2020-008042

特願２０１８－１４３１１６「配列用マスク」拒絶査定不服審判事件〔平成３０年１１月 １日出願公開、特開２０１８－１７０５２９〕について、次のとおり審決する。

結 論 本件審判の請求は、成り立たない。

理 由 １．手続の経緯 本願は、平成２６年７月７日に出願された特願２０１４－１３９７９３号の一部を平成３０年７月３１日に新たな特許出願としたものであって、同年８月２７日に手続補正がなされ、令和１年７月３０日付けで拒絶理由が通知され、同年１０月１日に意見書及び手続補正書が提出され、同年１０月３０日付けで最後の拒絶理由が通知され、同年１２月２日に意見書及び手続補正書が提出され、令和２年３月１０日付けで拒絶査定されたところ、同年６月１０日に拒絶査定不服審判の請求及び手続補正がされたものである。その後当審において令和３年３月１０日付けで拒絶理由（以下、「当審拒絶理由」という。）が通知され、同年５月１０日に意見書及び手続補正書が提出されたものである。 ２．本願発明 本願の請求項１、２に係る発明は、令和３年５月１０日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１、２に記載されたとおりのものと認められるところ、そのうち請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、次のとおりである。 「 所定の配列パターンに対応した通孔（１２）内に半田ボール（２）を振り込むことで、ワーク（３）上の所定位置に前記半田ボール（２）を搭載する配列用マスクであって、 前記通孔（１２）からなるパターン領域が多数形成されたマスク本体（１０）と、前記マスク本体（１０）の前記ワーク（３）との対向面側に設けられた突起部（１５）とを備え、 前記突起部（１５）は、前記パターン領域内の前記通孔（１２）が形成されていない位置および前記パターン領域間に形成されており、 前記パターン領域から該パターン領域間に形成された前記突起部（１５）の根元までの寸法は、前記パターン領域内の前記通孔（１２）間における前記通孔（１２）縁から前記パターン領域内の前記通孔（１２）が形成されていない位置に形成された前記突起部（１５）の根元までの寸法より大きく、０．０１ｍｍ以上に設定されており、 前記半田ボール（２）の大きさが５０μｍ以下の半径寸法を有し、前記通孔（１２）の大きさが前記半田ボール（２）の直径寸法よりも大きな内径寸法を有し、前記マスク本体（１０）の厚みが１０μｍ以上に設定され、前記突起部（１５）の高さと前記マスク本体（１０）の厚みとの比が２対１以上に設定され、前記突起部（１５）の先端寸法と前記突起部（１５）の根元寸法と前記通孔（１２）間の幅寸法との比が１．０対１．２対１．４以上に設定されていることを特徴とする配列用マスク。」 ３．当審拒絶理由の概要 本願の請求項１に対して、令和３年３月１０日付けで当審が通知した拒絶理由の概要は次のとおりである。 （サポート要件）この出願は、特許請求の範囲の記載が、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない。 （進歩性）この出願の請求項１に係る発明は、その出願前日本国内において頒布された下記の刊行物に記載された発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 記 引用文献： 特開２０１４－１０７２８２号公報 ４．引用文献の記載および引用発明 （１）引用文献の記載事項 上記引用文献（特開２０１４－１０７２８２号公報）には、「配列用マスク」について、図面とともに以下の各記載がある（なお、下線は当審で付した。）。 ア．「【課題を解決するための手段】 【0006】 本発明は、所定の配列パターンに対応した開口を備え、開口内に半田ボールを振り込むことで、ワーク上の所定位置に半田ボールを搭載する配列用マスクであって、開口が多角形状であることを特徴とする。この開口は、四角形状であることが好ましい。 【0007】 また、開口寸法は、半田ボールの直径寸法の１．０１以上１．２倍未満であることを特徴とする。」 イ．「【0012】 図１に示すように、マスク１は、ニッケルやニッケルコバルト等のニッケル合金、銅、その他の金属を素材として形成されたマスク本体１０から成り、このマスク本体１０にはこれを囲むように枠体１１を装着できる。マスク本体１０と枠体１１とは、メッシュを介して接合しても良い。マスク本体１０の盤面中央部には、各半導体チップ５に対応して、半田ボール２を投入するための多数独立の開口１２からなるパターン領域が多数形成されている。開口１２は、図２に示すように、ワーク３上における各半導体チップ５の電極６の配列位置に対応した配列パターンとなっている。半田ボール２は、１００μｍ以下の直径寸法を有するものであり、各開口１２は、当該ボール２が挿通できるように形成されている。 【0013】 マスク本体１０には、補強用の枠体１１を装着することができる。この枠体１１は、アルミ、４２アロイ、インバー材、ＳＵＳ４３０等の材質からなる平板体であり、その盤面中央に、マスク本体１０に対応する一つの四角形状の開口を備えており、一枚のマスク本体１０を一枚の枠体１１で保持している。枠体１１は、マスク本体１０よりも肉厚の成形品であり、マスク本体１０の外周縁と不離一体的に接合される。この枠体１１の厚み寸法は、例えば、０．０５～１．０ｍｍ程度とし、ここでは、０．５ｍｍに設定した。また、マスク本体１０の厚みは、１０μｍ以上が好ましく、ここでは、２００μｍに設定した。」 ウ．「【0014】 マスク本体１０（マスク１）の下面側、すなわち、ワーク３との対向面側には、下方向に突出状の突起部１５を設けることができる。詳しくは、図２及び図４（ａ）に示すように、パターン領域の外周（パターン領域間）にこのパターン領域を囲むように桟状の突起部１５ａを設けることができ、また、パターン領域内の開口１２が形成されていない位置に突起部１５ｂを設けることができる。この突起部１５については、図３に示すように、突起部１５ａのみを設ける形態であっても良いし、図４（ｃ）に示すように、突起部１５ｂのみを設ける形態であっても良い。このように、係る突起部１５を設けていれば、配列作業時において、ワーク３の上面に当接してマスク本体１０とワーク３との対向間隙を確保できる。各々の突起部１５、特に突起部１５ｂにおいては、図２および図３に示すように、開口１２間であって、マスク本体１０の下面から先窄まるように形成されていることが好ましく、円錐台状を呈している。もちろん、四角錐台状であっても良い。また、突起部１５の高さとマスク本体１０の厚みとの比が２対１以上とするのが好ましく、上記マスク本体１０の厚さが１０～３００μｍの範囲内において、これを満足することがより好ましい。また、突起部１５の先端寸法Ｌ１と付け根寸法Ｌ２との比が１対３以上であることが好ましい。さらに言えば、突起部１５の先端寸法Ｌ１と付け根寸法Ｌ２と開口１２間の幅との比が１対３対３以上であることが好ましい。また、この突起部１５は、アスペクト比（突起部１５の高さと先端寸法との比）が大きいものが好ましく、アスペクト比３としている。なお、図２、図３、図４（ａ）に示すように、隣り合うパターン領域間にはパターン領域を囲むようにして突起部１５ａを設けて、マスク１をワーク３に載置した時に当接するようにしているが、図４（ｂ）に示すように、隣り合うパターン領域間全体が突起部１５ａとした形態であっても良いし、図４（ｃ）に示すように、突起部１５ａを設けない形態であっても良い。また、突起部１５を設けずにマスク本体１０のみの形態であっても良い。また、図４において、符号１５で図示しているのは、突起部１５の下端面であり、突起部１５の付け根は図示していない。」 エ．図１、図２、図４（ａ）として以下の図面が記載されている。 「【図１】 ［図：0001380344000001.jpg］ 【図２】 ［図：0001380344000002.jpg］ 【図４(a)】 ［図：0001380344000003.jpg］ 」 上記「ア．」ないし「エ．」から以下のことがいえる。 ・段落【０００６】によれば、所定の配列パターンに対応した開口を備え、開口内に半田ボールを振り込むことで、ワーク上の所定位置に半田ボールを搭載する配列用マスクが記載されている。 ・段落【００１２】によれば、マスク本体１０には、半田ボール２を投入するための多数独立の開口１２からなるパターン領域が多数形成されており、また、段落【００１４】によればマスク本体１０のワーク３との対向面側には、下方向に突出状の突起部１５が設けられている。 ・突起部に関して段落【００１４】によれば、パターン領域間に突起部１５ａを設け、パターン領域内の開口１２が形成されていない位置に突起部１５ｂを設けている。 ・段落【００１２】によれば、半田ボール２は、１００μｍ以下の直径寸法を有しており、また、段落【０００７】【００１２】によれば、開口寸法は、半田ボールの直径寸法の１．０１以上１．２倍未満であり、各開口１２は半田ボール２が挿通できるものといえる。 ・段落【００１３】によれば、マスク本体１０の厚みは、１０μｍ以上といえ、段落【００１４】によれば、突起部１５の高さとマスク本体１０の厚みとの比が２対１以上であり、さらに、突起部１５の先端寸法Ｌ１と付け根寸法Ｌ２と開口１２間の幅との比が１対３対３以上である。 （２）引用発明 以上のことから、上記記載事項及び図面を総合勘案すると、引用文献には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。 「所定の配列パターンに対応した開口を備え、開口内に半田ボールを振り込むことで、ワーク上の所定位置に半田ボールを搭載する配列用マスクであって、 マスク本体１０には、半田ボール２を投入するための多数独立の開口１２からなるパターン領域が多数形成され、また、マスク本体１０のワーク３との対向面側には、下方向に突出状の突起部１５が設けられ、 パターン領域間に突起部１５ａを設け、パターン領域内の開口１２が形成されていない位置に突起部１５ｂを設け、 半田ボール２は、１００μｍ以下の直径寸法を有しており、また、開口寸法は、半田ボールの直径寸法の１．０１以上１．２倍未満であり、各開口１２は半田ボール２が挿通でき、マスク本体１０の厚みは、１０μｍ以上であり、突起部１５の高さとマスク本体１０の厚みとの比が２対１以上であり、さらに、突起部１５の先端寸法Ｌ１と付け根寸法Ｌ２と開口１２間の幅との比が１対３対３以上である、 配列用マスク。」 ５．対比・判断 （１）対比 本願発明と引用発明とを対比する。 ア．引用発明の「開口」は、所定の配列パターンに対応し、半田ボールを振り込まれる孔といえるから、本願発明の「通孔（１２）」に相当し、引用発明の「所定の配列パターンに対応した開口を備え、開口内に半田ボールを振り込むことで、ワーク上の所定位置に半田ボールを搭載する配列用マスク」が本願発明の「所定の配列パターンに対応した通孔（１２）内に半田ボール（２）を振り込むことで、ワーク（３）上の所定位置に前記半田ボール（２）を搭載する配列用マスク」に相当する。 イ．引用発明の配列用マスクでは「マスク本体１０のワーク３との対向面側には、下方向に突出状の突起部１５が設けられ」ているから、配列用マスクはマスク本体１０と突起部１５から構成されているといえる。そして、引用発明のマスク本体１０には、半田ボール２を投入するための多数独立の開口１２からなるパターン領域が多数形成されている。したがって、引用発明の「マスク本体１０には、半田ボール２を投入するための多数独立の開口１２からなるパターン領域が多数形成され、また、マスク本体１０のワーク３との対向面側には、下方向に突出状の突起部１５が設けられ」る構成は、本願発明の配列用マスクが「前記通孔（１２）からなるパターン領域が多数形成されたマスク本体（１０）と、前記マスク本体（１０）の前記ワーク（３）との対向面側に設けられた突起部（１５）とを備え」ている構成に相当する。 ウ．引用発明の「パターン領域間に突起部１５ａを設け、パターン領域内の開口１２が形成されていない位置に突起部１５ｂを設け」る構成は、本願発明の「前記突起部（１５）は、前記パターン領域内の前記通孔（１２）が形成されていない位置および前記パターン領域間に形成されて」いる構成に相当する。 エ．本願発明では「前記パターン領域から該パターン領域間に形成された前記突起部（１５）の根元までの寸法は、前記パターン領域内の前記通孔（１２）間における前記通孔（１２）縁から前記パターン領域内の前記通孔（１２）が形成されていない位置に形成された前記突起部（１５）の根元までの寸法より大きく、０．０１ｍｍ以上に設定されて」いるが、引用発明では当該事項について特定されていない。 オ．引用発明の「半田ボール２は、１００μｍ以下の直径寸法を有して」いることは、直径を半径に換算すると５０μｍ以下となるから、本願発明の「前記半田ボール（２）の大きさが５０μｍ以下の半径寸法を有」することに相当する。 カ．引用発明では、「開口寸法は、半田ボールの直径寸法の１．０１以上１．２倍未満であり、各開口１２は半田ボール２が挿通でき」るから、開口寸法は半田ボールの直径寸法より大きいといえる。したがって、引用発明と本願発明とは「前記通孔（１２）の大きさが前記半田ボール（２）の直径寸法よりも大きな内径寸法を有」するといえる点で共通する。 キ．引用発明の「マスク本体１０の厚みは、１０μｍ以上であり、突起部１５の高さとマスク本体１０の厚みとの比が２対１以上であ」る構成は本願発明の「前記マスク本体（１０）の厚みが１０μｍ以上に設定され、前記突起部（１５）の高さと前記マスク本体（１０）の厚みとの比が２対１以上に設定され」ることに相当する。 ク．引用発明では「突起部１５の先端寸法Ｌ１と付け根寸法Ｌ２と開口１２間の幅との比が１対３対３以上である」のに対して、本願発明では「前記突起部（１５）の先端寸法と前記突起部（１５）の根元寸法と前記通孔（１２）間の幅寸法との比が１．０対１．２対１．４以上に設定されている」点で相違している。 よって上記「ア．」ないし「ク．」によれば、本願発明と引用発明とは、以下の点で一致ないし相違すると認める。 （一致点） 「 所定の配列パターンに対応した通孔内に半田ボールを振り込むことで、ワーク上の所定位置に前記半田ボールを搭載する配列用マスクであって、 前記通孔からなるパターン領域が多数形成されたマスク本体と、前記マスク本体の前記ワークとの対向面側に設けられた突起部とを備え、 前記突起部は、前記パターン領域内の前記通孔が形成されていない位置および前記パターン領域間に形成されており、 前記半田ボールの大きさが５０μｍ以下の半径寸法を有し、前記通孔の大きさが前記半田ボールの直径寸法よりも大きな内径寸法を有し、前記マスク本体の厚みが１０μｍ以上に設定され、前記突起部の高さと前記マスク本体の厚みとの比が２対１以上に設定されていることを特徴とする配列用マスク。」 （相違点１） 本願発明では「前記パターン領域から該パターン領域間に形成された前記突起部の根元までの寸法は、前記パターン領域内の前記通孔間における前記通孔縁から前記パターン領域内の前記通孔が形成されていない位置に形成された前記突起部の根元までの寸法より大きく、０．０１ｍｍ以上に設定されて」いるが、引用発明では当該事項について特定されていない点。 （相違点２） 本願発明では「前記突起部の先端寸法と前記突起部の根元寸法と前記通孔間の幅寸法との比が１．０対１．２対１．４以上に設定されている」のに対して、引用発明では「突起部１５の先端寸法Ｌ１と付け根寸法Ｌ２と開口１２間の幅との比が１対３対３以上である」点。 （２）判断 相違点１について検討する。 通孔と突起部の根元までの寸法は、フラックスが突起部に付着しないように一定の距離を開けることが望ましいことが明らかであるところ、パターン領域内では多数の開口が存在するため、一定の距離を確保するためには困難性を伴う。これに対し、隣り合うパターン領域の間には、引用文献の段落【００１１】に「なお、ワーク３は、バンプの形成後に個片に切断され、個々のＬＳＩチップとされる。 」と記載されているように、バンプ形成後の切断のため一定の間隔が設けられ、パターン領域からパターン領域間に形成された突起部の根元までの距離が容易に確保できることは明らかである。そうしてみると「前記パターン領域から該パターン領域間に形成された前記突起部の根元までの寸法は、前記パターン領域内の前記通孔間における前記通孔縁から前記パターン領域内の前記通孔が形成されていない位置に形成された前記突起部の根元までの寸法より大きく」構成することは当業者が容易に想到できた事項にすぎない。そして、このような構成は、引用文献の図２、図４(a)の記載にも矛盾しない。 また、「前記パターン領域から該パターン領域間に形成された前記突起部の根元までの寸法」はフラックスのマスクへの付着防止の観点から、隣り合うパターン領域の間の距離、突起部の高さ、マスク本体の厚みなどに応じて適宜設定されるものであるところ、パターン領域から該パターン領域間に形成された突起部の根元までの寸法を０．０１ｍｍ（１０μｍ）以上とすることは、引用発明において特定されている半田ボール２の直径が１００μｍ以下、マスク本体１０の厚みが１０μｍ以上であることを考慮しても特異な値とはいえないことに鑑みれば、当業者が適宜設定し得た程度の事項にすぎない。 次に、相違点２について検討する。 引用発明の「突起部１５の先端寸法Ｌ１」「付け根寸法Ｌ２」「開口１２間の幅」は、それぞれ本願発明の「突起部（１５）の先端寸法」「突起部（１５）の根元寸法」「通孔（１２）間の幅寸法」に相当する。そうしてみると、本願発明の「前記突起部（１５）の先端寸法と前記突起部（１５）の根元寸法と前記通孔（１２）間の幅寸法との比が１．０対１．２対１．４以上」である範囲と、引用発明の「突起部１５の先端寸法Ｌ１と付け根寸法Ｌ２と開口１２間の幅との比が１対３対３以上」である範囲とには共通する数値範囲が含まれるから、相違点２は実質的な相違点とはいえない。 仮に、本願明細書の段落【００１４】の「突起部１５の根元寸法Ｌ２は、突起部１５の先端寸法Ｌ１の１．０～１．５倍とするのが好ましく、本実施形態では１．２倍に設定している。さらに、突起部１５の先端寸法Ｌ１と根元寸法Ｌ２と通孔１２間の幅寸法Ｌ３との比が１対１．２対１．４以上であることが好ましい。」との記載から、本願発明の「前記突起部（１５）の先端寸法と前記突起部（１５）の根元寸法と前記通孔（１２）間の幅寸法との比が１．０対１．２対１．４以上」との記載の意味が、突起部１５の先端寸法Ｌ１と突起部１５の根元寸法Ｌ２との比は１対１．２であり、かつ、突起部１５の先端寸法Ｌ１と通孔１２間の幅寸法Ｌ３との比が１対１．４以上となることを意味していたとしても、「突起部（１５）の先端寸法」「前記突起部（１５）の根元寸法」及び「前記通孔（１２）間の幅寸法」は、フラックスが突起部に付着しないようにフラックスの性質や突起部の強度等を総合勘案して設定される値であり、上記【００１４】を参酌してみても「１．２」や「１．４」の数値に格別な技術的異議を認めることはできないから、これらを本願発明のような比率に設計することも、当業者の通常の創意工夫により成し得た程度の事項であり格別のものとはいえない。 そして、上記各相違点を総合勘案しても、本願発明が奏する効果は、引用発明から当業者が予測できたものであって、格別顕著な効果があるとはいえない。 ６．むすび 以上のとおり、本願の請求項１に係る発明は、引用発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により、特許を受けることができない。 したがって、本願は、他の請求項について検討するまでもなく拒絶すべきものである。 よって、結論のとおり審決する。