2019-017546

特願２０１７－ １００２７号「小型流体制御装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２９年８月３日出願公開，特開２０１７－１３３５１１号〕について，次のとおり審決する。

結 論 本件審判の請求は，成り立たない。

理 由 第１ 経緯の概略 本願は，平成２９年１月２４日（パリ条約による優先権主張：２０１６年９月５日，台湾，２０１６年１月２９日，台湾，２０１６年１月２９日，台湾，２０１６年１月２９日，台湾，２０１６年６月２４日，台湾，２０１６年６月２４日，台湾，２０１６年６月２４日，台湾）の出願であって，その経緯は，概ね次のとおりである。 平成３０年 ９月２１日付け 拒絶理由通知書 平成３１年 ３月１９日受付 意見書，手続補正書 令和 元年 ８月２０日付け 拒絶査定 令和 元年１２月２５日受付 拒絶査定不服審判請求書，手続補正書 令和 ２年 ８月２６日付け 拒絶理由通知書 令和 ２年１１月２５日受付 意見書，手続補正書 令和 ３年 ２月 ３日付け 拒絶理由通知書 令和 ３年 ５月 ６日受付 意見書，手続補正書 第２ 本願発明 本願の請求項１～５に係る発明は，令和３年５月６日受付手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１～５に記載された事項により特定されるものと認められるところ，その請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は，以下のとおりのものである。 「【請求項１】 小型空気圧動力装置に適用する小型流体制御装置であって， 気体導入板と，共振片と，圧電アクチュエータを含み， 前記気体導入板が，少なくとも１つの気体導入孔と，少なくとも１つの気体ガイド溝と，合流チャンバを構成する中心凹部を備え，前記少なくとも１つの気体導入孔が気体の導入に用いられ，前記気体ガイド溝が前記気体導入孔に対応し，かつ前記気体導入孔の気体をガイドして前記中心凹部が構成する前記合流チャンバに合流させ， 前記共振片が，前記気体導入板の前記合流チャンバに対応する中空孔を備え， 前記圧電アクチュエータが，懸吊板と，外枠と，圧電セラミック板を備え， 前記懸吊板が，正方形構造であり，４ｍｍ～７．５ｍｍ未満の間の長さ，４ｍｍ～７．５ｍｍ未満の間の幅，０．１ｍｍ～０．４ｍｍの間の厚さを備え， 前記外枠が，前記懸吊板と前記外枠の間を連接して設置された少なくとも１つのフレームを備え， 前記圧電セラミック板が，正方形構造であり，前記懸吊板の第１表面に貼付され，かつ前記圧電セラミック板が前記懸吊板の辺の長さより大きくない辺の長さを有し，４ｍｍ～７．５ｍｍ未満の間の長さ，４ｍｍ～７．５ｍｍ未満の間の幅，０．０５ｍｍ～０．３ｍｍの間の厚さを備え， そのうち，前記圧電アクチュエータ，前記共振片，前記気体導入板が順に対応して重ねて設置かつ位置決めされ，前記共振片と前記圧電アクチュエータの間に有する間隙で第１チャンバを形成し，前記圧電アクチュエータが駆動されると，気体が前記気体導入板の前記少なくとも１つの気体導入孔から導入され，前記少なくとも１つの気体ガイド溝を介して前記中心凹部に集められ，さらに前記共振片の前記中空孔を経由して前記第１チャンバ内に進入し，さらに前記圧電アクチュエータの前記少なくとも１つのフレームの間の空隙から下に向かって伝送され，気体が継続的に押し出されることを特徴とする，小型流体制御装置。」 第３ 当審にて通知した拒絶の理由の概要 当審にて令和３年２月３日付けで通知した拒絶の理由の概要は次のとおりである。すなわち，本願発明は，その優先日前に日本国内又は外国において，頒布された下記の引用文献１～４に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて，その優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。 （引用文献） 引用文献１ 米国特許出願公開第２０１４／０３７７０９９号明細書 引用文献２ 特開２００８－５４３６７号公報 引用文献３ 国際公開第２０１５／０８７０８６号 引用文献４ 特開２００９－２９３５６６号公報 第４ 当審にて通知した拒絶の理由についての判断 １ 引用文献の記載事項 （１） 引用文献１ ア 引用文献１には，以下の事項が記載されている（下線は，当審にて付与した。）。 ・「[0001] The present invention relates to a pneumatic apparatus, and more particularly to a slim and silent micro-gas pressure driving apparatus.」 （［０００１］本発明は，空気圧装置に関し，特に，薄く静かな小型ガス圧駆動装置に関するものである。） ・「[0002] With the advancement of science and technology, fluid transportation devices used in many sectors such as pharmaceutical industries, computer techniques, printing industries or energy industries are developed toward elaboration and miniaturization. The fluid transportation devices are important components that are used in for example micro pumps, micro atomizers, print heads or industrial printers for transporting small amounts of gases or liquids. Therefore, it is important to provide an improved structure of the fluid transportation devices.」 （［０００２］科学技術の進歩に伴い，製薬産業，コンピューター技術，印刷産業，エネルギー産業などの多くの分野で使用される流体輸送装置は，高性能化と小型化に向けて開発されている。流体輸送装置は，例えば，超小型ポンプ，超小型噴霧器，印字ヘッド又は産業用プリンターで，少量の気体又は液体を輸送するために使用される重要な構成要素である。そのため，流体輸送装置の改良された構造を提供することが重要である。） ・「[0003] For example, in the pharmaceutical industries, pneumatic apparatus or pneumatic machines use motors or pressure valves to transfer gases. However, due to the volume limitations of the motors and the pressure valves, the pneumatic apparatus or the pneumatic machines are bulky in volume. In other words, the conventional pneumatic apparatus fails to meet the miniaturization requirement and is not portable. Moreover, during operations of the motor or the pressure valve, annoying noise is readily generated. That is, the conventional pneumatic apparatus is neither friendly nor comfortable to the user.」 （［０００３］例えば，製薬産業では，空気圧装置又は空気圧機械は，ガスを移動させるモータ又は圧力弁を使用している。しかし，モータと圧力弁の容量制限のために，空気圧装置又は空気圧機械は体積的に嵩張る。つまり，従来の空気圧装置は，小型化の要求に応えられず，持ち運びができない。さらに，モータ又は圧力弁の動作中に，不快なノイズが発生しやすくなる。すなわち，従来の空気圧装置が，ユーザにとって親しみやすく，快適なものではない。） ・「[0004] Therefore, there is a need of providing a micro-gas pressure driving apparatus with small, miniature, silent, portable and comfortable benefits in order to eliminate the above drawbacks.」 （［０００４］したがって，上記の欠点を解消するために，小型で，静かで，携帯可能で，快適な利点のある小型ガス圧駆動装置を提供することが求められている。） ・「[0005] The present invention provides a micro-gas pressure driving apparatus for a portable or wearable equipment or machine. The micro-gas pressure driving apparatus integrates the functions of a miniature gas transportation module and a miniature valve module. Consequently, the micro-gas pressure driving apparatus is small, miniature, silent, portable and comfortable.」 （［０００５］本発明は，携帯型又は装着型の機器又は機械のための小型ガス圧駆動装置を提供する。小型ガス圧駆動装置は小型ガス輸送モジュール及び小型弁モジュールの機能を統合したものである。その結果，小型ガス圧駆動装置は，小型で，静かで，携帯可能であり，快適である。） ・「[0025] FIG. 2A is a schematic exploded view illustrating a micro-gas pressure driving apparatus according to a second embodiment of the present invention and taken along a front side. FIG. 2B is a schematic exploded view illustrating the micro-gas pressure driving apparatus according to the second embodiment of the present invention and taken along a rear side. As shown in FIGS. 2A and 2B, the micro-gas pressure driving apparatus 2 comprises a miniature gas transportation module 2A and a miniature valve module 2B. In this embodiment, the miniature gas transportation module 2A at least comprises a gas inlet plate 20, a fluid channel plate 21, a resonance membrane 22, a piezoelectric actuator 23, an insulating plate 24, and a conducting plate 25 are stacked on each other sequentially. In this embodiment, there is a gap g0 between the resonance membrane 22 and the piezoelectric actuator 23 (see FIG. 5A). Alternatively, in some other embodiments, there is no gap between the resonance membrane 22 and the piezoelectric actuator 23. In another embodiment similar to the micro-gas pressure driving apparatus 1 of the first embodiment, the fluid channel plate 21 is integrally formed with the gas inlet plate 20. In this embodiment, the gas inlet plate 20 and the fluid channel plate 21 are separate components. Similarly, the miniature valve module 2B comprises a gas collecting plate 26, a valve membrane 27, and a gas outlet plate 28. The gas collecting plate 26, the valve membrane 27 and the gas outlet plate 28 are stacked on each other sequentially.」 （［００２５］ 図２Ａは，本発明の第２の実施形態に係るマイクロガス圧駆動装置の概略分解図であり，前部側に沿って切断した図である。図２Ｂは，本発明の第２の実施形態に係るマイクロガス圧駆動装置の概略分解図であり，後部側に沿って切断した図である。図２Ａ，２Ｂに示すように，小型ガス圧駆動装置２は小型ガス輸送モジュール２Ａと小型弁モジュール２Ｂとを備える。この実施形態では，小型ガス輸送モジュール２Ａは，少なくとも，ガス入口板２０，流路板２１，共振板２２，圧電アクチュエータ２３，絶縁板２４，及び導体板２５の順に積層されている。本実施形態では，共振板２２と圧電アクチュエータ２３との間にギャップｇ０が存在する（図５Ａ参照）。あるいは，他のいくつかの実施形態では，共振板２２と圧電アクチュエータ２３との間にギャップがない。第１の実施形態の小型ガス圧駆動装置１と同様の別の実施形態では，流路板２１は，ガス入口板２０と一体的に形成される。この実施形態では，ガス入口板２０及び流路板２１は別個の構成部品である。同様に，小型弁モジュール２Ｂはガス捕集板２６，弁膜２７及びガス出口板２８を含む。ガス捕集板２６，弁膜２７及びガス出口板２８は，順次に積層されている。） ・「[0026] In this embodiment, the gas inlet plate 20 of the miniature gas transportation module 2A pneumatic apparatus comprises at least one inlet 200. In response to the action of the atmospheric pressure, a gas may be automatically fed into the miniature gas transportation module 2A through the at least one inlet 200 of the gas inlet plate 20. The fluid channel plate 21 comprises at least one convergence channel 211 corresponding to the at least one inlet 200 of the gas inlet plate 20. After the gas is fed into the at least one inlet 200, the gas is guided by the at least one convergence channel 211 and converged to a central opening 210. Consequently, the gas is transferred downwardly. The resonance membrane 22 is made of a flexible material, but is not limited thereto. Moreover, the resonance membrane 22 has a central aperture 220 corresponding to the central opening 210 of the fluid channel plate 21. Consequently, the gas may be transferred downwardly through the central aperture 220.」 （［００２６］ この実施形態では，小型ガス輸送モジュール２Ａ空気圧装置のガス入口板２０は，少なくとも１つの入口２００を備えている。大気圧の作用に応答して，ガスは，ガス入口板２０の少なくとも１つの入口２００を介して小型ガス輸送モジュール２Ａ内に自動的に供給されてもよい。流路板２１には，ガス導入板２０の少なくとも１つの入口２００に対応する少なくとも１つの収束路２１１を備えている。ガスは，少なくとも１つの入口２００内に送られた後，ガスは，少なくとも１つの収束路２１１によって案内され，中央開口２１０に収束される。その結果，ガスは下方に移送される。共振板２２は，可撓性材料で作られているが，これに限定されるものではない。また，共振板２２は，流路板２１の中央開口２１０に対応する中央開口部２２０を有している。その結果，ガスは中央開口部２２０を通って下方に移送され得る。） ・「[0029] FIG. 4 schematically illustrates various exemplary piezoelectric actuator used in the micro-gas pressure driving apparatus of FIG. 3A. The suspension plate 230, the outer frame 231 and the at least one bracket 232 of the piezoelectric actuator 23 may have various types. In the type (a), the outer frame a1 and the suspension plate a0 are rectangular, the outer frame a1 and the suspension plate a0 are connected with each other through eight brackets a2, and a vacant space a3 is formed between the brackets a2, the suspension plate a0 and the outer frame a1 for allowing the gas to go through. In the type (i), the outer frame i1 and the suspension plate i0 are also rectangular, but the outer frame it and the suspension plate i0 are connected with each other through two brackets i2. In addition, the outer frame and the suspension plate in each of the types (b)~(h) are also rectangular. In each of the types (j)~(1), the suspension plate is circular, and the outer frame has a rectangular with arc-shaped corners. For example, in the type (j), the suspension plate is circular j0, and the outer frame j1 has a rectangular with arc-shaped corners. It is noted that numerous modifications and alterations of the piezoelectric actuator may be made while retaining the teachings of the invention. For example, the suspension plate 230 may be rectangular or circular, and the piezoelectric ceramic plate 233 attached on the bottom surface 230b of the suspension plate 230 may be rectangular or circular. Moreover, the number of the brackets between the outer frame and the suspension plate may be varied according to the practical requirements. Moreover, the suspension plate 230, the outer frame 231 and the at least one bracket 232 are integrally formed with each other and produced by a conventional machining process, a photo lithography and etching process, a laser machining process, an electroforming process, an electric discharge machining process and so on.」 （［００２９］ 図４は，図３ａの小型ガス圧駆動装置において利用される様々な例示的な圧電アクチュエータを模式的に示したものである。圧電アクチュエータ２３の懸架板２３０，外枠２３１及び少なくとも１つのブラケット２３２は，様々な形態を有することができる。タイプ（ａ）において，外枠ａ１と懸架板ａ０は矩形であり，外枠ａ１と懸架板ａ０は，８つのブラケットａ２を介して互いに接続されており，ブラケットａ２と懸架板ａ０と外枠ａｌとの間に気体を通すための空隙ａ３が形成されている。タイプ（ｉ）において，外枠ｉ１及び懸架板ｉ０は，また，矩形状であるが，外枠，及び懸架板ｉ０は２個のブラケット２を介して互いに接続されている。また，タイプ（ｂ）～（ｈ）の各々において，外側枠及び懸架板は，矩形である。種類（ｊ）～（ｌ）のそれぞれには，懸架板は円形であり，外枠は，角が円弧状の矩形である。例えば，タイプ（ｊ）では，懸架板は円形ｊ０であり，外枠ｊ１は，角が円弧状の矩形である。なお，圧電アクチュエータの数多くの修正及び変更は，本発明の教示を保持しつつ行われることができることに留意されたい。例えば，懸架板２３０は，矩形又は円形であってもよく，懸架板２３０の下面２３０ｂに取り付けられた圧電セラミック板２３３は，矩形又は円形であってもよい。また，外側フレームと懸架板とブラケットの数は実際の要求に応じて変えることができる。さらに，懸架板２３０，外枠２３１，少なくとも一つのブラケット２３２とが一体的に形成され，従来の機械加工，フォトリソグラフィおよびエッチング加工，レーザー加工，電鋳加工，放電加工などによって製造される。） ・「[0031] FIGS. 5A-5E schematically illustrate the actions of the miniature gas transportation module of the micro-gas pressure driving apparatus of FIG. 2A. As shown in FIG. 5A, the gas inlet plate 20, the fluid channel plate 21, the resonance membrane 22, the piezoelectric actuator 23, the insulating plate 24 and the conducting plate 25 of the miniature gas transportation module 2A are stacked on each other sequentially. Moreover, there is a gap g0 between the resonance membrane 22 and the piezoelectric actuator 23. In this embodiment, a filler (e.g. a conductive adhesive) is inserted into the g0 between the resonance membrane 22 and the piezoelectric actuator 23. In other words, the distance between the resonance membrane 22 and the upper portion 230c of the suspension plate 230 of the piezoelectric actuator 23 is substantially equal to the height of the gap g0 in order to guide the gas to flow more quickly. Moreover, due to the distance between the resonance membrane 22 and the upper portion 230c of the suspension plate 230, the interference between the resonance membrane 22 and the piezoelectric actuator 23 is reduced and the generated noise is largely reduced. In some embodiments, the height of the outer frame 231 of the piezoelectric actuator 23 is increased, so that the gap is formed between the resonance membrane 22 and the piezoelectric actuator 23. In some embodiments, there is no gap between the resonance membrane 22 and the piezoelectric actuator 23.」 （［００３１］ 図５Ａ－図５Ｅは，図２Ａのマイクロガス圧駆動装置の小型ガス輸送モジュールの動作を概略的に示す。図５Ａに示すように，小型ガス輸送モジュール２Ａのガス入口板２０，流路板２１，共振板２２，圧電アクチュエータ２３，絶縁板２４，導電板２５が順に互いに積層されている。また，共振板２２と圧電アクチュエータ２３との間のギャップｇ０である。本実施の形態では，共振板２２と圧電アクチュエータ２３との間のｇ０に，充填材（例えば，導電性接着剤）が挿入されている。換言すれば，共振板２２と圧電アクチュエータ２３の懸架板２３０の上方部分２３０ｃは，ガスを案内してより迅速に流れにするために，ギャップｇ０の高さに実質的に等しい。また，共振板２２と圧電アクチュエータ２３の懸架板２３０の上方部分２３０ｃの間の距離により，共振板２２と圧電アクチュエータ２３との間の干渉が低減され，発生する騒音が大幅に低減される。いくつかの実施形態では，圧電アクチュエータ２３の外枠２３１の高さを高くして，共振板２２と圧電アクチュエータ２３との間に隙間が形成されるようになっている。いくつかの実施形態では，共振板２２と圧電アクチュエータ２３との間に隙間ができない。） ・「[0032] Please refer to FIGS. 5A-5E again. After the gas inlet plate 20, the fluid channel plate 21, the resonance membrane 22 and the piezoelectric actuator 23 are combined together, a chamber for converging the gas is defined by the central opening 210 of the fluid channel plate 21, the gas inlet plate 20 and the resonance membrane 22 collaboratively, and a first chamber 222 is formed between the resonance membrane 22 and the piezoelectric actuator 23 for temporarily storing the gas. The first chamber 222 is in communication with the chamber that is defined by the central opening 210 of the fluid channel plate 21, the gas inlet plate 20 and the resonance membrane 22. The peripheral regions of the first chamber 222 are in communication with the miniature valve module 2B through the vacant space 235 of the piezoelectric actuator 23.」 （［００３２］ 図５Ａ－図５Ｅを参照する。ガス入口板２０，流路板２１，共振板２２と圧電アクチュエータ２３とを組み合わせた後，流路板２１の中央開口２１０，ガス入口板２０，共振板２２の協働によりガスを収束させるための室が規定され，共振板２２と圧電アクチュエータ２３の間にガスを一時的に貯留するための第１チャンバ２２２が形成される。第１チャンバ２２２は，流路板２１の中央開口２１０，ガス入口板２０及び共振板２２によって規定される室と連通する。また，第１チャンバ２２２の周辺領域は，圧電アクチュエータ２３の空隙２３５を介して小型弁モジュール２Ｂと連通する。） ・「[0033] When the miniature gas transportation module 2A of the micro-gas pressure driving apparatus 2 is enabled, the piezoelectric actuator 23 is actuated by an applied voltage. Consequently, the piezoelectric actuator 23 is vibrated along a vertical direction in a reciprocating manner by using the bracket 232 as a fulcrum. As shown in FIG. 5B, the piezoelectric actuator 23 is vibrated downwardly in response to the applied voltage. Consequently, the gas is fed into the at least one inlet 200 of the gas inlet plate 20. The gas is sequentially converged to the central opening 210 through the at least one convergence channel 211 of the fluid channel plate 21, transferred through the central aperture 220 of the resonance membrane 22, and introduced downwardly into the first chamber 222.」 （［００３３］ 小型ガス圧駆動装置２の小型ガス輸送モジュール２Ａが有効になると，圧電アクチュエータ２３は印加電圧によって駆動される。その結果，圧電アクチュエータ２３は，ブラケット２３２を支点として垂直方向に沿って往復振動する。図５Ｂに示すように，圧電アクチュエータ２３は，印加電圧に応じて下方に振動する。その結果，ガスは，ガス入口板２０の少なくとも１つの入口２００に供給される。ガスは，流路板２１の少なくとも一つの収束路２１１を通じて中央開口２１０に順次収束され，共振板２２の中央開口部２２０を介して移送され，第１チャンバ２２２に下向きに導入される。） ・「[0034] As the piezoelectric actuator 23 is actuated, the resonance of the resonance membrane 22 occurs. Consequently, the resonance membrane 22 is also vibrated along the vertical direction in the reciprocating manner. As shown in FIG. 5C, the resonance membrane 22 is vibrated downwardly and contacted with the upper portion 230c of the suspension plate 230 of the piezoelectric actuator 23. Due to the deformation of the resonance membrane 22, the volume of the first chamber 222 is shrunken and the middle communication space of the first chamber 222 is closed. Under this circumstance, the gas is pushed toward peripheral regions of the first chamber 222. Consequently, the gas is transferred downwardly through the vacant space 235 of the piezoelectric actuator 23.」 （［００３４］ 圧電アクチュエータ２３が作動されると，共振板２２の共振が生じる。これにより，共振板２２はまた，往復動するように垂直方向に沿って振動される。図５Ｃに示すように，共振板２２は上下に振動し，圧電アクチュエータ２３の懸架板２３０の上部２３０ｃに対して接触している共振板２２の変形に起因して，第１チャンバ２２２の体積が縮小され，第１チャンバ２２２の中間の連通空間が閉鎖されている。この状況下では，ガスは第１チャンバ２２２の周辺領域に向かって押される。その結果，ガスは圧電アクチュエータ２３の空隙２３５を通って下方に移送される。） ・「[0035] As shown in FIG. 5D, the resonance membrane 22 is returned to its original position, and the piezoelectric actuator 23 is vibrated upwardly in response to the applied voltage. Consequently, the volume of the first chamber 222 is also shrunken. Since the piezoelectric actuator 23 is ascended, the gas is continuously pushed toward peripheral regions of the first chamber 222. Meanwhile, the gas is continuously fed into the at least one inlet 200 of the gas inlet plate 20.」 （［００３５］ 図５Ｄに示すように，共振板２２はその元の位置に戻り，圧電アクチュエータ２３が印加電圧に応じて上方向に振動する。したがって，第１チャンバ２２２の容積も縮小される。また，圧電アクチュエータ２３が上昇しているので，ガスが第１チャンバ２２２の周縁領域に向かって連続的に押される。一方，ガスは，ガス入口板２０の少なくとも１つの入口２００に連続的に供給される。） ・「[0036] Then, as shown in FIG. 5E, the resonance of the resonance membrane 22 occurs. Consequently, the resonance membrane 22 is vibrated upwardly. Under this circumstance, the gas in the central opening 210 of the fluid channel plate 21 is transferred to the first chamber 222 through the central aperture 220 of the resonance membrane 22, then the gas is transferred downwardly through the vacant space 235 of the piezoelectric actuator 23, and finally the gas is exited from the miniature gas transportation module 2A.」 （［００３６］ 次に，図５Ｅに示すように，共振板２２の共振が生じる。その結果，共振板２２は上方に振動する。この状況下で，流路板２１の中央開口２１０内のガスが，共振板２２の中央開口部２２０を介して第１チャンバ２２２に移送され，次に，ガスは，圧電アクチュエータ２３の空隙２３５を介して下方に移送され，最終的に，ガスは，小型ガス輸送モジュール２Ａから排出される。） ・「[0050] From the above descriptions, the present invention provides the micro-gas pressure driving apparatus. The micro-gas pressure driving apparatus comprises the miniature gas transportation module and the miniature valve module. After the gas is fed into the miniature gas transportation module through the inlet, the piezoelectric actuator is actuated. Consequently, a pressure gradient is generated in the fluid channels of the miniature gas transportation module and the gas-collecting chamber to facilitate the gas to flow to the miniature valve module at a high speed. Moreover, due to the one-way valve membrane of the miniature valve module, the gas is transferred in one direction. Consequently, the pressure of the gas is accumulated to any container that is connected with the outlet. For performing a gas-releasing operation (or a pressure-reducing operation), the user may adjust the amount of the gas to be fed into the miniature gas transportation module, so that the gas is no longer transferred to the gas-collecting chamber. Under this circumstance, the gas is transferred from the outlet to the second outlet chamber of the miniature valve module, then transferred to the second pressure-releasing chamber through the communication channel, and finally exited from the pressure-releasing opening. By the micro-gas pressure driving apparatus of the present invention, the gas can be quickly transferred while achieving silent efficacy. Moreover, due to the special configurations, the micro-gas pressure driving apparatus of the present invention has small volume and small thickness. Consequently, the micro-gas pressure driving apparatus is portable and applied to medical equipment or any other appropriate equipment. In other words, the micro-gas pressure driving apparatus of the present invention has industrial values.」 （［００５０］ 以上の説明から，本発明は，小型ガス圧駆動装置を提供する。小型ガス圧駆動装置は小型ガス輸送モジュール及び小型弁モジュールから構成されている。小型ガス輸送モジュールにガスが入口から供給されると，圧電アクチュエータが作動する。その結果，小型ガス輸送モジュールと集気チャンバの流路に圧力勾配が発生し，小型弁モジュールにガスが高速で流れるようになる。さらに，小型弁モジュールの一方向バルブ膜により，ガスは一方向に移送される。その結果，ガスの圧力は出口に接続されている任意の容器に蓄積される。ガス放出操作（又は減圧操作）を実行するために，ユーザは，ガスがもはや集気チャンバに移送されないように，小型ガス輸送モジュールに供給されるガスの量を調整することができる。この状況下で，ガスは，排出口から小型弁モジュールの第２出口チャンバに移し，次いで連通路を介して第２圧力リリーフチャンバに移送され，最終的に圧力リリーフ通孔から排出される。本発明の小型ガス圧駆動装置によって，静音効果を達成しながらガスを迅速に移送することができる。さらに，本発明の小型ガス圧力駆動装置は，特殊な構成のために，体積が小さく，厚みが薄くなっている。これにより，小型ガス圧駆動の装置は，携帯可能であり，医療機器やその他の適切な機器に適用される。換言すれば，本発明の小型ガス圧力駆動装置は，産業上の利用価値を有するものである。） イ 引用文献１［００２５］には，第２の実施形態の小型ガス圧駆動装置２の別の実施形態では，流路板２１はガス入口板２０と一体に形成される点が記載されている。 また，引用文献１［００２６］には，入口２００から導入されたガスが収束路２１１で案内され中央開口２１０に集められる点が記載されているので，図２Ａに示される形状を考慮すれば，前記中央開口２１０は合流チャンバとしての機能を備えていることがわかる。 引用文献１図４において，図３Ａの小型ガス圧駆動装置で使われる圧電アクチュエータの様々な例が示されており，引用文献１［００２９］には，図４のタイプ（ａ）～（ｉ）では，懸架板２３０は矩形であることが記載されている。そして，上記［００２９］の記載と図３Ａ，３Ｂから，懸架板２３０及び圧電セラミック板２３３はともに矩形であり，圧電セラミック板２３３は，懸架板２３０の辺の長さより大きくない辺の長さを有していることがわかる。 したがって，引用文献１には，次の発明（以下「引用発明１」という。）が記載されていると認められる。 （引用発明１） 「小型ガス圧駆動装置２に適用する小型ガス輸送モジュール２Ａであって， ガス入口板２０と，共振板２２と，圧電アクチュエータ２３を含み， 前記ガス入口板２０が，少なくとも１つの入口２００と，少なくとも１つの収束路２１１と，合流チャンバを構成する中央開口２１０を備え，前記少なくとも１つの入口２００がガスの導入に用いられ，前記収束路２１１が前記入口２００に対応し，かつ前記入口２００のガスをガイドして前記中央開口２１０が構成する前記合流チャンバに合流させ， 前記共振板２２が，前記ガス入口板２０の前記合流チャンバに対応する中央開口部２２０を備え， 前記圧電アクチュエータ２３が，懸架板２３０と，外枠２３１と，圧電セラミック板２３３を備え， 前記懸架板２３０が，矩形であり， 前記外枠２３１が，前記懸架板２３０と前記外枠２３１の間を連接して設置された少なくとも１つのブラケット２３２を備え， 前記圧電セラミック板２３３が，矩形であり，前記懸架板２３０の下面２３０ｂに貼付され，かつ前記圧電セラミック板２３３が前記懸架板２３０の辺の長さより大きくない辺の長さを有し， そのうち，前記圧電アクチュエータ２３，前記共振板２２，前記ガス入口板２０が順に対応して重ねて設置かつ位置決めされ，前記共振板２２と前記圧電アクチュエータ２３の間に有する間隙で第１チャンバ２２２を形成し，前記圧電アクチュエータ２３が駆動されると，ガスが前記ガス入口板２０の前記少なくとも１つの入口２００から導入され，前記少なくとも１つの収束路２１１を介して前記中央開口２１０に集められ，さらに前記共振板２２の前記中央開口部２２０を経由して前記第１チャンバ２２２内に進入し，さらに前記圧電アクチュエータ２３の前記少なくとも１つのブラケット２３２の間の空隙２３５から下に向かって伝送され，ガスが継続的に押し出される小型ガス輸送モジュール２Ａ。」 （２） 引用文献２ 引用文献２には，以下の事項が記載されている。 ・「【００２７】 …また，圧電体１の厚さは３０μｍであるが，一般に５μｍから２００μｍ程度が好ましい。圧電体１の表面形状は一辺３．２ｍｍの正方形であるが，特に限定されない。ただし，励起される振動モードを単純化させる観点から長方形や正方形を含む矩形であることが好ましい。」 ・「【００２９】 圧電体支持体２は，薄肉のメンブレン部２ａの周囲を取り囲む厚肉部２ｂを備えている。メンブレン部２ａは，他方の主面（以下，下面という。）に開口部２ｃを設けることにより，上面側に薄肉のメンブレン部２ａを形成している。メンブレン部２ａの厚さは２０μｍ，一般に５μｍから１００μｍ程度が好ましい。メンブレン部２ａの面形状は一辺２．０ｍｍの正方形であるが，圧電体１の表面形状を考慮して定める。」 （３） 引用文献３ 引用文献３には，以下の事項が記載されている。 ・「An actuator comprising a piezoelectric disc radius aA of between 2 mm and 90 mm and having a thickness of between 0.1 mm and 1 mm bonded to a substrate which also acts as the support structure. The substrate is made of sheet steel or aluminium between 0.1 mm and 2 mm in thickness and is formed from a central disc of radius aA connected to an outer ring of inner radius ac by three or more "legs".」（２３頁３～８行） （アクチュエータは，サポート構造としても機能する基板に接着された，２ｍｍから９０ｍｍの間の半径ａＡと，０．１ｍｍから１ｍｍの間の厚さとを有する圧電ディスクを含む。基板は，厚さが０．１ｍｍから２ｍｍの間であるシート状の鋼又はアルミニウムで作成され，半径がａＡである中心のディスクが，内径がａＣである外環に３本以上の「脚」によって接続されて形成される。） （４） 引用文献４ 引用文献４には，以下の事項が記載されている。 ・「【００２６】 この圧電駆動体５０は次のようにして製造した。まず，一辺５．３ｍｍ，厚さ０．１ｍｍの矩形板状の圧電素子５２を，Ｆｅ－４２％Ｎｉ合金（４２アロイ）からなり，外径φ７．８ｍｍ，厚さ０．０５ｍｍの円板状の中間板５３に接着した。次に，中間板５３を，Ｆｅ－４２％Ｎｉ合金（４２アロイ）からなり，厚さ０．０５ｍｍのダイヤフラムの中央に接着し，ダイヤフラムの振動部の直径を１１ｍｍとして，その外周の環状部（拘束部）を保持した。図３ではダイヤフラム５１については，その振動部のみを表している。」 ・「【００３６】 ［比較例１：圧電素子・中間板がともに円板状であるもの］ 外径φ７．６ｍｍ，厚さ０．１ｍｍの円板状圧電素子と，Ｆｅ－４２％Ｎｉ合金からなり，外径φ７．８，厚さ０．０５ｍｍの円板状中間板と，Ｆｅ－４２％Ｎｉ合金からなり，厚さ０．０５ｍｍのダイヤフラムの中央に接着した。そして，枠体でダイヤフラムの外周を保持して，ダイヤフラムの振動部の直径を１１ｍｍとした。 【００３７】 ［比較例２：圧電素子・中間板がともに矩形板状であるもの］ □一辺が５．３ｍｍ，厚さ０．１ｍｍの矩形板状圧電素子と，Ｆｅ－４２％Ｎｉ合金からなり，一辺５．５ｍｍ，厚さ０．０５ｍｍの矩形状中間板と，Ｆｅ－４２％Ｎｉ合金（４２アロイ）からなり，厚さ０．０５ｍｍのダイヤフラムの中央に接着した。そして，枠体でダイヤフラムの外周を保持して，ダイヤフラムの振動部の直径を１１ｍｍとした。」 ２ 対比及び判断 （１） 対比 本願発明と引用発明１とを，その機能に照らして対比すると，引用発明１の「小型ガス圧駆動装置２」，「小型ガス輸送モジュール２Ａ」，「ガス入口板２０」，「共振板２２」，「圧電アクチュエータ２３」，「入口２００」，「収束路２１１」，「中央開口２１０」，「ガス」，「中央開口部２２０」，「懸架板２３０」，「外枠２３１」，「圧電セラミック板２３３」，「ブラケット２３２」，「下面２３０ｂ」，「第１チャンバ２２２」，「空隙２３５」は，それぞれ，本願発明の「小型空気圧動力装置」，「小型流体制御装置」，「気体導入板」，「共振片」，「圧電アクチュエータ」，「気体導入孔」，「気体ガイド溝」，「中心凹部」，「気体」，「中空孔」，「懸吊板」，「外枠」，「圧電セラミック板」，「フレーム」，「第１表面」，「第１チャンバ」，「空隙」に相当する。 そうすると，本願発明と引用発明１は以下の点で，一致し，相違する。 （一致点） 「小型空気圧動力装置に適用する小型流体制御装置であって， 気体導入板と，共振片と，圧電アクチュエータを含み， 前記気体導入板が，少なくとも１つの気体導入孔と，少なくとも１つの気体ガイド溝と，合流チャンバを構成する中心凹部を備え，前記少なくとも１つの気体導入孔が気体の導入に用いられ，前記気体ガイド溝が前記気体導入孔に対応し，かつ前記気体導入孔の気体をガイドして前記中心凹部が構成する前記合流チャンバに合流させ， 前記共振片が，前記気体導入板の前記合流チャンバに対応する中空孔を備え， 前記圧電アクチュエータが，懸吊板と，外枠と，圧電セラミック板を備え， 前記外枠が，前記懸吊板と前記外枠の間を連接して設置された少なくとも１つのフレームを備え， 前記圧電セラミック板が，前記懸吊板の第１表面に貼付され，かつ前記圧電セラミック板が前記懸吊板の辺の長さより大きくない辺の長さを有し， そのうち，前記圧電アクチュエータ，前記共振片，前記気体導入板が順に対応して重ねて設置かつ位置決めされ，前記共振片と前記圧電アクチュエータの間に有する間隙で第１チャンバを形成し，前記圧電アクチュエータが駆動されると，気体が前記気体導入板の前記少なくとも１つの気体導入孔から導入され，前記少なくとも１つの気体ガイド溝を介して前記中心凹部に集められ，さらに前記共振片の前記中空孔を経由して前記第１チャンバ内に進入し，さらに前記圧電アクチュエータの前記少なくとも１つのフレームの間の空隙から下に向かって伝送され，気体が継続的に押し出される，小型流体制御装置。」 （相違点） 本願発明は，「懸吊板」が，「正方形構造であり，４ｍｍ～７．５ｍｍ未満の間の長さ，４ｍｍ～７．５ｍｍ未満の間の幅，０.１ｍｍ～０.４ｍｍの間の厚さを備え」，「圧電セラミック板」が，「正方形構造であり」，「４ｍｍ～７．５ｍｍ未満の間の長さ，４ｍｍ～７．５ｍｍ未満の間の幅，０.０５ｍｍ～０.３ｍｍの間の厚さを備え」ているのに対し，引用発明１は，懸架板２３０及び圧電セラミック板２３３が，矩形であり，その寸法が明らかでない点。 （２） 判断 ア 引用文献１の図４は懸架板の平面図であるところ，図４において示されている懸架板２３０は，正方形形状であるといえ，引用文献１の図３Ａ，３Ｂから，圧電セラミック板２３３は懸架板２３０と同じ形状であることが窺えることから，圧電セラミック板２３３も正方形形状であるといえる。 仮に，引用文献１の図３Ａ，３Ｂ，４からは，懸架板２３０及び圧電セラミック板２３３が正方形形状であるか明らかでないとしても，正方形は矩形の一種ともいえる上（引用文献２【００２７】），引用文献１には正方形を除外する旨の記載はない。 そして，引用文献２には，圧電アクチュエータにおいて，圧電体の表面形状として正方形が好ましい旨の記載がある（【００２７】）。 そうすると，引用発明１において，引用文献２の当該記載を参酌して，懸架板２３０及び圧電セラミック板２３０を正方形構造とすることは当業者が容易になし得たことである。 イ 引用発明１は，圧電アクチュエータを駆動源とした一種のポンプであるところ，小型ポンプの圧電アクチュエータに用いられる圧電セラミック板は，一般的に，数ｍｍから数１０ｍｍ程度の大きさ，数μｍから数百μｍの厚さであり，圧電セラミック板が貼付される振動膜状の部分についても，数ｍｍから数１０ｍｍ程度の大きさ，数μｍから数百μｍの厚さであることが知られており（例えば，引用文献２【００２７】等，引用文献３・２３頁３～５行，図５等，引用文献４【００２６】，【００３６】，【００３７】，図３等を参照），小型ポンプの圧電アクチュエータの寸法として当業者が容易に想定し得る寸法である。 また，引用発明１は，小型で，静かで，携帯可能で，快適な小型ガス圧駆動装置（micro-gas pressure driving apparatus）を提供することを課題としたものであって（引用文献１［０００４］），超小型ポンプ，超小型噴霧器，印字ヘッド又は産業用プリンターで，少量の気体又は液体を輸送するために使用されることが想定され（同［０００２］），体積が小さく，厚みが薄くなっているものであるから（同［００５０］），非常に小さい寸法とすることが予定されていることがわかる。 そして，引用発明１において，一般に考えられ得る圧電セラミック板の寸法範囲において，実験等を行い，できる限り小型で，最適，好適な寸法を決定すること，圧電セラミック板の寸法に合わせて懸吊板の最適，好適な寸法を決定することは，当業者の通常の創作能力の発揮の範囲であるといえる。 なお，引用文献１には「共振板２２と圧電アクチュエータ２３の懸架板２３０の上方部分２３０ｃの間の距離により，共振板２２と圧電アクチュエータ２３との間の干渉が低減され，発生する騒音が大幅に低減される。」旨も記載されており（［００３１］），騒音の観点も踏まえて，懸吊板及び圧電素子の最適，好適な寸法を決定することも格別困難なことではない。 そうすると，引用発明１において，懸吊板及び圧電セラミック板の寸法を本願発明に係る数値範囲に設定することは，当業者が容易になし得たことである。 ウ 本願発明の奏する効果についてみるに，引用発明，引用文献２～４に記載された事項から予測の範囲内のものであって，格別のものとは認められない。 懸吊板及び圧電セラミック板を正方形構造とし，懸吊板の寸法を４ｍｍ～７．５ｍｍ未満の間の長さ，４ｍｍ～７．５ｍｍ未満の間の幅，０.１ｍｍ～０.４ｍｍの間の厚さとし，圧電セラミック板の寸法を４ｍｍ～７．５ｍｍ未満の間の長さ，４ｍｍ～７．５ｍｍ未満の間の幅，０.０５ｍｍ～０.３ｍｍの間の厚さとすることについてみても，その技術的な意義について本願明細書には十分な裏付けがなされておらず，格別であるとは認められないから，この点に関して本願発明が格別の効果を奏するとは認められない。 すなわち，本願明細書には，本願発明において特定された形状，寸法の懸吊板及び圧電セラミック板について，理論的に十分な説明や具体的な実験結果等が示されていない。 本願明細書には，正方形の懸吊板が円形の懸吊板より省電力である旨記載されているが（【００１５】），正方形の懸吊板にそのような効果があることについて理論的に十分な説明がなされておらず，そのような効果があることを裏付ける具体的な実験結果等も示されていないから，なぜ，正方形の懸吊板の方が円形の懸吊板より省電力であるのか不明であって，懸吊板の形状を正方形にすることによって格別の効果を奏するものとは解されない。この点は，圧電セラミック板の形状を正方形にすることについても同様である。 また，本願明細書には，懸吊板の寸法を縮小すると，出力空気圧の機能を向上させるだけでなく，騒音も減少され，かつ製品の不良率を抑える効果がある旨記載されているが（【００３８】），本願発明において特定された寸法の懸吊板に関し，そのような効果があることについて理論的に十分な説明がなされておらず，そのような効果があることを裏付ける具体的な実験結果等も示されていない。既に述べたとおり，小型ポンプの圧電アクチュエータに用いられる圧電セラミック板や振動膜状の部分が，一般的に，数ｍｍから数１０ｍｍ程度の大きさであるところ，このような一般的に知られている大きさのものに比べて，なぜ，本願発明が，出力空気圧の機能を向上させ，騒音も減少され，製品の不良率を抑える効果があるといえるか不明であって，懸吊板を正方形構造とし，その寸法を４ｍｍ～７．５ｍｍ未満の間の長さ，４ｍｍ～７．５ｍｍ未満の間の幅，０．１ｍｍ～０．４ｍｍの間の厚さとすることによって格別の効果を奏するものとは解されない。この点は，圧電セラミック板についても同様である。 このように，本願発明において特定された形状，寸法の懸吊板及び圧電セラミック板とすることによって，予測し得ない格別の効果を奏するものとは認められない。 エ（ア） 請求人は，補充実験の結果とともに，次のように主張し，本願発明は進歩性を有すると主張している（令和３年５月６日受付意見書）。 ・引用文献１では正方形構造の形状を応用することにつき特に言及していないから，当業者が引用文献１を通じて獲得する技術的教示は，懸吊板及び圧電セラミック板の，各種構造の形状の組合せの変化が生成する技術的効果はそれぞれ同じであるということである。立体図である図３Ａ及び図３Ｂによって，正方形構造が開示されるものと認定するべきではない。正方形は方形の下位概念なので，正方形と方形はイコールではない。 ・引用文献１には正方形の懸吊板及び圧電セラミック板についての記載はなく，懸吊板及び圧電セラミック板の構造の形状の組合せ方法を限定することについての記載もないから，本願発明のもたらす省電力効果を獲得する可能性もない。本願明細書【００１３】～【００１５】及び補充実験表１からわかるとおり，辺の長さ及び直径の長さの設定単位が等しい正方形懸吊板及び円形懸吊板は構造形状が異なるため，正方形懸吊板を駆動する消費電力は明らかに円形懸吊板より低い。共振周波数下で作動する容量性負荷は，消費電力が周波数の上昇とともに増加し，正方形懸吊板の共振周波数は明らかに円形懸吊板より低いから，正方形懸吊板の相対的消費電力は明らかに比較的に低い。相似した懸吊板面積で説明すると，明らかに相似した面積の正方形懸吊板を駆動するのに発生する消費電力は相似した面積の円形懸吊板より小さい。これからわかるとおり，正方形懸吊板の構造形状設計は明らかに省電力のメリットを有していることがわかり，よりウェアラブルデバイスへの応用に適しており，これは懸吊板及び圧電セラミック板の構造形状組み合わせを限定していない引用文献１では予期することのできない効果である。 ・寸法数値の設定上において，本願明細書【００３６】及び補充実験表２からわかるとおり，作動周波数は２７ｋ～２９.５ｋＨＺ，作動電圧は±１０Ｖ～±１６Ｖのとき，最大出力空気圧は少なくとも３００ｍｍＨｇにまで達する。今回の補充実験では最大出力空気圧が３００ｍｍＨｇにまで達することができれば良品であると判定される。そして，本願明細書【００３８】からわかるとおり，懸吊板及び圧電セラミック板がより良い剛性を備えているとき，懸吊板が垂直に振動した際に水平方向の変形が減少され，しかも傾斜しにくくなり，垂直方向エネルギーの有効利用性を増進させ，出力空気圧性能を改善する。辺の長さが比較的長い懸吊板を装備した際，剛性は比較的低くなり，振動時に捻じれやすくなり，共振片或いは他の組立てパーツとの間で衝突干渉が発生し易くなり，故に騒音の発生の割合が比較的に高くなる。つまり，懸吊板と圧電セラミック板の好ましい辺の長さの寸法の数値設定は，いずれも実験による確証のもとはじめて獲得でき，ゆえに騒音の減少及び良率の向上を達成できるものであり，この効果は，懸吊板と圧電セラミック板の辺の長さの寸法の数値が設定されていない引用発明からは容易に想到し得ない。 ・補充実験表１及び補充実験表２からわかるとおり，本願発明が採用する正方形懸吊板，正方形圧電セラミック板及び寸法数値設定は省電力及び良率上昇のメリットを有しており，これは懸吊板及び圧電セラミック板の構造形状の組み合わせを限定しておらず，且つ懸吊板及び圧電セラミック板の寸法数値設定を開示していない引用発明からでは予期することができない効果である。 ・当業者は引用発明から懸吊板及び圧電セラミック板の構造形状に対して組み合わせ及び寸法数値に対して設定する動機を獲得することはできず，本願発明の懸吊板及び圧電セラミック板の構造形状組み合わせ，及び寸法数値設定を限定した後の省電力効果を獲得することもできない。 ・引用文献の図面に描かれる寸法や割合，角度等は，発明の技術的内容の説明を行うためという便宜上の目的から描出がなされたにすぎず，問題の所在を意識しながら意図的に寸法や割合，角度等を描出したわけではないから，引用文献１の図面により，本願発明の進歩性が否定されるべきではない。 ・（ｉ）引用文献１には省電力効果に関連する技術的内容が何も記載されていない，（ｉｉ）引用文献１には，懸吊板及び圧電セラミック板が，方形または円形等の各種構造の形状の組合せの変化となり得ることが記載されているため，当業者は，懸吊板及び圧電セラミック板の各種構造の形状の組合せが，いずれも同等の効果である代替案であることを知るに止まるのに対し，本願発明は，実験を通じて正方形の懸吊板及び圧電セラミック板の組合せが省電力効果を有することを発見している，（ｉｉｉ）本願発明の省電力効果は，出願時の技術水準から当業者が予測できたものでないことから，本願発明は引用文献１を通じて容易になし得たものではなく，進歩性を具備する。 ・引用文献１には，懸吊板と圧電セラミック板の構造の形状の組合せの変化が，圧電アクチュエータの特性の変化をもたらすか否かについての記載はなく，また，懸吊板と圧電セラミック板の構造の形状の組合せがもたらす追加的効果が想定されていないから，当業者が，懸吊板と圧電セラミック板の構造の形状の組合せの変化と，圧電アクチュエータの特性の変化との関係を，引用文献１を通じて獲得することは無く，正方形による懸吊板と圧電セラミック板の構造の形状の組合せが有する省電力効果を知る由もない。当業者が引用文献１を通じて，懸吊板と圧電セラミック板の構造の形状の組合せに対し設定を施す動機付けを得る可能性はなく，また，本願発明における懸吊板と圧電セラミック板の構造の形状の組合せを限定することによる省電力効果を獲得する可能性もない。ゆえに，本願発明は引用文献１を通じて想到し得たものではなく，進歩性を有する。 （イ） しかしながら，既に述べたとおり，平面図である引用文献１図４において懸架板２３０は正方形形状であるといえ，図３Ａ，３Ｂから，圧電セラミック板２３３は懸架板２３０と同じ形状であることが窺えることからすると，圧電セラミック板２３３も正方形形状であるといえるものである。引用文献１の図面は厳密な正確さをもって図示されたものではないとしても，まったく不正確であるとは認められず，引用発明を理解する上で所定の正確さをもって記載されているものと解されるから，この程度の理解は十分に可能である。しかも，正方形は矩形の一種ともいえ，引用文献１には正方形を除外する旨の記載もなく，引用文献２に，圧電アクチュエータにおいて，圧電体の表面形状は正方形が好ましい旨の記載があることからすれば，引用発明１において，懸架板２３０及び圧電セラミック板２３０を正方形構造とすることが，当業者にとって格別困難とは認められない。 そして，既に述べたとおり，小型ポンプの圧電アクチュエータに用いられる圧電セラミック板や振動膜状の部分が，一般的に，数ｍｍから数１０ｍｍ程度の大きさ，数μｍから数百μｍの厚さであって，引用発明１は，小型で，静かで，携帯可能で，快適な小型ガス圧駆動装置（micro-gas pressure driving apparatus）を提供することを課題とし，超小型ポンプ，超小型噴霧器，印字ヘッド又は産業用プリンターで，少量の気体又は液体を輸送するために使用されることが想定され，体積が小さく，厚みが薄くなっているものであるから，非常に小さい寸法とすることが予定されているとともに，引用発明１において，一般に考えられ得る圧電セラミック板の寸法範囲を参考に，実験等を行い，できる限り小型で，懸吊板及び圧電セラミック板の最適，好適な寸法を決定することは，当業者の通常の創作能力の発揮の範囲であるといえるから，引用発明１において，懸吊板及び圧電セラミック板の寸法を本願発明に係る数値範囲に設定することについて，十分に動機付けが認められる。 また，本願明細書には，辺の長さと直径が同程度，面積が同程度である正方形懸吊板と円形懸吊板に関し，正方形懸吊板の共振周波数が明らかに低くなることについて，理論的に十分な説明がなされていないとともに，具体的な実験結果等も示されていないから，なぜ，正方形の懸吊板の方が円形の懸吊板より省電力であるのか不明であって，懸吊板の形状を正方形にすることによって格別の効果を奏するものとは解されない。 本願発明において特定された寸法に関し，出力空気圧の機能を向上させるだけでなく，騒音も減少され，かつ製品の不良率を抑える効果があることについても同様で，本願明細書には理論的に十分な説明がなされていないとともに，具体的な実験結果等も示されていないから，懸吊板及び圧電素子を正方形構造とし，本願発明に係る特定の寸法とすることによって格別の効果を奏するものとは解されない。請求人は，辺の長さが比較的長い懸吊板との対比で優位性を主張するが，一般的に知られている寸法のものに比べ，本願発明がなぜ格別の効果を奏するものであるか依然として不明である。 そして，本願明細書において十分に明らかにしていなかった本願発明の効果について，進歩性の判断において，出願の後に補充した実験結果等を参酌することは，出願人と第三者との公平を害する結果を招くことになるので，特段の事情のない限り許されないというべきである。懸吊板と圧電セラミック板の好ましい辺の長さの寸法の数値設定は，いずれも実験による確証のもとはじめて獲得でき，騒音の減少及び良率の向上を達成できる，実験を通じて正方形の懸吊板及び圧電セラミック板の組合せが省電力効果を有することを発見しているというのであれば，なおさらであって，本願明細書に実験結果等の開示がない以上，本願発明が予測し得ない格別の効果を奏するとは認められない。しかも，懸吊板の厚みや，圧電セラミック板の形状や寸法も明らかにされていない補充実験が，本願発明を忠実に再現したものであるかは不明で，本願発明が請求人主張の効果を奏するものと判断することはできない。 （ウ） 請求人は，引用文献２～４に関連し，次のようにも主張している（同意見書）。 ・本願発明の「圧電セラミック板が，懸吊板の辺の長さより大きくない辺の長さを有する」という技術的特徴は，引用文献２の比較例２が排除しているもので，引用文献２の圧電体１及びメンブレン部２ａは，長さの設定についての相対関係において本願の反対教示となるから，引用文献２の本願発明への適用は不可能である。 ・引用文献３は引用文献１と結合して本願発明の進歩性を否定することはできず，且つ引用文献３は本願発明の懸吊板及び圧電セラミック板との正方形構造形状組合せ及びそれにより発生する省電力効果も開示していないので，引用文献１及び引用文献３を結合したとしても本願発明の進歩性を否定できない。 ・引用文献４には本願発明における正方形の懸吊板と圧電セラミック板の構造の形状の組合せ，及びそれがもたらす省電力効果については記載がないので，本願発明は引用文献１と引用文献４の組合せを通じて達成し得たものではなく，進歩性を有する。 （エ） しかしながら，既に述べたとおり，引用文献１，引用文献２に記載の事項からすれば，引用文献３，４に正方形の懸吊板と圧電セラミック板の構造の形状の組合せが記載されていないとしても，引用発明１において，懸架板２３０及び圧電セラミック板２３０を正方形構造とすることは当業者が容易になし得たことである。 また，圧電アクチュエータの具体的な構造が異なるとしても，技術の類似性に照らせば，引用文献２～４に記載された事項は，引用発明において十分に参考になるものである。 そして，正方形の懸吊板と圧電セラミック板の構造の形状の組合せによる省電力の効果に関し，本願明細書には具体的な裏付けもなく，格別のこととは解されないから，引用文献２～４にこの点が開示されていないとしても，引用発明における正方形の懸吊板と圧電セラミック板の構造の形状の組合せが，当業者にとって格別困難であるとは認められない。 （オ） よって，請求人の主張は採用することができない。 オ 以上のとおりであるから，本願発明は，引用発明１，引用文献２～４に記載された事項に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものである。 第５ むすび 以上のとおり，本願発明は，引用発明１，引用文献２～４に記載された事項に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものであって，特許法２９条２項の規定により特許を受けることができないから，他の請求項に係る発明について検討するまでもなく，本願は拒絶すべきものである。 よって，結論のとおり審決する。