用したとしても、（式５）及び（式６）の形は変更されないから（式Ａ）も変更されることはなく、（式Ａ）によりマスフローコントローラ入口配管１６の容積ＶXを求めることが、ＲＯＦ方式からＲＯＲ方式への変更により影響を受けることはない。 (カ) したがって、引用発明の「マスフローコントローラ１１Ａの絶対流量を検定する方法」として、ＲＯＦ方式に代えてＲＯＲ方式を採用し、「第１計測用ガスタンク１２１、第２計測用ガスタンク１２２」内の圧力上昇率を算出するために、「第１計測用ガスタンク１２１、第２計測用ガスタンク１２２にパージ圧力の窒素ガスを蓄え」るように構成することは、当業者が容易に想到し得たものである。 イ 流体の導入先容器の選択と圧力の測定箇所について (ア) 引用発明の「マスフローコントローラ１１Ａの絶対流量を検定する方法」として、ＲＯＦ方式に代えてＲＯＲ方式を採用した場合、基準容積としては「第１計測用ガスタンク１２１」及び「第２計測用ガスタンク１２２」の二つがあり、異なる容積ごとに圧力を別々に測定することが要請されるのであるから、圧力測定に係る一方のガスタンクだけに窒素ガスを導き、他方のガスタンクには窒素ガスが導かれないようにすることは、当業者が当然なすべき設計変更にすぎない。 (イ) ここで、引用発明において「圧力センサ１３」は「マスフローコントローラ１１の入口側の圧力を計測する」ものであるが、引用発明の「第１計測用ガスタンク１２１」及び「第２計測用ガスタンク１２２」は「マスフローコントローラ入口配管１６」に接続されているのであるから、第１計測用開閉弁１４１と第２計測用開閉弁１４２の開閉の組み合わせにより、一方のガスタンクの方にだけ窒素ガスを導き、他方のガスタンクには窒素ガスが導かれないようにしても、窒素ガスが導入されている方のガスタンク内の圧力と「マスフローコントローラ入口配管１６」内の圧力が同一であることは自明である。 (ウ) そして、圧力が同一であることが自明な領域内のいずれの点で圧力測定を行うかは設計事項であるから、引用発明の「マスフローコントローラ１１Ａの絶対流量を検定する方法」として、ＲＯＦ方式に代えてＲＯＲ方式を採用した場合、マスフローコントローラ１１の入口側の圧力を測定して時間変化率を算出することに代えて、ガスタンク内の圧力を測定して時間変化率を算出するようにすることは、当業者にとって自明な設計変更にすぎないものである。 ウ 相違点１の検討のまとめ 前記ア及びイを踏まえると、引用発明において、相違点１に係る本願発明の構成を備えるようにすることは、当業者が容易に想到し得たものである。 (２) 相違点２について ア 引用文献２の【００３４】の「第１計測用ガスタンク１２１とマスフローコントローラ入口配管１６との間で管路を開閉する第１計測用開閉弁１４１」との記載、「第２計測用ガスタンク１２２とマスフローコントローラ入口配管１６との間で管路を開閉する第２計測用開閉弁１４２」との記載を踏まえると、「第１計測用ガスタンク１２１とマスフローコントローラ入口配管１６との間」には、「マスフローコントローラ入口配管１６」とは別の「第１計測用開閉弁１４１」を備える配管（以下、この配管を「開閉弁配管１」といい、その容積を「ＶY１」とする。）が存在し、「第２計測用ガスタンク１２２とマスフローコントローラ入口配管１６との間」には、「マスフローコントローラ入口配管１６」とは別の「第２計測用開閉弁１４２」を備える配管（以下、この配管を「開閉弁配管２」といい、その容積を「ＶY2」とする。）が存在するといえる（【図２】に基づいて当合議体が作成した以下の図を参照）。 ［図：0001418901000010.jpg］ イ 引用発明の「マスフローコントローラ入口配管１６の容積ＶX」は、本願発明の「配管部材の容積」に相当するところ、開閉弁配管１及び開閉弁配管２は、いずれも「マスフローコントローラ入口配管１６」とは別の配管であるから、開閉弁配管１の容積ＶY1及び開閉弁配管２の容積ＶY2は、本来ならば、いずれも「マスフローコントローラ入口配管１６の容積ＶX」には含まれないと考えるのが自然である。 ウ 他方、開閉弁配管１の容積ＶY1及び開閉弁配管２の容積ＶY2にも窒素ガスが導かれることは明らかであるにもかかわらず、引用発明の（式５）及び（式６）には、開閉弁配管１の容積ＶY1及び開閉弁配管２の容積ＶY2に相当する成分は明示的には含まれていないから、（式５）及び（式６）は、開閉弁配管１の容積ＶY1及び開閉弁配管２の容積ＶY2が「マスフローコントローラ入口配管１６の容積ＶX」あるいは「第１計測用ガスタンク１２１の容積Ｖ1」、「第２計測用ガスタンク１２２の容積Ｖ2」のいずれかに含まれるものとして取り扱った上で成立する式であると考えることができる。 エ 開閉弁配管１の容積ＶY1及び開閉弁配管２の容積ＶY2が、それぞれ「第１計測用ガスタンク１２１の容積Ｖ1」、「第２計測用ガスタンク１２２の容積Ｖ2」に含まれるとした場合には、そもそもＶ1及びＶ2は既知であることが前提であるから、その一部であるＶY1及びＶY2も（Ｖ1及びＶ2に含まれる形で）当然既知なものになることは明らかである。 オ 開閉弁配管１の容積ＶY1及び開閉弁配管２の容積ＶY2が、「マスフローコントローラ入口配管１６の容積ＶX」に含まれるとした場合には、（式Ａ）によりＶXを求めても、ＶY1及びＶY2が直ちに判明することはないが、引用発明の「第１計測用ガスタンク１２１」及び「第２計測用ガスタンク１２２」に接続される別の配管の容積（ＶY1及びＶY2）を別途の計測などにより既知なものとしておくか、前記配管部材の容積（ＶX）に含めて算出するかは、配管系の構成などに応じて適宜選択されるべき設計事項にすぎない。 カ したがって、引用発明において、相違点２に係る本願発明の構成を備えるようにすることは、当業者が容易に想到し得たものである。 (３) 総合評価 前記(１)及び(２)において検討したとおり、相違点１に係る本願発明の構成は、技術常識１を踏まえると、当業者が容易に想到し得たものであり、相違点２に係る本願発明の構成も当業者が容易に想到し得たものである。 そして、相違点１及び２を総合的に勘案しても、本願発明の奏する作用効果としては、当該構成のものとして当業者が予測困難であり、かつ、格別顕著な効果を認めることはできない。 したがって、本願発明は、引用発明及び技術常識１に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。 (４) 請求人の主張について ア 請求人の主張内容 審判請求書において、請求人は、次のように主張している。 ＜請求人の主張＞ 引用発明の構成は、容積が互いに異なる第１計測用ガスタンク１２１及び第２計測用ガスタンク１２２を入口配管１６において直列に接続したものであり、本願発明のように、容積が互いに異なる第１容器及び第２容器を並列に接続する構成は、一切開示も示唆もされていない。 これにより、本願発明によれば、容積が互いに異なる第１容器及び第２容器を並列に接続しているので、第１容器が接続される分岐管（第１分岐管）と第２容器が接続される分岐管（第２分岐管）の構成を同一にすることができ、また、各分岐管に設けられる開閉弁等の配管構成を同一にすることができる。したがって、第１算出ステップにおける第１容器内の圧力の時間変化率と、第２算出ステップにおける第２容器内の圧力の時間変化率とを同一の前提条件（例えば配管条件）で求めることができる。その結果、管容積算出ステップにおいて、配管部材の容積を精度良く算出することができ、流量計測機器を精度良く調整することができる。 イ 請求人の主張についての検討 引用発明の「第１計測用ガスタンク１２１」及び「第２計測用ガスタンク１２２」は「マスフローコントローラ入口配管１６」に対してそれぞれ独立して直接接続されており、一方のガスタンクが他方のガスタンクを介して「マスフローコントローラ入口配管１６」に接続されてはいない。また、圧力測定の際に二つのガスタンクにある窒素ガスは同時に入口配管へ供給されるものでもなく、第１計測用開閉弁１４１及び第２計測用開閉弁１４２の開閉の組み合わせを通じて、別個に供給されるものである。 したがって、前記二つのガスタンクが並列に接続されていることは明らかであり、請求人の前記主張は引用発明の構成を正解しているとはいえず、これを採用することはできない。 なお、仮に引用発明が二つのガスタンクを直列に接続するものであるとしても、引用発明にＲＯＲ方式を採用した場合には、各容器の容積を異ならせて測定しなければ意味がないから、二つのガスタンクが並列に接続されるように設計変更を行うことは当然であって、本願発明が引用発明及び技術常識１に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるという結論に変わりはなく、いずれにしても請求人の主張を採用することはできない。 第５ むすび 以上検討のとおり、本願発明は、引用発明及び技術常識１に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により、特許を受けることができない。 したがって、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。 よって、結論のとおり審決する。